JPH0440631A - 光ヘッドの誤差検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 本発明は、被照射面に対する照射光のフォーカス誤差や
トラック誤差等の誤差を検出する光ヘッドの誤差検出装
置に関する。

［従来の技術］ 近年、家庭電化製品を初め、オフィスオートメーション
（ＯＡ）　、ファクトリオートメーション（ＦＡ）の分
野に至る様々な分野において、大型の計算機から小型の
パソコンまで多種多様なコンピュータが用いられている
。コンピュータの外部記憶装置も、その用途によって、
容量、転送速度、記録情報へのシーク時間、装置の寸法
、価格等の点で多様化しつつある。

従来、外部記憶装置としては、磁気テープ（ＭＴ）、フ
ロッピーディスク（ＦＤＤ）　、磁気ディスク（ＨＤＤ
）等が主流であったが、レーザ技術を用いた光デイスク
装置が注目を集めている。現在光デイスク装置として市
場に出ているものとしては、コンパクトディスク（ＣＤ
）プレーヤやレーザディスク（ＬＤ）プレーヤのような
再生専用のものと共に、ＤＲＡＷタイプと呼ばれる追記
記録が可能な光デイスク装置がドキュメントファイルや
計算機の外部記憶装置としてが実用段階に入っている。

また、Ｅ−ＤＲＡＷタイプと呼ばれる情報の消去記録再
生が可能な光デイスク装置も登場している。

光デイスク装置の重要な構成要素として光ヘッドがあげ
られる。従来、光ヘッドはレンズやビーム成形プリズム
等の光の屈折を利用した光学素子を数多く用いて構成さ
れていた。しかし、部品点数の削減、低価格化、小形化
を狙って、フレネルゾーンプレートやホログラム等の光
回折素子で構成された光ヘッドが提案されている。

光回折素子で構成された従来の光ヘッドのうち「非点収
差法」と呼ばれるフォーカス誤差検出方式を用いた光ヘ
ッドの一例を第３０図に示す、半導体レーザ光源１から
放射されるレーザ光は、コリメートレンズ２により平行
光線束にされる。半導体レーザ光源１から放射されるレ
ーザ光は断面が楕円形であり、コリメートレンズ２から
の平行光線束も断面が楕円形となるので、ビーム成形プ
リズム３により断面が円形の平行光線束に成形されるや ビーム成形プリズム３により成形された断面円形の平行
光線束は、ビームスプリッタ４を介して情報記録媒体６
に照射される。照射されるレーザ光は対物レンズ５によ
り情報記録媒体６上に焦点が結ばれる。対物レンズ５は
駆動装置（図示せず）により駆動され、常に情報記録媒
体６上に正確に焦点を結ぶように、また情報記録媒体６
の記録トラックに追従するようにフィーバツク制御され
る。

情報記録媒体６からの反射光は対物レンズ５を経てビー
ムスプリッタ４により分けられ、光回折素子である４分
割フレネルゾーンプレート７ａを介してフォーカス誤差
信号光として４分割光検出器８ａに受光される。

４分割光検出器８ａでは光軸を中心に４つの光検出部８
ａａ、８ａｂ、８ａｃ、８ａｄに分割されており、この
４分割光検出器８ａに受光された誤差信号はフォーカス
誤差信号演算器１００によってフォーカス誤差信号Ｆａ
を演算して出力する。

フォーカス誤差信号演算器１００では光検出部８ａａ、
８ａｂ、８ａｃ、８ａｄからの検出信号をオペアンプ９
ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄにより電流電圧変換し、加算器１
０．１１、及び減算器１２により演算してフォーカス誤
差信号Ｆａとして出力する。光検出部８ａａ、８ａｂ、
８ａｃ、８ａｄの検出信号をそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄと
すると、フォーカス誤差信号Ｆａは、次のようになる。

Ｆａ＝（Ａ＋Ｃ）　　　（Ｂ十Ｄ） 情報記録媒体６に対する対物レンズ５の位置に応じて４
分割光検出器８ａ上に第３１図に示すような像が結像さ
れる。

情報記録媒体６が対物レンズ５の焦点より手前側に位置
していると、４分割フレネルゾーンプレート７ａにより
回折された誤差検出光は、第３１図（ａ）に示すように
、４分割光検出器９上で縦長のビーム形状になる。した
がって、光検出部８ａａ、８ａｃの検出信号Ａ、Ｃが大
きく、光検出部８ａｂ、８ａｄの検出信号Ｂ、Ｄが小さ
くなり、フォーカス誤差信号Ｆａは正となる。

情報記録媒体６が対物レンズ５の焦点に正確に位置して
いると、４分割フレネルゾーンプレート７ａにより回折
された誤差検出光は、第３１図（ｂ）に示すように、４
分割光検出器８ａ上に円形のビームとなる。したがって
、光検出部９ａ、９ｂ、９Ｃ１９ｄの検出信号Ａ、Ｂ、
Ｃ，Ｄの大きさは同じになり、フォーカス誤差信号Ｆａ
は０となる。

情報記録媒体６が対物レンズ５の焦点より向こう側に位
置していると、４分割フレネルゾーンプレート７ａによ
り回折された誤差検出光は、第３１図（Ｃ）に示すよう
に、４分割光検出器８ａ上で横長のビーム形状になる。

したがって、光検出部８ａａ、８ａｃの検出信号Ａ、Ｃ
が小さく、光検出部８ａｂ、８ａｄの検出信号Ｂ、Ｄが
大きくなり、フォーカス誤差信号Ｆａは負となる。

このようにフォーカス誤差信号Ｆａは対物レンズ５の位
置に応じて変化する。このフォーカス誤差信号Ｆａを対
物レンズ５の駆動装置（図示せず）にフィードバックす
ることにより、レーザ光が情報記録媒体６上に合焦点を
結ぶように制御する。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、半導体レーザ光源１は、第３２図及び第
３３図に示すように、レーザ出力や環境温度により発振
モードが興なりレーザ波長がステップ状に変動する。上
述した従来の光ヘッドのように、部品点数の削減、低価
格化、小形化を狙って、光学素子機能の複合化の可能な
光回折素子を用いた場合、光の回折は波長依存性を有す
るため、照射光の波長変動によりフォーカス誤差検出信
号やトラッキング誤差検出信号等の誤差検出信号のオフ
セットが変動するという問題点があった。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
、照射光の波長変動に影響されることなく照射光の誤差
を正確に検出することができる光ヘッドの誤差検出装置
を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、照射光を発する光源と、前記光源から発せ
られた照射光を回折する光回折手段と、前記光回折手段
により回折された照射光の回折状態を検出する光検出手
段と、前記光検出手段の検出信号に基づいて前記照射光
の波長変動を演算する演算手段とを有する波長変動検出
手段と、被照射面による前記照射光の反射光を回折する
光回折手段と、前記光回折手段により回折された反射光
の回折状態を検出する光検出手段と、前記光検出手段の
検出信号に基づいて前記被照射面に対する照射光の誤差
を演算する演算手段とを有する誤差検出手段と、前記波
長変動検出手段により検出された波長変動に基づいて前
記誤算検出手段による照射光の誤差を補正する誤差補正
手段とを備えたことを特徴とする光ヘッドの誤差検出装
置によって達成される。

［作用］ 本発明の光ヘッドの誤差検出装置によれば、波長変動検
出手段により検出された波長変動に基づいて誤算検出手
段による照射光の誤差を補正するようにしたので、照射
光の波長変動に影響されることなく照射光の誤差を正確
に検出することができる。

［実施例］ １１血太羞１ 本発明の第１の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第１図乃至第３図を用いて説明する。第３０図に示す従
来の光ヘッドの誤差検出装置と同一の構成要素には同一
の符号を付して説明を省略又は簡略にする。

本実施例の光ヘッドの誤差検出装置は、照射光の波長変
動を光回折素子を用いて検出し、その検出信号により誤
差検出信号を補正するようにしたものである。

ビームスプリッタ４に対して４分割フレネルゾーンプレ
ート７ａと反対側に、光回折素子としての回折格子１３
ｇと凸レンズ１４と２分割光検出器１５ｄが設けられて
いる。半導体レーザ光源１から放射されたレーザ光は、
コリメートレンズ２により平行光線束にされ、ビームス
プリッタ４により反射され照射光波長変動測定光として
回折格子１３ｇに入射される。

回折格子１３ｇに入射されたレーザ光は回折され、第２
図（ａ）に示すように０次回折光、±１次回折光、±２
次回折光、・・・、ｎ次回折・光として放射される。放
射されなｎ次回折光は凸レンズ１４により収束され２分
割光検出器１５ｄに照射される。２分割光検出器１５ｄ
は、第２図（ａ）に示すように、凸レンズ１４の焦点面
に設けられ、レーザ光が基準波長λ。のときのｎ次回折
光（ｎ＝±１、±２、・・・）の焦点スポットの中心が
２分割光検出器１５ｄの分割線上に位置するように設定
される。使用する回折光としては強度が最も強い１次回
折光が望ましい、なお、第２図（ｂ）に示すように、回
折格子１３ｇの凹凸のデユーティ比が５０％の場合には
偶数次の回折光は発生しないので、使用することができ
ない。

回折格子１３ｇのピッチをｐ、ｎ次回折光の角度をθｎ
、レーザ光の波長をλとすると、ｐ−５ｉｎθｎ＝ｎ−
λ なる関係が成立し、０次回折光の光軸からのｎ次回折光
の焦点位置までの距離ｈｎは、 ｈｎ＝ｆ−ｓｉｎθｎ５−ｆ・θｎ となる。したがって、レーザ光の波長λの変動に応じて
ｎ次回折光の焦点位置が上下に変動する。

この波長変動に応じた上下の変動を２分割光検出器１５
ｄの各光検出器１５　、ｄ　ｈ、１５ｄｉにより検出す
る。

照射光波長変動信号演算器２００は、２分割光検出器１
５ｄからの検出信号から照射光の波長変動に応じた照射
光波長変動信号Ｗを演算する。２分割光検出器１５ｄの
各光検出部１５ｄｈ、１５ｄｉからの検出信号をオペア
ンプ１６ｈ、１６ｉで電流電圧変換して検出信号Ｈ１■
を出力する。

減算器１７は検出信号Ｈから検出信号Ｉを減算して次式
の照射光波長変動信号Ｗを出力する。

Ｗ＝Ｈ−Ｉ レーザ光の波長に応じて２分割光検出器１５ｄ上に第３
図に示すような像が結像される。

レーザ光の波長が基準波長λ。であると、第３図（ｂ）
に示すように、ｎ次回折光の焦点スポットの中心が２分
割光検出器１５ｄの分割線上に位置する。光検出部１５
ｄｈ、１５ｄｉの検出信号Ｈ５■は同じ大きさになり、
照射光波長変動信号Ｗは０となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、第３図
（ａ）に示すように、ｎ次回折光の焦点スポットの中心
が２分割光検出器１５ｄの分割線より上方に移動する。

光検出部１５ｄｈの検出信号Ｈが光検出部１５ｄｉの検
出信号Ｉより大きくなり、照射光波長変動信号Ｗが正と
なる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より短くなると、第３図
（Ｃ）に示すように、ｎ次回折光の焦点スポットの中心
が２分割光検出器１５ｄの分割線より下方に移動する。

光検出部１５ｄｈの検出信号Ｈが光検出部１５ｄｉの検
出信号Ｉより小さくなり、照射光波長変動信号Ｗが負と
なる。

フォーカス誤差補正演算器３００は、フォーカス誤差信
号演算器１００によるフォーカス誤差信号Ｆａを、照射
光波長変動信号演算器２００による照射光波長変動信号
Ｗにより補正する。増幅器１８により照射光波長変動信
号Ｗに増幅率ｇを掛けて照射光波長変動信号ｇＷを出力
し、加算器１９により照射光波長変動信号ｇＷを加算し
てフォーカス誤差信号Ｆを補正する。すなわち、補正後
のフォーカス誤差信号Ｆは、 Ｆ＝Ｆａ＋ｇＷ となる。増幅器１８の増幅率ｇは、照射光の波長変動に
よるフォーカス誤差信号Ｆａの変動を相殺するような値
になるように設定する。この補正されたフォーカス誤差
信号Ｆをもとに対物レンズ５の駆動装置（図示せず）を
フィードバック制御する。

このように本実施例によれば、照射光の波長変動を検出
して、検出信号に応じてフォーカス誤差信号を補正して
いるので、照射光の波長変動に影響を受けずにレーザ光
を情報記録媒体上に正確に焦点を結ぶように制御するこ
とができる。

１１五犬崖週 本発明の第２の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第４図乃至第７図を用いて説明する。第１図乃至第３図
に示す第１の実施例による光ヘッドの誤差検出装置と同
一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略又は簡
略にする。

本実施例の光ヘッドの誤差検出装置では「フーコー法」
と呼ばれるフォーカス誤差検出方式によリフオーカス誤
差を検出する点が第１の実施例と異なる。

情報記録媒体６からの反射光は対物レンズ５を経てビー
ムスプリッタ４により分けられる。ビームスプリッタ４
により分けられた反射光はフーコー法用光回折素子７ｆ
により回折され、回折光は４分割光検出器８ｆにより検
出される。

フーコー法用光回折素子７ｆは入射光を回折して光軸を
中心として対称的な２つの回折光を得るものである。

フーコー法用光回折素子７ｆの一具体例を第５図に示す
、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）はｇ−ｇ′線断面図
である。第５図に示すフーコー法用光回折素子７ｆは、
回折光の焦点距離が等しく、光軸に対して等距離で偏芯
している２つのフレネルゾーンプレートを分割線りを境
にして上下に分割して記録することにより作成したもの
である。

フーコー法用光回折素子７ｆの他の具体例を第６図に示
す。同図（ａ）は平面図、同図ｆｂ）はｇ−ｇ′線断面
図である。第６図に示すフーコー法用光回折素子７ｆは
、２つのフレネルゾーンプレートを分割することなく重
ねて記録することにより作成したものである。

フーコー法用光回折素子７ｆにより回折光はフーコー法
用の４分割光検出器８ｆにより受光される。フーコー法
用の４分割光検出器８ｆは光軸を対称に配された２分割
光検出器８ｆＡ、８ｆＢにより構成される。２分割光検
出器８ｆＡ、８ｆＢは、それぞれ光検出部８ｆａ、８ｆ
ｂ、８ｆｃ、８ｆｄに２分割されている。これら２分割
光検出器８ｆＡ、８ｆＢは、フォーカス誤差がない場合
に、フーコー法用光回折素子７ｆによる２つの回折光が
光検出部８ｆａ、８ｆｂと光検出部８ｆｃ、８ｆｄの境
界に焦点を結ぶ位置に配置される。

フォーカス誤差信号演算器１００では光検出部８ｆａ、
８ｆｂ、８ｆｃ、８ｆｄからの検出信号をオペアンプ９
ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄで電流電圧変換し、加算器１０．
１１及び減算器１２により演算してフォーカス誤差信号
Ｆｆとして出力する。

光検出部８ｆａ、８ｆｂ、８ｆｃ、８ｆｄの検出信号を
それぞれＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄとすると、フォーカス誤差信号
Ｆｆは、次のようになる。

Ｆｆ＝　（Ａ十Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ） 情報記録媒体６に対する対物レンズ５の位置に応じて４
分割光検出器８ｆ上に第７図に示すような像が結像され
る。

情報記録媒体６が対物レンズ５の焦点より手前側に位置
していると、フーコー法用光回折素子７ｆにより回折さ
れた誤差検出光は、第７図（ａ）に示すように、４分割
光検出器８ｆ上の光検出部８ｆａ、８ｆｄで大きく、光
検出部８ｆｂ、８ｆｃで小さくなるように結像する。し
たがって、光検出部８ｆａ、８ｆｄの検出信号Ａ、Ｄが
大きく、光検出部８ｆｂ、８ｆｃの検出信号Ｂ、Ｃが小
さくなり、フォーカス誤差信号Ｆｆは正となる。

情報記録媒体６が対物レンズ５の焦点に正確に位置して
いると、フーコー法用光回折素子７ｆにより回折された
誤差検出光は、第７図（ｂ）に示すように、４分割光検
出器８ｆの光検出部８ｆａ、８　ｆ　ｂ−１８ｆｃ、８
ｆｄで等しい大きさになるように結像する。したがって
、光検出部８ｆａ、８ｆｂ、８ｆｃ、８ｆｄの検出信号
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄが等しくなり、フォーカス誤差信号Ｆｆ
は０となる。

情報記録媒体６が対物レンズ５の焦点より向こう側に位
置していると、フーコー法用光回折素子７ｆにより回折
された誤差検出光は、第７図（Ｃ）に示すように、４分
割光検出器８ｆ上の光検出部８ｆｂ、８ｆｃで大きく、
光検出部８ｆａ、８ｆｄで小さくなるように結像する。

したがって、光検出部８ｆｂ、８ｆｃの検出信号Ｂ、Ｃ
が大きく、光検出部８ｆａ、８ｆｄの検出信号Ａ、Ｄが
小さくなり、フォーカス誤差信号Ｆｆは負となる。

このようにフォーカス誤差信号Ｆｆは対物レンズ５の位
置に応じて変化する。このフォーカス誤差信号Ｆｆをフ
ォーカス誤差補正演算器３００により、式 ％式％ で示すように補正してフォーカス誤差信号Ｆを得る。こ
の補正されたフォーカス誤差信号Ｆをもとに対物レンズ
５の駆動装置（図示せず）をフィードバック制御する。

このように本実施例によれば、照射光の波長変動を検出
して、検出信号に応じてフォーカス誤差信号を補正して
いるので、照射光の波長変動に影響を受けずにレーザ光
を情報記録ａ体上に正確に焦点を結ぶように制御するこ
とができる。

１１五！差上 本発明の第３の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第８図乃至第９図を用いて説明する。第１図乃至第７図
に示す第１及び第２の実施例による光ヘッドの誤差検出
装置と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省
略又は簡略にする。

なお、第１の実施例では「非点収差法」とよばれるフォ
ーカス誤差検出方式でフォーカス誤差を検出し、第２の
実施例では「フーコー法」とよばれるフォーカス誤差検
出方式でフォーカス誤差を検出したが、その他のフォー
カス誤差検出方式であっても、光の回折を利用した光回
折素子により検出するものであれば本発明の適用が可能
である。

例えば、導波路を用いたフォーカス誤差検出方式（Ｔ、
５ｕｈａｒａ　ｅｔ　ａｌ、　”Ｐｏ５ｓｉｂｉｌｉｔ
ｙ　ｏｆ　５ｕｐｅｒ−Ｒｅｓ。

ｕｔｉｏｎ　Ｒｅａｄｏｕｔ　ｉｎ　Ｉｎｔｅｇｒａｔ
ｅｄ−Ｏｐｔｉｃ　Ｄｉｓｃ　Ｐｉｃｋｕ＋１”、　Ｉ
ＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　５ＹＨＰＯ３ＩＵＨＯＮ　
０ＰＴＩＣＡＬ　ＨＥＨＯＲＹ　１９８９．　Ｉ）＋１
９７−９８）でもよい。したがって、本実施例以降の説
明においては、これら種々のフォーカス誤差検出方式を
区別しない、すなわち、ビームスプリッタ４により分け
られた反射光を光回折素子７により回折し、回折された
フォーカス誤差信号光をフォーカス誤差信号光検出器８
により受光する。フォーカス誤差信号光検出器８の検出
信号はフォーカス誤差検出信号演算器１００によりフォ
ーカス誤算信号Ｆａが演算されるものとして説明する。

このように種々のフォーカス誤差検出方式を区別なく説
明するが、具体的な光ヘッドにおいては上述した種々の
フォーカス誤差検出方式のいずれかによりフォーカス誤
差を検出する。

第３の実施例による光ヘッドの誤差検出装置も、照射光
の波長変動を光回折素子である回折格子１３ｇを用いて
検出し、その検出信号によりフォーカス誤差検出信号を
補正するようにしたものであるが、回折格子１３ｇによ
り回折されたレーザ光の変動を光位置検出器１５ｐで検
出している点に特徴がある。

回折格子１３ｇで回折され、凸レンズ１４により回折さ
れたレーザ光が焦点を結ぶ位置に光位置検出器１５ｐを
配置する。光位置検出器１５ｐには上部端子１５ｐｈと
下部端子１５ｐｉが設けられ、これら端子１５ｐｈ、１
５ｐｉからレーザ光の受光位置に応じた信号を出力する
。光位置検出器１５ｐの受光面全体の長さをＬとし、上
端からのレーザ光の受光位置までの長さをＸとすると、
上部端子１５ｐｈからは Ｈ＝αＸ なる信号が出力され、下部端子１５ｐｉからはＩ−α（
Ｌ−ｘ） なる信号が出力される。

照射光波長変動信号演算器２００では光位置検出器１５
ｐの端子１５ｐｈ、１５ｐｉからの検出信号をオペアン
プ１６ｈ、１６ｉで電流電圧変換し、それぞれ検出信号
Ｈ，Ｉを出力する。これら検出信号Ｈ，Ｉを減算器１７
、加算器２ｏ、除算器２１により演算して次式に示す照
射光波長変動信号Ｗを出力する。

Ｗ＝　（Ｉ−Ｈ）／　（１＋Ｈ） ＝（Ｌ−２ｘ）／Ｌ レーザ光の波長に応じて光位置検出器１５ｐ上に第９図
に示すような像が結像される。

レーザ光が基準波長λ。であると、第９図（ｂ）に示す
ように、ｎ次回折光の焦点スポットの中心が光位置検出
器１５ｐの中央（ｘ＝Ｌ／２）に位置する。上部端子１
５Ｐｈ、下部端子１５２１の検出信号Ｈ，Ｉは同じ大き
さになり、照射光波長変動信号Ｗは０となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、第９図
（ａ）に示すように、ｎ次回折光の焦点スポットの中心
が光位置検出器１５Ｐの中央より上方（ｘ＜Ｌ／２）に
移動する。上部端子１５ｐｈの検出信号Ｈが下部端子１
５ｐｉの検出信号ｌより小さくなり、照射光波長変動信
号Ｗが正となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より短くなると、第９図
（Ｃ）に示すように、ｎ次回折光の焦点スポットの中心
が光位置検出器１５ｐの中央より上方（ｘ＞Ｌ／２）に
移動する。上部端子１５ｐｈの検出信号Ｈが下部端子１
５ｐｉの検出器ぢＩより大きくなり、照射光波長変動信
号Ｗが負となる。

フォーカス誤差補正演算器３００は、このようにして検
出された照射光波長変動信号Ｗにより、フォーカス誤差
信号演算器１００によるフォーカス誤差信号Ｆａを補正
する。

このように本実施例によれば、照射光の波長変動を検出
して、検出信号に応じてフォーカス誤差信号を補正して
いるので、照射光の波長変動に影響を受けずにレーザ光
を情報記録媒体上に正確に焦点を結ぶように制御するこ
とができる。

１生立大崖贋 本発明の第４の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第１０図及び第１１図を用いて説明する。

第１図乃至第９図に示す第１乃至第３の実施例による光
ヘッドの誤差検出装置と同一の構成要素には同一の符号
を付して説明を省略又は簡略にする。

なお、照射光の波長変動を検出するのに、第１及び第２
の実施例では、２分割光検出器１５ｄにより回折光を検
出し、第３の実施例では、光位置検出器１５ｐにより回
折光を検出したが、その他の光検出器で検出するように
してもよい０本実施例以降の説明においては、これら種
々の光検出器を区別しない、すなわち、凸レンズ１４に
より収束された回折光の回折状態を照射光波長変動光検
出器１５により検出し、照射光波長変動光検出器１５の
検出光を照射光波長変動信号演算器２００により照射光
波長変動信号Ｗを演算するものとして説明する。

本実施例は、照射光の波長変動を測定するための光回折
素子にビーム成形機能をも持たせたことを特徴としてい
る。

半導体レーザ光源１から放射されるレーザ光は、コリメ
ートレンズ２により平行光線束にされ、波長変動を検出
するための透過型回折格子１３ｇｔにて回折される０本
実施例では透過型回折格子１３ｇｔをコリメートレンズ
２の出射側に斜めになるように配置することにより、断
面が楕円形の平行光線束を断面が円形の平行光線束に成
形する。

すなわち、第１乃至第３の実施例におけるビーム成形プ
リズム３のビーム成形機能と回折格子１３ｇの回折機能
の両方の機能を、ひとつの透過型回折格子１３ｇｔによ
り実現している。

透過型回折格子１３ｇｔにより成形・回折された回折光
はビームスプリッタ４により反射される。

反射された回折光は凸レンズ１４により収束され、照射
光波長変動光検出器１５により波長変動が検出され、照
射光波長変動信号演算器２００により照射光波長変動信
号Ｗが演算される。

レーザ光の波長に応じて照射光波長変動光検出器１５上
に第１１図に示すような像か結像される。

レーザ光の波長が基準波長λ。であると、第１１図（ｂ
）に示すように、透過型回折格子１３ｇｔによるｎ次回
折光の焦点スポットの中心が照射光波長変動光検出器１
５の中央に位置する。したがって、照射光波長変動信号
ＷはＯとなる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、第１１
図（ａ）に示すように、透過型回折格子１３ｇｔによる
ｎ次回折光の焦点スポットの中心が照射光波長変動光検
出器１５の中央より下方に移動する。したがって、照射
光波長変動信号Ｗは正となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より短くなると、第１１
図ｆｃ）に示すように、透過型回折格子１３ｇｔによる
ｎ次回折光の焦点スポットの中心が照射光波長変動光検
出器１５の中央より上方に移動する。したがって、照射
光波長変動信号Ｗが負となる。

このように本実施例によれば、少ない部品点数により照
射光の波長変動を検出して、検出信号に応じてフォーカ
ス誤差信号を補正することができる０部品点数が少ない
ので小型軽量化が可能であると共に廉価な光ヘッドが実
現できる。

１に叉１１ 本発明の第５の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第１２図及び第１３図を用いて説明する。

第１０図及び第１１図に示す第４の実施例による光ヘッ
ドの誤差検出装置と同一の構成要素には同一の符号を付
して説明を省略又は簡略にする。

本実施例は、第４の実棒例の透過型回折格子１３ｇｔの
代わりに反射型回折格子１３ｇｒを用いている点を特徴
としている。

半導体レーザ光源１から放射されるレーザ光は、コリメ
ートレンズ２により平行光線束にされ、波長変動を検出
するための反射型回折格子１３ｇｒにて回折される０本
実施例では反射型回折格子１３ｇｒをコリメートレンズ
２の出射側に斜めになるように配置することにより、断
面が楕円形の平行光線束を断面が円形の平行光線束に成
形する。

ビーム成形機能と回折機能の両方の機能を、ひとつの反
射型回折格子１３ｇｒにより実現している。

反射型回折格子１３ｇｒにより成形・回折された回折光
はビームスプリッタ４により反射された後に凸レンズ１
４により収束され、照射光波長変動光検出器１５により
波長変動が検出され、照射光波長変動信号演算器２００
により照射光波長変動信号Ｗが演算される。

レーザ光の波長に応じて照射光波長変動光検出器１５上
に第１３図に示すような像が結像される。

レーザ光の波長が基準波長λ。であると、第１３図（ｂ
）に示すように、反射型回折格子１３ｇｒによるｎ次回
折光の焦点スポットの中心が照射光波長変動光検出器１
５の中央に位置する。したがって、照射光波長変動信号
ＷはＯとなる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、第１３
図（ａ）に示すように、反射型回折格子１３ｇｒによる
ｎ次回折光の焦点スポットの中心が照射光波長変動光検
出器１５の中央より下方に移動する。したがって、照射
光波長変動信号Ｗは正となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より短くなると、第１３
図（Ｃ）に示すように、反射型回折格子１３ｇｒによる
ｎ次回折光の焦点スポットの中心が照射光波長変動光検
出器１５の中央より上方に移動する。したがって、照射
光波長変動信号Ｗが負となる。

このように本実施例によれば、少ない部品点数により照
射光の波長変動を検出して、検出信号に応じてフォーカ
ス誤差信号を補正することができる。

！玉１０（１億 本発明の第６の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第１４図及び第１５図を用いて説明する。

第１０図乃至第１３図に示す第４及び第５の実施例によ
る光ヘッドの誤差検出装置と同一の構成要素には同一の
符号を付して説明を省略又は簡略にする。

本実施例は、照射光の波長変動を測定するための光回折
素子にビーム成形機能と共にコリメート機能をも持たせ
たことを特徴としている。

半導体レーザ光源１から放射されるレーザ光は、波長変
動を検出するための透過型ホログラム１３ｈｔにて回折
される。この透過型ホログラム１３ｈｔは２光束干渉法
により形成される０本実施例では透過型ホログラム１３
ｈｔを第１４図及び第１５図に示すように配置すること
により、半導体レーザ光′ａ１から放射されるレーザ光
を平行光線束にすると共に、断面が円形になるようにビ
ーム成形する。すなわち、第１乃至第３の実施例におけ
るコリメートレンズ２のコリメート機能とビーム成形プ
リズム３のビーム成形機能と回折格子１３ｇの回折機能
という３つの機能を、ひとつの透過型ホログラム１３ｈ
ｔにより実現している。

透過型ホログラム１３ｈｔにより回折された回折光はビ
ームスプリッタ４により反射される。反射された回折光
は凸レンズ１４により収束され、照射光波長変動光検出
器１５により波長変動が検出され、照射光波長変動信号
演算器２００により照射光波長変動信号Ｗが演算される
。

レーザ光の波長が変動した場合の回折光の焦点位置の変
化を第１５図に示す、レーザ光の波長が基準波長λ。で
あると、透過型ホログラム１３ｈｔによる回折光の焦点
スポットがＴに位置する。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、焦点ス
ポットがＴからＳに曲線を描いて移動する。

逆に、レーザ光の波長か基準波長λ。より短くなると、
焦点スポットがＴからＵに曲線を描いて移動する。

このような焦点スポットの移動を、照射光波長変動光検
出器１５により検出し、照射光波長変動信号演算器２０
０により焦点スポットの移動に応じて正負に変化する照
射光波長変動信号Ｗを演算する。

このように本実施例によれば、少ない部品点数により照
射光の波長変動を検出して、検出信号にえじてフォーカ
ス誤差信号を補正することができる。

蔓１！υ（１馴 本発明の第７の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第１６図及び第１７図を用いて説明する。

第１４図及び第１５図に示す第６の実施例による光ヘッ
ドの誤差検出装置と同一の構成要素には同一の符号を付
して説明を省略又は簡略にする。

本実施例は、第６の実施例の透過型ホログラム１３ｈｔ
の代わりに反射型ホログラム１３ｈｒを用いている点を
特徴としている。

半導体レーザ光源１から放°射されるレーザ光は、波長
変動を検出するための反射型ホログラム１３ｈｒにて回
折される。この反射型ホログラム１３ｈｒも２光束干渉
法により形成される０本実施例では反射型ホログラム１
３ｈｒを第１６図及び第１７図に示すように配置するこ
とにより、半導体レーザ光源１から放射されるレーザ光
を平行光線束にすると共に、断面が円形になるようにビ
ーム成形する。コリメート機能とビーム成形機能と回折
機能という３つの機能を、ひとつの反射型ホログラム１
３ｈｒにより実現している。

反射型ホログラム１３ｈｒにより回折された回折光はビ
ームスプリッタ４により反射される。反射された回折光
は凸レンズ１４により収束され、照射光波長変動光検出
器１５により波長変動が検出され、照射光波長変動信号
演算器２００により照射光波長変動信号Ｗが演算される
。

レーザ光の波長が変動した場合の回折光の焦点位置の変
化を第１７図に示す、レーザ光の波長が基準波長λ。で
あると、反射型ホログラム１３ｈｒによる回折光の焦点
スポットがＴに位置する。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、焦点ス
ポットがＴからＳに曲線を描いて移動する。

逆に、レーザ光の波長が基準波長＾。より短くなると、
焦点スポットがＴからＵに曲線を描いて移動する。

このような焦点スポットの移動を、照射光波長変動光検
出器１５により検出し、照射光波長変動信号演算器２０
０により焦点スポットの移動に応じて正負に変化する照
射光波長変動信号Ｗを演算する。

このように本実施例によれば、少ない部品点数により照
射光の波長変動を検出して、検出信号に応じてフォーカ
ス誤差信号を補正することができる。

募溢ｌすＷ 本発明の第８の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を
第１８図乃至第２０図を用いて説明する。

第１図乃至第９図に示す第１乃至第３の実施例による光
ヘッドの誤差検出装Ｗと同一の構成要素には同一の符号
を付して説明を省略又は簡略にする。

第８の実施例による光ヘッドの誤差検出装置は、照射光
の波長変動を検出する光回折素子として４分割フレネル
ゾーンプレート１３ｑｆを用い、照射光波長変動光検出
器１５として４分割光検出器１５ａを用いて検出し、そ
の検出信号に基づいて照射光波長変動信号演算器２００
により照射光波長変動信号Ｗを演算し、この照射光波長
変動信号Ｗによりフォーカス誤差検出信号Ｆａを補正す
るようにしている点に特徴がある。

半導体レーザ光源１から放射されるレーザ光は、ビーム
スプリッタ４を介して照射光波長変動信号光として４分
割フレネルゾーンプレート１３ｑｆによって４分割光検
出器１５ａ上に結像する。

本実施例で用いられる４分割フレネルゾーンプレート１
３ｑｆを第１９図に示す、同図（ａ）は平面図、同図（
ｂ）はｅ−ｅ′線断面図である。この４分割フレネルゾ
ーンプレート１３ｑｆは中心１３ｑｆｏを通る２本の直
交する分割線１３ｑｆｌで４つの領域１３ｑｆｈ、１３
ｑｆｉ、１３ｑｆｊ、１３ｑｆｋに分割される。４分割
フレネルゾーンプレート１３ｑｆは相対する対角領域１
３ｑｆｈと１３ｑｆｊ、１３ｑｆｉと１３ｑｆｋそれぞ
れにおいて、−次回折光の焦点距離が等しくなるよう形
成されている。対角領域１３ｑｆｈと１３ｑｆｊの一次
回折光の焦点距離をｆｌ、対角領域１３ｑｆｉと１３ｑ
ｆｋの一次回折光の焦点距離をｆ２とすると、非点隔差
Δは、 Δ＝ｆｌ−ｆ２ となる。

４分割光検出器１５ａも、４分割フレネルゾーンプレー
ト１３ｑｆと同様に中心を通る２本の直交する分割線に
より４つの光検出部１５ａｈ、１５ａｔ、１５ａｊ、１
５ａｋに分割されている。

４分割フレネルゾーンプレート１３ｑｆの２本の分割線
と４分割光検出器１５ａの２本の分割線とは光軸方向か
らみて互いに重なるように配置されている。

４分割フレネルゾーンプレー）１３ｑｆによる照射光波
長変動信号光は４分割光検出器１５ａにより受光され、
その検出信号は照射光波長変動信号演算器２００によっ
て演算され照射光波長変動信号Ｗとして出力される。

照射光波長変動信号演算器２００では４分割光検出器１
５ａの各光検出部１５ａｈ、１５ａｉ、１５ａｊ、１５
ａｋからの検出信号をオペアンプ１６ｈ、１６ｉ、１６
Ｊ、１６に１″電流電圧変換し、検出信号Ｈ，Ｉ、Ｊ、
Ｋを出力する。これら検出信号Ｈ，Ｉ、Ｊ、には加算器
２２．２３及び減算器１７により演算され次式の照射光
波長変動信号Ｗとして出力する。

Ｗ二（Ｈ＋Ｊ　）　−（Ｉ　十Ｋ） レーザ光の波長に応じて４分割光検出器１５ａ上に第２
０図に示すような像が結像される。

レーザ光の波長が基準波長λ。であると、４分割フレネ
ルゾーンプレート１３ｑｆにより回折された波長誤差検
出光は、第２０図（ｂ）に示すように、４分割光検出器
１５ａ上に円形のビームとなる。したがって、光検出部
１５ａｈ、１５ａｉ、１５ａｊ、１５ａｋからの検出信
号Ｈ１■１．Ｊ、Ｋの大きさは同じになり、照射光波長
変動信号Ｗは０となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、４分割
フレネルゾーンプレート１３ｃｉｆにより回折された波
長誤差検出光は、第２０図（ａ）に示すように、４分割
光検出器１５ａ上の光検出部１５ａｉ、１５ａｋで大き
く、光検出部１５ａｈ、１５ａｊで小さくなるように結
像する。したがって、検出信号Ｉ、には大きく、検出信
号Ｈ，Ｊは小さくなり、照射光波長変動信号Ｗは負とな
る。

レーザ光の波長が基準波長λ。より短くなると、４分割
フレネルゾーンプレー）−１３９ｆにより回折された波
長誤差検出光は、第２０図（Ｃ）に示すように、４分割
光検出器１５ａ上の光検出部１５ａｉ、１５ａｋで小さ
く、光検出部１５ａｈ、１５ａｊで大きくなるように結
像する。したがって、検出信号Ｉ、には小さく、検出信
号Ｈ，Ｊは大きくなり、照射光波長変動信号Ｗは正とな
る。

フォーカス誤差補正演算器３００は、フォーカス誤差信
号演算器１００によるフォーカス誤差信号Ｆａを、照射
光波長変動信号演算器２００による照射光波長変動信号
Ｗにより補正して、波長変動に影響を受けないフォーカ
ス誤差信号Ｆａを出力する。

このように本実施例によれば、４分割フレネルゾーンプ
レートにより照射光の波長変動を検出して、フォーカス
誤差信号を補正しているので、照射光の波長変動に影響
を受けずにレーザ光を情報記録媒体上に正確に焦点を結
ぶように制御することができる。

１１立大１３ 本発明の第９の実施例による光ヘンドの誤差検出装置を
第２１図乃至第２３図を用いて説明する。

第１８図乃至第２０図に示す第８の実施例による光ヘッ
ドの誤差検出装置と同一の構成要素には同一の符号を付
して説明を省略又は簡略にする。

本実施例は、第８の実施例の４分割フレネルゾーンプレ
ート１３ｑｆの代わりに楕円フレネルゾーンプレート１
３ｅｆを用いている点を特徴としている。

半導体レーザ光源１から放射されるレーザ光は、ビーム
スプリッタ４を介して照射光波長変動信号光として楕円
フレネルゾーンプレート１３ｅｆによって４分割光検出
器１５ａ上に結像する。

本実施例で用いられる楕円フレネルゾーンプレートＸ３
ｅｆを第２２図に示す、同図（ａ）は平面図、同図ｆｂ
）はｌ−ｆ’線断面図である。この楕円フレネルゾーン
プレート１３ｅｆは水平方向の軸Ｘと垂直方向の軸Ｙで
異なる一次回折光の焦点距ｆｉｆｘ、ｆｙになるように
形成されている。２本の軸Ｘ、Ｙが４分割光検出器１５
ａの２本の分割線と光軸方向からみて互いに重なるよう
に配置する。このときの楕円フレネルゾーンプレート１
３ｅｆの非点隔差Δは、 Δ＝ｆｘ−ｆｙ となる。

レーザ光の波長に応じて４分割光検出器１５ａ上に第２
３図に示すような像が結像される。

レーザ光の波長が基遭波長λ。であると、楕円フレネル
ゾーンプレート１３ｅｆにより回折された波長誤差検出
光は、第２３図ｆｂ）に示すように、４分割光検出器１
５ａ上に円形のビームとなる。

したがって、光検出部１５ａｈ、１５ａｉ、１５ａｊ、
１５ａｋからの検出信号Ｈ，Ｉ、Ｊ、にの大きさは同じ
になり、照射光波長変動信号Ｗは０となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より長くなると、楕円フ
レネルゾーンプレート１３ｅｆにより回折された波長誤
差検出光は、第２３図（ａ）に示すように横長になり、
４分割光検出器１５ａ上の光検出部１５ａｉ、１５ａｋ
で大きく、光検出部１５ａｈ、１５ａｊで小さくなるよ
うに結像する。したがって、検出信号１．には大きく、
検出信号Ｈ１Ｊは小さくなり、照射光波長変動信号Ｗは
負となる。

レーザ光の波長が基準波長λ。より短くなると、楕円フ
レネルゾーンプレート１３ｅｆにより回折された波長誤
差検出光は、第２３図（Ｃ）に示すように縦長になり、
４分割光検出器１５ａ上の光検出部１５ａｉ、１５ａｋ
で小さく、光検出部１５ａｈ、１５ａｊで大きくなるよ
うに結像する。したがって、検出信号１．には小さく、
検出信号Ｈ１Ｊは大きくなり、照射光波長変動信号Ｗは
正となる。

このように本実施例によれば、楕円フレネルゾーンプレ
ートにより照射光の波長変動を検出して、フォーカス誤
差信号を補正しているので、照射光の波長変動に影響を
受けずにレーザ光を情報記録媒体上に正確に焦点を結ぶ
ように制御することができる。

１１見立叉ｌ」 本発明の第１０の実施例による光ヘッドの誤差検出装置
を第２４図及び第２５図を用いて説明する。第１８図乃
至第２３図に示す第８及び第９の実施例による光ヘッド
の誤差検出装置と同一の構成要素には同一の符号を付し
て説明を省略又は簡略にする。

本実施例は・、第８の実施例の４分割フレネルゾーンプ
レート１３ｑｆ及び第９の実施例の楕円フレネルゾーン
プレート１３ｅｆの代わりに、フーコー法用光回折素子
１３ｈｆを用い、回折光をフーコー法用の４分割光検出
器１５ｆで受光して波長変動を検出する。

フーコー法用光回折素子１３ｈｆは、第５図及び第６図
に示すように、入射光を回折して光軸を中心として対称
的な２つの回折光を得るものである。

フーコー法用の４分割光検出器１５ｆは、光軸を対称に
配された２分割光検出器１５ｆＨ１１５ｆＩにより構成
される。２分割光検出器１５ｆＨ１１５ｆＩは、それぞ
れ光検出部１５ｆｈ、１５ｆ１．１５ｆｊ、１５ｆｋに
２分割されている。これら２分割光検出器１５ｆＨ１１
５ｆＩは、レーザ光の波長が基準波長λ。のときにフー
コー法用光回折素子１３ｈｆによる２つの回折光が、光
検出部１５ｆｈ、１５ｆｔと光検出部１５ｆｊ、１５ｆ
ｋの境界に焦点を結ぶ位置に配置される。

照射光波長変動信号演算器２００では光検出部１５ｆｈ
、１５ｆｉ、１５ｆｊ、１５・ｆｋからの検出信号をオ
ペアンプ１６ｈ、１６ｋ、１６ｉ、１６ｊ″′Ｃ−＄流
電圧変換し、加算器２２．２３及び減算器１７により演
算して照射光波長変動信号Ｗとして出力する。光検出部
１５ｆｈ、１５ｆ　ｉ、１５ｆｊ、１５ｆｋからの検出
信号をＨ，１，Ｊ、Ｋとすると、照射光波長変動信号Ｗ
は次式のごとくなる。

Ｗ＝　（Ｈ＋Ｋ）−（１＋Ｊ　） レーザ光の波長に応じて４分割光検出器１５ｆ上に第２
５図に示すような像が結像される。

レーザ光が基準波長λ。であると、フーコー法用光回折
素子１５ｈｆにより回折された回折光は、第２５図（ｂ
）に示すように、４分割光検出器１５ｆの光検出部１５
ｆｈ、１５ｆｔ、１５ｆＪ、１５ｆｋで等しい大きさに
なるように結像する。したがって、光検出部１５ｆｈ、
１５ｆｉ、１５ｆｊ、１５ｆｋの検出信号Ｈ，１，Ｊ、
Ｋが同じ大きさになり、照射光波長変動信号Ｗは０とな
る。

レーザ光が基準波長λ０より長くなると、フーコー法用
光回折索子１５ｈｆにより回折された回折光は、第２５
図（ａ）に示すように、４分割光検土器１５ｆの光検出
部１５ｆｈ、１５ｆｋで大きく、光検出部１５ｆｔ、１
５ｆｊで小さくなるように結像する。したがって、光検
出部１５ｆｈ、１５ｆｋの検出信号Ｈ，Ｋが大きく、光
検出部１５ｆｉ、１５ｆｊの検出信号■、Ｊが小さくな
り、照射光波長変動信号Ｗは正となる。

レーザ光が基準波長λ。より短くなると、フーコー法用
光回折素子１５ｈｆにより回折された回折光は、第２５
図（ａ）に示すように、４分割光検出器１５ｆの光検出
部１５ｆｈ、１５ｆｋで小さく、光検出部１５ｆｉ、１
５ｆｊで大きくなるように結像する。したがって、光検
出部１５ｆｈ、１５ｆｋの検出信号Ｈ，Ｋが小さく、光
検出部１５ｆｉ、１５ｆｊの検出信号Ｉ、Ｊが大きくな
り、照射光波長変動信号Ｗは負となる。

このように本実施例によれば、フーコー法により照射光
の波長変動を検出して、フォーカス誤差信号を補正して
いるので、照射光の波長変動に影響を受けずにレーザ光
を情報記録媒体上に正確に焦点を結ぶように制御するこ
とができる。

！ユ」ゴど（１忽 本発明の第１１の実施例による光ヘッドの誤差検出装置
を第２６図乃至第２９図を用いて説明する。

本実施例では、第１乃至第１０の実施例における波長変
動検出手段の構成要素を用いて光強度制御用信号Ｐを測
定しようとするものである。

第２６図は、波長変動検出手段の光検出手段が２分割検
出器１５ｄの場合（第１の実施例、第２の実施例、第４
乃至第７の実施例）の具体例を示している。

上記実施例における照射光波長変動信号演算器２００に
、オペアンプ１６ｈ、１６ｉの検出信号Ｈ，Ｉを加算す
る加算器２０を加えて、照射光波長変動信号及び照射光
光量演算器４００としている。この照射光波長変動信号
及び照射光光量演算器４００からは次式のような光強度
制御用信号Ｐと照射光波長変動信号Ｗが出力される。

Ｐ＝Ｈ＋Ｉ Ｗ＝Ｈ−Ｉ 第２７図は、波長変動検出手段の光検出手段か光位置検
出器１５ｐの場合（第３の実施例、第４乃至第７の実施
例）の具体例を示している。

上記実施例における照射光波長変動信号演算器２００に
、オペアンプ１６ｈ、１６ｉの検出信号Ｈ，Ｉを加算す
る加算器２０の出力端を加えて、照射光波長変動信号及
び照射光光量演算器４００としている。この照射光波長
変動信号及び照射光光量演算器４００からは次式のよう
な光強度制御用信号Ｐと照射光波長変動信号Ｗが出力さ
れる。

Ｐ＝Ｈ＋　Ｉ Ｗ＝　（Ｉ−Ｈ）／（Ｉ＋Ｈ） 第２８図は、波長変動検出手段の光検出手段が４分割光
検出器１５ａの場合（第８の実施例、第９の実施例）の
具体例を示している。

上記実施例における照射光波長変動信号演算器２００に
、加算器２２．２３の出力信号Ｈ＋Ｊ、Ｉ＋Ｋを加算す
る加算器２０を加えて、照射光波長変動信号及び照射光
光量演算器４００としている。この照射光波長変動信号
及び照射光光量演算器４００からは次式のような光強度
制御用信号Ｐと照射光波長変動信号Ｗが出力される。

Ｐ＝Ｈ＋Ｉ＋Ｊ＋Ｋ Ｗ＝　（Ｈ＋Ｊ　）−（Ｔ　＋Ｋ） 第２９図は、波長変動検出手段の光検出手段が４分割光
検出器１５ｆの場合（第１０の実施例）の具体例を示し
ている。

上記実施例における照射光波長変動信号演算器２００に
、加算器２２．２３の出力信号Ｈ＋Ｋ、Ｉ＋Ｊを加算す
る加算器２０を加えて、照射光波長変動信号及び照射光
光量演算器４００としている。この照射光波長変動信号
及び照射光光量演算器４００からは次式のような光強度
制御用信号Ｐと照射光波長変動信号Ｗが出力される。

Ｐ＝Ｈ＋Ｉ＋Ｊ−１−Ｋ Ｗ＝　（Ｈ＋Ｋ）−＜　Ｉ　＋Ｊ） このようにして得られた光強度制御用信号Ｐを半導体レ
ーザ光源１の駆動回路（図示せず）にフィードバック制
御することにより半導体レーザ光源１の出力光強度を安
定に保つことができる。

艮皿忽 本発明は上記実施例に限らず種々の変形が可能である。

例えば、上記実施例では照射光のフォーカス誤差検出信
号を照射光波長変動信号により補正する場合について説
明したが、フォーカス誤差信号と同様に光回折素子によ
り検出されたトラック誤差信号の波長変動の補正にも本
発明を適用することができる。

［発明の効果コ 以上の通り、本発明によれば、照射光の波長変動に影響
されることなく照射光の誤差を正確に検出することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例による光ヘッドの誤差検
出装置を示す図、 第２図及び第３図は本発明の第１の実施例による光ヘッ
ドの誤差検出装置において波長変動を検出する回折格子
による回折光を示す図、第４図は本発明の第２の実施例
による光ヘッドの誤差検出装置を示す図、 第５図及び第６図は本発明の第２の実施例による光ヘッ
ドの誤差検出装置においてフォーカス誤差を検出するフ
ーコー法用光回折素子の具体例を示す図、 第７図は本発明の第２の実施例による光ヘッドの誤差検
出装置におけるフーコー法用光回折素子による回折光を
示す図、 第８図は本発明の第３の実施例による光ヘッドの誤差検
出装置を示す図、 第９図は本発明の第３の実施例による光ヘッドの誤差検
出装置において波長変動を検出する回折格子による回折
光を示す図、 第１０図は本発明の第４の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置を示す図、 第１１図は本発明の第４の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する透過型回折格子に
よる回折光を示す図、 第１２図は本発明の第５の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置を示す図、 第１３図は本発明の第５の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する反射型回折格子に
よる回折光を示す図、 第１４図は本発明の第６の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置を示す図、 第１５図は本発明の第６の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する透過型ホログラム
による回折光を示す図、第１６図は本発明の第７の実施
例による光ヘッドの誤差検出装置を示す図、 第１７図は本発明の第７の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する反射型ホログラム
による回折光を示す図、第１８図は本発明の第８の実施
例による光ヘッドの誤差検出装置を示す図、 第１９図は本発明の第８の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する４分割フレネルゾ
ーンプレートを示す図、第２０図は本発明の第８の実施
例による光ヘッドの誤差検出装置において波長変動を検
出する４分割フレネルゾーングレートによる回折光を示
す図、 第２１図は本発明の第９の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置を示す図、 第２２図は本発明の第９の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する楕円フレネルゾー
ンプレートを示す図、 第２３図は本発明の第９の実施例による光ヘッドの誤差
検出装置において波長変動を検出する楕円フレネルゾー
ンプレートによる回折光を示す図、第２４図は本発明の
第１０の実施例による光ヘッドの誤差検出装置を示す図
、 第２５図は本発明の第１０の実施例による光ヘッドの誤
差検出装置において波長変動を検出するフーコー法用光
回折素子による回折光を示す図、第２６図乃至第２９図
は本発明の第１１の実施例による光ヘッドの誤差検出装
置の要部を示す図、第３０図は従来の光ヘッドの誤差検
出装置を示す図、 第３１図は従来の光ヘッドの誤差検出装置においてフォ
ーカス誤差を検出する４分割フレネルゾーンプレートに
よる回折光を示す図、 第３２図は半導体レーザ光源からのレーザ光の環境温度
による波長変動を示すグラフ、第３３図は半導体レーザ
光源からのレーザ光のレーザ出力強度による波長変動を
示すグラフである。 図において、 １・・・半導体レーザ光源 ２・・・コリメートレンズ ３・・・ビーム成形プリズム ４・・・ビームスプリッタ ５・・・対物レンズ ６・・・情報記録媒体 ７・・・光回折素子 ７ａ・・・４分割フレネルゾーンプレート７ｆ・・・フ
ーコー法用光回折素子 ８・・・フォーカス誤差信号光検出器 ８ａ・・・４分割光検出器 ８ｆ・・・フーコー法用４分割光検出器９ａ〜９ｄ・・
・オペアンプ １０．１１・・・加算器 １２・・・減算器 １３・・・光回折素子 １３ｇ・・・回折格子 １３ｇｔ・・・透過型回折格子 １３ｇｒ・・・反射型回折格子 １３ｈｔ・・・透過型ホログラム １３ｈｒ・・・反射型ホログラム １３ｑｆ・・・４分割フレネルゾーンプレート１３ｅｆ
・・・楕円フレネルゾーンプレート１３ｈｆ・・・フー
コー法用光回折素子１４・・・凸レンズ １５・・・照射光波長変動光検出器 １５ｄ・・・２分割光検出器 １５ｐ・・・光位置検出器 １５ａ・・・４分割光検出器 ６ｈ〜１６ｋ・・・オペアンプ ７・・・減算器 ８・・・増幅器 ９．２０．２２．２３・・・加算器 １・・・徐算器 ００・・・フォーカス誤差信号演算器 ００・・・照射光波長変動信号演算器 ００・・・フォーカス誤差補正演算器 ００・・・照射光波長変動信号及び照射光光量演算器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、照射光を発する光源と、 前記光源から発せられた照射光を回折する光回折手段と
   、前記光回折手段により回折された照射光の回折状態を
   検出する光検出手段と、前記光検出手段の検出信号に基
   づいて前記照射光の波長変動を演算する演算手段とを有
   する波長変動検出手段と、 被照射面による前記照射光の反射光を回折する光回折手
   段と、前記光回折手段により回折された反射光の回折状
   態を検出する光検出手段と、前記光検出手段の検出信号
   に基づいて前記被照射面に対する照射光の誤差を演算す
   る演算手段とを有する誤差検出手段と、 前記波長変動検出手段により検出された前記照射光の波
   長変動に基づいて前記誤算検出手段による前記照射光の
   誤差を補正する誤差補正手段とを備えたことを特徴とす
   る光ヘッドの誤差検出装置。 ２、請求項１記載の光ヘッドの誤差検出装置において、 前記波長変動検出手段の光回折手段が回折格子であり、 前記波長変動検出手段の光検出手段が前記回折格子によ
   る回折光の回折角を検出する光検出器であることを特徴
   とする光ヘッドの誤差検出装置。 ３、請求項２記載の光ヘッドの誤差検出装置において、 前記回折格子が前記光源から発せられた照射光を成形す
   るビーム成形機能を有していることを特徴とする光ヘッ
   ドの誤差検出装置。 ４、請求項１記載の光ヘッドの誤差検出装置において、 前記波長変動検出手段の光回折手段がホログラムであり
   、 前記波長変動検出手段の光検出手段が前記ホログラムに
   よる回折光の回折角を検出する光検出器であることを特
   徴とする光ヘッドの誤差検出装置。 ５、請求項１記載の光ヘッドの誤差検出装置において、 前記波長変動検出手段の光回折手段が４分割フレネルゾ
   ーンプレートであり、 前記波長変動検出手段の光検出手段が前記４分割フレネ
   ルゾーンプレートによる回折光の収束位置を検出する光
   検出器であることを特徴とする光ヘッドの誤差検出装置
   。 ６、請求項１記載の光ヘッドの誤差検出装置において、 前記波長変動検出手段の光回折手段が楕円フレネルゾー
   ンプレートであり、 前記波長変動検出手段の光検出手段が前記楕円フレネル
   ゾーンプレートによる回折光の収束位置を検出する光検
   出器であることを特徴とする光ヘッドの誤差検出装置。 ７、請求項１記載の光ヘッドの誤差検出装置において、 前記波長変動検出手段の光回折手段がフーコー法用光回
   折素子であり、 前記波長変動検出手段の光検出手段が前記フーコー法用
   光回折素子による回折光の収束位置を検出する光検出器
   であることを特徴とする光ヘッドの誤差検出装置。 ８、請求項２乃至７記載の光ヘッドの誤差検出装置にお
   いて、 前記波長変動検出手段の光検出器の出力信号に基づいて
   、前記照射光の光強度を演算する光強度演算手段を更に
   有することを特徴とする光ヘッドの誤差検出装置。 ９、請求項１乃至８記載の光ヘッドの誤差検出装置にお
   いて、 前記誤差検出手段の光回折手段が回折格子であり、 前記誤差検出手段の光検出手段が前記回折格子による回
   折光の回折角を検出する光検出器であることを特徴とす
   る光ヘッドの誤差検出装置。 １０、請求項１乃至８記載の光ヘッドの誤差検出装置に
   おいて、 前記誤差検出手段の光回折手段がフーコー法用光回折素
   子であり、 前記誤差検出手段の光検出手段が前記フーコー法用光回
   折素子による回折光の収束位置を検出する光検出器であ
   ることを特徴とする光ヘッドの誤差検出装置。