JPH0459409U - - Google Patents
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- JPH0459409U JPH0459409U JP10137290U JP10137290U JPH0459409U JP H0459409 U JPH0459409 U JP H0459409U JP 10137290 U JP10137290 U JP 10137290U JP 10137290 U JP10137290 U JP 10137290U JP H0459409 U JPH0459409 U JP H0459409U
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第1図は本考案による位置検出装置の原理構成
を示すブロツク図、第2図Aはガウス分布を持つ
ビームと受光素子との関係を示す説明図、第2図
Bは光量分布図、第3図は演算方法を説明する図
、第4図は従来装置の原理を説明するブロツク図
である。 主要部分の符号の説明、1〜18……受光素子
、1A,18A……受光素子、13A,13B,
13C,15……デジタル回路、14A,14B
,14C,14D,14E,14F……アナログ
回路、16……CPU。
を示すブロツク図、第2図Aはガウス分布を持つ
ビームと受光素子との関係を示す説明図、第2図
Bは光量分布図、第3図は演算方法を説明する図
、第4図は従来装置の原理を説明するブロツク図
である。 主要部分の符号の説明、1〜18……受光素子
、1A,18A……受光素子、13A,13B,
13C,15……デジタル回路、14A,14B
,14C,14D,14E,14F……アナログ
回路、16……CPU。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 回転照射されたガウス分布を持つビームを受
光して光電変換する複数個の受光素子を有する受
光手段を備え、前記ビームの照射位置を検出する
位置検出装置において、 前記複数の受光素子をそれぞれ同一形状となし
、前記ビームの移動方向と直交する方向に少なく
とも一列所定間隔で配列した受光手段と、 該受光手段の複数ある受光素子の中から、所定
の受光素子を選択し、該受光素子からの出力信号
を取り込む複数の素子選択回路と、 該素子選択回路からの前記受光素子の少なくと
も3個の出力信号に基ずいて、前記ビームのガウ
ス分布中心位置を求める演算手段と、 を有することを特徴とする位置検出装置。 2 前記受光手段は、ビームの移動する方向と直
交する方向に並列する第1素子列と第2素子列と
を有し、ビームの直径をRとする時、前記受光素
子は前記素子列の方向の長さを1/2Rになすと共
に前記第1素子列と前記第2素子列とを素子の配
列方向に1/4Rずらせて並列させたことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第1項記載の位置検
出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10137290U JPH0459409U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10137290U JPH0459409U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0459409U true JPH0459409U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31844763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10137290U Pending JPH0459409U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0459409U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0875542A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-22 | Otsuka Denshi Kk | 表示画素の光量測定方法並びに表示画面の検査方法及び装置 |
WO1996028707A1 (fr) * | 1995-03-10 | 1996-09-19 | Seft Development Laboratory Co., Ltd. | Instrument de mesure de positions |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10137290U patent/JPH0459409U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0875542A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-22 | Otsuka Denshi Kk | 表示画素の光量測定方法並びに表示画面の検査方法及び装置 |
WO1996028707A1 (fr) * | 1995-03-10 | 1996-09-19 | Seft Development Laboratory Co., Ltd. | Instrument de mesure de positions |
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