JPH04340514A - Ｘ線顕微鏡 - Google Patents
Ｘ線顕微鏡Info
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- JPH04340514A JPH04340514A JP11166491A JP11166491A JPH04340514A JP H04340514 A JPH04340514 A JP H04340514A JP 11166491 A JP11166491 A JP 11166491A JP 11166491 A JP11166491 A JP 11166491A JP H04340514 A JPH04340514 A JP H04340514A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 7
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
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Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料の同一特定の部分
を、Ｘ線と可視光により簡単に観察できるＸ線顕微鏡に
関するものである。
を、Ｘ線と可視光により簡単に観察できるＸ線顕微鏡に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、放射光（ＳＯＲ）光源やレーザー
プラズマ光源などの、白色・高輝度なＸ線光源の出現に
伴い、Ｘ線を利用した技術に対する関心が高まり、種々
なＸ線光学素子の開発が盛んになっている。また、これ
らのＸ線光学素子を応用した、Ｘ線顕微鏡システムやＸ
線望遠鏡システムの開発も進んでいる。斜入射光学系を
利用したウオ ルター型Ｘ線顕微鏡、２枚の凹凸面鏡に
Ｘ線多層膜鏡をコートしたシュワルツシルド型の顕微鏡
、そして、フレネルゾーンプレートを対物レンズに応用
したＸ線顕微鏡などが公知例としてある。
プラズマ光源などの、白色・高輝度なＸ線光源の出現に
伴い、Ｘ線を利用した技術に対する関心が高まり、種々
なＸ線光学素子の開発が盛んになっている。また、これ
らのＸ線光学素子を応用した、Ｘ線顕微鏡システムやＸ
線望遠鏡システムの開発も進んでいる。斜入射光学系を
利用したウオ ルター型Ｘ線顕微鏡、２枚の凹凸面鏡に
Ｘ線多層膜鏡をコートしたシュワルツシルド型の顕微鏡
、そして、フレネルゾーンプレートを対物レンズに応用
したＸ線顕微鏡などが公知例としてある。
【０００３】ほかの関連技術としては、マルチチャンネ
ルプレートや光電子増倍管など各種のＸ線用の検出器の
提案がある。また最近、表面の保護膜を除去し、Ｘ線波
長領域まで感度がある高解像度のＣＣＤの開発が注目さ
れている。このように、基礎技術、周辺技術が発達する
とともに、結像性能の向上のみならず、機能性もすぐれ
たＸ線顕微鏡に対する期待が高まっている。
ルプレートや光電子増倍管など各種のＸ線用の検出器の
提案がある。また最近、表面の保護膜を除去し、Ｘ線波
長領域まで感度がある高解像度のＣＣＤの開発が注目さ
れている。このように、基礎技術、周辺技術が発達する
とともに、結像性能の向上のみならず、機能性もすぐれ
たＸ線顕微鏡に対する期待が高まっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】上記のように、Ｘ線
顕微鏡にも高機能性が追求される情勢において、要望の
強いものに、試料の同一特定の部分を、Ｘ線と可視光に
より簡単に観察できる顕微鏡システムの実現がある。こ
のような顕微鏡システムにより、我々がふだん見慣れて
いる可視光による透過顕微鏡像と、Ｘ線透過顕微鏡像と
を、簡単にしかも同時に直接比較することができる。そ
の結果、単にＸ線顕微鏡像のみを観察するの比べ、可視
光顕微鏡像と比較することにより、得られる情報量は格
段に多くなる。
顕微鏡にも高機能性が追求される情勢において、要望の
強いものに、試料の同一特定の部分を、Ｘ線と可視光に
より簡単に観察できる顕微鏡システムの実現がある。こ
のような顕微鏡システムにより、我々がふだん見慣れて
いる可視光による透過顕微鏡像と、Ｘ線透過顕微鏡像と
を、簡単にしかも同時に直接比較することができる。そ
の結果、単にＸ線顕微鏡像のみを観察するの比べ、可視
光顕微鏡像と比較することにより、得られる情報量は格
段に多くなる。
【０００５】本発明では、これらの点に鑑み、可視光用
とＸ線用の光学系をそれぞれ独立に設けることなく、簡
単な機構で、試料の同一特定の部分を、Ｘ線と可視光に
より簡易に観察できる顕微鏡システムを提供することを
目的とする。
とＸ線用の光学系をそれぞれ独立に設けることなく、簡
単な機構で、試料の同一特定の部分を、Ｘ線と可視光に
より簡易に観察できる顕微鏡システムを提供することを
目的とする。
【０００６】
【問題を解決するための手段及び作用】本発明のＸ線顕
微鏡は、Ｘ線及び可視光を含む光を発する光源装置から
出た光を物体に照射し、該物体からの光を集光光学系に
より検出器に導くようにしたＸ線顕微鏡において、前記
光源装置から検出器に至る光路中にＸ線をカットするロ
ーパスフイ ルターと可視光をカットするハイパスフイ
ルターとを選択的に挿脱可能に設けたことを特徴とす
るものである。
微鏡は、Ｘ線及び可視光を含む光を発する光源装置から
出た光を物体に照射し、該物体からの光を集光光学系に
より検出器に導くようにしたＸ線顕微鏡において、前記
光源装置から検出器に至る光路中にＸ線をカットするロ
ーパスフイ ルターと可視光をカットするハイパスフイ
ルターとを選択的に挿脱可能に設けたことを特徴とす
るものである。
【０００７】以下、図１、図３及び図４に基づき、本発
明の原理を説明する。
明の原理を説明する。
【０００８】可視光領域には、すぐれた光学フイ ルタ
ーが存在するが、Ｘ線領域に対しても、幾つかのすぐれ
たハイパスフイ ルターが存在する。例えば、Ａｌの１
５００Å厚の薄膜は、可視光領域の最大透過率が５×１
０−８であるのにもかかわらず、波長５０ÅのＸ線の透
過率は４０％にも及ぶ（図３参照）。また、複数の材料
を利用して、可視光をカットし、かつ、特定領域波長の
Ｘ線を通すバンドフイ ルターも可能である。図４はそ
の一例で、Ａｌの１５００Å厚の薄膜とＴｉの２７０Å
厚の薄膜とを重ねたフイ ルターの分光透過率を示す図
である。 透過率が複数のピークをもっており、この部分をバンド
フイ ルターとして用いることができる。
ーが存在するが、Ｘ線領域に対しても、幾つかのすぐれ
たハイパスフイ ルターが存在する。例えば、Ａｌの１
５００Å厚の薄膜は、可視光領域の最大透過率が５×１
０−８であるのにもかかわらず、波長５０ÅのＸ線の透
過率は４０％にも及ぶ（図３参照）。また、複数の材料
を利用して、可視光をカットし、かつ、特定領域波長の
Ｘ線を通すバンドフイ ルターも可能である。図４はそ
の一例で、Ａｌの１５００Å厚の薄膜とＴｉの２７０Å
厚の薄膜とを重ねたフイ ルターの分光透過率を示す図
である。 透過率が複数のピークをもっており、この部分をバンド
フイ ルターとして用いることができる。
【０００９】上記のＸ線フイ ルターをＸ線顕微鏡に応
用すれば、可視光用とＸ線用を兼ねる光学系により、可
視光とＸ線の両方の顕微鏡像が得られる。図１は本発明
のＸ線顕微鏡の光学系の概略的な構成を示す図である。 図において、１は可視光、Ｘ線の両者を含む光を発する
光源で、ＳＯＲ光源やレーザープラズマ光源のような白
色光源が好適である。２は光源１からの光を観察試料３
上に集光する集光レンズ、４は観察試料３の像を形成す
る結像レンズ、６は検出器である。ここで、集光レンズ
２及び結像レンズ４としては、可視光及びＸ線の両者を
集光、結像させることができるもの、例えば反射型光学
系などを用いる。５はフイ ルター面が複数の領域に分
割されている回転フイ ルターで、各領域がローパスフ
イ ルターまたはハイパスフイ ルターから構成されて
いる。そして、顕微鏡の光路外の回転軸の回りに回動す
ることにより、ローパスフイ ルターまたはハイパスフ
イ ルターの一方が、選択的に顕微鏡光路中に挿脱され
るようになっている。ローパスフイ ルターとしては、
図３、図４に示したような可視光をカットするフイ ル
ターを用いることができる。一方、ハイパスフイ ルタ
ーとしては、真空紫外線以下の短波長の光を、十分にカ
ットする厚みがある光学ガラスや有機材料を利用する。 検出器６には、Ｘ線領域まで感度があるＣＣＤなどを用
いる。
用すれば、可視光用とＸ線用を兼ねる光学系により、可
視光とＸ線の両方の顕微鏡像が得られる。図１は本発明
のＸ線顕微鏡の光学系の概略的な構成を示す図である。 図において、１は可視光、Ｘ線の両者を含む光を発する
光源で、ＳＯＲ光源やレーザープラズマ光源のような白
色光源が好適である。２は光源１からの光を観察試料３
上に集光する集光レンズ、４は観察試料３の像を形成す
る結像レンズ、６は検出器である。ここで、集光レンズ
２及び結像レンズ４としては、可視光及びＸ線の両者を
集光、結像させることができるもの、例えば反射型光学
系などを用いる。５はフイ ルター面が複数の領域に分
割されている回転フイ ルターで、各領域がローパスフ
イ ルターまたはハイパスフイ ルターから構成されて
いる。そして、顕微鏡の光路外の回転軸の回りに回動す
ることにより、ローパスフイ ルターまたはハイパスフ
イ ルターの一方が、選択的に顕微鏡光路中に挿脱され
るようになっている。ローパスフイ ルターとしては、
図３、図４に示したような可視光をカットするフイ ル
ターを用いることができる。一方、ハイパスフイ ルタ
ーとしては、真空紫外線以下の短波長の光を、十分にカ
ットする厚みがある光学ガラスや有機材料を利用する。 検出器６には、Ｘ線領域まで感度があるＣＣＤなどを用
いる。
【００１０】このように配置・構成して、適当な時間間
隔で回転フイ ルター５を回転し、ローパスフイ ルタ
ーまたはハイパスフイ ルターを択一的に光路中に挿入
すると、同一の光学系を用いてＸ線による観察試料の像
、可視光による観察試料の像が別々に得られる。
隔で回転フイ ルター５を回転し、ローパスフイ ルタ
ーまたはハイパスフイ ルターを択一的に光路中に挿入
すると、同一の光学系を用いてＸ線による観察試料の像
、可視光による観察試料の像が別々に得られる。
【００１１】なお、ここでは結像レンズ４と検出器６と
の間に、フイ ルターを挿脱するようになっいるが、光
源１から検出器６に至る光路中のどこにフイ ルターを
配置しても、同様の効果が得られることは明らかである
。また、レーザープラズマ光源のようなパルス光源の場
合には、発光と同期して、回転フイ ルター５を回転す
ればよい。
の間に、フイ ルターを挿脱するようになっいるが、光
源１から検出器６に至る光路中のどこにフイ ルターを
配置しても、同様の効果が得られることは明らかである
。また、レーザープラズマ光源のようなパルス光源の場
合には、発光と同期して、回転フイ ルター５を回転す
ればよい。
【００１２】
【実施例】図２は、シュワルツシルド型Ｘ線顕微鏡に、
この発明を適用した実施例である。１はレーザープラズ
マ光源で、ＹＡＧレーザーなどの強力なレーザー光９を
、真空中の金属ターゲットに照射して発光させる。２は
ウオ ルター型集光レンズ、３は観察試料、４はシュワ
ルツシルド型光学系、５は回転フイルターである。回転
フイ ルター５は、ローパスフイ ルター（例えば、厚
さ５ｍｍのガラスＢＫ７でできている）７と、ハイパス
フイ ルター（例えば、厚さ１０００ÅのＡｌでできて
いる）８より構成されている。６はＣＣＤ（検出器）で
、表面の保護膜を除去し、Ｘ線波長領域まで感度のある
ものを用いる。
この発明を適用した実施例である。１はレーザープラズ
マ光源で、ＹＡＧレーザーなどの強力なレーザー光９を
、真空中の金属ターゲットに照射して発光させる。２は
ウオ ルター型集光レンズ、３は観察試料、４はシュワ
ルツシルド型光学系、５は回転フイルターである。回転
フイ ルター５は、ローパスフイ ルター（例えば、厚
さ５ｍｍのガラスＢＫ７でできている）７と、ハイパス
フイ ルター（例えば、厚さ１０００ÅのＡｌでできて
いる）８より構成されている。６はＣＣＤ（検出器）で
、表面の保護膜を除去し、Ｘ線波長領域まで感度のある
ものを用いる。
【００１３】レーザープラズマ光源１から発光した光は
、ウオ ルター型集光レンズ２を経て観察試料３を照明
する。観察試料３の像は、シュワルツシルド型光学系４
により回転フイ ルター５を介してＣＣＤ（検出器）６
に結像する。光路にハイパスフイルター８があるときは
、ＣＣＤ（検出器）６にＸ線像を結像し、ローパスフイ
ルター７があるときは、ＣＣＤ（検出器）６に可視光
像を結像する。この実施例では、結像光学系としてシュ
ワルツシルド光学系を用いているが、これに限らずウオ
ルター型などを用いることができる。
、ウオ ルター型集光レンズ２を経て観察試料３を照明
する。観察試料３の像は、シュワルツシルド型光学系４
により回転フイ ルター５を介してＣＣＤ（検出器）６
に結像する。光路にハイパスフイルター８があるときは
、ＣＣＤ（検出器）６にＸ線像を結像し、ローパスフイ
ルター７があるときは、ＣＣＤ（検出器）６に可視光
像を結像する。この実施例では、結像光学系としてシュ
ワルツシルド光学系を用いているが、これに限らずウオ
ルター型などを用いることができる。
【００１４】
【発明の効果】可視光用とＸ線用の光学系をそれぞれ独
立に設けることなく、Ｘ線顕微鏡の光源と検出器の間に
、Ｘ線をカットするローパスフイ ルターと可視光をカ
ットするハイパスフイ ルターからなる回転フイ ルタ
ーを設けるだけの簡単な機構で、試料の同一特定の部分
を、Ｘ線と可視光により簡易に観察できる。
立に設けることなく、Ｘ線顕微鏡の光源と検出器の間に
、Ｘ線をカットするローパスフイ ルターと可視光をカ
ットするハイパスフイ ルターからなる回転フイ ルタ
ーを設けるだけの簡単な機構で、試料の同一特定の部分
を、Ｘ線と可視光により簡易に観察できる。
【図１】本発明の原理の説明図である。
【図２】シュワルツシルド型Ｘ線顕微鏡に本発明を適用
した実施例の説明図である。
した実施例の説明図である。
【図３】Ａｌ（１５００Å厚）の透過特性図である。
【図４】Ａｌ（１５００Å厚）／Ｔｉ（２７０Å厚）の
透過特性図である。
透過特性図である。
１ 光源，レーザープラズマ光源２ 集光
レンズ，ウオ ルター型集光レンズ３ 観察試料 ４ 結像レンズ，シュワルツシルド型光学系５
回転フイ ルター ６ 検出器，ＣＣＤ ７ ローパスフイ ルター ８ ハイパスフイ ルター ９ レーザー光
レンズ，ウオ ルター型集光レンズ３ 観察試料 ４ 結像レンズ，シュワルツシルド型光学系５
回転フイ ルター ６ 検出器，ＣＣＤ ７ ローパスフイ ルター ８ ハイパスフイ ルター ９ レーザー光
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線及び可視光を含む光を発する光源
装置から出た光を物体に照射し、該物体からの光を集光
光学系により検出器に導くようにしたＸ線顕微鏡におい
て、前記光源装置から検出器に至る光路中にＸ線をカッ
トするローパスフイ ルターと可視光をカットするハイ
パスフイ ルターとを選択的に挿脱可能に設けたことを
特徴とするＸ線顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11166491A JPH04340514A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Ｘ線顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11166491A JPH04340514A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Ｘ線顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04340514A true JPH04340514A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=14567060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11166491A Withdrawn JPH04340514A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Ｘ線顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04340514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002097366A1 (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Observation device using light and x-ray, exposure system and exposure method |
-
1991
- 1991-05-16 JP JP11166491A patent/JPH04340514A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002097366A1 (en) * | 2001-05-25 | 2002-12-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Observation device using light and x-ray, exposure system and exposure method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |