JPH0463606A - 表面に非晶質炭素層を持つダイヤモンド工具 - Google Patents

表面に非晶質炭素層を持つダイヤモンド工具

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JPH0463606A
JPH0463606A JP17449890A JP17449890A JPH0463606A JP H0463606 A JPH0463606 A JP H0463606A JP 17449890 A JP17449890 A JP 17449890A JP 17449890 A JP17449890 A JP 17449890A JP H0463606 A JPH0463606 A JP H0463606A
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JP
Japan
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diamond
diamond tool
tool
cutting
carbon
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JP17449890A
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English (en)
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Nobuo Yasunaga
安永 暢男
Morihiro Okada
守弘 岡田
Yukimoto Tanaka
幸基 田中
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
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  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は金属材料、特に炭素鋼など鉄系の切削に用いる
、表面に非晶質炭素層を持つダイヤモンド工具に関する
ものである。
[従来の技術] 焼結ダイヤモンドあるいは単結晶ダイヤモンドはその超
硬質性を利用してアルミニウム、銅など各種金属材料の
切削工具として多用されている。
また最近、超硬工具なとの基材上にCVD法でダイヤモ
ンド膜を気相成長させたダイヤモンド膜被覆切削工具か
開発され、やはり軟質金属の切削に利用されつつある。
しかし炭素鋼などの鉄系材料に対してはこれらのダイヤ
モンド工具は不適とされている。それは、ダイヤモンド
か鉄と化学的に反応しやすく、鉄系材料を切削するとダ
イヤモンドの摩耗か大きく、工具寿命か短くなるためで
ある(E、J、Duell & W、J、MacDon
ald:Wear、vol、4.N。
5(+961) 372 ’)。
[発明か解決しようとする課題] 上記のように、従来のダイヤモンド工具あるいはダイヤ
モンド膜被覆工具は鉄と化学的に反応しやすく、一般に
炭素鋼などの鉄系材料の切削には使用されていない。本
発明は、このような課題を解決するためになされたもの
で、鉄系材料の切削に使用できるダイヤモンド工具を提
供しようとするものである。
[課題を解決するための手段コ 本発明のダイヤモンド工具は、ダイヤモンドエ具の表面
に0.2〜100μlの厚さのガラス状炭素を被覆して
なる表面に非晶質炭素層を持ち、更にはダイヤモンド工
具に表面から0.01〜100μ■の深さにわたって前
記ダイヤモンド工具の表面を非晶質化する表面改質を施
すことにより表面に非晶質炭素層を持つダイヤモンド工
具であることを特徴とする。
本発明で言うダイヤモンド工具には、天然及び高圧法に
よるダイヤモンド単石工具、焼結ダイヤモンド工具、気
相法ダイヤモンド工具などが含まわる。
ダイヤモンドは硬度が最も高いが、鉄とA、変態点(7
23℃)以上では急速に反応してセメンタイトFe5C
を生じることが知られており、鉄系材料を切削するとき
にダイヤモンド工具の摩耗が大きく寿命が短いのはこの
反応のしやすさが主因と考えられる。一方黒鉛(gra
phHe)や非晶質炭素はダイヤモンドに比してはるか
に鉄と反応しにくいので(安永ほか:精密機械、38巻
、4号(1972)413〜415頁)、鉄系材料切削
用としてはダイヤモンドよりも黒鉛あるいは非晶質炭素
の方が優れた特性を示すことか期待されるが、通常の黒
鉛や非晶質炭素は硬度か大変低く工具としては使用でき
ないのが実状である。
第1図に各種炭素材料のラマンスペクトルを示す。ダイ
ヤモンド、単結晶黒鉛は鋭い1つのピークを示し、黒鉛
を乱した構造のガラス状炭素は黒鉛のピークか高波数側
にシフトしたものに加えて黒鉛結晶子の端面の振動によ
るもう1つのピークを示し、かつ半値幅か広い。硬質炭
素或いはダイヤモンドライクカーボンまたはi−カーボ
ンとも呼ばれている高硬度の非晶質膜は、ピークの位置
が特定できないほど広い半値幅を示す。ガラス状炭素と
硬質炭素はいずれも非晶質材料に分類されるが、ガラス
状炭素の方が薄膜状に製造することが容易である上に、
耐熱温度が2000℃以上であるのに対して、硬質非晶
質炭素の薄膜はPVD法等により作製しなければならず
製造コストが高い上に、更に耐熱温度が約400℃と低
い。
本発明の第一発明はかかる知見に基づき、ガラス状炭素
膜をダイヤモンド工具の表面に被覆することにより、鉄
系材料に対して大きな耐摩耗性を示す切削工具を開発し
たものである。さらに、本発明の第二発明は、ダイヤモ
ンド工具の表面を改質して非晶質構造にすることにより
、鉄系材料に対して大きな耐摩耗性を示す切削工具を開
発したものである。
まず、第一の発明について説明する。ダイヤモンド工具
の表面に被覆すべきガラス状炭素皮膜の厚さは、0.2
〜100μmが望ましい。ガラス状炭素の皮膜の厚さが
0.2μ1未満では摩耗やピンホールの発生等で耐摩耗
効果が少なく、100 uI11超では皮膜の内部応力
のために皮膜がダイヤモンド工具表面から剥離しやすく
なり、切削工具として十分な性能が発揮できない。望ま
しくは2〜l Oumの皮膜厚さで、十分な工具寿命で
の切削が可能となる。
ガラス状炭素膜の形成法としては、公知の塩化ビニル樹
脂、酢酸ビニル樹脂、フェノール樹脂などの有機重合体
を原料とし、フェノール樹脂の場合は有機溶剤に希釈し
てから噴霧や塗布で黒鉛やセラミックスなとの表面に被
覆した後、不活性雰囲気下で加熱する方法、あるいは、
塩化ビニル樹脂や酢酸ビニル樹脂等を原料とした場合は
、−度加熱して得た不完全熱分解生成物を有機溶剤に溶
解したのち、その溶液を黒鉛やセラミックスなどに被覆
して不活性雰囲気下て加熱する方法を用いる。
製造方法によっても異なるが、ガラス状炭素の硬度とし
てHvlO00相当(HvlOOOのシリコン単結晶に
は疵をつけることができるが、Hv1300の窒化珪素
には疵をつけることができない〉のものが形成される。
ガラス状炭素のダイヤモンドへの付着力を向上させるた
めには、ダイヤモンド工具表面を改質して非晶質化して
から上記の樹脂を被覆、焼成することも場合によっては
有効である。
焼結ダイヤモンド工具及び気相法多結晶ダイヤモンド工
具には微細な穴があるので、上記の樹脂や溶液を含浸し
た後加熱することで、ガラス状炭素の表面層を形成させ
ることも可能である。
次に、第二の発明について説明する。ダイヤモント工具
表面の改質すべき非晶質炭素層の厚さは0.01〜10
0μmが望ましい。改質層の厚さが0,019m未満で
は薄すぎて耐摩耗効果が少なく、100μ回超では最表
面がもろくなり耐摩耗効果か少なくなり、切削工具とし
ては利用できない。望ましくは0.05um−10μm
の表面改質層で、十分な工具寿命での切削が可能となる
。ダイヤモンドの表面改質法としては、公知の微量酸素
雰囲気中でダイヤモンドを加熱する方法(fl:、Ph
aal:Ind、Diamond Rev、。
25.300. (1965) 486)およびダイヤ
モンドに水素、アルゴン等の原子を打ち込んで表面改質
する方法(開田ほか:第15回炭素材料学会年会要旨集
、(1988) 142〜143頁)を用いる。こうし
た表面改質法によりダイヤモンド表面を非晶質炭素で覆
うことができる。例えばダイヤモンド単結晶にカウフマ
ン型イオン源を用いて、圧力5 x 1O−5Torr
、加速電圧]、200V、 イオン電流密度1 mA/
cm2、の条件で水素イオンを2時間照射した場合、目
視では僅かに茶色に呈色し、ラマン分光分析により表面
に非晶質層の存在が確認され、窒素同位体の共鳴核反応
法による分析で、表面から0.06umの深さにわたっ
て水素原子か存在することか確認できる。
ダイヤモンド単結晶製の円錐形スライダと、該スライダ
表面に2JJ111の厚さのガラス状炭素を被覆したス
ライダと、該スライダの表面層を水素イオン照射によフ
て0.06umの深さにわたって改質したスライダの3
つのスライダの耐摩耗性を比較すると、例えば535C
炭素鋼に対して、真空中、荷重2.0kg 、摩擦速度
1130m/minの条件で摩擦させた場合、ダイヤモ
ンド単結晶スライダの摩耗!が13X 10−’mm3
/kmであるのに対して、ガラス状炭素被覆スライダの
摩耗量は1.2 x ICl−’mm3/kmであり、
表面改質スライダのそれは5 X 10−’mm’/k
mであり、該ガラス状炭素被覆スライダの場合は約10
倍、表面改質スライダの場合は約2倍耐摩耗性が優れて
いると言える。
また前記摩擦条件で、前記単結晶ダイヤモンドスライダ
と同形状の焼結ダイヤセントで作製したスライダと、該
焼結ダイヤモンドスライダ表面に2μmの厚さのガラス
状炭素を被覆したスライダと、該スライダの表面層を水
素イオン照射によって0.06μmの深さにわたって改
質したスライダの3つのスライダの耐摩耗性を比較する
と、焼結ダイヤモンドスライダの摩耗量が23x 10
−’mm3/kmであるのに対して、ガラス状炭素被覆
スライダの摩耗量は1.6 x 10−’mm”/km
であり、表面改質スライダのそれは10x 10−’m
m3/kmであり、該ガラス状炭素被覆スライダの場合
は約14倍、表面改質スライダの場合は約2倍耐摩耗性
が優れていると言える。
さらに前記摩擦条件で、前記単結晶ダイヤモンドスライ
ダと同形状の気相法多結晶ダイヤモンドで作製したスラ
イダと、該気相法ダイヤモンドスライダ表面に2μmの
厚さのガラス状炭素を被覆したスライダと、該スライダ
の表面層を水素イオン照射によって0.061μmの深
さにわたって改質したスライダの3つのスライダの耐摩
耗性を比較すると、気相法ダイヤモンドスライダの摩耗
量が20x10−’mm3/kmであるのに対して、ガ
ラス状炭素被覆スライダの摩耗量は1.3 x 10−
’mm3/kmであり、表面改質スライダのそれは7X
10〜411IID37kIIIであり、該ガラス状炭
素被覆スライダの場合は約15倍、表面改質スライダの
場合は約3倍耐摩耗性が優れていると言える。
[作用] 上記の、表面に非晶質炭素層を持つダイヤモンド工具を
用いれば、該表面炭素層と鉄との化学反応が生しにくい
ので、非晶質炭素層を持たないダイヤモンド工具よりも
摩耗が少なく、また切削面も滑らかで、鉄系材料の切削
に十分な寿命と切削性能を発揮する。ガラス状炭素を被
覆する場合は被切削材に応じて任意の厚みのものを容易
に製造することかできる。表面を改質した場合は、改質
層の剥離のおそれがなく、同じ厚みならばガラス状炭素
被覆バイトと比へてより強固である。
[実施例] ダイヤモンド工具に単結晶ダイヤモンドバイト(旭ダイ
ヤモンド工業製)、焼結ダイヤモンドバイト(Crys
ton Diamond IND製)、気相法ダイヤモ
ンドバイト(三菱金属製)の三種類を用い、表面の非晶
質炭素層をガラス状炭素の被覆及び水素イオン照射によ
る表面改質の2通りの方法で形成した。こうしたダイヤ
モンド工具を用いて75mmφの被剛材545Gを切り
込み(1,511101、送り(1,]Omm/rev
1.切削速度400m/m切削速度4性0ときの逃げ面
摩耗量を測定した。ダイヤモンド工具の硬度は荷重10
gfのマイクロビッカース硬さにて測定した。ガラス状
炭素は次の方法で被覆した。フェノール樹脂を5重量%
アセトンに溶解した溶液を3μm弱の厚みでダイヤモン
ド工具に被覆した後、該工具を加熱炉に入れ、雰囲気を
空気にした状態で以下の条件で昇温した。
室温〜150℃   5℃/l1in J50〜270℃   0,08℃/1Ilin270
℃      5時間保持 次に雰囲気をアルゴンガスに置換し以下の条件で昇温加
熱した。
270〜350℃   15℃/m1n350〜550
℃   2℃/win 550 〜990℃   15℃/win990℃  
    30分間保持 この結果、表面に2μm厚のガラス状炭素層を持つダイ
ヤモンド工具を得た。表面改質は、カウフマン型イオン
源を用いて、圧力5 x 1O−5Torr、加速電圧
1200V 、イオン電流密度1 mA/cm2、ダイ
ヤモンド工具に水素イオンを2時間照射して行なった。
ラマン分光分析により表面に非晶質層の存在が確認され
、窒素同位体の共鳴核反応法による分析で、それぞわ表
面から0.06〜0.07μmの深さにわたって水素原
子の存在を確認した。こうして、表面に約0.06μm
厚の非晶質炭素層を持つダイヤモンド工具を得た。
以上の結果を第1表に示す。単結晶ダイヤモンドバイト
、焼結ダイヤモンドバイト、気相法ダイヤモンドバイト
ともに、無処理のものに比べてガラス状炭素を被覆した
ものは10分の1以下の摩耗量を示し、水素イオン照射
で表面を改質したものは2分の1以下の摩耗量を示した
[発明の効果コ 本発明は、非晶質炭素層をタイヤモント工具表面に形成
した結果、鉄に対する化学反応を生しにくく、従来タ゛
イヤモント工具か苦手としてきた鉄系材料の切削に使用
できるダイヤモント工具を与えるものてあり、金属素材
として最も大きなマーケットを占める鉄系材料の切削加
工の生産性や品質向上に寄与するところか大きいと期待
される。
【図面の簡単な説明】
第1図は各種炭素材料のラマンスペクトルである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ダイヤモンド工具の表面に0.2〜100μmの厚
    さのガラス状炭素を被覆してなる、表面に非晶質炭素層
    を持つダイヤモンド工具。 2、ダイヤモンド工具に表面から0.01〜100μm
    の深さにわたって前記ダイヤモンド工具の表面を非晶質
    化する表面改質を施してなる、表面に非晶質炭素層を持
    つダイヤモンド工具。
JP17449890A 1990-07-03 1990-07-03 表面に非晶質炭素層を持つダイヤモンド工具 Pending JPH0463606A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0803897A2 (en) * 1996-04-22 1997-10-29 Nisshinbo Industries Inc. Electrode for plasma etching
JP2002540970A (ja) * 1999-03-31 2002-12-03 セメコン−セラミック メタル コーティングス−ドクトル−インジェネア アントニウス レイエンデッカー ゲーエムベーハー ダイヤモンド・コーティングした工具およびその製造方法
JP2012161873A (ja) * 2011-02-07 2012-08-30 Mitsubishi Materials Corp ダイヤモンド被覆切削工具

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