JPH04348014A - Method and device for magnetic green sheet lamination - Google Patents
Method and device for magnetic green sheet laminationInfo
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Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】本発明は、磁性体セラミックスを
含有する磁性体グリーンシートを積層する磁性体グリー
ンシート積層方法及び装置に関し、チップ状磁性体セラ
ミックス体内部にインダクタを構成する導体が埋装され
てなる積層チップインダクタの製造に適用できるグリー
ンシート積層方法及び装置に関する。[Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic green sheet laminating method and apparatus for laminating magnetic green sheets containing magnetic ceramics, in which a conductor constituting an inductor is embedded inside a chip-shaped magnetic ceramic body. The present invention relates to a method and apparatus for laminating green sheets that can be applied to manufacturing a laminated chip inductor.
【０００２】0002
【従来の技術】磁性体セラミックスを含有する磁性体グ
リーンシートを積層し、その内部に導体を埋装して積層
チップインダクタを製造する方法は、例えば特開平２−
１５１４０３号公報等によって知られている。この種の
積層チップインダクタを製造する一般的な方法としては
、例えば、以下にあげるような一連の工程からなる。
まず、例えばフェライト等の磁性体粉末と有機バインダ
ーとからなるグリーンシートを形成する。次に、前記グ
リーンシート上の所定の位置にスルホールを形成する。
さらに、前記グリーンシートの一表面上に導電ペースト
を用いて、円弧状またはコ字状等のコイルパターンを印
刷する。このとき、コイルパターンが印刷される位置は
、同コイルパターンの一方の端部と前記スルホールとが
重なり、両者が短絡される位置に選択される。そして、
前記コイルパターンが前記スルホールを通じて各層間で
接続されるようにグリーンシートを積層し、これを熱圧
着して一体化する。ここで、上記の工程の結果得られた
積層体をチップ状に切断、分離し、その後、焼成する。
その後、得られたチップ毎に外部電極を形成することに
より、積層チップインダクタが完成する。2. Description of the Related Art A method of manufacturing a multilayer chip inductor by stacking magnetic green sheets containing magnetic ceramics and embedding a conductor therein is known, for example, from Japanese Patent Application Laid-Open No.
This is known from Publication No. 151403 and the like. A general method for manufacturing this type of multilayer chip inductor includes, for example, a series of steps as listed below. First, a green sheet made of magnetic powder such as ferrite and an organic binder is formed. Next, through holes are formed at predetermined positions on the green sheet. Furthermore, a coil pattern such as an arc-shaped or U-shaped coil pattern is printed on one surface of the green sheet using a conductive paste. At this time, the position where the coil pattern is printed is selected so that one end of the coil pattern overlaps the through hole and the two are short-circuited. and,
Green sheets are stacked so that the coil patterns are connected between the layers through the through holes, and the green sheets are bonded together by thermocompression. Here, the laminate obtained as a result of the above steps is cut and separated into chips, and then fired. Thereafter, external electrodes are formed for each of the obtained chips, thereby completing a multilayer chip inductor.
【０００３】一方、グリーンシートを所定の形状に裁断
して積層する装置及び方法が、例えば特公平２−１５８
３０６号公報により知られている。このグリーンシート
を積層する工程について詳説すると、まず、有機バイン
ダー等を混合して得られたグリーンシートがコンベヤ装
置に載せられ搬送させられる。次に、このグリーンシー
トが所定の位置で所定の形状に切断され、同時に真空吸
着機構の働きにより積層ヘッドの下面に吸着され、切断
されたグリーンシートを所定の順番で積層する積層プレ
ートまで移送され保持される。On the other hand, an apparatus and method for cutting green sheets into predetermined shapes and stacking them is disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-158, for example.
It is known from Publication No. 306. To explain in detail the process of stacking the green sheets, first, the green sheets obtained by mixing an organic binder etc. are placed on a conveyor device and conveyed. Next, this green sheet is cut into a predetermined shape at a predetermined position, and at the same time, it is adsorbed to the bottom surface of the lamination head by the action of a vacuum suction mechanism, and is transferred to a lamination plate where the cut green sheets are laminated in a predetermined order. Retained.
【０００４】続いて、前記積層ヘッドに保持されたグリ
ーンシートが、前記積層プレート上へ降ろされ、その上
面から圧着（５〜１５ ｔｏｎ）される。ここで圧着さ
れるのは、後述の積層プレートの移動の際、積み重なっ
たグリーンシートがずれないようにするためである。以
上の動作を繰り返し、所定の枚数のグリーンシートを積
層した後、得られたグリーンシートの積層体は仮圧着（
２０〜３０ ｔｏｎ）され、その後、再び高圧下で圧着
され一体化される。[0004] Subsequently, the green sheet held by the lamination head is lowered onto the lamination plate and is pressed (5 to 15 tons) from the upper surface thereof. The reason why the green sheets are crimped here is to prevent the stacked green sheets from shifting when the laminated plate is moved, which will be described later. After repeating the above operations and laminating a predetermined number of green sheets, the resulting green sheet laminate is temporarily pressed (
20 to 30 tons), and then crimped and integrated again under high pressure.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとしている課題】ところが、上記の
従来技術では、グリーンシートを所定形状に裁断した後
、これを積層プレート上に移送する際、グリーンシート
が真空装置により吸着して移送されるため、一枚毎に積
層しなければなない。そして、その度毎に精密な位置決
めが行われなければならない。そのため、停止位置決め
精度の高い精密な移送装置が必要となると共に、工程数
も多くなり、それに係る時間も増大し、製造される積層
チップインダクタの製造コストが上昇してしまうという
問題点があった。また、上記の従来技術によれば、真空
装置でグリーンシートを吸着する際、その表面に凹凸が
形成されて、グリーンシートの積層面が均一にならない
。また、切断したグリーンシートを積層プレート上に載
置して積層する際、積み重なったグリーンシートがずれ
るのを防止するために一旦圧着されるが、下層側のグリ
ーンシート程数多く繰り返し潰されるため、薄く且つ横
に広くなる。そのため、得られた積層チップインダクタ
の特性が劣化し、そのインダクタンスが所期の値から外
れてしまうという不具合があった。[Problem to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned conventional technology, when the green sheet is cut into a predetermined shape and then transferred onto the laminated plate, the green sheet is attracted and transferred by a vacuum device. , it must be stacked one by one. Precise positioning must be performed each time. Therefore, a precise transfer device with high stop positioning accuracy is required, the number of steps increases, the time involved increases, and the manufacturing cost of the multilayer chip inductor to be manufactured increases. . Further, according to the above-mentioned conventional technology, when green sheets are adsorbed by a vacuum device, irregularities are formed on the surface of the green sheets, and the laminated surfaces of the green sheets are not uniform. In addition, when placing cut green sheets on a lamination plate and stacking them, the stacked green sheets are crimped to prevent them from shifting, but the lower the green sheets, the more they are repeatedly crushed, making them thinner and thinner. And it becomes wider laterally. As a result, the characteristics of the obtained multilayer chip inductor deteriorate and the inductance deviates from the expected value.
【０００６】さらに、積層ヘッドによってグリーンシー
トを吸着、保持する力の源として、真空系による負圧を
用いているため、積層装置自体が大型になってしまい、
さらにその運用コストも大きくなるという不都合もあっ
た。本発明の目的は、上記の従来技術における問題点に
鑑み、比較的簡単な構成により、切断された磁性体グリ
ーンシートを均一かつ正確に積層することが可能な磁性
体グリーンシート積層方法及び装置を提供することにあ
る。Furthermore, since negative pressure from a vacuum system is used as a source of force for attracting and holding the green sheets by the laminating head, the laminating apparatus itself becomes large.
Furthermore, there was also the inconvenience that the operating cost increased. SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems in the prior art, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for laminating magnetic green sheets that are capable of uniformly and accurately laminating cut magnetic green sheets with a relatively simple configuration. It is about providing.
【００１２】0012
【課題を解決する手段】上記の目的を達成するため、本
発明では第一に、磁性体セラミックスを含有するグリー
ンシートを所定の形状に切断し、これを複数積層する磁
性体グリーンシート積層方法であって、前記グリーンシ
ートを積層ヘッドに取り付けられたカッターにより所定
の形状に切断すると同時に、切断された磁性体グリーン
シートを積層ヘッドの保持面に保持し、これを複数回繰
り返し、前記積層ヘッドの保持面上に前記所定の形状に
切断した磁性体グリーンシートを複数積層することを特
徴とする磁性体グリーンシート積層方法を提供する。第
二に、平面上に移動可能なステージと、前記ステージに
取り付けられた昇降機構と、前記昇降機構に取り付けら
れ、カッターを備えた積層ヘッドとを備え、磁性体セラ
ミックスを含有するグリーンシートを所定の形状に切断
して複数積層する動作を行う磁性体グリーンシート積層
装置において、前記積層ヘッドの下部に、磁性体グリー
ンシートを複数枚吸着して保持するための磁気を発生す
る磁気発生手段が設けられていることを特徴とする磁性
体グリーンシート積層装置を提案する。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention first uses a magnetic green sheet lamination method in which a green sheet containing magnetic ceramics is cut into a predetermined shape and a plurality of green sheets are laminated. Then, the green sheet is cut into a predetermined shape by a cutter attached to the lamination head, and at the same time, the cut magnetic green sheet is held on the holding surface of the lamination head, and this is repeated several times to cut the green sheet into a predetermined shape. A method for laminating magnetic green sheets is provided, which comprises laminating a plurality of magnetic green sheets cut into the predetermined shape on a holding surface. Second, the method includes a stage movable on a plane, an elevating mechanism attached to the stage, and a laminating head attached to the elevating mechanism and equipped with a cutter, and a green sheet containing magnetic ceramics is placed in a predetermined manner. In the magnetic green sheet laminating apparatus that cuts a plurality of magnetic green sheets into a shape and laminates them, a magnetism generating means for generating magnetism for attracting and holding a plurality of magnetic green sheets is provided below the lamination head. We propose a magnetic green sheet laminating device characterized by:
【００１３】[0013]
【作用】上記の本発明によれば、磁性体セラミックスを
含有する磁性体グリーンシートを、積層ヘッドに設けら
れたカッターにより所定の形状に切断し、同時にこれを
積層ヘッドの保持部に設けられた磁気発生手段により磁
気を利用して吸着保持し、これを複数回繰り返すことに
より、所定の形状に切断された磁性体グリーンシートを
前記積層ヘッドの保持部上にずれないで、複数積層して
保持することが出来る。このため、従来の様に積層の度
に正確な位置決めを行い、圧着を行う必要もないため、
圧縮や横ずれ等による積層状態の不安定や不均一を解消
し、正確に磁性体グリーンシートを積層することが可能
になる。[Operation] According to the present invention, a magnetic green sheet containing magnetic ceramics is cut into a predetermined shape by a cutter provided on the lamination head, and at the same time, the cutter provided on the lamination head is cut into a predetermined shape. By attracting and holding the magnetic green sheets using magnetism using magnetism generating means and repeating this several times, a plurality of magnetic green sheets cut into a predetermined shape are stacked and held without shifting on the holding section of the lamination head. You can. For this reason, there is no need for accurate positioning and crimping each time the layers are stacked, as was the case in the past.
This eliminates instability and non-uniformity in the laminated state due to compression, lateral displacement, etc., and makes it possible to accurately laminate magnetic green sheets.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、本発明による実施例について、添付の
図面を参照しながら、詳細に説明する。まず、図２に、
積層チップインダクタの製造装置の概略構成が示されて
おり、図中の符号１は、コンベア装置を示しており、そ
のコンベアベルト１１上に磁性体グリーンシート１００
が連続的に供給されている。Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in Figure 2,
A schematic configuration of a manufacturing device for a multilayer chip inductor is shown, and the reference numeral 1 in the figure indicates a conveyor device, and a magnetic green sheet 100 is placed on a conveyor belt 11 of the conveyor device.
is continuously supplied.
【００１５】この磁性体グリーンシート１００は、Ｆｅ
２Ｏ３、ＺｎＯ、ＮｉＯ、ＣｕＯを主成分とするＮｉ−
Ｚｎ−Ｃｕフェライト粉末に、ポリビニルブチラールを
バインダーとして用いて、ドクターブレード法により厚
さ１００μｍの長尺なフェライトグリーンシートとして
形成されたものである。このグリーンシート１００は、
図７にも示すように、所定の寸法に切断されて矩形のグ
リーンシートにされ、さらに、このグリーンシートの所
定の位置にスルーホール１０１が穿設され、続いて、そ
の表面に導体ペーストを用いてコイルパターン１０２が
形成されているている。さらに、磁性体グリーンシート
１００としては、上記の様なグリーンシートの他、上記
のスルーホールを形成せず、コイルパターンを印刷して
いない磁性体グリーンシート、カバーグリーンシート１
００Ｃも用意されている。これらのカバーグリーンシー
ト１００Ｃが後の説明によっても明らかになるが、複数
積層した上記磁性体グリーンシート１００の両端面に積
層されるものである。[0015] This magnetic green sheet 100 is made of Fe
Ni- whose main components are 2O3, ZnO, NiO, and CuO
A long ferrite green sheet with a thickness of 100 μm was formed by a doctor blade method using Zn-Cu ferrite powder and polyvinyl butyral as a binder. This green sheet 100 is
As shown in FIG. 7, a rectangular green sheet is cut to a predetermined size, and a through hole 101 is formed at a predetermined position in the green sheet, and then a conductive paste is applied to the surface of the green sheet. A coil pattern 102 is formed. Furthermore, as the magnetic green sheet 100, in addition to the above-mentioned green sheets, the above-mentioned magnetic green sheets without through-holes and without printed coil patterns, cover green sheets 1, etc.
00C is also available. As will become clear from the description below, these cover green sheets 100C are laminated on both end surfaces of the plurality of laminated magnetic green sheets 100.
【００１６】上述の様にして製造された磁性体グリーン
シート１００が、図２に示された上記コンベア装置１の
搬送路に載せられ、本発明の磁性体グリーンシート積層
装置を採用してなる積層部２に搬送される。この積層部
２は、図３に示すように、コンベア装置１のコンベアベ
ルト１１の下側に配置された基台２０と、その上方に配
置された積層ヘッド２１と、上記積層ヘッドを上下方向
に昇降する昇降機構２２と、上記積層ヘッドをＸ、Ｙ方
向に移動するために上記昇降機構を取り付けた移動ステ
ージ装置２３とを備えている。また、図中の符号１２は
ベルトレールを示している。The magnetic green sheet 100 manufactured as described above is placed on the conveyance path of the conveyor device 1 shown in FIG. It is transported to section 2. As shown in FIG. 3, the stacking section 2 includes a base 20 disposed below the conveyor belt 11 of the conveyor device 1, a stacking head 21 disposed above the base 20, and a stacking head 21 disposed above the base 20, which is arranged in the vertical direction. It includes an elevating mechanism 22 that moves up and down, and a moving stage device 23 to which the elevating mechanism is attached to move the laminating head in the X and Y directions. Further, the reference numeral 12 in the figure indicates a belt rail.
【００１７】一方、図１に示されるように、上記積層部
２の基台２０の外周部に、これ取り囲むようにウレタン
ゴムの枠体２０１が取り付けられている。また、積層ヘ
ッド２１に、その下端の側辺にカッターブレード２１１
が、上記基台２０のウレタンゴム枠体２０１に対応する
位置に取り付けられていると共に、その下面が磁性体グ
リーンシートの保持部２１２となっている。すなわち、
この積層ヘッド２１の下面の、保持部２１２としての平
面に、図４にも示すように、電磁石２１３、２１３…が
複数個配列されている。この電磁石２１３は、図５に示
すように、コア２１３１の周囲に巻き回された電磁コイ
ル２１３２と、コア２１３１から円環状に引き出された
磁路部材２１３３とから構成されている。On the other hand, as shown in FIG. 1, a urethane rubber frame 201 is attached to the outer peripheral portion of the base 20 of the laminated portion 2 so as to surround it. In addition, a cutter blade 211 is attached to the side of the lower end of the lamination head 21.
is attached to the base 20 at a position corresponding to the urethane rubber frame 201, and its lower surface serves as a holding portion 212 for the magnetic green sheet. That is,
As shown in FIG. 4, a plurality of electromagnets 213, 213, . As shown in FIG. 5, this electromagnet 213 includes an electromagnetic coil 2132 wound around a core 2131, and a magnetic path member 2133 drawn out from the core 2131 in an annular shape.
【００１８】再び、図３に戻り、上記積層ヘッド２１に
隣接して、積層プレート２４が配置されている。この積
層プレート２４は、図６にも示すように、その表面に複
数の磁石２４１、２４１…がストライプ状に、Ｎ極とＳ
極が交互に配置されている。さらに、図２において、上
記の積層部２の搬送先側に、積層された磁性体グリーン
シートを押圧して圧着するためのプレス装置３が、さら
にその搬送先側に、圧着された積層磁性体グリーンシー
トをチップ状に切断分割するための切断装置４、そして
、切断分割されたチップ状の磁性体積層グリーンシート
を焼成する焼成炉５が設けられている。Returning to FIG. 3 again, a lamination plate 24 is placed adjacent to the lamination head 21. As shown in FIG. 6, this laminated plate 24 has a plurality of magnets 241, 241... in stripes on its surface, with N poles and S poles.
The poles are arranged alternately. Furthermore, in FIG. 2, a press device 3 for pressing and crimping the laminated magnetic green sheets is provided on the conveyance destination side of the lamination section 2, and a press device 3 for pressing and crimping the laminated magnetic green sheets is further provided on the conveyance destination side. A cutting device 4 for cutting and dividing the green sheet into chips, and a firing furnace 5 for firing the cut and divided chip-shaped magnetic laminated green sheet are provided.
【００１９】以上に説明した積層チップインダクタの製
造装置の動作について、図１により、以下に詳細に説明
する。まず、図１の（ａ）において、上述の様にして得
られた積層チップインダクタ用の磁性体グリーンシート
１００が、上記コンベア装置１のコンベアベルト１１上
に搬送されて上記積層部２の基台２０上に位置する。こ
の時、上記コンベアベルト１１を支持するベルトレール
１２、１２が下降し、磁性体グリーンシート１００が基
台２０上に固定される。そこで、図１の（ｂ）に示すよ
うに、基台の上方に配置された積層ヘッド２１が下降し
て、上記磁性体グリーンシート１００を所定の形状及び
寸法（例えば、本実施例では１５×１５ｃｍの正方形）
に押し切られ、同時に、この所定の形状に切断された磁
性体グリーンシート１００は上記積層ヘッド２１の下面
の、保持部２１２に吸着保持される。すなわち、この時
、上記積層ヘッドの保持部２１２平面に複数配置された
電磁石２１３、２１３…（図５を参照）に通電が行われ
、磁力線が発生される。この磁力線が磁性体グリーンシ
ート１００を通り、磁気的に磁性体グリーンシート１０
０を保持部２１２の平面に密着して保持する。なお、こ
の時、最初にコンベアベルト１１によって供給される磁
性体グリーンシートは、上記のカバーグリーンシート１
００Ｃである。The operation of the multilayer chip inductor manufacturing apparatus described above will be explained in detail below with reference to FIG. First, in FIG. 1(a), a magnetic green sheet 100 for a multilayer chip inductor obtained as described above is conveyed onto the conveyor belt 11 of the conveyor device 1 and placed on the base of the multilayer section 2. Located above 20. At this time, the belt rails 12, 12 supporting the conveyor belt 11 are lowered, and the magnetic green sheet 100 is fixed on the base 20. Therefore, as shown in FIG. 1B, the lamination head 21 placed above the base is lowered and the magnetic green sheet 100 is deposited in a predetermined shape and size (for example, 15× in this embodiment). 15cm square)
At the same time, the magnetic green sheet 100 cut into a predetermined shape is adsorbed and held by the holding portion 212 on the lower surface of the lamination head 21 . That is, at this time, a plurality of electromagnets 213, 213, . . . (see FIG. 5) arranged on the plane of the holding portion 212 of the laminated head are energized, and lines of magnetic force are generated. These lines of magnetic force pass through the magnetic green sheet 100 and magnetically
0 is held in close contact with the flat surface of the holding portion 212. At this time, the magnetic green sheet first supplied by the conveyor belt 11 is the cover green sheet 1 described above.
It is 00C.
【００２０】その後、上記の積層ヘッド１１は、所定の
形状に切断した磁性体グリーンシートをその保持部２１
２に吸着保持した状態のまま上昇して元の位置に戻る。
同時に、上記のベルトレール１２、１２も上昇し、所定
の形状が切断された残りの磁性体グリーンシート１００
が基台２０上から持ち上げられて側方に移動されて取り
除かれる。続いて、次の磁性体グリーンシート１００が
コンベアベルト１１上に移送供給され、上記と同様にし
て、基台２０上に固定され、所定の形状に切断される。
それと同時に、この所定の形状に切断された磁性体グリ
ーンシート１００は、前回の動作で積層ヘッド２１の保
持部２１２に吸着保持されている磁性体グリーンシート
１００上に、更に積層される。すなわち、上記の動作を
所定の回数だけ繰り返すことにより、積層ヘッド２１の
保持部２１２に、所定の枚数の磁性体グリーンシート１
００が自動的に、かつ、正確な位置に自動的に積層され
る。After that, the above-described lamination head 11 holds the magnetic green sheet cut into a predetermined shape in its holding portion 21.
2, it rises and returns to its original position while being held by suction. At the same time, the belt rails 12, 12 mentioned above also rise, and the remaining magnetic green sheet 100, which has been cut into a predetermined shape,
is lifted from the base 20, moved to the side, and removed. Subsequently, the next magnetic green sheet 100 is transported onto the conveyor belt 11, fixed on the base 20, and cut into a predetermined shape in the same manner as described above. At the same time, the magnetic green sheet 100 cut into a predetermined shape is further laminated on the magnetic green sheet 100 that was attracted and held by the holding part 212 of the lamination head 21 in the previous operation. That is, by repeating the above operation a predetermined number of times, a predetermined number of magnetic green sheets 1 are attached to the holding portion 212 of the lamination head 21.
00 is automatically stacked at the correct position.
【００２１】以上の様にして所定の枚数だけ積層された
積層磁性体グリーンシート１００は、その後積層部２に
おいて上記積層ヘッド２１に隣接して配置された積層プ
レート２２上に載置される（図３を参照）。すなわち、
上記積層ヘッド２１を昇降機構２２により上昇した後、
Ｘ、Ｙ方向の移動ステージ装置２３によって上記積層プ
レート２４の位置に移動し、これを下降して上記積層プ
レート２４の表面上に置く。同時に、積層ヘッド２１は
、その保持部２１２の電磁石２１３、２１３…に供給し
ていた電流を減少あるいは遮断する。一方、上記積層プ
レート２４の表面に複数の磁石２４１、２４１…が設け
られているため、磁性体から成る上記積層グリーンシー
ト１００は、積層プレート２４上に確実に載置される。The laminated magnetic green sheets 100 laminated in a predetermined number as described above are then placed on the lamination plate 22 disposed adjacent to the lamination head 21 in the lamination section 2 (see FIG. 3). That is,
After the lamination head 21 is raised by the lifting mechanism 22,
The stage device 23 moves in the X and Y directions to the position of the laminated plate 24, and is lowered and placed on the surface of the laminated plate 24. At the same time, the lamination head 21 reduces or cuts off the current supplied to the electromagnets 213, 213, . . . of the holding section 212. On the other hand, since a plurality of magnets 241, 241, .
【００２２】その後、この積層プレート２４上に載置さ
れた積層グリーンシート１００は、プレス装置３により
、例えば温度１００゜Ｃ、圧力３００ｋｇ／ｃｍ２ で
熱圧着されて一体化され、次いで、切断装置４によりチ
ップ状に切断分割された後、焼成炉５で例えば９００℃
の温度で焼成される。さらに、このチップ状焼成体の両
端面にＡｇ等を主成分とする導電ペーストを塗布し、こ
れを例えば８００℃の温度で焼き付けて外部電極を形成
し、積層チップインダクタを完成した。上記の実施例で
は、積層ヘッド２１の保持部２１２平面に設けられた磁
気発生装置として電磁石が利用されているが、これに限
らず、例えば永久磁石を利用し、その後、吸着した積層
グリーンシートを離脱する時に、圧縮空気等を隙間に送
り込むようにするなど磁気による吸着力を任意に入切で
きる構成となっていればよい。また、積層プレート２４
上の磁石も電磁石にすることが可能である。[0022] Thereafter, the laminated green sheets 100 placed on the laminated plate 24 are bonded together by thermocompression at a temperature of 100°C and a pressure of 300 kg/cm2 using a press device 3, and then a cutting device 4 After being cut and divided into chips by
It is fired at a temperature of Furthermore, a conductive paste containing Ag or the like as a main component was applied to both end faces of this chip-shaped fired body, and this was baked at a temperature of, for example, 800°C to form external electrodes, thereby completing a multilayer chip inductor. In the above embodiment, an electromagnet is used as the magnetism generating device provided on the plane of the holding part 212 of the lamination head 21, but the present invention is not limited to this. For example, a permanent magnet may be used, and then the attracted laminated green sheets can be It is sufficient that the structure allows the magnetic attraction force to be turned on and off as desired, such as by sending compressed air or the like into the gap when detaching. In addition, the laminated plate 24
The upper magnet can also be an electromagnet.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明による磁性体グリーンシート積層方法及び装置によれ
ば、従来の真空吸着手段に代えて、磁力を利用すること
により、比較的簡単な構成と動作で、切断された磁性体
グリーンシートを均一かつ正確な位置に積層することが
可能となる。[Effects of the Invention] As is clear from the above explanation, according to the method and apparatus for laminating magnetic green sheets according to the present invention, magnetic force is used instead of the conventional vacuum adsorption means, so that a relatively simple process can be achieved. The configuration and operation make it possible to stack cut magnetic green sheets in uniform and accurate positions.
【図１】本発明による磁性体グリーンシート積層方法を
説明するための積層装置の要部断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of a laminating apparatus for explaining a method of laminating magnetic green sheets according to the present invention.
【図２】上記図１の磁性体グリーンシート積層装置を採
用した積層チップインダクタ製造装置の概略を説明する
概略構成図である。2 is a schematic configuration diagram illustrating an outline of a multilayer chip inductor manufacturing apparatus employing the magnetic green sheet lamination apparatus of FIG. 1; FIG.
【図３】上記図１の磁性体グリーンシート積層装置を採
用した積層チップインダクタ製造装置の積層部の全体構
造を示す側面図である。3 is a side view showing the overall structure of a laminated section of a laminated chip inductor manufacturing apparatus employing the magnetic green sheet laminating apparatus of FIG. 1; FIG.
【図４】上記図１に示す積層ヘッドの底面構造を示す底
面図である。FIG. 4 is a bottom view showing the bottom structure of the lamination head shown in FIG. 1;
【図５】上記図４の積層ヘッド底面に設けられた電磁石
の詳細構造を示す一部拡大断面である。5 is a partially enlarged cross-sectional view showing the detailed structure of an electromagnet provided on the bottom surface of the lamination head in FIG. 4; FIG.
【図６】上記図３に示す積層プレートの積層表面の構造
を示す上面図である。6 is a top view showing the structure of the laminated surface of the laminated plate shown in FIG. 3; FIG.
【図７】上記積層チップインダクタ製造装置によって積
層される磁性体グリーンシートの詳細を示す展開斜視図
である。FIG. 7 is a developed perspective view showing details of magnetic green sheets laminated by the multilayer chip inductor manufacturing apparatus.
１ コンベア装置 １１ ベルトコンベア ２ 積層部 ２０ 基台 ２１ 積層ヘッド ２１１ カッターブレード ２１２ 保持部 ２１３ 電磁石 ２２ 昇降装置 ２３ 移動ステージ装置 ２４ 積層プレート ２４１ 磁石 ３ プレス装置 ４ 切断装置 ５ 焼成炉 １００ 磁性体グリーンシート １０１ スルーホール １０２ コイルパターン 1 Conveyor device 11 Belt conveyor 2 Laminated part 20 Base 21 Lamination head 211 Cutter blade 212 Holding part 213 Electromagnet 22 Lifting device 23 Moving stage device 24 Laminated plate 241 Magnet 3 Press equipment 4 Cutting device 5 Firing furnace 100 Magnetic green sheet 101 Through hole 102 Coil pattern
Claims (3)
ンシートを所定の形状に切断し、これを複数積層する磁
性体グリーンシート積層方法であって、前記グリーンシ
ートを積層ヘッドに取り付けられたカッターにより所定
の形状に切断すると同時に、切断された磁性体グリーン
シートを積層ヘッドの保持面に保持し、これを複数回繰
り返し、前記積層ヘッドの保持面上に前記所定の形状に
切断した磁性体グリーンシートを複数積層することを特
徴とする磁性体グリーンシート積層方法。1. A magnetic green sheet lamination method in which a green sheet containing magnetic ceramics is cut into a predetermined shape and a plurality of the green sheets are laminated, the green sheet being cut into a predetermined shape by a cutter attached to a lamination head. At the same time as cutting into shapes, the cut magnetic green sheets are held on the holding surface of a lamination head, and this is repeated multiple times to place a plurality of magnetic green sheets cut into the predetermined shape on the holding surface of the lamination head. A method for laminating magnetic green sheets characterized by laminating layers.
ステージに取り付けられた昇降機構と、前記昇降機構に
取り付けられ、カッターを備えた積層ヘッドとを備え、
磁性体セラミックスを含有するグリーンシートを所定の
形状に切断して複数積層する動作を行う磁性体グリーン
シート積層装置において、前記積層ヘッドの下部に、磁
性体グリーンシートを複数枚吸着して保持するための磁
気を発生する磁気発生手段が設けられていることを特徴
とする磁性体グリーンシート積層装置。2. A stage movable on a plane, an elevating mechanism attached to the stage, and a lamination head attached to the elevating mechanism and equipped with a cutter,
In a magnetic green sheet lamination device that cuts green sheets containing magnetic ceramics into a predetermined shape and laminates a plurality of them, a plurality of magnetic green sheets are attracted and held at the bottom of the lamination head. What is claimed is: 1. A magnetic green sheet laminating device characterized in that a magnetic green sheet laminating device is provided with a magnetism generating means for generating magnetism.
面上において互いに極性の異なる磁極が一定距離をおい
て配置されている積層装置。3. The lamination device according to claim 2, wherein magnetic poles having different polarities are arranged at a certain distance on the surface of the lamination head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3013644A JPH081871B2 (en) | 1991-01-12 | 1991-01-12 | Method and apparatus for stacking magnetic green sheets |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3013644A JPH081871B2 (en) | 1991-01-12 | 1991-01-12 | Method and apparatus for stacking magnetic green sheets |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04348014A true JPH04348014A (en) | 1992-12-03 |
| JPH081871B2 JPH081871B2 (en) | 1996-01-10 |
Family
ID=11838943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3013644A Expired - Fee Related JPH081871B2 (en) | 1991-01-12 | 1991-01-12 | Method and apparatus for stacking magnetic green sheets |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081871B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050041235A (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-04 | 삼성전기주식회사 | An apparatus for laminating ceramic green sheet |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03297117A (en) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Murata Mfg Co Ltd | Method and apparatus for lamination of ceramic green sheets |
-
1991
- 1991-01-12 JP JP3013644A patent/JPH081871B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03297117A (en) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Murata Mfg Co Ltd | Method and apparatus for lamination of ceramic green sheets |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050041235A (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-04 | 삼성전기주식회사 | An apparatus for laminating ceramic green sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH081871B2 (en) | 1996-01-10 |
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