JPH0459409U - - Google Patents

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JPH0459409U
JPH0459409U JP10137290U JP10137290U JPH0459409U JP H0459409 U JPH0459409 U JP H0459409U JP 10137290 U JP10137290 U JP 10137290U JP 10137290 U JP10137290 U JP 10137290U JP H0459409 U JPH0459409 U JP H0459409U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による位置検出装置の原理構成
を示すブロツク図、第２図Ａはガウス分布を持つ
ビームと受光素子との関係を示す説明図、第２図
Ｂは光量分布図、第３図は演算方法を説明する図
、第４図は従来装置の原理を説明するブロツク図
である。 主要部分の符号の説明、１〜１８……受光素子
、１Ａ，１８Ａ……受光素子、１３Ａ，１３Ｂ，
１３Ｃ，１５……デジタル回路、１４Ａ，１４Ｂ
，１４Ｃ，１４Ｄ，１４Ｅ，１４Ｆ……アナログ
回路、１６……ＣＰＵ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 回転照射されたガウス分布を持つビームを受
    光して光電変換する複数個の受光素子を有する受
    光手段を備え、前記ビームの照射位置を検出する
    位置検出装置において、 前記複数の受光素子をそれぞれ同一形状となし
    、前記ビームの移動方向と直交する方向に少なく
    とも一列所定間隔で配列した受光手段と、 該受光手段の複数ある受光素子の中から、所定
    の受光素子を選択し、該受光素子からの出力信号
    を取り込む複数の素子選択回路と、 該素子選択回路からの前記受光素子の少なくと
    も３個の出力信号に基ずいて、前記ビームのガウ
    ス分布中心位置を求める演算手段と、 を有することを特徴とする位置検出装置。 ２ 前記受光手段は、ビームの移動する方向と直
    交する方向に並列する第１素子列と第２素子列と
    を有し、ビームの直径をＲとする時、前記受光素
    子は前記素子列の方向の長さを1/2Ｒになすと共
    に前記第１素子列と前記第２素子列とを素子の配
    列方向に1/4Ｒずらせて並列させたことを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の位置検
    出装置。
JP10137290U 1990-09-27 1990-09-27 Pending JPH0459409U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0875542A (ja) * 1994-09-05 1996-03-22 Otsuka Denshi Kk 表示画素の光量測定方法並びに表示画面の検査方法及び装置
WO1996028707A1 (fr) * 1995-03-10 1996-09-19 Seft Development Laboratory Co., Ltd. Instrument de mesure de positions

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0875542A (ja) * 1994-09-05 1996-03-22 Otsuka Denshi Kk 表示画素の光量測定方法並びに表示画面の検査方法及び装置
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