JPH0458541A - ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置Info
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、ワイヤボンデインク装置におけるワイヤ供給
装置に関する。
装置に関する。
(従来の技術)
従来、ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置
として、特公昭53−10423号公報に記載の如くの
ものかある。この従来技術は、ワイヤスプールのワイヤ
をボンディングツールの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆
動部を備えるとともに、ワイヤスプールとボンディング
ツールの間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を
設け、ワイヤのたるみが予め定めてある適正範囲より減
少したことがワイヤたるみ検出装置により検出されたこ
とを条件に、ワイヤ繰り出し駆動部を作動させる制御装
置とを有して構成されている。
として、特公昭53−10423号公報に記載の如くの
ものかある。この従来技術は、ワイヤスプールのワイヤ
をボンディングツールの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆
動部を備えるとともに、ワイヤスプールとボンディング
ツールの間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を
設け、ワイヤのたるみが予め定めてある適正範囲より減
少したことがワイヤたるみ検出装置により検出されたこ
とを条件に、ワイヤ繰り出し駆動部を作動させる制御装
置とを有して構成されている。
即ち、従来技術は、ボンディングによるワイヤの使用経
過に応してワイヤを繰り出し補給し、ワイヤ供給経路に
あるワイヤに一定の適正たるみを確保することにより、
ワイヤループ形成中のワイヤに一定の張力を及ぼし、ベ
レット側電極とり−ト側端子との間に安定したワイヤル
ープな形成しようとするものである。
過に応してワイヤを繰り出し補給し、ワイヤ供給経路に
あるワイヤに一定の適正たるみを確保することにより、
ワイヤループ形成中のワイヤに一定の張力を及ぼし、ベ
レット側電極とり−ト側端子との間に安定したワイヤル
ープな形成しようとするものである。
尚、ワイヤ供給経路上てのワイヤのたるみが過大となっ
てワイヤループ形成中のワイヤに及ぶ張力か過小となる
場合には、ワイヤループがたるんて過度に高くなったり
、横方向に傾いて隣のワイヤと短絡する虞れかある。
てワイヤループ形成中のワイヤに及ぶ張力か過小となる
場合には、ワイヤループがたるんて過度に高くなったり
、横方向に傾いて隣のワイヤと短絡する虞れかある。
(発明が解決しようとする課題)
然しなから、従来技術では、ボンディングによるワイヤ
の使用経過に応してワイヤを繰り出し補給するに際し、
ワイヤの繰り出しタイミングは、ワイヤたるみ検出装置
の検出タイミングのみにて定められ、ボンディングツー
ルがワイヤループ形成中であるか否かとは全く無関係に
定められている。
の使用経過に応してワイヤを繰り出し補給するに際し、
ワイヤの繰り出しタイミングは、ワイヤたるみ検出装置
の検出タイミングのみにて定められ、ボンディングツー
ルがワイヤループ形成中であるか否かとは全く無関係に
定められている。
このため、従来技術ては、ワイヤループ形成中に、ワイ
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給される場合
がある。そして、この場合には、ワイヤループ形成中の
ワイヤに作用していた張力か弱まり、結果としてワイヤ
ルーズのたるみが過大となり、安定したワイヤループの
形成が困難となる。
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給される場合
がある。そして、この場合には、ワイヤループ形成中の
ワイヤに作用していた張力か弱まり、結果としてワイヤ
ルーズのたるみが過大となり、安定したワイヤループの
形成が困難となる。
本発明は、ワイヤループ形成中のワイヤに可及的に一定
の張力を及ぼすことにより、安定したワイヤループを形
成することを目的とする。
の張力を及ぼすことにより、安定したワイヤループを形
成することを目的とする。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
本発明は、ワイヤスプールのワイヤをボンディングツー
ルの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆動部を備えるととも
に、ワイヤスプールとボンディングツールの間のワイヤ
供給経路にワイヤたるみ検出装置を設け、ワイヤのたる
みが予め定めてある適正範囲より減少したことかワイヤ
たるみ検出装置により検出されたことを条件に、ワイヤ
繰り出し駆動部を作動させる制御装置とを有してなるワ
イヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置において
、制御装置は、ボンディングツールがベレット側電極と
ソート側端子間にワイヤループ形成中でないことを、上
記ワイヤ繰り出し駆動部を作動させるための優先条件と
するようにしだものである。
ルの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆動部を備えるととも
に、ワイヤスプールとボンディングツールの間のワイヤ
供給経路にワイヤたるみ検出装置を設け、ワイヤのたる
みが予め定めてある適正範囲より減少したことかワイヤ
たるみ検出装置により検出されたことを条件に、ワイヤ
繰り出し駆動部を作動させる制御装置とを有してなるワ
イヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置において
、制御装置は、ボンディングツールがベレット側電極と
ソート側端子間にワイヤループ形成中でないことを、上
記ワイヤ繰り出し駆動部を作動させるための優先条件と
するようにしだものである。
(作用)
本発明によれば、ワイヤたるみ検出装置かワイヤたるみ
減少信号を出力した時ても、制御装置は、ワイヤループ
形成中てあれば、ワイヤ繰り出し駆動部を直ちには作動
させない、そして、制御装置は、上記ワイヤループの形
成か終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動
部を作動させてワイヤを繰り出し補給しそのたるみを適
正範囲に復元する。
減少信号を出力した時ても、制御装置は、ワイヤループ
形成中てあれば、ワイヤ繰り出し駆動部を直ちには作動
させない、そして、制御装置は、上記ワイヤループの形
成か終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動
部を作動させてワイヤを繰り出し補給しそのたるみを適
正範囲に復元する。
従って、本発明によれば、ワイヤループ形成中に、ワイ
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給されて、ワ
イヤループ形成中のワイヤに作用していた張力が弱まる
ことがなく、結果としてワイヤループのたるみが過大と
なフて、ワイヤループの形成を不安定とすることがない
。即ち、本発明は、ワイヤループ形成中のワイヤに可及
的に一定の張力を及ぼし、安定したワイヤループを形成
することかてきる。
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給されて、ワ
イヤループ形成中のワイヤに作用していた張力が弱まる
ことがなく、結果としてワイヤループのたるみが過大と
なフて、ワイヤループの形成を不安定とすることがない
。即ち、本発明は、ワイヤループ形成中のワイヤに可及
的に一定の張力を及ぼし、安定したワイヤループを形成
することかてきる。
(実施例)
第1図は本発明が適用されたワイヤボンディング装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
ワイヤボンデインク装置10は、ワイヤスプール11に
巻かれているワイヤ12を、ガイド装置13、ワイヤク
ランパ14を介してボンディングツール15に導く。そ
して、ワイヤボンディング装置10は、ボンディングツ
ール15のX、Y、Z方向の移動により、ワイヤ12を
ベレット側電極16とリート側端子17との間にループ
状に張り渡す。
巻かれているワイヤ12を、ガイド装置13、ワイヤク
ランパ14を介してボンディングツール15に導く。そ
して、ワイヤボンディング装置10は、ボンディングツ
ール15のX、Y、Z方向の移動により、ワイヤ12を
ベレット側電極16とリート側端子17との間にループ
状に張り渡す。
尚、ワイヤボンディング装置10は、ボンデインク制御
装置18を備えており、ボンディング制御装置18は、
予め設定されているルーピングプログラムに基づき、ボ
ンディングツールトライ八回路19を介して、ボンディ
ングツール駆動部20を駆動制御し、ボンディングツー
ル15をX、Y、Z方向に移動せしめる。
装置18を備えており、ボンディング制御装置18は、
予め設定されているルーピングプログラムに基づき、ボ
ンディングツールトライ八回路19を介して、ボンディ
ングツール駆動部20を駆動制御し、ボンディングツー
ル15をX、Y、Z方向に移動せしめる。
又、ワイヤボンディング装置10は、ワイヤスプール1
1のワイヤ12を、ボンディングツール15の側に繰り
出すパルスモータ等のワイヤ繰り出し駆動部21を備え
るとともに、ワイヤスプール11とボンディングツール
15の間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を設
けている。
1のワイヤ12を、ボンディングツール15の側に繰り
出すパルスモータ等のワイヤ繰り出し駆動部21を備え
るとともに、ワイヤスプール11とボンディングツール
15の間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を設
けている。
尚、ワイヤたるみ検出袋f22は、具体的には、ワイヤ
たるみ減少検出センサ(例えば透過型光センサ)22A
と、ワイヤたるみ充足検出センサ(例えば透過型光セン
サ)22Bとからなる。
たるみ減少検出センサ(例えば透過型光センサ)22A
と、ワイヤたるみ充足検出センサ(例えば透過型光セン
サ)22Bとからなる。
そして、ワイヤたるみ減少検出センサ22Aは、オン時
に、ワイヤたるみ減少信号を送出し、ワイヤたるみ充足
検出センサ22Bは、オン時に、ワイヤたるみ充足信号
を送出する。
に、ワイヤたるみ減少信号を送出し、ワイヤたるみ充足
検出センサ22Bは、オン時に、ワイヤたるみ充足信号
を送出する。
又、ワイヤボンディング装W10は、ワイヤ繰り出し制
御装置23を有している。ワイヤ繰り出し制御装置23
は、ワイヤたるみ検出装置22の検出結果を受けて、ワ
イヤ12のたるみが予め定めてある適正範囲より減少し
たことを条件に、ワイヤ繰り出しドライバ回路24を介
して、ワイヤ繰り出し駆動部21を作動させる。具体的
には、ワイヤ繰り出し制御装置23は、ワイヤたるみ減
少検出センサ22Aからのワイヤたるみ減少信号を受け
てワイヤ繰り出し駆動部21を作動開始し、ワイヤたる
み充足検出センサ22Bからのワイヤたるみ充足信号を
受けてワイヤ繰り出し駆動部21を作動停止する。
御装置23を有している。ワイヤ繰り出し制御装置23
は、ワイヤたるみ検出装置22の検出結果を受けて、ワ
イヤ12のたるみが予め定めてある適正範囲より減少し
たことを条件に、ワイヤ繰り出しドライバ回路24を介
して、ワイヤ繰り出し駆動部21を作動させる。具体的
には、ワイヤ繰り出し制御装置23は、ワイヤたるみ減
少検出センサ22Aからのワイヤたるみ減少信号を受け
てワイヤ繰り出し駆動部21を作動開始し、ワイヤたる
み充足検出センサ22Bからのワイヤたるみ充足信号を
受けてワイヤ繰り出し駆動部21を作動停止する。
更に、ワイヤ繰り出し制御装置23は、ボンディングツ
ール15がペレット側電極16とリート側端子17の間
にワイヤループ形成中でないことを、上記ワイヤ繰り出
し駆動部21を作動させるための優先条件としている。
ール15がペレット側電極16とリート側端子17の間
にワイヤループ形成中でないことを、上記ワイヤ繰り出
し駆動部21を作動させるための優先条件としている。
具体的には、ワイヤ繰り出し制御装置23は、ボンディ
ング制御装置18からルーピンクプログラムに基づくル
ープ形成中信号を受けるように回路構成されており、こ
のループ形成中信号の受信期間内にあっては、たとえワ
イヤたるみ検出袋f22からのワイヤたるみ減少信号を
受信したとしても、ワイヤ繰り出し駆動部21を作動さ
せないこととするのである。
ング制御装置18からルーピンクプログラムに基づくル
ープ形成中信号を受けるように回路構成されており、こ
のループ形成中信号の受信期間内にあっては、たとえワ
イヤたるみ検出袋f22からのワイヤたるみ減少信号を
受信したとしても、ワイヤ繰り出し駆動部21を作動さ
せないこととするのである。
尚、ボンディング装置10にあっては、ワイヤスプール
11とボンディングツール15の間のワイヤ供給経路に
エアテンショナ25を配置しである。エアテンショナ2
5は、ワイヤ12にエアを吹き付けることにより、常に
一定のたるみをワイヤ12に確保するとともに、ワイヤ
にパックテンションを与えている。これにより、ワイヤ
スプール11とボンディングツール15の間にあるワイ
ヤ12は、ワイヤたるみ検出装置22のワイヤたるみ減
少検出センサ22Aがオンしてワイヤたるみ減少信号を
送出した直後、本発明の制御によりワイヤ繰り出し駆動
部21が直ちには作動開始されず、結果として新たなワ
イヤ12か補給されなくても、エアテンショナ25の存
在による最小たるみは確保され、無理な力か加わること
を防止されている。
11とボンディングツール15の間のワイヤ供給経路に
エアテンショナ25を配置しである。エアテンショナ2
5は、ワイヤ12にエアを吹き付けることにより、常に
一定のたるみをワイヤ12に確保するとともに、ワイヤ
にパックテンションを与えている。これにより、ワイヤ
スプール11とボンディングツール15の間にあるワイ
ヤ12は、ワイヤたるみ検出装置22のワイヤたるみ減
少検出センサ22Aがオンしてワイヤたるみ減少信号を
送出した直後、本発明の制御によりワイヤ繰り出し駆動
部21が直ちには作動開始されず、結果として新たなワ
イヤ12か補給されなくても、エアテンショナ25の存
在による最小たるみは確保され、無理な力か加わること
を防止されている。
次に、上記実施例の作用について説明する。
上記実施例によれば、ワイヤたるみ検出装置22がワイ
ヤたるみ減少信号を出力した時でも、ワイヤ繰り出し制
御装置23は、ワイヤループ形成中てあれば、ワイヤ繰
り出し駆動部21を直ちには作動させない。そして、ワ
イヤ繰り出し制御装置23は、上記ワイヤループの形成
が終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動部
21を作動させてワイヤ12を繰り出し補給しそのたる
みを適正範囲に復元する。
ヤたるみ減少信号を出力した時でも、ワイヤ繰り出し制
御装置23は、ワイヤループ形成中てあれば、ワイヤ繰
り出し駆動部21を直ちには作動させない。そして、ワ
イヤ繰り出し制御装置23は、上記ワイヤループの形成
が終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動部
21を作動させてワイヤ12を繰り出し補給しそのたる
みを適正範囲に復元する。
従って、上記実施例によれば、ワイヤループ形成中に、
ワイヤスプール11から新たなワイヤ12か繰り出し補
給されて、ワイヤループ形成中のワイヤ12に作用して
いた張力か弱まることかなく、結果としてワイヤループ
のたるみが過大となってワイヤループの形成を不安定と
することかない。即ち、ワイヤループ形成中のワイヤ1
2に可及的に一定の張力を及ぼし、ベレット側電極16
とリート側端子17の間に安定したワイヤループを形成
することかてきる。
ワイヤスプール11から新たなワイヤ12か繰り出し補
給されて、ワイヤループ形成中のワイヤ12に作用して
いた張力か弱まることかなく、結果としてワイヤループ
のたるみが過大となってワイヤループの形成を不安定と
することかない。即ち、ワイヤループ形成中のワイヤ1
2に可及的に一定の張力を及ぼし、ベレット側電極16
とリート側端子17の間に安定したワイヤループを形成
することかてきる。
[発明の効果]
以上のように本発明によれば、ワイヤループ形成中のワ
イヤに可及的に一定の張力を・及ぼし、安定したワイヤ
ループを形成することができる。
イヤに可及的に一定の張力を・及ぼし、安定したワイヤ
ループを形成することができる。
第1図は本発明が適用されたワイヤボンディク装置を示
す模式図である。 10・・・ワイヤボンディング装置、 11・・・ワイヤスプール、 12・・・ワイヤ、 15・・・ボンディングツール、 16・・・ベレット側電極、 17・・・リード側端子、 21・・・ワイヤ繰り出し駆動部、 22・・・ワイヤたるみ検出装置、 23・・・ワイヤ繰り出し制御装置。 ン 代理人 弁理士 塩 川 修 治
す模式図である。 10・・・ワイヤボンディング装置、 11・・・ワイヤスプール、 12・・・ワイヤ、 15・・・ボンディングツール、 16・・・ベレット側電極、 17・・・リード側端子、 21・・・ワイヤ繰り出し駆動部、 22・・・ワイヤたるみ検出装置、 23・・・ワイヤ繰り出し制御装置。 ン 代理人 弁理士 塩 川 修 治
Claims (1)
- (1)ワイヤスプールのワイヤをボンディングツールの
側に繰り出すワイヤ繰り出し駆動部を備えるとともに、
ワイヤスプールとボンディングツールの間のワイヤ供給
経路にワイヤたるみ検出装置を設け、ワイヤのたるみが
予め定めてある適正範囲より減少したことがワイヤたる
み検出装置により検出されたことを条件に、ワイヤ繰り
出し駆動部を作動させる制御装置とを有してなるワイヤ
ボンディング装置におけるワイヤ供給装置において、制
御装置は、ボンディングツールがペレット側電極とリー
ド側端子間にワイヤループ形成中でないことを、上記ワ
イヤ繰り出し駆動部を作動させるための優先条件とする
ことを特徴とするワイヤボンディング装置におけるワイ
ヤ供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2168314A JPH0458541A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2168314A JPH0458541A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0458541A true JPH0458541A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15865739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2168314A Pending JPH0458541A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0458541A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010001140A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Brother Ind Ltd | シート材搬送装置、それを備えた画像読取装置さらに画像読取装置を備えた画像記録装置 |
-
1990
- 1990-06-28 JP JP2168314A patent/JPH0458541A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010001140A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Brother Ind Ltd | シート材搬送装置、それを備えた画像読取装置さらに画像読取装置を備えた画像記録装置 |
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