JPH0462346A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、半導体装置の製造の他、医薬品や食品製造
などの如き清浄な環境下での作業か要求される製造工程
に供する、クリーンルームに関するものである。

（従来の技術） 半導体装置、また医薬品、食品等の製造においては、清
浄な雰囲気、換言すれば塵埃を極力低減させることが要
求される。例えば半導体装置は、近年素子の高集積度化
が長足の進歩を示していて、かかる高集積度の半導体装
置の製造の際にはより微細な加工を施すことから製造空
間中の塵埃は大数であり、歩留まり、信頼性及び品質の
観点から塵埃を低減させることか望まれるわけである。

したがって上記半導体装置等は、従来からクリーンルー
ム内で製造されるのが常識であり、なかでも垂直層流型
のクリーンルームか多用されている。この垂直層流型の
クリーンルームは、フィルターを通した高清浄度の空気
を天井から内部に向は供給する一方、床面から室内空気
を排出させて、クリーンルーム内の発塵を速やかに下方
に排除して所定の清浄度を維持するものであり、半導体
装置の高集積度化に対応したクラス１０又はそれ以下と
いう高清浄度が可能となる。

（発明が解決しようとする課題） 垂直層流型のクリーンルームでは高い清浄度が維持可能
とはいえ、主な発塵源である人間がクリーンルーム内で
作業する以上、ルーム内での発塵は不可避であり、また
人間ないしは製造装置によって垂直層流か乱れてしまう
ことから、塵埃を皆無にすることはできず、特に床面と
側壁との境界部では、かかる塵埃が溜まり易いのが現状
である。

ここで床面は、上記境界部を含め定期的に清掃を施して
いるが、かような境界部は、清掃の際に手が届きに＜＜
、塵埃を完全には除去し難い。

したがって境界部に堆積した塵埃が再浮遊し、半導体装
置の製造工程で悪影響を及ぼす憂いが著しかった。

上述したような境界部に塵埃が堆積する問題を有利に解
決したクリーンルームを提案することがこの発明の目的
である。

（課題を解決するための手段） この発明は、換気装置にそれぞれ接続した天井及び床面
の間を側壁にて囲んで空間を形成し、この天井から高清
浄度の空気をこの空間内へ供給する一方、床面から空間
内の空気を排出させる垂直層流型クリーンルームにおい
て、上記床面と側壁内面との境界部に、側壁近傍の垂直
層流を滑らかに床面へ案内する斜面を形成したことを特
徴とするクリーンルームである。

この発明で境界部とは床面の隅部のみならず側壁と床面
とが接する部位を言い、また斜面とは平面に限らず、曲
面をも含む。

（作　用） 垂直層流型クリーンルームにおいては通常、垂直層流の
流速は３００〜５００　ｍｍ／３程度であるが、側壁近
傍を流れる垂直層流は遅いうえ、従来は床面が側壁に対
しほぼ垂直になっていることから垂直層流が側壁と床面
との境界部付近で排気ダクトに向は急激に曲げられてし
まう。このため、かかる境界部付近では空気が淀んでし
まい結果的に塵埃が溜まっていた。なお境界部付近でも
垂直層流が形成されるように、排気ダクトをかかる境界
部にも設置するのは床面強度さらには設備コストの点か
ら実用的でない。

そこでこの発明では、床面と側壁内面との境界部に斜面
を形成して、側壁近傍の垂直層流を滑らかに床面へ案内
するすることで空気の淀みをなくし、その結果塵埃が堆
積するのを防止するのである。

（実施例） 以下この発明を具体的に説明する。

第１図にこの発明に従うクリーンルームにつんで側壁と
床面との境界部の一例を断面で示す。図中１は側壁、２
は床面、３ａは斜面である。同図に示すように、床面１
と側壁２内面との境界部に、斜面３ａを形成する。かく
して側壁近傍の垂直層流は滑らかに床面へ案内されて、
境界部で淀むことなく図示しない排出ダクトへ向は流れ
る。かかる斜面３ａの高さは１００　ｍｍ程度が好まし
く、また床面となす角度θは４５°が好ましい。

また第１図に示すような平坦な斜面３ａに限ることはな
（、第２図に示すように湾曲した斜面３ｂであってもよ
い。かかる斜面３ｂの高さも同様に１００　ｍｍ程度が
好ましく、また断面にて側壁及び床面のそれぞれに接す
る円弧となる曲面が好ましい。

なお床面２の隅部では塵埃堆積の憂いが特に著しいこと
から、第３図、第４図に示すように、この床面２の隅部
のみに平坦な斜面３ｃ又は滑らかに湾曲した斜面３ｄを
形成してもよい。なお床面の隅部以外の境界部にも斜面
を形成する場合には、かかる斜面３ｃ又は３ｄと連続し
て連なる平坦面又は曲面とすればよい。

さらに斜面３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄの材質については、
いずれもこの発明に従い垂直層流を滑らかに床面へ案内
するものであればよく、また施工方法についてもなんら
限定するものではない。

（発明の効果） この発明のクリーンルームは、床面と側壁内面との境界
部に、側壁近傍の垂直層流を滑らかに床面へ案内する斜
面を形成するといった極めて簡単な構成により、従来問
題になっていた床面と側壁内面との境界部への塵埃の堆
積を著しく減少させることができ、しかも清掃がし易く
なることから、塵埃の再浮遊を防止することができ、高
清浄度な環境を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に従うクリーンルームの側壁と床面
との境界部の一例を示す断面図、第２図は、この発明に
従うクリーンルームの側壁と床面との境界部の別の例を
示す断面図、第３図、第４図は、この発明を床面の隅部
のみに適用した実施例の説明図である。 ■・・・側壁　　　　　　　２・・・床面３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄ・・・斜面 第１図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、換気装置にそれぞれ接続した天井及び床面の間を側
   壁にて囲んで空間を形成し、この天井から高清浄度の空
   気をこの空間内へ供給する一方、床面から空間内の空気
   を排出させる垂直層流型クリーンルームにおいて、 上記床面と側壁内面との境界部に、側壁近傍の垂直層流
   を滑らかに床面へ案内する斜面を形成したことを特徴と
   するクリーンルーム。