JPH044310A - 動圧型気体軸受装置 - Google Patents

動圧型気体軸受装置

Info

Publication number
JPH044310A
JPH044310A JP2101963A JP10196390A JPH044310A JP H044310 A JPH044310 A JP H044310A JP 2101963 A JP2101963 A JP 2101963A JP 10196390 A JP10196390 A JP 10196390A JP H044310 A JPH044310 A JP H044310A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sleeve
shaft body
gas
groove
bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2101963A
Other languages
English (en)
Inventor
Takafumi Asada
隆文 浅田
Hiroyuki Funadokoro
船所　宏行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2101963A priority Critical patent/JPH044310A/ja
Priority to KR1019910006122A priority patent/KR950000921B1/ko
Priority to US07/687,405 priority patent/US5120139A/en
Publication of JPH044310A publication Critical patent/JPH044310A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10—Construction relative to lubrication
    • F16C33/1005—Construction relative to lubrication with gas, e.g. air, as lubricant
    • F16C33/101—Details of the bearing surface, e.g. means to generate pressure such as lobes or wedges
    • F16C33/1015—Pressure generating grooves
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/16—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields
    • H02K5/167—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings
    • H02K5/1677—Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings radially supporting the rotor around a fixed spindle; radially supporting the rotor directly

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ポリゴンミラースキャナ等の主軸部に用いら
れる動圧発生溝を有する動圧型気体軸受装置に関し、軸
受の周囲のモータ等から発生したゴミの軸受隙間への混
入による焼は付きの無い信頼性の高い動圧型気体軸受装
置に関するものである。
従来の技術 従来から、動圧型気体軸受装置としては、種々の構成が
提案されており、例えばポリゴンミラースキャナに適用
したものとしては、第５図に示すものが知られている。
以下図面を参照しながら、上述した従来の動圧型気体軸
受装置の一例について説明する。第５図は、従来の動圧
型気体軸受装置の断面図である。
１２は本体でその中央部に軸体１３が固定されている。
この軸体１３にはスリーブ１４が適切な隙間をあけて回
転自在にはめ合わされている。軸体１３の外周にはへリ
ングボーン状の動圧発生溝１３ａ、１３ｂと、ヘリカル
状の動圧発生溝１３Ｃが形成されている。本体１２には
、モータ１７のステータ１５が固定され、スリーブ１４
にはロータ１６が固定されている。スリーブ１４の上部
には絞り孔１８ａを有するスラスト受は部材１８が固定
され、スリーブ１４のフランジ部１４ａにはポリゴンミ
ラー１９が固定板２０を介してネジ等により固定されて
いる。２１の防塵カバーと２１Ａの磨きガラスはポリゴ
ンスキャナーの外部からのゴミの侵入を防止するもので
ある。
以上のように構成された動圧型気体軸受装置について、
以下その動作について説明する。まず、モータ１７に通
電され回転が始まるさ、動圧発生溝１３ａ、１３ｂのボ
ンピング作用によりスリーブ１４は無接触で回転する。
また停止中には軸体１３とスラスト受は部材は接触をし
ているが回転によりヘリカル状の動圧発生溝１３ｃのボ
ンピング作用により、絞り孔１８ａから排出されるとき
に矢印へ方向の支持力を発生し浮上する。尚、レーザー
光が磨きガラス２１Ａを通過して図中りから入光しポリ
ゴンミラー１９が反射する。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、次の様な問題点が
ある。即ち、第５図の従来例では、回転中に軸体１３の
ヘリカル状の動圧発生溝１３ｃにより軸受周辺の気体を
スリーブ１４と本体１２の隙間から図中矢印Ｂ方向に吸
い込むが、この時周辺の、例えばステータ１５のコイル
用絶縁被膜から発生した数ミクロンメータ程度の微粒子
が軸体１３とスリーブ１４の間の軸受隙間にかみこみ、
軸受を焼き付かせる事があった。
本発明は上記問題点に鑑み、ゴミ、微粒子の混入による
焼は付きの無い動圧型気体軸受装置を提供するものであ
る。
課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の動圧型気体軸受装
置は、片持ち支持された軸体を有し、その外周にヘリン
グボーン溝と、その最高圧力部に周溝を有し、その周溝
と軸自由端の端面に連通ずる穴を有し、軸体に回転自在
で端部に蓋を有するスリーブを有し、軸体と蓋の間の少
なくとも軸体よりも小径な当接面に前期最高圧力部の気
体を吹き出すように構成したものである。
作　　　用 本発明は、上記した構成によって、密閉されたスリーブ
の中で圧力発生を行なうので、スリーブの外部からは、
はとんど気体を吸い込まないため、軸受部へのゴミの混
入が無く気体軸受の信頼性が高い。
実施例 以下本発明の一実施例の動圧型気体軸受装置をポリゴン
スキャナに適用した一実施例について、第１図〜第４図
を参照しながら説明する。第１図において、１は本体で
、その中央部に軸体２の下端部が固定されている。軸体
２の外周は、２ａに示す一対のへリングボーン状の動圧
発生溝を有し、その最高圧力部分には２ｂに示す周溝を
有し、またこの周溝から軸体２の上端面へ加圧された気
体を圧送するための連通穴２Ｃを有する。連通穴２ｃの
上部には、細穴を有し耐摩耗性を有する材料からなる絞
り穴部材８が取り付けられている。
３は回転自在に設けられたスリーブであり軸固定端側に
少なくとも軸体２よりも小径なる突出部７ａを有する、
蓋７を有する。スリーブ３の上端近傍には、摩耗粉を閉
じこめるための、段状のゴミ溜りと、ポリゴンミラーを
取り付けるためのフランジ部３ｂを有している。蓋７は
ネジ等によりポリゴンミラーを固定する役割もはたして
いる。スリーブ３には、ロータ磁石５が取り付けられ、
本体１には、ステータ４が取り付けられ、４と５で、モ
ータ６を構成する。本体１には、ガラス１０ａを有する
防塵カバー１０が取り付けられている。
以上のように構成された動圧型気体軸受装置について、
第１図〜第３図を用いてその動作を説明する。第１図に
おいて、モータ６のステータ４に通電がされると、ロー
タ５が回転駆動され、スリーブ３と共に、蓋７、ポリゴ
ンミラー９が例えば、３万ｒ、ｐ、ｍ、の高速で回転し
、図中りの様にレーザー光が入射し、ポリゴンミラー９
が反射する。その回転状態において、ヘリングボーン溝
２ａのポンピング作用によりスリーブ３との間で気体の
圧力が高められ、スリーブ３は無接触で高速回転する。
ヘリングボーン溝２ａにより高められた気体の一部は、
周溝２ｂから連通穴２Ｃを通って軸体の自由端に導かれ
、細穴を有する絞り穴部材８を通り、蓋７に向かって吹
き出される。
これにより第１図中、矢印六方向に浮上刃を発生する。
一方、回転体の重量と、ロータ磁石５がステータ４を吸
引する力は図中、矢印Ｂ方向にはたらきＡ方向とＢ方向
の力がバランスすることにより、図中Ｃに示す浮上量が
得られる。この時へリングボーン溝２ａによるラジアル
方向の圧力分布と、絞り穴部材８から吹き出される、ス
ラスト方向圧力分布は、第２図に示す通りである。スリ
ーブ３の上端部に設けられた３ａの段部は回転の起動時
に蓋７または、絞り穴部材８から摩耗粉が発生した時に
遠心力によりそれが回収されるためのゴミ溜りである。
防塵カバー１０とガラス１０ａは外部からのゴミの侵入
と、ミラー９の結露を防止するものである。また、軸体
２の端面と蓋７の当接面は少な（とも軸体２よりも小径
であるので、当接面の平行度のくるいは、少なく、接触
することな（安定した浮上量が得られる。
以上のように本実施例によれば、はぼ密閉された軸受隙
間の中だけで気体の圧縮が行われ、軸受の外部、例えば
スリーブ３の下端から多量に気体が吸い込まれて供給さ
れる事は無いので、ステータから発生するゴミや粒子が
軸受隙間に侵入して、気体軸受を焼は付かせることがな
い。
第３図は第２図の変形応用例である。軸体２の外周のへ
リングボーン溝２ｄが軸自由端側か短い非対称な形状を
している。この場合の発生圧力の分布は、第３図の通り
であり、第２図に比べてスラスト方向に多くの力が発生
できる。
第４図も第２図の変形応用例であるが、ヘリングボーン
溝２ｅが軸自由端側か長い非対称形状をしている。この
場合スラスト方向の支持力は小さくなるが、軸体２の端
面において、正圧と負圧の両方の圧力を持つので、第３
図に比べて、回転数が高くなっても安定した浮上量が得
られ、また、第２図に比べて、スラスト方向の剛性が高
い。
尚、ヘリングボーン溝２ａ、２ｂは、スリーブ３の内周
に設けても同じである。
尚、絞り穴部材８は、軸体２と同一部材として一体的に
設けられてもよい。
尚、突出部７ａは蓋７にてはなく、絞り孔部材８にあっ
ても同じ事である。
発明の効果 以上のように本発明は、軸体に設けられたベリングボー
ン溝により圧縮された気体を連通穴を通して軸端の自由
端から蓋に対して吹き出すことにより、軸受外部からほ
とんど気体を吸気することなく、ラジアルおよびスラス
ト方向に圧力が発生するので、外部のモータ等からゴミ
が混入して軸受が焼は付くということが無い信頼性の高
い動圧型気体軸受装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明動圧型気体軸受装置の一実施例の断面図
、第２図は第１図の圧力発生の分布図、第３図は第２図
の変形例の圧力発生の分布図、第４図は第２図の変形例
の圧力発生の分布図、第５図は従来の動圧気体軸受装置
の断面図である。 １・・・・・・本体、２・・・・・・軸体、２ａ、２ｄ
、２ｅ・・・・・・ヘリングボーン溝、２ｂ・・・・・
・周溝、２Ｃ・・・・・・連通穴、３・・・・・・スリ
ーブ、３ａ・・・・・・段部、３ｂ・・・・・・フラン
ジ部、４・・・・・・ステータ、５・・・・・・ロータ
磁石、６・・・・・・モータ、７・・・・・・蓋、７ａ
・・・・・・突出部、８・・・・・・絞り穴部材、９・
・・・・・ポリゴンミラー　１０・・・・・・防塵カバ
ー　１０　ａ・・・・・・ガラス。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　ほか１名ｆ ＝Ｘ体 ２６−−−肩溝 ２Ｃ−−−＃−追穴 ３−−−スリーブ ３＾−四映峰 ３Ｂ−４−１ランＣ杏ψ ４−−−ステー１ ５−Ｉ　Ｄ−夕暫廁肋 Ｃ−−−モータ ９Ａ−−一突せ」干 ８−４交り定評不Ｙ （ｏ−−一鉢１１）ぐ 図 本俸 、Ｉ＃体 勧五灯溝 スリーブ フラッジ舒 ステータ ロータ Ｉ７−−−モータ １ｇ−−一又うス￥引すむ打 １１１ａ−−−Ｈ１ノ子Ｌ ｆ９−−−ズリアシミラ ２０−一一固定山（ ２ｆ−一−シし虹カバ゛− ２１Ａ−７万〃１う又

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）片持ち支持された軸体と、この軸体の外周に回転
    自在に支持されたスリーブと、このスリーブの一端に固
    定された蓋から成り、前期蓋または前期軸体が当接する
    少なくともいずれか一方には、前期軸体の直径よりも小
    径なる突出部を有し、前期軸体の外周または、前期スリ
    ーブの内周の少なくともいずれか一方にヘリングボーン
    溝を有し、前記ヘリングボーン溝の最高圧力部分から、
    前記軸体の自由端側の端面に通じる連通穴を有する動圧
    型気体軸受装置。
  2. （２）ヘリングボーン溝は、前記軸体の自由端側が短い
    非対称形状である請求項１記載の動圧型気体軸受装置。
  3. （３）ヘリングボーン溝は、前記軸体の自由端側が長い
    非対称形状である請求項１記載の動圧型気体軸受装置。
JP2101963A 1990-04-18 1990-04-18 動圧型気体軸受装置 Pending JPH044310A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2101963A JPH044310A (ja) 1990-04-18 1990-04-18 動圧型気体軸受装置
KR1019910006122A KR950000921B1 (ko) 1990-04-18 1991-04-17 동압형 기체베어링장치
US07/687,405 US5120139A (en) 1990-04-18 1991-04-18 Dynamic pressure gas bearing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2101963A JPH044310A (ja) 1990-04-18 1990-04-18 動圧型気体軸受装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH044310A true JPH044310A (ja) 1992-01-08

Family

ID=14314524

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2101963A Pending JPH044310A (ja) 1990-04-18 1990-04-18 動圧型気体軸受装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5120139A (ja)
JP (1) JPH044310A (ja)
KR (1) KR950000921B1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106089984A (zh) * 2016-08-31 2016-11-09 樊勇 一种循环自排污自布润滑油膜的径向滑动轴承副

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5328270A (en) * 1993-03-25 1994-07-12 International Business Machines Corporation Hydrodynamic pump
US5487608A (en) * 1994-07-22 1996-01-30 Seagate Technology, Inc. Single plate hydrodynamic bearing with self-balancing fluid level and fluid circulation
KR100193573B1 (ko) * 1995-07-28 1999-06-15 이형도 에어 베어링 타입의 스핀들 모터
JP3715360B2 (ja) * 1995-11-20 2005-11-09 株式会社三協精機製作所 エアー動圧軸受装置を用いたディスク駆動装置
US6108909A (en) * 1996-07-02 2000-08-29 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Groove forming processes for shaft outer diameter
US6147424A (en) * 1997-07-18 2000-11-14 Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. Gas dynamic pressure bearing apparatus
US5901013A (en) * 1997-08-11 1999-05-04 International Business Machines Corporation Fluid spindle bearing vent
AU753411B2 (en) * 1999-10-19 2002-10-17 Lg Electronics Inc. Structure of driving unit in drum type washing machine
JP2002364637A (ja) * 2001-06-07 2002-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 動圧気体軸受装置
US7011450B2 (en) * 2002-12-02 2006-03-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Fluid dynamic bearing device and motor including the device
JP2004204826A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Sony Corp 動圧軸受型ポンプ
DE10352573B4 (de) * 2003-11-11 2006-08-17 Minebea Co., Ltd. Hydrodynamisches Lager, Spindelmotor und Festplattenlaufwerk
DE102005019944B3 (de) * 2003-11-11 2007-01-18 Minebea Co., Ltd., Miyota Hydrodynamisches Lager, Spindelmotor und Festplattenlaufwerk
DE102004061941B4 (de) * 2004-12-22 2014-02-13 AeroLas GmbH Aerostatische Lager- Lasertechnik Axial angetriebene Kolben-Zylinder-Einheit
KR100671902B1 (ko) * 2005-10-14 2007-01-19 전완진 환경친화적인 제방축조의 시공방법
DE102010022574A1 (de) * 2010-06-02 2011-12-08 Bosch Mahle Turbo Systems Gmbh & Co. Kg Rotorwelle mit Gleitlager
JP2016044673A (ja) * 2014-08-22 2016-04-04 日本電産株式会社 動圧軸受ポンプ
JP2016044674A (ja) * 2014-08-22 2016-04-04 日本電産株式会社 動圧軸受ポンプ
DE102014015764A1 (de) * 2014-10-27 2016-04-28 Minebea Co., Ltd. Fluiddynamisches Lagersystem
JP2017108543A (ja) * 2015-12-10 2017-06-15 日本電産株式会社 スピンドルモータ

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3115372A (en) * 1962-02-07 1963-12-24 Chrysler Corp Hydrodynamic type bearing
NL8201747A (nl) * 1981-04-27 1982-11-16 Nippon Seiko Kk Fluidum lager van het dynamische druktype.
JPS59113314A (ja) * 1982-12-17 1984-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 動圧型流体軸受装置
JP2516967B2 (ja) * 1987-04-30 1996-07-24 松下電器産業株式会社 軸受装置
US5018880A (en) * 1988-06-28 1991-05-28 Canon Kabushiki Kaisha Dynamic pressure bearing device
JPH0211918A (ja) * 1988-06-29 1990-01-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 動圧型エア軸受装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106089984A (zh) * 2016-08-31 2016-11-09 樊勇 一种循环自排污自布润滑油膜的径向滑动轴承副

Also Published As

Publication number Publication date
US5120139A (en) 1992-06-09
KR910018687A (ko) 1991-11-30
KR950000921B1 (ko) 1995-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH044310A (ja) 動圧型気体軸受装置
KR920006624B1 (ko) 셀프액팅가스 베어링장치
KR930006354B1 (ko) 디스크 구동장치
JP2544710Y2 (ja) スピンドルモータ
JP3395524B2 (ja) 縦型流体軸受装置
US5957587A (en) Air dynamic bearing
JP3406198B2 (ja) スピンドルモータ及びスピンドルモータを採用した回転体装置
JP2578765B2 (ja) 動圧型流体軸受式スキヤナ−ユニツト
JPH04181014A (ja) 動圧型気体軸受装置
JPH07243437A (ja) 動圧軸受
JPS63259510A (ja) 空気磁気軸受型光偏向器
JPS58200816A (ja) 回転ユニツト用動圧気体軸受装置
JPH01288611A (ja) 動圧型気体軸受装置
JPH04181015A (ja) 動圧型気体軸受装置
JPS631053Y2 (ja)
JPH08200353A (ja) 動圧式エアベアリング
JPS5968716A (ja) 回転体支持装置
JP3128819B2 (ja) 動圧型気体軸受装置
JPH0328518A (ja) 動圧軸受装置
JP2506482B2 (ja) 動圧空気軸受モ―タ
JPH0439410A (ja) 動圧型気体軸受装置
JPS60254110A (ja) 回転体の支持装置
JPH03265710A (ja) 気体スラスト軸受
JPH09189876A (ja) 回転多面鏡駆動モーター
JP2966011B2 (ja) 空気軸受型ポリゴンスキャナ