JPH04367388A - 標印用レーザマスクの交換装置 - Google Patents
標印用レーザマスクの交換装置Info
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- JPH04367388A JPH04367388A JP3136734A JP13673491A JPH04367388A JP H04367388 A JPH04367388 A JP H04367388A JP 3136734 A JP3136734 A JP 3136734A JP 13673491 A JP13673491 A JP 13673491A JP H04367388 A JPH04367388 A JP H04367388A
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- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 8
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 5
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- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばトランジスタ
、ダイオード、ＩＣ等の電子部品に対しロット表示等を
標印するのに使用される標印用レーザマスクの交換装置
に関する。
、ダイオード、ＩＣ等の電子部品に対しロット表示等を
標印するのに使用される標印用レーザマスクの交換装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】トランジスタ等の電子部品に対しロット
表示等の標印をする装置は、レーザ光源と、レーザ光源
に対応して配置されるマスクホルダと、このマスクホル
ダの下方に対応して配置されるレンズホルダとから成る
（図示ぜす）。マスクホルダには、標印用のマスク（ス
テンシル）がセットされ、レンズホルダには集光用のメ
ニスカスレンズがセットされる。
表示等の標印をする装置は、レーザ光源と、レーザ光源
に対応して配置されるマスクホルダと、このマスクホル
ダの下方に対応して配置されるレンズホルダとから成る
（図示ぜす）。マスクホルダには、標印用のマスク（ス
テンシル）がセットされ、レンズホルダには集光用のメ
ニスカスレンズがセットされる。
【０００３】標印に際しては、レーザ光源からマスクに
対しレーザ光を照射し、マスクを通過する通過光をメニ
スカスレンズで集光し、電子部品に照射する。これによ
り、電子部品表面がレーザ光により焼け、変色し、マス
ク面内の字形が文字として標印される。
対しレーザ光を照射し、マスクを通過する通過光をメニ
スカスレンズで集光し、電子部品に照射する。これによ
り、電子部品表面がレーザ光により焼け、変色し、マス
ク面内の字形が文字として標印される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、例えば１ロット
の製品について、標印作業が終了し、次のロット製品に
標印を実行する際は、作業者がマスクホルダから終了し
たマスクを取り出し、且つ新規に使用するマスクをマス
クホルダに装着している。従って、マスク交換が人手に
よるため、交換作業に時間がかかる許かりでなく、交換
の都度、装置を一旦停止させなければならず、標印効率
が頗る悪い。また、作業者は交換時にマスクの種類を慎
重に確認しなければならず、仮に誤った種類のマスクを
装着した場合には、すべて廃棄処分となり製品損失が大
きい等の不利があった。
の製品について、標印作業が終了し、次のロット製品に
標印を実行する際は、作業者がマスクホルダから終了し
たマスクを取り出し、且つ新規に使用するマスクをマス
クホルダに装着している。従って、マスク交換が人手に
よるため、交換作業に時間がかかる許かりでなく、交換
の都度、装置を一旦停止させなければならず、標印効率
が頗る悪い。また、作業者は交換時にマスクの種類を慎
重に確認しなければならず、仮に誤った種類のマスクを
装着した場合には、すべて廃棄処分となり製品損失が大
きい等の不利があった。
【０００５】この発明では、標印用マスクを自動交換で
き、標印の異なる製品に対し連続的に標印作業を実行し
得、しかもセットする標印用マスクに誤りのない標印用
レーザマスクの交換装置を提供することを目的とする。
き、標印の異なる製品に対し連続的に標印作業を実行し
得、しかもセットする標印用マスクに誤りのない標印用
レーザマスクの交換装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
させるために、この発明の標印用レーザマスクの交換装
置では、次のような構成としている。
させるために、この発明の標印用レーザマスクの交換装
置では、次のような構成としている。
【０００７】標印用レーザマスクの交換装置は、レーザ
光源に対応して配置され、セットされるマスクの種類を
確認するセンサを備えたマスクホルダと、種類の異なる
複数のマスクを収納するマスクマガジンと、このマスク
マガジンに収納される複数のマスクのうち、セットすべ
きマスク位置を検出する位置検出手段と、この位置検出
手段の検知信号によりセットすべきマスクがマスクホル
ダに対応する位置までマスクマガジンを移動させる移動
手段と、セットすべきマスクをマスクホルダに装着する
と共に、標印終了後にセットマスクをマスクマガジンに
戻し収納するマスククリップとから成ることを特徴とし
ている。
光源に対応して配置され、セットされるマスクの種類を
確認するセンサを備えたマスクホルダと、種類の異なる
複数のマスクを収納するマスクマガジンと、このマスク
マガジンに収納される複数のマスクのうち、セットすべ
きマスク位置を検出する位置検出手段と、この位置検出
手段の検知信号によりセットすべきマスクがマスクホル
ダに対応する位置までマスクマガジンを移動させる移動
手段と、セットすべきマスクをマスクホルダに装着する
と共に、標印終了後にセットマスクをマスクマガジンに
戻し収納するマスククリップとから成ることを特徴とし
ている。
【０００８】このような構成を有する標印用レーザマス
クの交換装置では、マスクマガジンは、前面及び後面が
開放の枠体で、前面側にマスククリップ、後面側にマス
クホルダが配置してある。マガジンには、多数のマスク
受け溝が上下方向に配置してある。使用に際しては、必
要な複数のマスクを使用する順序（標印作業順序）で、
適当位置のマスク受け溝へ上下方向へ収納配置する。ま
た、このマガジンはラック部を備え、このラック部がモ
ータのピニオンと連繋し、モータは制御部によりコント
ロールされ、マガジンがマスクホルダ（及びマスククリ
ップ）に対し垂直方向へ移動可能となっている。。作業
者がスタートスイッチを押すと、モータの駆動によりリ
ミットスイッチ（マガジンの下方に設置したスタート用
リミットセンサ）がＯＮする位置までマスクマガジンが
移動する。この間、位置検出手段（セットすべきマスク
位置確認センサ）により、セットすべきマスクの収納位
置が検知される。この検知信号により、セットすべきマ
スクがマスクホルダに対応する位置までマスクマガジン
が移動させられる。ここで、マスククリップがセットす
べきマスクを把持してマスクホルダに運びセットする。 マスクには、判別用孔が設けてあり、マスクの種類確認
センサ（発光素子と受光素子）によりマスクの種類が確
認される。この光電センサの確認信号に基づき、レーザ
光源が点灯しレーザ光がマスクを通過し、通過光がメニ
スカスレンズで集光され、電子部品に標印を実行する。
クの交換装置では、マスクマガジンは、前面及び後面が
開放の枠体で、前面側にマスククリップ、後面側にマス
クホルダが配置してある。マガジンには、多数のマスク
受け溝が上下方向に配置してある。使用に際しては、必
要な複数のマスクを使用する順序（標印作業順序）で、
適当位置のマスク受け溝へ上下方向へ収納配置する。ま
た、このマガジンはラック部を備え、このラック部がモ
ータのピニオンと連繋し、モータは制御部によりコント
ロールされ、マガジンがマスクホルダ（及びマスククリ
ップ）に対し垂直方向へ移動可能となっている。。作業
者がスタートスイッチを押すと、モータの駆動によりリ
ミットスイッチ（マガジンの下方に設置したスタート用
リミットセンサ）がＯＮする位置までマスクマガジンが
移動する。この間、位置検出手段（セットすべきマスク
位置確認センサ）により、セットすべきマスクの収納位
置が検知される。この検知信号により、セットすべきマ
スクがマスクホルダに対応する位置までマスクマガジン
が移動させられる。ここで、マスククリップがセットす
べきマスクを把持してマスクホルダに運びセットする。 マスクには、判別用孔が設けてあり、マスクの種類確認
センサ（発光素子と受光素子）によりマスクの種類が確
認される。この光電センサの確認信号に基づき、レーザ
光源が点灯しレーザ光がマスクを通過し、通過光がメニ
スカスレンズで集光され、電子部品に標印を実行する。
【０００９】例えば、１ロット分の標印作業が終了する
と、終了スイッチを作業者が押す。これにより、マスク
クリップが終了したマスクをマスクマガジンへ戻す。そ
の後、再び作業者がスタートスイッチを押すと、マスク
マガジンは次に使用するマスクがマスクホルダに対応す
る位置まで移動させられる。このマスクマガジンの移動
は、ラック部とピニオンとの噛み合い数、つまりモータ
の回転数の制御（モータ駆動時間の制御）でワンステッ
プ移動し、次の新しいマスクがマスクホルダに対応位置
するようになっている。そして、マスククリップが使用
順序「２」のマスクをマスクホルダにセットして、新た
な標印作業を実行する。以後、この作業が繰り返し続行
される。
と、終了スイッチを作業者が押す。これにより、マスク
クリップが終了したマスクをマスクマガジンへ戻す。そ
の後、再び作業者がスタートスイッチを押すと、マスク
マガジンは次に使用するマスクがマスクホルダに対応す
る位置まで移動させられる。このマスクマガジンの移動
は、ラック部とピニオンとの噛み合い数、つまりモータ
の回転数の制御（モータ駆動時間の制御）でワンステッ
プ移動し、次の新しいマスクがマスクホルダに対応位置
するようになっている。そして、マスククリップが使用
順序「２」のマスクをマスクホルダにセットして、新た
な標印作業を実行する。以後、この作業が繰り返し続行
される。
【００１０】かくして、異なる種類の製品に対し、対応
する種類のマスクを選定して、自動的にマスク交換を実
行し、連続的に異なる製品に対し標印作業を行い得る。 また、マスクセット時に、光電センサによりマスクの種
類を確認した後に、標印作業を実行するから、種類の誤
ったマスクで標印する虞れが全くない。
する種類のマスクを選定して、自動的にマスク交換を実
行し、連続的に異なる製品に対し標印作業を行い得る。 また、マスクセット時に、光電センサによりマスクの種
類を確認した後に、標印作業を実行するから、種類の誤
ったマスクで標印する虞れが全くない。
【００１１】
【実施例】図１は、この発明に係る標印用レーザマスク
の交換装置の具体的な一実施例を示す側面図である。
の交換装置の具体的な一実施例を示す側面図である。
【００１２】標印用レーザマスクの交換装置は、レーザ
光源６に対応して配置され、セットされるマスクＡの種
類を確認するセンサ１１を備えたマスクホルダ１と、種
類の異なる複数のマスクＡ、Ｂ、Ｃを収納するマスクマ
ガジン２と、このマスクマガジン２に収納される複数の
マスクＡ、Ｂ、Ｃのうち、セットすべきマスク位置を検
出する位置検出手段３と、この位置検出手段３の検知信
号によりセットすべきマスクＡがマスクホルダ１に対応
する位置までマスクマガジン２を移動させる移動手段４
と、セットすべきマスクＡをマスクホルダ１に装着する
と共に、標印終了後にセットマスクＡをマスクマガジン
２に戻し収納するマスククリップ５とから成る。
光源６に対応して配置され、セットされるマスクＡの種
類を確認するセンサ１１を備えたマスクホルダ１と、種
類の異なる複数のマスクＡ、Ｂ、Ｃを収納するマスクマ
ガジン２と、このマスクマガジン２に収納される複数の
マスクＡ、Ｂ、Ｃのうち、セットすべきマスク位置を検
出する位置検出手段３と、この位置検出手段３の検知信
号によりセットすべきマスクＡがマスクホルダ１に対応
する位置までマスクマガジン２を移動させる移動手段４
と、セットすべきマスクＡをマスクホルダ１に装着する
と共に、標印終了後にセットマスクＡをマスクマガジン
２に戻し収納するマスククリップ５とから成る。
【００１３】前記マスクホルダ１は、レーザ光源８とメ
ニスカスレンズ９との間に対応配置されている。このマ
スクホルダ１は、面内にマスクＡを固定する固定部１２
を備え、この固定部１２の上方にマスクの種類を確認す
るセンサ１１を配備してある。センサ１１は、実施例で
は光電センサ（受・発光素子）で１２個設けてある。一
方、マスクＡ、Ｂ、Ｃには、種類判別用の孔が設けてあ
り、光電センサ１２の受光状態で種類が判別できるよう
になっている。
ニスカスレンズ９との間に対応配置されている。このマ
スクホルダ１は、面内にマスクＡを固定する固定部１２
を備え、この固定部１２の上方にマスクの種類を確認す
るセンサ１１を配備してある。センサ１１は、実施例で
は光電センサ（受・発光素子）で１２個設けてある。一
方、マスクＡ、Ｂ、Ｃには、種類判別用の孔が設けてあ
り、光電センサ１２の受光状態で種類が判別できるよう
になっている。
【００１４】上記、マスクマガジン２は、左右側面板２
ａ、２ｂからなり、前面及び後面が開放の枠体で、前面
側に後述するマスククリップ５、後面側に上記マスクホ
ルダ１が配置してある。つまり、マスククリップ５及び
マスクホルダ１は、共にマガジン２の長さ中央部の両側
に固定配置してある。また、マスクマガジン２には、両
側面板２ａ、２ｂの内面側に多数のマスク受け溝２１が
上下方向に配置してある。このマスク受け溝２１は、マ
スククリップ５及びマスクホルダ１と連通状となってい
る。更に、この上下方向に平行状に並ぶマスク受け溝２
１には、使用する複数のマスクＡ、Ｂ、Ｃを配置するよ
うになっている。また、一方の側面板２ｂにラック部４
１を設け、このラック部４１を支柱６に対しスライド可
能に設定している。上記、移動手段４は、このラック部
４１と、正逆回転モータ４２と、モータ４２の回転軸に
取付けたピニン４３とからなり、ラック部４１とピニオ
ン４３とが噛み合っている。このモータ４２は、図示し
ない制御部（コントローラ）に電気的に接続してあり、
マガジンラック２がマスクホルダ（マスククリップ）１
に対し上下動するようになっている。
ａ、２ｂからなり、前面及び後面が開放の枠体で、前面
側に後述するマスククリップ５、後面側に上記マスクホ
ルダ１が配置してある。つまり、マスククリップ５及び
マスクホルダ１は、共にマガジン２の長さ中央部の両側
に固定配置してある。また、マスクマガジン２には、両
側面板２ａ、２ｂの内面側に多数のマスク受け溝２１が
上下方向に配置してある。このマスク受け溝２１は、マ
スククリップ５及びマスクホルダ１と連通状となってい
る。更に、この上下方向に平行状に並ぶマスク受け溝２
１には、使用する複数のマスクＡ、Ｂ、Ｃを配置するよ
うになっている。また、一方の側面板２ｂにラック部４
１を設け、このラック部４１を支柱６に対しスライド可
能に設定している。上記、移動手段４は、このラック部
４１と、正逆回転モータ４２と、モータ４２の回転軸に
取付けたピニン４３とからなり、ラック部４１とピニオ
ン４３とが噛み合っている。このモータ４２は、図示し
ない制御部（コントローラ）に電気的に接続してあり、
マガジンラック２がマスクホルダ（マスククリップ）１
に対し上下動するようになっている。
【００１５】上記マスク位置検出手段３は、マスクマガ
ジン２の下方であって、マスクマガジン２の前面側近傍
に配置してある位置確認センサである。このマスク位置
検出手段３は、後述するマスククリップ５の下方に配置
してある。また、このマスク位置検出手段３の上方及び
下方、つまりマスクマガジン２の前面側であって、支柱
６の上端側位置と下端側位置にそれぞれリミットセンサ
７、７ａが配置してある。下側のリミットセンサ７がス
タート用であり、上側のリミットセンサ７ａがエンド用
である。
ジン２の下方であって、マスクマガジン２の前面側近傍
に配置してある位置確認センサである。このマスク位置
検出手段３は、後述するマスククリップ５の下方に配置
してある。また、このマスク位置検出手段３の上方及び
下方、つまりマスクマガジン２の前面側であって、支柱
６の上端側位置と下端側位置にそれぞれリミットセンサ
７、７ａが配置してある。下側のリミットセンサ７がス
タート用であり、上側のリミットセンサ７ａがエンド用
である。
【００１６】前記マスククリップ５は、先端部に挟み状
のマスク把持部５１を備え、基端部に筒状スライダ５２
を備えている。このスライダ５２が、下方に平行状に配
置されたシリンダ５３に移動可能に嵌挿配備されている
。つまり、マスククリップ５は、スライダ５２がシリン
ダ５３上を往復動することで移動し、マスクをマスクマ
ガジン２とマスクホルダ１との間で移送する。また、先
端部のマスク把持部５１は、プランジャ機構となってお
り、電磁石によりマスクを把持し或いは開放するように
なっている。つまり、制御部からの電気信号（オン、オ
フ）で把持部５１がマスクを把持・開放する。このマス
ク把持部５１の駆動及びスライダ５２の往復移動は、図
示しない制御部と電気的に接続されコントロールされる
ようになっている。
のマスク把持部５１を備え、基端部に筒状スライダ５２
を備えている。このスライダ５２が、下方に平行状に配
置されたシリンダ５３に移動可能に嵌挿配備されている
。つまり、マスククリップ５は、スライダ５２がシリン
ダ５３上を往復動することで移動し、マスクをマスクマ
ガジン２とマスクホルダ１との間で移送する。また、先
端部のマスク把持部５１は、プランジャ機構となってお
り、電磁石によりマスクを把持し或いは開放するように
なっている。つまり、制御部からの電気信号（オン、オ
フ）で把持部５１がマスクを把持・開放する。このマス
ク把持部５１の駆動及びスライダ５２の往復移動は、図
示しない制御部と電気的に接続されコントロールされる
ようになっている。
【００１７】このような構成を有する標印用レーザマス
クの交換装置では、使用に際しては、必要な複数のマス
クＡ、Ｂ、Ｃを使用する順序（標印作業順序）で、マス
ク受け溝２１に収納配置する。作業者がスタートスイッ
チ（図示せず）を押すと、モータ４２の駆動によりリミ
ットスイッチ（スタート用リミットセンサ）７がＯＮす
る位置までマスクマガジン２が移動する。この間、位置
検出手段（セットすべきマスク位置確認センサ）３によ
り、セットすべきマスクＡの収納位置が検知される。こ
の検知信号により、セットすべきマスクＡがマスクホル
ダ１に対応する位置までマスクマガジン２が移動させら
れる。ここで、マスククリップ５がセットすべきマスク
Ａを把持してマスクホルダ１に運びセットする。マスク
Ａには、判別用孔が設けてあり、光電センサ（発光素子
と受光素子）１１によりマスクＡの種類が確認される。 この光電センサ１１の確認信号に基づき、レーザ光源８
が点灯しレーザ光がマスクＡを通過し、通過光がメニス
カスレンズ９で集光され、電子部品Ｘに標印を実行する
。例えば、１ロット分の標印作業が終了すると、終了ス
イッチ（図示せず）を作業者が押す。これにより、マス
ククリップ５が終了したマスクＡをマスクマガジン２へ
戻す。その後、再び作業者がスタートスイッチ（図示せ
ず）を押すと、マスクマガジン２は次に使用するマスク
Ｂ（図２参照）が、マスクホルダ１に対応する位置まで
移動させられる。ここで、マスクマガジン２の移動は、
ピニオン４３とラック部４１との噛み合い数により、モ
ータ４２の回転数の制御（モータ駆動時間の制御）で、
マスクＡ位置からマスクＢの収納位置まで、ワンステッ
プするように設定してある。従って、作業者がスタート
スイッチを再び押すことで、マスクマガジンはモータ４
２の回転により自動的に、次のマスクＢがマスクホルダ
１に対応する位置へ移動する。そして、マスククリップ
５が使用順序「２」のマスクＢをマスクホルダ１にセッ
トして、新たな標印作業を実行する。以後、この作業が
繰り返し続行される。
クの交換装置では、使用に際しては、必要な複数のマス
クＡ、Ｂ、Ｃを使用する順序（標印作業順序）で、マス
ク受け溝２１に収納配置する。作業者がスタートスイッ
チ（図示せず）を押すと、モータ４２の駆動によりリミ
ットスイッチ（スタート用リミットセンサ）７がＯＮす
る位置までマスクマガジン２が移動する。この間、位置
検出手段（セットすべきマスク位置確認センサ）３によ
り、セットすべきマスクＡの収納位置が検知される。こ
の検知信号により、セットすべきマスクＡがマスクホル
ダ１に対応する位置までマスクマガジン２が移動させら
れる。ここで、マスククリップ５がセットすべきマスク
Ａを把持してマスクホルダ１に運びセットする。マスク
Ａには、判別用孔が設けてあり、光電センサ（発光素子
と受光素子）１１によりマスクＡの種類が確認される。 この光電センサ１１の確認信号に基づき、レーザ光源８
が点灯しレーザ光がマスクＡを通過し、通過光がメニス
カスレンズ９で集光され、電子部品Ｘに標印を実行する
。例えば、１ロット分の標印作業が終了すると、終了ス
イッチ（図示せず）を作業者が押す。これにより、マス
ククリップ５が終了したマスクＡをマスクマガジン２へ
戻す。その後、再び作業者がスタートスイッチ（図示せ
ず）を押すと、マスクマガジン２は次に使用するマスク
Ｂ（図２参照）が、マスクホルダ１に対応する位置まで
移動させられる。ここで、マスクマガジン２の移動は、
ピニオン４３とラック部４１との噛み合い数により、モ
ータ４２の回転数の制御（モータ駆動時間の制御）で、
マスクＡ位置からマスクＢの収納位置まで、ワンステッ
プするように設定してある。従って、作業者がスタート
スイッチを再び押すことで、マスクマガジンはモータ４
２の回転により自動的に、次のマスクＢがマスクホルダ
１に対応する位置へ移動する。そして、マスククリップ
５が使用順序「２」のマスクＢをマスクホルダ１にセッ
トして、新たな標印作業を実行する。以後、この作業が
繰り返し続行される。
【００１８】かくして、異なる種類の製品に対し、対応
する種類のマスクを選定して、自動的にマスク交換を実
行し、連続的に異なる製品に対し標印作業を行い得る。 また、マスクセット時に、光電センサによりマスクの種
類を確認した後に、標印作業を実行するから、種類の誤
ったマスクで標印する虞れが全くない。
する種類のマスクを選定して、自動的にマスク交換を実
行し、連続的に異なる製品に対し標印作業を行い得る。 また、マスクセット時に、光電センサによりマスクの種
類を確認した後に、標印作業を実行するから、種類の誤
ったマスクで標印する虞れが全くない。
【００１９】尚、実施例では、複数のマスクを標印作業
の順序（使用順序）で、マスクマガジン２のマスク受け
溝２１に収納し、ステップ方式で標印作業を連続させる
例を示したが、実施に際しては、予め制御部のプログラ
ムに標印作業順序を記憶させておくことで、マスク受け
溝２１にはアトランダムに複数のマスクを収納しておく
ことができる。この場合、マスク位置確認センサ３が複
数のマスクのナンバを読み取り、プロラグムに従い、該
当マスク位置がマスクホルダ１に対応する位置まで、マ
スクマガジン２を移動させることとなる。従って、製品
ロットが変わる毎に、自動的にマスクを交換し、マスク
の切替え作業がフルオートとなり、一切、人手が不要と
なる。
の順序（使用順序）で、マスクマガジン２のマスク受け
溝２１に収納し、ステップ方式で標印作業を連続させる
例を示したが、実施に際しては、予め制御部のプログラ
ムに標印作業順序を記憶させておくことで、マスク受け
溝２１にはアトランダムに複数のマスクを収納しておく
ことができる。この場合、マスク位置確認センサ３が複
数のマスクのナンバを読み取り、プロラグムに従い、該
当マスク位置がマスクホルダ１に対応する位置まで、マ
スクマガジン２を移動させることとなる。従って、製品
ロットが変わる毎に、自動的にマスクを交換し、マスク
の切替え作業がフルオートとなり、一切、人手が不要と
なる。
【００２０】
【発明の効果】この発明では、以上のように、マスクマ
ガジンに収納される複数のマスクのうち、セットすべき
マスク位置を位置検出手段で検出し、移動手段によりセ
ットすべきマスクがマスクホルダに対応する位置までマ
スクマガジンを移動させ、マスククリップによりセット
すべきマスクをマスクホルダに装着した後、マスクの種
類を確認センサで確認し、標印作業を開始すると共に、
標印終了後にマスククリップによりセットマスクをマス
クマガジンに戻し収納することとしたから、自動的にマ
スクが交換でき、マスク交換作業に人手が不要となり、
標印作業の効率が向上する。また、マスクはマスクホル
ダにセットした時点で、マスクの種類が確認された後、
標印作業の実行に移るため、誤ったマスクをセットする
虞れがなく、マスクセットミスによる製品廃棄がなくな
る等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
ガジンに収納される複数のマスクのうち、セットすべき
マスク位置を位置検出手段で検出し、移動手段によりセ
ットすべきマスクがマスクホルダに対応する位置までマ
スクマガジンを移動させ、マスククリップによりセット
すべきマスクをマスクホルダに装着した後、マスクの種
類を確認センサで確認し、標印作業を開始すると共に、
標印終了後にマスククリップによりセットマスクをマス
クマガジンに戻し収納することとしたから、自動的にマ
スクが交換でき、マスク交換作業に人手が不要となり、
標印作業の効率が向上する。また、マスクはマスクホル
ダにセットした時点で、マスクの種類が確認された後、
標印作業の実行に移るため、誤ったマスクをセットする
虞れがなく、マスクセットミスによる製品廃棄がなくな
る等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
【図１】実施例標印用レーザマスクの交換装置を示す要
部側面図である。
部側面図である。
【図２】実施例標印用レーザマスクの交換装置を示す要
部平面図である。
部平面図である。
１ マスクホルダ
２ マスクマガジン
３ マスク位置確認センサ
４ マガジン移動手段
５ マスククリップ
１１ マスク種類確認センサ
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光源に対応して配置され、セットさ
れるマスクの種類を確認するセンサを備えたマスクホル
ダと、種類の異なる複数のマスクを収納するマスクマガ
ジンと、このマスクマガジンに収納される複数のマスク
のうち、セットすべきマスク位置を検出する位置検出手
段と、この位置検出手段の検知信号によりセットすべき
マスクがマスクホルダに対応する位置までマスクマガジ
ンを移動させる移動手段と、セットすべきマスクをマス
クホルダに装着すると共に、標印終了後にセットマスク
をマスクマガジンに戻し収納するマスククリップとから
成る標印用レーザマスクの交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136734A JP2815247B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 標印用レーザマスクの交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136734A JP2815247B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 標印用レーザマスクの交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04367388A true JPH04367388A (ja) | 1992-12-18 |
| JP2815247B2 JP2815247B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=15182262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3136734A Expired - Lifetime JP2815247B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 標印用レーザマスクの交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2815247B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6084204A (en) * | 1997-04-21 | 2000-07-04 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Leadframe manufacturing apparatus using laser beams |
| JP2012521892A (ja) * | 2009-03-30 | 2012-09-20 | ボエグリ − グラビュル ソシエテ アノニム | 硬質材料をコーティングした物体の表面をレーザーによって構造化する方法及び装置 |
| JP2012521893A (ja) * | 2009-03-30 | 2012-09-20 | ボエグリ − グラビュル ソシエテ アノニム | 硬質材料をコーティングされた固体表面をレーザにより構造化する方法と装置 |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP3136734A patent/JP2815247B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6084204A (en) * | 1997-04-21 | 2000-07-04 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Leadframe manufacturing apparatus using laser beams |
| JP2012521892A (ja) * | 2009-03-30 | 2012-09-20 | ボエグリ − グラビュル ソシエテ アノニム | 硬質材料をコーティングした物体の表面をレーザーによって構造化する方法及び装置 |
| JP2012521893A (ja) * | 2009-03-30 | 2012-09-20 | ボエグリ − グラビュル ソシエテ アノニム | 硬質材料をコーティングされた固体表面をレーザにより構造化する方法と装置 |
| US9156107B2 (en) | 2009-03-30 | 2015-10-13 | Boegli-Gravures S.A. | Method and device for structuring the surface of a hard material coated solid body by means of a laser |
| US9993895B2 (en) | 2009-03-30 | 2018-06-12 | Boegli-Gravures Sa | Method and device for structuring the surface of a hard material coated solid body by means of a laser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2815247B2 (ja) | 1998-10-27 |
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