JPH0452641A - Formation of mask original plate for forming electrode body of fluorescent display tube - Google Patents
Formation of mask original plate for forming electrode body of fluorescent display tubeInfo
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方
法、詳しくはフォト作画機にてフラッシュモード／ドロ
ーモードを切り換えることによりガラス原版上にパター
ン描画を行うようにしたマスク原版の作成方法に関する
。[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention relates to a method for creating a mask original plate for making an electrode body of a fluorescent display tube. The present invention relates to a method for creating a mask original plate in which a pattern is drawn on the mask.
〈従来の技術〉
蛍光表示管は、所定パターンの透明な電極体（陽極体）
上に蛍光物質を塗布し、陰極から放射された電子を数十
ボルトの低速でこの電極体に選択的に衝突させ、その可
視発光で文字、数字等を表示するものである。<Conventional technology> A fluorescent display tube has a transparent electrode body (anode body) with a predetermined pattern.
A fluorescent material is coated on the electrode body, and electrons emitted from the cathode selectively collide with the electrode body at a low speed of several tens of volts, and the visible light is used to display letters, numbers, etc.
したがって、この電極体は、文字、図形等を表示可能な
ように、その金属板電極部分がデジット枠により複数の
部分に分割されている。そして、それらの分割部分には
メツシュパターンが形成され、蛍光物質が塗布されてい
る。Therefore, the metal plate electrode portion of this electrode body is divided into a plurality of portions by a digit frame so that characters, figures, etc. can be displayed. A mesh pattern is formed in these divided portions, and a fluorescent material is coated.
このような電極体のパターン形成は、第５図（Ａ）〜（
Ｄ）に示すように、金属板５２上にレジスト５３を被着
する。そして、この上にガラス製のマスク原版５４を密
着して載置する。このマスク原版５４はガラス板５４Ａ
と所定パターンのフォトレジスト５４Ｂとからなる。Pattern formation of such an electrode body is performed as shown in FIGS.
As shown in D), a resist 53 is deposited on the metal plate 52. Then, a mask original plate 54 made of glass is placed on this in close contact. This mask original 54 is a glass plate 54A.
and a predetermined pattern of photoresist 54B.
このマスク原版５４の上方から光を照射してレジスト５
３をバターニングし、このレジスト５３を介して電極体
の金属板５２をエツチングする。Light is irradiated from above this mask original plate 54 to form a resist 5.
3 is patterned, and the metal plate 52 of the electrode body is etched through this resist 53.
この結果、電極体には所定パターンの電極が形成される
こととなる。なお、５１はエツチングストッパ層を構成
する例えばニスである。As a result, a predetermined pattern of electrodes is formed on the electrode body. Note that 51 is, for example, varnish constituting the etching stopper layer.
そして、この電極体作成用マスク原版の作成方法として
は、従来より以下の方法によっていた。Conventionally, the following method has been used to create the mask original for forming the electrode body.
すなわち、原版用のガラス板に感光性樹脂（フォトレジ
スト）を被着し、このフォトレジストの上から所定のマ
スクを介して光を照射する。そして、このフォトレジス
トを現像することにより所望パターンのフォトレジスト
を被着したカラス原版を作成していた。That is, a photosensitive resin (photoresist) is applied to a glass plate for an original plate, and light is irradiated onto the photoresist through a predetermined mask. By developing this photoresist, a glass original plate coated with a desired pattern of photoresist was created.
この原版上のフォトレジストパターンは、デジット枠と
、このデジット枠内に形成されたメツシュ状のパターン
（メツシュパターン）と、から構成されている。The photoresist pattern on this original plate is composed of a digit frame and a mesh pattern (mesh pattern) formed within the digit frame.
そして、上記フォトレジストへの光の照射は、フォト作
画機によって行われている。第６図はこのフォト作画機
を示している。Irradiation of light onto the photoresist is performed by a photo drawing machine. Figure 6 shows this photo drawing machine.
このフォト作画機は、光源６１からの光をアパーチャ（
マスク）６２を介してテーブル６３上に載置されたマス
ク原版６４に照射するものであるが、このとき光源６１
から光を照射しながら光源６１に対してテーブル６３を
水平方向に相対的に移動することにより、パターン描画
を行っていた。This photo drawing machine uses light from a light source 61 to pass through an aperture (
The light source 61 is used to irradiate the mask original plate 64 placed on the table 63 through the light source 62 (mask) 62.
Pattern drawing was performed by moving the table 63 horizontally relative to the light source 61 while irradiating light.
すなわち、フォト作画機はドローモードによりデジット
枠、メツシュパターンの線を描いていたものである。な
お、このフォト作画機はフラッシュモードにおいては、
マスク原版を載置したテーブルを光源に対して位置決め
固定して露光するものである。このフラッシュモードで
は長い線分を作画するには不適である。なお、６５．６
６はレンズである。６７はマスク原版６４上に塗布され
たフォトレジストである。In other words, the photo drawing machine used a draw mode to draw lines for digit frames and mesh patterns. In addition, this photo drawing machine does not work in flash mode.
A table on which a mask original is placed is positioned and fixed relative to a light source for exposure. This flash mode is not suitable for drawing long line segments. In addition, 65.6
6 is a lens. 67 is a photoresist coated on the mask original 64.
〈発明の目的〉
そこで、本発明は、描画時間を大幅に短縮することがで
きるとともに、線幅のばらつきの少ないパターンを形成
することができる蛍光表示管の電極体作成用マスク原版
の作成方法を提供することを、その目的としている。<Purpose of the Invention> Therefore, the present invention provides a method for creating a mask original for creating an electrode body of a fluorescent display tube, which can significantly shorten drawing time and form a pattern with less variation in line width. Its purpose is to provide.
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような従来の蛍光表示管の電極体作
成用マスク原版の作成方法にあっては、このマスク原版
を作成するのに、例えば４０時間乃至６０時間程度の時
間がかかるという不具合があった。また、フォト作画機
にあってはドローモードにより照射する光を位置合わせ
しながら移動させるため、作成した線幅のばらつきが大
きい、例えば１０μｍ程度のばらつきが生じるという不
具合もあった。この結果、このマスク原版を使用して作
成した電極体を用いた場合、その蛍光表示管上で輝度の
ばらつき、むら等を生じていた。<Problems to be Solved by the Invention> However, in such a conventional method of creating a mask master for producing an electrode body of a fluorescent display tube, it takes, for example, about 40 to 60 hours to create the mask master. There was a problem that it took a long time. Furthermore, since the photo-drawing machine uses the draw mode to move the irradiated light while aligning the position, there is a problem in that the width of the created line varies widely, for example, by about 10 μm. As a result, when an electrode body prepared using this mask original was used, variations in brightness, unevenness, etc. occurred on the fluorescent display tube.
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、ガラス板上に被着した感光性樹脂にフォト作
画機により光を照射し、デジット枠とこのデジット枠に
囲まれたメツシュパターンとをこのガラス板上に作成す
る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法にお
いて、上記フォト作画機においてドローモードを使用し
、上記デジット枠用のパターンを上記ガラス板上に描画
するとともに、このフォト作画機におけるフラッシュモ
ードにより上記メツシュパターンをガラス板上に描画す
る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法であ
る。<Means for Solving the Problems> The present invention irradiates light onto a photosensitive resin coated on a glass plate using a photo drawing machine, and forms a digit frame and a mesh pattern surrounded by the digit frame on the glass plate. In the method for creating a mask original for creating an electrode body of a fluorescent display tube on a board, the photo drawing machine uses the draw mode to draw a pattern for the digit frame on the glass plate, and also draws the pattern for the digit frame on the glass plate. In this method, the mesh pattern is drawn on a glass plate using a flash mode in a machine, thereby creating a mask original for forming an electrode body of a fluorescent display tube.
また、本発明は、上記メツシュパターンは多角形の連続
体で構成されるとともに、このメツシュパターンは上記
フォト作画機において上記多角形の一部を構成する連続
する複数連からなる固定アパーチャを使用して描画した
蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法である
。Further, in the present invention, the mesh pattern is composed of a series of polygons, and the mesh pattern has a fixed aperture consisting of a plurality of continuous series forming a part of the polygon in the photo drawing machine. This is a method for creating a mask original plate for creating an electrode body of a fluorescent display tube, which is drawn using the following method.
〈作用〉
本発明に係る蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作
成方法にあっては、デジット枠のパターンをこのフォト
作画機におけるドローモードにより描画するとともに、
そのフラッシュモードによってメツシュパターンを描画
する。この結果、長い線分はドローモードにより効率よ
く、また、複雑なパターンは短時間の露光の繰り返しに
よって正確に描くことができる。したがって、描画時間
を全体として大幅に短縮することができた。また、複雑
なメツシュパターンについてもその描画したパターンの
線幅のバラツキは少ないものである。<Function> In the method for creating a mask original for creating an electrode body of a fluorescent display tube according to the present invention, a digit frame pattern is drawn in the draw mode of this photo drawing machine, and
A mesh pattern is drawn using the flash mode. As a result, long line segments can be drawn efficiently using the draw mode, and complex patterns can be drawn accurately by repeating short exposures. Therefore, the overall drawing time could be significantly shortened. Further, even in the case of a complicated mesh pattern, there is little variation in the line width of the drawn pattern.
また、本発明方法では、上記フォト作画機において所定
の固定アパーチャを使用して上記メツシュパターンを描
画している。このため、メツシュパターンにおける描画
時間をさらに短縮することができた。Further, in the method of the present invention, the mesh pattern is drawn using a predetermined fixed aperture in the photo drawing machine. Therefore, it was possible to further shorten the drawing time for the mesh pattern.
〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。<Example> Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図〜第４図は本発明の一実施例を説明するための図
である。1 to 4 are diagrams for explaining one embodiment of the present invention.
この実施例に係るマスク原版の作成方法は、まず、所定
大きさ、厚さの透明なガラス板上に所定厚さのフォトレ
ジストを塗布する。このフォトレジストはネガ形でもポ
ジ形であってもよい。In the method for creating a mask original according to this embodiment, first, a photoresist of a predetermined thickness is coated on a transparent glass plate of a predetermined size and thickness. This photoresist may be negative or positive tone.
そして、このようにして作成されたマスク原版用のガラ
ス板を、フォト作画機（第６図参照）の可動テーブル上
に位置決めして載置する。Then, the glass plate for the mask original created in this manner is positioned and placed on the movable table of the photo-drawing machine (see FIG. 6).
このフォト作画機は、フラッシュモードとドローモード
との２つのモードによって駆動されるものである。フラ
ッシュモードは、テーブルと光源との位置決め後、露光
するもので、ドローモードは光源からテーブルに向かっ
てビームを照射しながら（光源のシャッタを開いた状態
で）その光源とテーブルとが相対的に移動するものであ
る。This photo drawing machine is driven in two modes: a flash mode and a draw mode. In flash mode, exposure is performed after positioning the table and light source, and in draw mode, while irradiating a beam from the light source toward the table (with the shutter of the light source open), the light source and table are exposed relative to each other. It is something that moves.
そして、第１図に示すように電極体１１に対してその上
に密着されるマスク原版１２は、枠パターン１３とデジ
ット枠１４と、メツシュパターン１５と、をその上に形
成する必要がある。この場合、これらのパターンはガラ
ス板上に塗布したフォトレジストをパターン露光するこ
とにより作成する。As shown in FIG. 1, the mask original 12 that is closely attached to the electrode body 11 needs to have a frame pattern 13, a digit frame 14, and a mesh pattern 15 formed thereon. . In this case, these patterns are created by pattern-wise exposing a photoresist coated on a glass plate.
すなわち、デジット枠１４は上記フォト作画機のドロー
モードにより作成するとともに、メツシュパターン１５
はフラッシュモードにより作成するものである。That is, the digit frame 14 is created using the draw mode of the photo drawing machine, and the mesh pattern 15 is
is created using flash mode.
第２図および第３図はメツシュパターン１５を示してい
る。これらの図に示すように、メツシュパターン１５は
６角形の連続体であって、第４図に示すような固定アパ
ーチャ４１によって作成される。この固定アパーチャ４
１は６角形の半分の線分の連続体で構成され、その連結
部分はセリフが形成されている。このセリフはエツチン
グ時の補正のためのものである。セリフを介して形成し
たレジストの孔は、エツチングにより金属膜がその連結
、屈曲部分て過度に広くエツチングされることを未然に
防止するものである。なお、セリフを形成するため、こ
の固定アパーチャ４１は略８角形の孔の連続体として構
成されている。2 and 3 show mesh pattern 15. FIG. As shown in these figures, the mesh pattern 15 is a hexagonal continuum and is created by a fixed aperture 41 as shown in FIG. This fixed aperture 4
1 is made up of a series of half-line segments of a hexagon, and the connecting parts form serifs. This line is for correction during etching. The holes in the resist formed through the serifs prevent the metal film from being etched excessively wide at its connecting and bent portions. Note that, in order to form a serif, the fixed aperture 41 is configured as a series of approximately octagonal holes.
したがって、このメツシュパターン１５を作成する場合
にはこの固定アパーチャ４１を介して光源からビームを
テーブル上のガラス板に照射することを繰り返す。例え
ば、テーブルを駆動して固定アパーチャ４１に対する位
置を変えてフラッシュ露光を繰り返すことにより６角形
のパターンを順番に形成していくものである。Therefore, when creating the mesh pattern 15, the glass plate on the table is repeatedly irradiated with a beam from the light source through the fixed aperture 41. For example, a hexagonal pattern is sequentially formed by driving the table to change its position relative to the fixed aperture 41 and repeating flash exposure.
その後、レジストを現像して露光により硬化した部分を
除去することによりガラス板上に上記所定のパターンの
レジストが形成されるものである。Thereafter, the resist is developed and the portions hardened by exposure are removed, thereby forming the resist in the predetermined pattern on the glass plate.
これをマスク原版として電極体のレジストパターンの形
成に使用するものである。This is used as a mask original for forming a resist pattern of an electrode body.
〈効果〉
以上説明してきたように、本発明によれば、描画時間を
短縮することができ、かつ、線幅の精度も高めることが
できた。例えば描画時間は従来の場合の１／１０程度（
４時間乃至５時間）に、線幅も従来の１１５程度（２μ
ｍ程度）のバラツキに抑えることができた。<Effects> As described above, according to the present invention, drawing time can be shortened and accuracy of line width can also be improved. For example, the drawing time is about 1/10 of the conventional case (
4 to 5 hours), and the line width is about 115 (2μ) compared to the conventional one.
It was possible to suppress the variation to about 100 m).
第１図は本発明に係る蛍光表示管の電極体作成用マスク
原版の作成方法の一実施例に係るマスク原版のメインパ
ターンを示す正面図、第２図はそのマスク原版の一部分
を拡大して示す拡大図、第３図は同じく一実施例に係る
マスク原版のメツシュパターン部分を示す拡大図、第４
図は一実施例に係るフォト作画機の固定アパーチャを示
す図、第５図（Ａ）〜（Ｄ）は従来からの電極体の作成
方法を説明するための工程図、第６図は従来からのフォ
ト作画機の概略構成を示す概念図である。FIG. 1 is a front view showing the main pattern of a mask original according to an embodiment of the method for producing a mask original for producing an electrode body of a fluorescent display tube according to the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged view of the mask original. FIG. 3 is an enlarged view showing a mesh pattern portion of a mask original according to an embodiment, and FIG.
The figure shows a fixed aperture of a photo drawing machine according to one embodiment, Figures 5 (A) to (D) are process diagrams for explaining a conventional method of producing an electrode body, and Figure 6 shows a conventional method for producing an electrode body. 1 is a conceptual diagram showing a schematic configuration of a photo drawing machine.
Claims (2)
により光を照射し、デジット枠とこのデジット枠に囲ま
れたメッシュパターンとをこのガラス板上に作成する蛍
光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法において
、 上記フォト作画機においてドローモードを使用して上記
デジット枠用のパターンを上記ガラス板上に描画すると
ともに、 このフォト作画機におけるフラッシュモードにより上記
メッシュパターンをガラス板上に描画することを特徴と
する蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法。(1) Electrode body of a fluorescent display tube in which a digit frame and a mesh pattern surrounded by the digit frame are created on the glass plate by irradiating a photosensitive resin coated on a glass plate with light using a photo drawing machine. In the method for creating a mask original plate, the pattern for the digit frame is drawn on the glass plate using the draw mode in the photo drawing machine, and the mesh pattern is drawn on the glass plate using the flash mode in the photo drawing machine. A method for producing a mask original plate for producing an electrode body of a fluorescent display tube, characterized in that drawing is performed on the mask.
れるとともに、このメッシュパターンは上記フォト作画
機において上記多角形の一部を構成する連続する複数辺
からなる固定アパーチャを使用して描画した請求項１に
記載の蛍光表示管の電極体作成用マスク原版の作成方法
。(2) The above mesh pattern is composed of a continuum of polygons, and this mesh pattern was drawn using the photo drawing machine using a fixed aperture consisting of a plurality of consecutive sides that constitute a part of the above polygon. A method for producing a mask original for producing an electrode body of a fluorescent display tube according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2163905A JPH0452641A (en) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | Formation of mask original plate for forming electrode body of fluorescent display tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2163905A JPH0452641A (en) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | Formation of mask original plate for forming electrode body of fluorescent display tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452641A true JPH0452641A (en) | 1992-02-20 |
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ID=15783056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2163905A Pending JPH0452641A (en) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | Formation of mask original plate for forming electrode body of fluorescent display tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452641A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6171209B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-01-09 | Borg-Warner Automotive K.K. | Back drive type silent chain |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP2163905A patent/JPH0452641A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6171209B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-01-09 | Borg-Warner Automotive K.K. | Back drive type silent chain |
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