JPH045414A - 排ガス浄化装置 - Google Patents

排ガス浄化装置

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JPH045414A
JPH045414A JP2105022A JP10502290A JPH045414A JP H045414 A JPH045414 A JP H045414A JP 2105022 A JP2105022 A JP 2105022A JP 10502290 A JP10502290 A JP 10502290A JP H045414 A JPH045414 A JP H045414A
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存 小渕
Atsushi Ogata
敦 尾形
Hideo Ouchi
日出夫 大内
Koichi Mizuno
水野 光一
Heigoro Aoyama
青山 兵五郎
Akihiko Oi
明彦 大井
Seiji Makino
誠二 牧野
Yoshikazu Takahashi
高橋 嘉一
Kiyohide Yoshida
吉田 清英
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Riken Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は環境上問題となる排ガス中の微粒子を捕捉する
排ガス浄化装置に係り、更に詳しくはディーゼルエンジ
ンの排ガス中の窒素酸化1Fl(NOx)や微粒子状炭
素物!(パティキュレート)あるいはボイラーの排ガス
中の煤などを捕捉するフィルタを備えた排ガス浄化装置
に関する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕ディー
ゼルエンジンの排ガス中に含まれるNOxやパティキュ
レート、あるいはボイラーの排ガス中の煤などは環境上
問題となるので、しばしばフィルタを用いて除去される
。その場合、限界以上に微粒子を捕捉し目詰まりしたフ
ィルタは、新しいものと交換するか、あるいは、捕捉し
た微粒子を何らかの方法で除去して再生する必要がある
例えば、コージェライトなどの耐熱性の高いセラミック
スや金属メソシュからなるフィルタを用いた場合、バー
ナや電気ヒータなどの熱源によって、堆積した微粒子を
焼却することが従来がら行なわれている。しかしその場
合、燃焼によってフィルタの損壊や溶損を招き易いので
、微粒子の堆積量や排ガス中の酸素量を制限しなければ
ならない。
ディーゼルエンジンの排ガスを浄化する目的で、微粒子
の堆積量を制御しつつ自動的な焼却を行なうには、堆積
による排圧の変化を検出して熱源を作動させる必要があ
った。しかしその方法によれば、検出レベルを高速運転
に伴なう高圧時に熱源が作動するように合わせると、低
速運転が続いたときには熱源が作動せずにフィルタが目
詰まりを起こし易く、逆に低圧時に検出レベルを合わせ
ると、熱源の無駄な作動が多くなる。特に前者の場合は
燃費の悪化をもたらす。
この問題を解決するため、フィルタを再生する1つの方
法として、絶縁材料で作ったフィルタに電極を取付け、
電極が導電性の微粒子を介して導通したとき、通電で発
生した熱を利用して微粒子を焼却する方法がある(特開
昭57−203812号)。
第5図はこの原理を用いた従来技術の排ガス浄化装置の
一例で、全体がポーラス状の物質から成る絶縁材料のフ
ィルタ1に電極棒2を埋め込んだものを示す。この排ガ
ス浄化装置では、広い部分にわたって堆積した微粒子を
電気導通により完全に焼却することは困難であり、従っ
て目詰まり(斜線部分)を完全に解消することは事実上
不可能である。
第6図は、別の従来技術の排ガス浄化装置を示したもの
で、絶縁材料でできたフィルタ1の両端面に電極2.2
を配置したものである。この場合、フィルタの入口側端
面近くに微粒子が堆積しやすいため、電極間が導通する
前に目詰まり(斜線部分)を起こしやすい。これを解消
しようとして、電極間の電圧を上げると、局所的に過大
な電流が流れ、フィルタを損壊させてしまう。
また、第7図に示すような従来技術の排ガス浄化装置の
場合、円柱形状のフィルタ1に多数の貫通孔11が設け
られ、各々の貫通孔11の一方の口は電極板12で塞が
れ、さらに貫通孔11の内壁には電極線13が設けられ
ている。このフィルタにおいて、電極間が導通するとフ
ィルタ1のほぼ全域での焼却が可能なため、上述のよう
な目詰まりは起こりにくい。しかし、電極線13が排気
の妨げとなるし、また電極線13を貫通孔11に挿入し
てフィルタに密着させる作業が困難である。
従って本発明の目的は、排ガス中に含まれる環境上有害
な微粒子をフィルタで捕捉するとともに、フィルタを効
率良く再生することが可能で、特にディーゼルエンジン
等の排ガス中に含まれるパティキュレートを効率的に燃
焼するとともに、他の有害ガス成分である未燃焼炭化水
素(以下HCと呼ぶ)とCO,NOxなどを浄化する機
能を有する排ガス浄化装置を提供することである。
〔課題を解決するための手段] 上記課題に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は、電気絶縁
性のフィルタと電極を交互に積層し、捕捉された微粒子
を通電により焼却する構造の排ガス浄化装置において、
エツチングにより凹凸を形成したフィルタ表面に触媒を
担持させることにより、良好な排ガス浄化効果を発揮す
ることができることを発見し、本発明を完成した。
すなわち、本発明の排ガス浄化装置は、不燃性かつ電気
絶縁性の材料からなり排ガス中に浮遊する微粒子を捕捉
するフィルタと、前記フィルタと交互に積層された電極
とを有し、隣接する電極間に電圧をかけておくことによ
り、前記フィルタに電気伝導性かつ燃焼性の微粒子が捕
捉されると、通電により加熱されてフィルタ内で随時焼
却されるもので、エツチング処理により微細な凹凸が形
成された前記フィルタの表面に触媒が担持されているこ
とを特徴とする。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を、図面を参照して詳細に説明す
る。
第1図は本発明の一実施例による排ガス浄化装置の断面
図である。その構成を説明すると、排気通路3の途中に
、絶縁体4を介して導電性を有する電極2と多孔質のフ
ィルタ1が、交互に積層さた状態で、ハウジング5内に
保持されている。
フィルタ1と電極2は、第2図に示すように、中空円板
型の形状をしている。フィルタ1は薄いほど電極2に負
荷する電圧が低くて済むが、パティキュレートの捕集効
率を良くし、また製造コストを低くするためには、II
W1以上の厚さを有するのが望ましい。電極の形態とし
ては、第2図に示すような金’142a、パンチメタル
板2b、平板20などが良い。これらフィルタと電極に
よる積層体の中空部下面を絶縁性の遮蔽板6で塞ぎ、ボ
ルトでハウジング5に固定している。
第1図に戻って、各々の電極2はフィルタ1の端に一つ
おきに結線されていて、一方の組は接地電極7とし、他
方の組は非接地電極8として、フィルタをはさんで隣り
あう電極間に電圧がかかるようになっている。フィルタ
1には、コージェライト、ムライト等のセラミックスや
石英、ガラスウール等、絶縁性及び耐熱性の高い材料が
用いられる。電極2の材料は、エネルギー損失が小さく
、耐熱性及び耐食性を有し、かつ安価なものであること
が望ましい。絶縁体4は、常に排気ガス流にさらされる
ため、耐熱性、耐食性及び低膨張性を有する材料からな
ることが必要で、コージェライト、ムライト等のセラミ
ックスが望ましい。ハウジング5は耐熱、耐食性と強度
を有する材料が望ましく、例えばステンレス鋼が用いら
れる。 フィルタ1の表面には、第3図に示すように、
多数の微細な突起15が形成されていて、突起15には
触媒17が付着している。突起15を形成するには、触
媒17を付着させる前に、プラズマエツチングを含むス
パッタエツチングや、酸あるいはアルカリ等による化学
腐食によってエッチビットを形成する。
それらエッチピットの形成されない部分が残って突起1
5となる。突起15の大きさは、平均直径がサブミクロ
ンのオーダーで、アスペクト比(長さ/直径)が10以
下、特に8〜4であるのが好ましい。
突起I5による微細な凹凸の形成によりフィルタの表面
積が増大し、触媒の担持量が増加する。また、触媒の分
散度と固定度も扁くなるので、触媒作用が良好となる。
触媒I7は、スパッタリング法や電気メツキ法あるいは
無電解メツキ法等で突起15に付着させることによって
、フィルタ1に担持させる。触媒としては、パティキュ
レートの着火と燃焼を促進し、CO,HCの酸化除去、
及びHCとパティキュレートによるNOxの還元を、比
較的低温度で促進させる触媒特性を有するものを用いる
のが好ましい。特に、Pt、 Pd、 I?h等のpt
族元素が好ましく、それらを混合して用いてもよい。ま
た、それらの元素に加えてAu又はAgを担持させるこ
ともできる。さらに、無電解メンキ法によれば、Co−
Fe 、 Co−Ni−Mn−Re、N1−Co−P 
、 N1−Fe−P等の合金やアモルファス合金も、触
媒として担持させることができる。
次に作用を説明する。第1図に矢印で示しであるように
、排気通路の上流側から下流側へパティキュレート等の
微粒子やHC,NOx 、 GO等の有害ガス成分を含
む気体を流すと、気体がフィルタ1内を内周側から外周
側へ通過する間に微粒子がフィルタによって捕捉される
。微粒子がしだいに堆積してくると、隣り合う電極2.
2間に電圧をかけておくことにより、微粒子を介して導
通が起こり、その電流によって発生する熱で微粒子は焼
却される。この後、微粒子の焼却により導通は断たれ、
電流による熱の発生も停止する。上記作用と同時に、フ
ィルタ1に担持された触媒によって微粒子の燃焼が促進
され、HC,NOx 、 Coも浄化される。
本発明では、フィルタ1と電極2を交互に積層したこと
により、電極2がフィルタ1の入口面から出口面にかけ
て貫通しているので、微粒子がフィルタのどの部分に堆
積しても、微粒子を介しての導通、それによる微粒子の
焼却が実現される。
それと同時に各フィルタの接触担持表面にはエツチング
により微細な凹凸が形成されているので、排ガスとの接
触面積が大きく、排ガス浄化特性が向上している。
なお、第1図において、排気通路を前記実施例とは逆の
方向にしても良い。その場合、気体はフィルタl内を外
周側から内周側へ通過するが、作用効果は上述のものと
同様である。
第4図は、本発明の他の実施例による排ガス浄化装置を
示す。この場合、一端を封じ側壁のフィルタに相当する
位置に***10をあけた耐熱性のセラミック管9を中心
にして、フィルタ1と電極2を積み上げ、積層状にして
いる。このようにすることによって、より高温の排ガス
を適用することができる。また装置全体の強度も高まる
本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明する。
実】l随1 第4図に示す装置において、フィルタ1として、ムライ
トを厚さ11II11のドーナツ状に成形したものを用
いた。成形後、スパッタリング装置内にフィルタを基板
としてセットし、1.OX 102Torrの0□分圧
を有する雰囲気中で、出力200−の高周波電力を用い
て、30分間プラズマエツチング処理を行った。処理後
、フィルタの内外周の表面に、平均直径が約0.1uH
Iの突起が形成された。
次いで、フィルタを約3.5rpmの速度で回転させな
がら、ptのスパッタリングを行い、フィルタ表面の突
起上に、平均膜厚20〜30人のptを担持させた。
電極2は、接地電極として第2図の23で示す金網状で
銅製のものを、また非接地電極として第2図の20で示
す平板状でステンレス鋼製のものを、共に厚さ1m++
にして用いた。セラミック管9はコージェライトから作
成した。
これらの部材を用いて組み立てた排ガス浄化装置を、3
■/分のパティキュレートを発生するディーゼルエンジ
ンの排気通路の途中に設置した。
エンジンの運転中、電極間に35Vの直流電圧をパルス
状に印加して、ハウジング5の入口と出口での排ガスの
圧力差(圧力損失)を測定した。電流が一定の最大値に
達すると同時にパティキュレートの燃焼が起きて、その
直後に電流値が降下するので、そのときの最大圧力損失
を検出した。その結果を第1表に示す。
それと同時に、排ガス温度が250°Cのときに、浄化
装置の入口と出口での排ガス中のCO及び肛の濃度を連
続的に分析した。その結果を第1表に合わせて示す。
夫施撚I 実施例1と同様にしてフィルタをプラズマエツチング処
理した後、無電解メツキ法により、フィルタ表面の突起
上に、平均膜厚20人のPdを担持させた。
このフィルタを用いた浄化装置で、実施例1と同様にし
て、排ガスの圧力損失と、排ガス中のCO及びICの濃
度を分析した。その結果を第1表に合わせて示す。
止較勇上ニュ 比較例1:実施例1と同様のムライト製のフィルタであ
るが、触媒の担持は行わないフィルタ。
比較例2:実施例1と同様のムライト製のフィルタであ
るが、エツチング処理を行わずに、ptをスパッタリン
グにより表面に担持させたフィルタ。
比較例3:実施例1と同様のムライト製のフィルタであ
るが、エツチング処理を行わずに、Pdを無電解メ・7
キ法により表面に担持させたフィルタ。
以上の比較例1〜3のフィルタを用いた浄化装置をそれ
ぞれ組立て、実施例1と同様にして、排ガスの圧力損失
と、排ガス中のCO及びHCの濃度を分析した。その結
果を第1表に合わせて示す。
第   1   表 第1表に示された通り、実施例1及び2の排ガス浄化装
置を用いた場合、比較例よりも圧力損失が小さく、パテ
ィキュレートの焼却が効果的に行われたことがわかる。
また、COとHCの浄化も高い効率で行われた。
〔発明の効果〕
以上説明した通り、本発明の排ガス浄化装置は、排ガス
中のパティキュレート等の燃焼性微粒子の捕捉と焼却を
随時行ない、しかも微粒子の焼却がフィルタ全域で可能
なので、フィルタを目詰まりさせることなく効率良く再
生することができる。
またフィルタ内に触媒が高濃度に担持されているので、
パティキュレートの着火性が高まり、NOx 、 HC
,Co等の有害ガス成分も同時に浄化される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による排ガス浄化装置を示す
断面図であり、 第2図は本発明の排ガス浄化装置に用いるフィルタ及び
電極の例を示す斜視図であり、第3図は触媒を担持した
フィルタ表面の状態を示す拡大断面図であり、 第4図は本発明の他の実施例による排ガス浄化装置を示
す断面図であり、 第5図、第6図および第7図はそれぞれ従来の排ガス浄
化装置を示す断面図である。 1・ ・ ・フィルタ 2・・・電極 3・・・排気通路 5・・・ハウジング 7・・・接地電極 8・・・非接地電極 9・・・セラミック管 15・・・突起 17・・・触媒 出 願 人  工業技術院長 杉 浦  賢株式会社リ
ケン 復代理人   弁理士   高 石  橘 馬第5図 電源へ 第4図 @現へ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)不燃性かつ電気絶縁性の材料からなり排ガス中に
    浮遊する微粒子を捕捉するフィルタと、前記フィルタと
    交互に積層された電極とを有し、隣接する電極間に電圧
    をかけておくことにより、前記フィルタに電気伝導性か
    つ燃焼性の微粒子が捕捉されると、通電により加熱され
    てフィルタ内で随時焼却される排ガス浄化装置において
    、エッチング処理により微細な凹凸が形成された前記フ
    ィルタの表面に触媒が担持されていることを特徴とする
    排ガス浄化装置。
  2. (2)請求項1に記載の排ガス浄化装置において、前記
    フィルタ内での排ガスの流れ方向が、前記フィルタと前
    記電極の積層面に平行となることを特徴とする排ガス浄
    化装置。
  3. (3)請求項1又は2に記載の排ガス浄化装置において
    、前記フィルタと前記電極は、ともに中空円板型の形状
    を有することを特徴とする排ガス浄化装置。
  4. (4)請求項3に記載の排ガス浄化装置において、前記
    中空の部分にセラミック管が挿入されていることを特徴
    とする排ガス浄化装置。
JP2105022A 1989-08-01 1990-04-20 排ガス浄化装置 Pending JPH045414A (ja)

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JP2105022A JPH045414A (ja) 1990-04-20 1990-04-20 排ガス浄化装置
US07/560,556 US5141714A (en) 1989-08-01 1990-07-31 Exhaust gas cleaner

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JP2105022A JPH045414A (ja) 1990-04-20 1990-04-20 排ガス浄化装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003103130A (ja) * 2001-09-28 2003-04-08 Nippon Kouatsu Electric Co 粒子状物質除去方法及び粒子状物質除去装置
KR100503127B1 (ko) * 1996-10-30 2005-09-26 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판처리장치의인-시튜진공라인을세척하기위한마이크로파장치
US7211227B2 (en) 2002-03-19 2007-05-01 Hyundai Motor Company Plasma reactor, production method thereof, and emission control apparatus of a vehicle

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JP2003103130A (ja) * 2001-09-28 2003-04-08 Nippon Kouatsu Electric Co 粒子状物質除去方法及び粒子状物質除去装置
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