JPH04343234A - ワイヤボンダのワイヤクランプ装置 - Google Patents
ワイヤボンダのワイヤクランプ装置Info
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- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
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- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
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- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を製造する
ワイヤボンダに装備され、ワイヤボンディング工程中に
おいて、ワイヤを挟み付けたり、自由にしたりするワイ
ヤボンダのワイヤクランプ装置（以下、「クランプ装置
」と称する）に関する。
ワイヤボンダに装備され、ワイヤボンディング工程中に
おいて、ワイヤを挟み付けたり、自由にしたりするワイ
ヤボンダのワイヤクランプ装置（以下、「クランプ装置
」と称する）に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のクランプ装置を示す側面図
であり、同図において、１はワイヤボンダのヘッド（図
示せず）に取り付けられた固定部、２は固定部１に対向
して設けられた可動部、３は可動部２を回動可能に固定
部１に支持する支持ピン、４は固定部１の、可動部２と
対向する側に設けられた固定側クランプ座、５は固定側
クランプ座４と対向して可動部２に設けられた可動側ク
ランプ座、６は固定側および可動側クランプ座４，５を
互いに近付ける向きに固定部１と可動部２との間を付勢
するばね、７，８は上記とは逆に固定側および可動側ク
ランプ座４，５を互いに遠ざける向きに固定部１と可動
部２との間を付勢するソレノイドとプランジャであり、
ソレノイド７は固定部１に、プランジャ８は可動部２に
それぞれ取り付けられており、ソレノイド７に通電する
ことにより、プランジャ８に吸引力が働き、ばね力に抗
して可動部２を矢符Ｂの向きに回動させるようになって
いる。なお、９はワイヤボンディングのためのワイヤで
ある。
であり、同図において、１はワイヤボンダのヘッド（図
示せず）に取り付けられた固定部、２は固定部１に対向
して設けられた可動部、３は可動部２を回動可能に固定
部１に支持する支持ピン、４は固定部１の、可動部２と
対向する側に設けられた固定側クランプ座、５は固定側
クランプ座４と対向して可動部２に設けられた可動側ク
ランプ座、６は固定側および可動側クランプ座４，５を
互いに近付ける向きに固定部１と可動部２との間を付勢
するばね、７，８は上記とは逆に固定側および可動側ク
ランプ座４，５を互いに遠ざける向きに固定部１と可動
部２との間を付勢するソレノイドとプランジャであり、
ソレノイド７は固定部１に、プランジャ８は可動部２に
それぞれ取り付けられており、ソレノイド７に通電する
ことにより、プランジャ８に吸引力が働き、ばね力に抗
して可動部２を矢符Ｂの向きに回動させるようになって
いる。なお、９はワイヤボンディングのためのワイヤで
ある。
【０００３】次に動作を説明する。先ず、固定側クラン
プ座４と可動側クランプ座５との間にワイヤ９を挿入す
る。可動部２には、ばね６によって矢符Ａの向きに力が
加わっており、ワイヤ９を固定側クランプ座４と可動側
クランプ座５との間で挟み付ける。そこで、ソレノイド
７に通電すると、吸引力が働き、可動部２を矢符Ｂの向
きに回動させてワイヤ９を自由にする。次に、ソレノイ
ド７の通電を断つと吸引力が解消し、ばね力によって可
動部２を矢符Ａの向きに回動させてワイヤ９を挟み付け
る。このようにしてワイヤボンダの動作に応じて適宜、
ワイヤ９を挟み付けたり、自由にしたりする。
プ座４と可動側クランプ座５との間にワイヤ９を挿入す
る。可動部２には、ばね６によって矢符Ａの向きに力が
加わっており、ワイヤ９を固定側クランプ座４と可動側
クランプ座５との間で挟み付ける。そこで、ソレノイド
７に通電すると、吸引力が働き、可動部２を矢符Ｂの向
きに回動させてワイヤ９を自由にする。次に、ソレノイ
ド７の通電を断つと吸引力が解消し、ばね力によって可
動部２を矢符Ａの向きに回動させてワイヤ９を挟み付け
る。このようにしてワイヤボンダの動作に応じて適宜、
ワイヤ９を挟み付けたり、自由にしたりする。
【０００４】図３は、例えば、特開昭５７−１１１０３
９号公報に示された別の従来のクランプ装置の側面図で
あり、同図（Ａ）はワイヤ９を自由にした状態、同図（
Ｂ）はワイヤ９を挟み付けた状態を示し、図２に対応す
る部分には、同一の参照符を付す。１０は自由な状態で
は、「へ」の字形に曲がったばね板であり、固定部１の
、可動部２に対向する側に設けられて、可動側クランプ
座５に対向する先端部１１が固定部１と離隔するように
固定部１に取り付けられている。４はばね板１０の先端
部１１に、可動側クランプ座５と対向して設けられた固
定側クランプ座、１２は一端がソレノイド７に挿入され
るとともに、他端が可動部２に固定された押し棒であり
、ソレノイド７とともに、付勢部を構成し、ソレノイド
７に通電することにより、図において、下向きの力が加
わって可動部５を矢符Ｂ方向に回動させるようになって
いる。
９号公報に示された別の従来のクランプ装置の側面図で
あり、同図（Ａ）はワイヤ９を自由にした状態、同図（
Ｂ）はワイヤ９を挟み付けた状態を示し、図２に対応す
る部分には、同一の参照符を付す。１０は自由な状態で
は、「へ」の字形に曲がったばね板であり、固定部１の
、可動部２に対向する側に設けられて、可動側クランプ
座５に対向する先端部１１が固定部１と離隔するように
固定部１に取り付けられている。４はばね板１０の先端
部１１に、可動側クランプ座５と対向して設けられた固
定側クランプ座、１２は一端がソレノイド７に挿入され
るとともに、他端が可動部２に固定された押し棒であり
、ソレノイド７とともに、付勢部を構成し、ソレノイド
７に通電することにより、図において、下向きの力が加
わって可動部５を矢符Ｂ方向に回動させるようになって
いる。
【０００５】図４は図３に示すクランプ装置の動作図で
あり、図４（Ａ）は図３（Ａ）に、図４（Ｃ）は図３（
Ｂ）にそれぞれ対応する。ソレノイド７に通電している
ときは、図４（Ａ）のようにワイヤ９は自由になってい
る。ソレノイド７の通電を断つと、可動部２は矢符Ａ方
向に回動して図４（Ｂ）の状態になる。このとき、先ず
、固定側クランプ座４と可動側クランプ座５の先端部同
士が当接してワイヤ９には衝撃が加わらない。更に、可
動部２が矢符Ａ方向に回動してばね板１０がたわみ、図
４（Ｃ）のようになって固定側クランプ座４と可動側ク
ランプ座５でワイヤ９を挟み付けるが、ばね板１０によ
りワイヤ９への衝撃は緩和される。
あり、図４（Ａ）は図３（Ａ）に、図４（Ｃ）は図３（
Ｂ）にそれぞれ対応する。ソレノイド７に通電している
ときは、図４（Ａ）のようにワイヤ９は自由になってい
る。ソレノイド７の通電を断つと、可動部２は矢符Ａ方
向に回動して図４（Ｂ）の状態になる。このとき、先ず
、固定側クランプ座４と可動側クランプ座５の先端部同
士が当接してワイヤ９には衝撃が加わらない。更に、可
動部２が矢符Ａ方向に回動してばね板１０がたわみ、図
４（Ｃ）のようになって固定側クランプ座４と可動側ク
ランプ座５でワイヤ９を挟み付けるが、ばね板１０によ
りワイヤ９への衝撃は緩和される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来例のク
ランプ装置では、支持ピンを用いて回動させているので
、支持ピンの周囲には遊びが存在し、高速での繰り返し
回動により支持ピン周囲での焼き付けや、摩耗による遊
びの増加が発生し、そのため、高速、高精度、長寿命化
の障害となっていた。
ランプ装置では、支持ピンを用いて回動させているので
、支持ピンの周囲には遊びが存在し、高速での繰り返し
回動により支持ピン周囲での焼き付けや、摩耗による遊
びの増加が発生し、そのため、高速、高精度、長寿命化
の障害となっていた。
【０００７】さらに、図３の従来例においては、図２の
従来例と異なり、ソレノイド７および押し棒１２が、支
持ピン３よりもクランプ座４，５側に配置される構成と
なっているために、かかるクランプ装置をワイヤボンダ
に装備し、このクランプ装置が揺動される場合には、図
２のクランプ装置に比べてイナーシャが大きくなり、高
速化が図りにくいという難点がある。
従来例と異なり、ソレノイド７および押し棒１２が、支
持ピン３よりもクランプ座４，５側に配置される構成と
なっているために、かかるクランプ装置をワイヤボンダ
に装備し、このクランプ装置が揺動される場合には、図
２のクランプ装置に比べてイナーシャが大きくなり、高
速化が図りにくいという難点がある。
【０００８】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、生産性向上の要請に応じ、高速、高精度、長
寿命化を図ることを目的とする。
であって、生産性向上の要請に応じ、高速、高精度、長
寿命化を図ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
を達成するために、次のように構成している。
【００１０】すなわち、本発明は、互いに対向する固定
部および可動部を有し、該固定部および可動部の一端側
の各対向面には、ワイヤを挟みつける固定側クランプ座
および可動側クランプ座がそれぞれ設けられ、前記固定
部および可動部の他端側には、駆動信号に応答して前記
固定部および可動部を付勢する付勢手段が設けられ、前
記クランプ座と前記付勢手段との間の位置であって、か
つ、前記固定部および可動部の対向面間には、前記固定
部および可動部を弾性的に結合する結合部が設けられて
いる。
部および可動部を有し、該固定部および可動部の一端側
の各対向面には、ワイヤを挟みつける固定側クランプ座
および可動側クランプ座がそれぞれ設けられ、前記固定
部および可動部の他端側には、駆動信号に応答して前記
固定部および可動部を付勢する付勢手段が設けられ、前
記クランプ座と前記付勢手段との間の位置であって、か
つ、前記固定部および可動部の対向面間には、前記固定
部および可動部を弾性的に結合する結合部が設けられて
いる。
【００１１】
【作用】上記構成によれば、固定部と可動部との間に設
けられた結合部が弾性的にたわむことによって両クラン
プ座の間にワイヤを挟んだり、自由にしたりすることが
可能となり、従来のような支持ピンを使用する必要がな
い。
けられた結合部が弾性的にたわむことによって両クラン
プ座の間にワイヤを挟んだり、自由にしたりすることが
可能となり、従来のような支持ピンを使用する必要がな
い。
【００１２】さらに、駆動信号に応答して固定部および
可動部を付勢する付勢手段、例えば、ソレノイドおよび
プランジャを、クランプ座が設けられている端部とは反
対側の端部に設けるので、ワイヤボンダに装備されて揺
動された場合に、イナーシャが小さくなって高速化を図
ることができる。
可動部を付勢する付勢手段、例えば、ソレノイドおよび
プランジャを、クランプ座が設けられている端部とは反
対側の端部に設けるので、ワイヤボンダに装備されて揺
動された場合に、イナーシャが小さくなって高速化を図
ることができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面によって本発明の実施例について
、詳細に説明する。
、詳細に説明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施例の側面図であり
、上述の従来例に対応する部分には、同一の参照符を付
す。
、上述の従来例に対応する部分には、同一の参照符を付
す。
【００１５】同図において、１はワイヤボンダのヘッド
（図示せず）に取り付けられた固定部、２は固定部１に
対向して設けられた可動部、４は固定部１の一端側の、
可動部２と対向する側に設けられた固定側クランプ座、
５は固定側クランプ座４と対向して可動部２の一端側に
設けられた可動側クランプ座、４，５は固定側および可
動側クランプ座を互いに近付ける向きに固定部１と可動
部２との間を付勢するばね、７，８は通電があったとき
に、固定側および可動側クランプ座４，５を互いに遠ざ
ける向きに固定部１と可動部２との間を付勢する付勢手
段としてのソレノイドとプランジャであり、ソレノイド
７は固定部１の他端側に、プランジャ８は可動部２の他
端側にそれぞれ取り付けられており、ソレノイド７に駆
動信号としての通電があると、プランジャ８に吸引力が
働き、ばね力に抗して可動部２を矢符Ｂの向きに回動さ
せるようになっている。なお、９はワイヤボンディング
のためのワイヤである。
（図示せず）に取り付けられた固定部、２は固定部１に
対向して設けられた可動部、４は固定部１の一端側の、
可動部２と対向する側に設けられた固定側クランプ座、
５は固定側クランプ座４と対向して可動部２の一端側に
設けられた可動側クランプ座、４，５は固定側および可
動側クランプ座を互いに近付ける向きに固定部１と可動
部２との間を付勢するばね、７，８は通電があったとき
に、固定側および可動側クランプ座４，５を互いに遠ざ
ける向きに固定部１と可動部２との間を付勢する付勢手
段としてのソレノイドとプランジャであり、ソレノイド
７は固定部１の他端側に、プランジャ８は可動部２の他
端側にそれぞれ取り付けられており、ソレノイド７に駆
動信号としての通電があると、プランジャ８に吸引力が
働き、ばね力に抗して可動部２を矢符Ｂの向きに回動さ
せるようになっている。なお、９はワイヤボンディング
のためのワイヤである。
【００１６】この実施例のクランプ装置では、クランプ
座４，５と付勢手段７，８との間の位置であって、かつ
、固定部１および可動部２の対向面間には、両者を弾性
的に結合する結合部１３が設けられており、この結合部
１３は、クランプ座４，５側および付勢手段７，８側か
らそれぞれ円弧状に削り取られた形状となっており、こ
の結合部１３の薄くなった箇所がたわむことによって、
可動部２が矢符Ａ，Ｂ方向に回動できるようになってい
る。
座４，５と付勢手段７，８との間の位置であって、かつ
、固定部１および可動部２の対向面間には、両者を弾性
的に結合する結合部１３が設けられており、この結合部
１３は、クランプ座４，５側および付勢手段７，８側か
らそれぞれ円弧状に削り取られた形状となっており、こ
の結合部１３の薄くなった箇所がたわむことによって、
可動部２が矢符Ａ，Ｂ方向に回動できるようになってい
る。
【００１７】上記構成を有するクランプ装置において、
ソレノイド７に通電すると、吸引力が働き、可動部２を
、結合部１３の最も薄い部分を中心にして矢符Ｂの向き
に回動させてワイヤ９を自由にする。次に、ソレノイド
７の通電を断つと吸引力が解消し、ばね力により可動部
２を、結合部１３の最も薄い部分を中心として矢符Ａの
向きに回動させてワイヤ９を挟み付ける。可動部５は、
剛体であり、したがって、ばね６およびプランジャ８か
らの力は、可動部２を通して可動側クランプ座５に確実
、かつ、高速に作用する。
ソレノイド７に通電すると、吸引力が働き、可動部２を
、結合部１３の最も薄い部分を中心にして矢符Ｂの向き
に回動させてワイヤ９を自由にする。次に、ソレノイド
７の通電を断つと吸引力が解消し、ばね力により可動部
２を、結合部１３の最も薄い部分を中心として矢符Ａの
向きに回動させてワイヤ９を挟み付ける。可動部５は、
剛体であり、したがって、ばね６およびプランジャ８か
らの力は、可動部２を通して可動側クランプ座５に確実
、かつ、高速に作用する。
【００１８】上述の実施例では、結合部１３を円弧状に
削り取った形状としたけれども、本発明は、かかる形状
に限るものではなく、結合部１３を、ゴムや板ばねその
他の弾性部材で構成してもよい。
削り取った形状としたけれども、本発明は、かかる形状
に限るものではなく、結合部１３を、ゴムや板ばねその
他の弾性部材で構成してもよい。
【００１９】また、上述の実施例では、可動部２を回動
させる付勢力として、ばね６およびソレノイド７を用い
たけれども、本発明は、これに限るものではなく、圧電
素子やリニアモータなどを用いてもよい。
させる付勢力として、ばね６およびソレノイド７を用い
たけれども、本発明は、これに限るものではなく、圧電
素子やリニアモータなどを用いてもよい。
【００２０】さらに、本発明の他の実施例として、図３
と同様に、ばね板１０を設けてワイヤ９に加わる衝撃を
緩和させるようにしてもよい。
と同様に、ばね板１０を設けてワイヤ９に加わる衝撃を
緩和させるようにしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、固定部と
可動部の対向面間に両者を弾性的に結合する結合部を設
け、この結合部が弾性的にたわむことによりワイヤを挟
み付けたり、自由にしたりするようにしたので、支持ピ
ンを用いて回動させる従来例のように、支持ピンの周囲
に遊びが生じて高速での繰り返し回動により支持ピン周
囲での焼き付けや、摩耗による遊びの増加が発生すると
いったことが防止され、これによって、高速、高精度、
長寿命化は図ることが可能となる。
可動部の対向面間に両者を弾性的に結合する結合部を設
け、この結合部が弾性的にたわむことによりワイヤを挟
み付けたり、自由にしたりするようにしたので、支持ピ
ンを用いて回動させる従来例のように、支持ピンの周囲
に遊びが生じて高速での繰り返し回動により支持ピン周
囲での焼き付けや、摩耗による遊びの増加が発生すると
いったことが防止され、これによって、高速、高精度、
長寿命化は図ることが可能となる。
【００２２】さらに、ソレノイドおよびプランジャとい
った付勢手段を、クランプ座が設けられている端部とは
反対側の端部に設けるので、ワイヤボンダに装備されて
揺動された場合に、イナーシャが小さくなって高速化を
図るのが容易となる。
った付勢手段を、クランプ座が設けられている端部とは
反対側の端部に設けるので、ワイヤボンダに装備されて
揺動された場合に、イナーシャが小さくなって高速化を
図るのが容易となる。
【図１】本発明の一実施例の側面図である。
【図２】従来例の側面図である。
【図３】他の従来例の平面図である。
【図４】図３の動作図である。
１ 固定部
２ 可動部
４ 固定側クランプ座５
可動側クランプ座７ ソ
レノイド ８ プランジャ １３ 結合部
可動側クランプ座７ ソ
レノイド ８ プランジャ １３ 結合部
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに対向する固定部および可動部を
有し、該固定部および可動部の一端側の各対向面には、
ワイヤを挟みつける固定側クランプ座および可動側クラ
ンプ座がそれぞれ設けられ、前記固定部および可動部の
他端側には、駆動信号に応答して前記固定部および可動
部を付勢する付勢手段が設けられ、前記クランプ座と前
記付勢手段との間の位置であって、かつ、前記固定部お
よび可動部の対向面間には、前記固定部および可動部を
弾性的に結合する結合部が設けられたことを特徴とする
ワイヤボンダのワイヤクランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3115123A JPH04343234A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | ワイヤボンダのワイヤクランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3115123A JPH04343234A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | ワイヤボンダのワイヤクランプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04343234A true JPH04343234A (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=14654836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3115123A Pending JPH04343234A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | ワイヤボンダのワイヤクランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04343234A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110091266A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-08-06 | 武克学 | 一种手虎钳 |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP3115123A patent/JPH04343234A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110091266A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-08-06 | 武克学 | 一种手虎钳 |
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