JP3049790B2 - 結像型軟x線顕微鏡装置 - Google Patents
結像型軟x線顕微鏡装置Info
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- JP3049790B2 JP3049790B2 JP3027403A JP2740391A JP3049790B2 JP 3049790 B2 JP3049790 B2 JP 3049790B2 JP 3027403 A JP3027403 A JP 3027403A JP 2740391 A JP2740391 A JP 2740391A JP 3049790 B2 JP3049790 B2 JP 3049790B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、主として生体観察のた
めの高分解能の結像型軟X線顕微鏡装置に関する。
めの高分解能の結像型軟X線顕微鏡装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から提案されているX線顕微鏡は、
次の4種類に大別される。 まず、光学系を持たないものとして、X線源から発生
するX線の発散光束中の点X線源の近くに被検物体を配
置し、その後方の離れた位置にX線フィルム又は二次元
X線検出器を配置した投影拡大型。
次の4種類に大別される。 まず、光学系を持たないものとして、X線源から発生
するX線の発散光束中の点X線源の近くに被検物体を配
置し、その後方の離れた位置にX線フィルム又は二次元
X線検出器を配置した投影拡大型。
【0003】同じく光学系を持たないものとして、X
線源としてほぼ平行なX線光束を供給するものを用い
て、被検物体とレジストを密着して配置する密着型。こ
の場合のX線源としては、シンクロトロン放射(以下、
単にSRという。)、プラズマX線源や電子線励起X線
源が用いられる。 光学系によりX線ビームを微小スポットに絞り、ビー
ムと被検物体とを相対的に走査する走査型。この場合に
は、X線源としてはSRを用い、X線ビームを微小スポ
ットに絞るための光学素子としては、フレネルゾーンプ
レート(以下、単にFZPという。)が用いられる。
線源としてほぼ平行なX線光束を供給するものを用い
て、被検物体とレジストを密着して配置する密着型。こ
の場合のX線源としては、シンクロトロン放射(以下、
単にSRという。)、プラズマX線源や電子線励起X線
源が用いられる。 光学系によりX線ビームを微小スポットに絞り、ビー
ムと被検物体とを相対的に走査する走査型。この場合に
は、X線源としてはSRを用い、X線ビームを微小スポ
ットに絞るための光学素子としては、フレネルゾーンプ
レート(以下、単にFZPという。)が用いられる。
【0004】SR、プラズマX線源や電子線励起X線
源からなるX線源と、FZP等の光学素子を用いて被検
物体上にX線を集光し、同様の光学素子によって被検物
体の像をフィルムや蛍光板又は二次元X線検出器上に形
成する結像型。
源からなるX線源と、FZP等の光学素子を用いて被検
物体上にX線を集光し、同様の光学素子によって被検物
体の像をフィルムや蛍光板又は二次元X線検出器上に形
成する結像型。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のごとき従来のX
線顕微鏡は、以下のように最適化が不十分でX線照射量
も多く、生きた生体の高分解能観察は困難であった。す
なわち、投影拡大型では、高輝度点X線源が必要とさ
れるところ、一般には強度が不足するため長時間露光が
必要となり、このため動態観察が困難である。また、フ
レネル回折の影響による分解能の低下を避けるため、被
検物体を薄切することが必要となっており、生きたまま
での観察は困難であった。
線顕微鏡は、以下のように最適化が不十分でX線照射量
も多く、生きた生体の高分解能観察は困難であった。す
なわち、投影拡大型では、高輝度点X線源が必要とさ
れるところ、一般には強度が不足するため長時間露光が
必要となり、このため動態観察が困難である。また、フ
レネル回折の影響による分解能の低下を避けるため、被
検物体を薄切することが必要となっており、生きたまま
での観察は困難であった。
【0006】密着型では、レジスト以外には高分解能
検出器がないため、レジストの現像処理が必要で、実時
間観察が困難である。また、倍率が1であるため別途電
子顕微鏡などで拡大観察する必要がある。さらに、この
場合にもフレネル回折の影響による分解能の低下を避け
るため、投影拡大型と同様に被検物体の薄切という破壊
観察が必要となっている。
検出器がないため、レジストの現像処理が必要で、実時
間観察が困難である。また、倍率が1であるため別途電
子顕微鏡などで拡大観察する必要がある。さらに、この
場合にもフレネル回折の影響による分解能の低下を避け
るため、投影拡大型と同様に被検物体の薄切という破壊
観察が必要となっている。
【0007】走査型では、指向性の良いX線源が必要
とされ、このためにはSRのような大がかりなX線源を
用いなければならず装置が極めて大型になるという欠点
があった。しかも、所望の画像を得るための走査時間す
なわち露光時間が長くなるため、動態観察が困難であ
る。結像型においては、FZPを使用する場合には効
率が低いため高強度のX線源としてSRのような大がか
りなX線源が必要である。また、鏡を使用した結像型で
は分解能の向上が難しく、光学系も大きくなるという欠
点があり、未だ最適化が不十分であった。
とされ、このためにはSRのような大がかりなX線源を
用いなければならず装置が極めて大型になるという欠点
があった。しかも、所望の画像を得るための走査時間す
なわち露光時間が長くなるため、動態観察が困難であ
る。結像型においては、FZPを使用する場合には効
率が低いため高強度のX線源としてSRのような大がか
りなX線源が必要である。また、鏡を使用した結像型で
は分解能の向上が難しく、光学系も大きくなるという欠
点があり、未だ最適化が不十分であった。
【0008】上記の如き問題点を解決するために、本願
出願人は先に、結像型軟X線顕微鏡として、X線源から
のX線を単一の凹面非球面多層膜鏡コンデンサーによっ
て被検物体上に集光し、結像光学系としての位相ゾーン
プレートPZPを用いて、二次元X線撮像素子上に被検
物体像を拡大形成するという構成を、特願平1−206
563号として提案した。そして、X線源としてパルス
レーザをターゲットに集光してX線を発生するパルスレ
ーザ励起プラズマX線源とすることが有効であることを
述べ、可視域の光学顕微鏡との組合せについても提案し
た。
出願人は先に、結像型軟X線顕微鏡として、X線源から
のX線を単一の凹面非球面多層膜鏡コンデンサーによっ
て被検物体上に集光し、結像光学系としての位相ゾーン
プレートPZPを用いて、二次元X線撮像素子上に被検
物体像を拡大形成するという構成を、特願平1−206
563号として提案した。そして、X線源としてパルス
レーザをターゲットに集光してX線を発生するパルスレ
ーザ励起プラズマX線源とすることが有効であることを
述べ、可視域の光学顕微鏡との組合せについても提案し
た。
【0009】しかしながら、可視域の光学顕微鏡との単
純な組合せによっては、X線顕微鏡による狭い視野の確
認を簡単に行うことが難しく、また両者の顕微鏡光学系
を組合せる場合の光学調整も難しいという問題があっ
た。本発明の目的は、X線顕微鏡による狭い視野の確認
を容易に行うことが可能で、X線顕微鏡の光学調整を簡
単に行うことのできる小型な結像型X線顕微鏡装置を提
供することにある。
純な組合せによっては、X線顕微鏡による狭い視野の確
認を簡単に行うことが難しく、また両者の顕微鏡光学系
を組合せる場合の光学調整も難しいという問題があっ
た。本発明の目的は、X線顕微鏡による狭い視野の確認
を容易に行うことが可能で、X線顕微鏡の光学調整を簡
単に行うことのできる小型な結像型X線顕微鏡装置を提
供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明によるX線顕微鏡
装置は、前述した先の特願平1−206563号に開示
した如き結像型のX線顕微鏡を基本とし、X線顕微鏡の
観察視野を確認するための光学顕微鏡の照明光学系及び
対物光学系を共に同軸構成としたものである。すなわ
ち、X線照明系の集光手段としての凹面非球面多層膜鏡
コンデンサーの周囲に光学顕微鏡の照明光を反射するた
めの反射領域を設けることによって、X線用の凹面非球
面鏡を光学顕微鏡の集光コンデンサーとして兼用すると
ともに、光学顕微鏡の対物レンズの光軸上の貫通開口内
にX線対物としてのゾーンプレートによる結像光路を形
成したものである。
装置は、前述した先の特願平1−206563号に開示
した如き結像型のX線顕微鏡を基本とし、X線顕微鏡の
観察視野を確認するための光学顕微鏡の照明光学系及び
対物光学系を共に同軸構成としたものである。すなわ
ち、X線照明系の集光手段としての凹面非球面多層膜鏡
コンデンサーの周囲に光学顕微鏡の照明光を反射するた
めの反射領域を設けることによって、X線用の凹面非球
面鏡を光学顕微鏡の集光コンデンサーとして兼用すると
ともに、光学顕微鏡の対物レンズの光軸上の貫通開口内
にX線対物としてのゾーンプレートによる結像光路を形
成したものである。
【0011】
【作用】上記のごとき本発明の構成によれば、照明系中
の凹面非球面反射鏡の中央部分にてX線を反射集光し、
中央部分と周辺部とにおいて光学顕微鏡の照明光を反射
することができるため、凹面非球面反射鏡をX線顕微鏡
の照明系と光学顕微鏡の照明系とに共用することがで
き、X線顕微鏡の照明開口数(NA)に比較して大きな
開口数を必要とする光学顕微鏡用の照明光を効率良く供
給することが可能である。従って、簡単な構成であると
ともに、X線顕微鏡の光軸調整を光学顕微鏡によって簡
単かつ正確に行うことが可能となる。
の凹面非球面反射鏡の中央部分にてX線を反射集光し、
中央部分と周辺部とにおいて光学顕微鏡の照明光を反射
することができるため、凹面非球面反射鏡をX線顕微鏡
の照明系と光学顕微鏡の照明系とに共用することがで
き、X線顕微鏡の照明開口数(NA)に比較して大きな
開口数を必要とする光学顕微鏡用の照明光を効率良く供
給することが可能である。従って、簡単な構成であると
ともに、X線顕微鏡の光軸調整を光学顕微鏡によって簡
単かつ正確に行うことが可能となる。
【0012】
【実施例】以下に本発明を図示した実施例に基づいて説
明する。第1図は、本発明による結像型軟X線顕微鏡装
置の概略構成を示す図である。パルスレーザー1による
レーザを集光レンズ3によって、真空保持用窓4を介し
てディスク又はテープ状の薄膜ターゲット5に集光し、
必要な強度及び波長のX線を発生させる。パルスレーザ
ー1の発光の制御はパルス制御部2によって、所望のパ
ルス間隔(0.01〜数Hz) でなされる。X線薄膜ターゲッ
ト5からのX線は回転楕円体多層膜反射鏡9によって被
検物体容器12内の被検物体13に集光される。そし
て、結像光学系としてのゾーンプレート(ZP)14を
用いて、二次元X線撮像素子15上に被検物体像を拡大
形成する。二次元X線撮像素子15としては、例えば、
背面照射型のFT−CCDのような固体撮像素子が有効
である。
明する。第1図は、本発明による結像型軟X線顕微鏡装
置の概略構成を示す図である。パルスレーザー1による
レーザを集光レンズ3によって、真空保持用窓4を介し
てディスク又はテープ状の薄膜ターゲット5に集光し、
必要な強度及び波長のX線を発生させる。パルスレーザ
ー1の発光の制御はパルス制御部2によって、所望のパ
ルス間隔(0.01〜数Hz) でなされる。X線薄膜ターゲッ
ト5からのX線は回転楕円体多層膜反射鏡9によって被
検物体容器12内の被検物体13に集光される。そし
て、結像光学系としてのゾーンプレート(ZP)14を
用いて、二次元X線撮像素子15上に被検物体像を拡大
形成する。二次元X線撮像素子15としては、例えば、
背面照射型のFT−CCDのような固体撮像素子が有効
である。
【0013】このような構成では、図示のとおり パル
スレーザーによるX線薄膜ターゲット5が回転楕円体多
層膜反射鏡9の第一焦点に配置され、被検物体13がそ
の第二焦点上に配置される。そして、多層膜反射鏡によ
ってX線の単色化を行い、パルスレーザーにより励起発
光される1パルスのX線を照射し、二次元X線撮像素子
15によって光子計数撮像を行う。
スレーザーによるX線薄膜ターゲット5が回転楕円体多
層膜反射鏡9の第一焦点に配置され、被検物体13がそ
の第二焦点上に配置される。そして、多層膜反射鏡によ
ってX線の単色化を行い、パルスレーザーにより励起発
光される1パルスのX線を照射し、二次元X線撮像素子
15によって光子計数撮像を行う。
【0014】ここで、被検物体13を水平に保って観察
するために、照射及び観察X線は鉛直方向に配置し、X
線励起用のレーザは水平配置とした。具体的には、ター
ゲット5と励起用のレーザビームとの角度を約35°と
し、X線の回転楕円体多層膜反射鏡9への入射角を65
°程度としている。そして、X線薄膜ターゲット5の交
換及び飛散物等の廃棄除去手段6、絞り7により、所定
の方向にX線が照射するように構成している。コンデン
サーとしての回転楕円体多層膜反射鏡9の背面には、X
線の吸収による温度上昇、劣化を防止するための水冷の
冷却装置10が設けられている。
するために、照射及び観察X線は鉛直方向に配置し、X
線励起用のレーザは水平配置とした。具体的には、ター
ゲット5と励起用のレーザビームとの角度を約35°と
し、X線の回転楕円体多層膜反射鏡9への入射角を65
°程度としている。そして、X線薄膜ターゲット5の交
換及び飛散物等の廃棄除去手段6、絞り7により、所定
の方向にX線が照射するように構成している。コンデン
サーとしての回転楕円体多層膜反射鏡9の背面には、X
線の吸収による温度上昇、劣化を防止するための水冷の
冷却装置10が設けられている。
【0015】被検物体容器12の直前には、視野絞り1
1が設けられており、この開口径は観察倍率に応じて適
切な大きさに交換されるが、同一倍率においてもフレア
防止やコントラスト向上のために適宜の口径のものが交
換して使用される。二次元X線撮像素子15から出力さ
れる画像情報は、画像処理部16で処理され、ディスプ
レイやプリンタ等の画像出力部17に出力される。
1が設けられており、この開口径は観察倍率に応じて適
切な大きさに交換されるが、同一倍率においてもフレア
防止やコントラスト向上のために適宜の口径のものが交
換して使用される。二次元X線撮像素子15から出力さ
れる画像情報は、画像処理部16で処理され、ディスプ
レイやプリンタ等の画像出力部17に出力される。
【0016】以上の各構成要素に対して、コンデンサー
としての回転楕円回多層膜凹面反射鏡9から二次元X線
撮像素子15の受光面までは真空に保持するために、真
空容器18内に収納されている。真空容器18内の圧力
は、X線の吸収を無視できる、10-2Pa 程度に保たれて
いる。また、X線薄膜ターゲット5の周囲には、飛散物
等が生じるために除去手段6等が必要となっているの
で、別の真空容器19によってX線源部を隔離すること
が必要となっている。
としての回転楕円回多層膜凹面反射鏡9から二次元X線
撮像素子15の受光面までは真空に保持するために、真
空容器18内に収納されている。真空容器18内の圧力
は、X線の吸収を無視できる、10-2Pa 程度に保たれて
いる。また、X線薄膜ターゲット5の周囲には、飛散物
等が生じるために除去手段6等が必要となっているの
で、別の真空容器19によってX線源部を隔離すること
が必要となっている。
【0017】光学顕微鏡用の照明光源22からの可視光
は、集光レンズ21及び光分割器としてのダイクロイッ
クミラー20を介してX線ターゲット5上に集光され
る。集光点はパルスレーザ1からのレーザ光の集光点に
一致させる。ターゲット5での反射光は、ターゲット5
からのX線と同様に回転楕円体多層膜凹面反射鏡9によ
って被検物体13上に集光される。回転楕円体多層膜凹
面反射鏡9は図2の断面図及び図3の平面図に示す如
く、その周辺部には可視光専用の反射領域9aと中央部
のX線反射用多層膜反射領域9bが形成されている。可
視光反射領域9aはアルミニウム蒸着でも良い。また、
X線反射用の多層膜は可視光をかなり反射することがで
きるので、反射鏡9の全面をX線多層膜鏡とし、その中
央部をX線の反射領域として用い、全面を可視光の反射
領域とすることも可能である。このように、凹面反射鏡
9の中央部においてX線を反射し、その中央部と周辺部
とにおいて可視光を反射する構成とすることによって、
X線対物としてのゾーンプレートの14の比較的小さい
NA(開口数)の照明に対して、対物レンズ23に必要
な大きなNAの照明を同軸状態を維持しつつ十分に確保
することができる。
は、集光レンズ21及び光分割器としてのダイクロイッ
クミラー20を介してX線ターゲット5上に集光され
る。集光点はパルスレーザ1からのレーザ光の集光点に
一致させる。ターゲット5での反射光は、ターゲット5
からのX線と同様に回転楕円体多層膜凹面反射鏡9によ
って被検物体13上に集光される。回転楕円体多層膜凹
面反射鏡9は図2の断面図及び図3の平面図に示す如
く、その周辺部には可視光専用の反射領域9aと中央部
のX線反射用多層膜反射領域9bが形成されている。可
視光反射領域9aはアルミニウム蒸着でも良い。また、
X線反射用の多層膜は可視光をかなり反射することがで
きるので、反射鏡9の全面をX線多層膜鏡とし、その中
央部をX線の反射領域として用い、全面を可視光の反射
領域とすることも可能である。このように、凹面反射鏡
9の中央部においてX線を反射し、その中央部と周辺部
とにおいて可視光を反射する構成とすることによって、
X線対物としてのゾーンプレートの14の比較的小さい
NA(開口数)の照明に対して、対物レンズ23に必要
な大きなNAの照明を同軸状態を維持しつつ十分に確保
することができる。
【0018】X線対物としてのゾーンプレート14と光
学顕微鏡の対物レンズ23とは同軸に構成され、ゾーン
プレート14によるX線顕微鏡の光路は光学顕微鏡の対
物レンズ23の光軸に沿った貫通開口内に形成されてい
る。ゾーンプレート14と光学顕微鏡対物レンズ23と
の構成の詳細を図4及び図5に示した。光学顕微鏡用の
対物レンズ23の鏡筒は被検物体側の突出部104を有
しており、その中に、図5の平面図に示す如き十字状の
支持部材107によってゾーンプレート14が支持され
ている。図4に示す如く、光学顕微鏡用対物レンズ23
の光軸に沿う貫通開口内にゾーンプレート14によるX
線の結像光路が形成される。ここで、図5に示す如く、
光学顕微鏡の光路は支持部材107により若干遮られる
が、開口部108により十分な観察光を得ることができ
る。また、ゾーンプレート14により被検物体の像をX
線二次元X線撮像素子15上に拡大結像するために、厳
密にはゾーンプレート14からの光束102は極僅かで
はあるが収斂光束とすることが必要であり、ゾーンプレ
ート14の光学的焦点位置は対物レンズ23の光学的焦
点位置よりもやや射出光側に位置している。このため、
図4に示す如く、対物レンズ23からの光束101はほ
ぼ平行光束となる。このようにして、ゾーンプレート1
4による像に対する物点と対物レンズ23による像に対
する物点とが一致するようにゾーンプレート14と対物
レンズ23とが一体的に構成されているため、対物レン
ズ23の軸上移動によって被検物体へのピント合わせを
行えば、自動的にゾーンプレート14によるX線顕微鏡
の焦点合わせが完了する。一般にはゾーンプレート14
の開口数が非常に小さいため、X線顕微鏡としてのピン
ト合わせが難しのであるが、光学顕微鏡の対物レンズ2
3との一体的構成により、容易に焦点調節が可能とな
る。
学顕微鏡の対物レンズ23とは同軸に構成され、ゾーン
プレート14によるX線顕微鏡の光路は光学顕微鏡の対
物レンズ23の光軸に沿った貫通開口内に形成されてい
る。ゾーンプレート14と光学顕微鏡対物レンズ23と
の構成の詳細を図4及び図5に示した。光学顕微鏡用の
対物レンズ23の鏡筒は被検物体側の突出部104を有
しており、その中に、図5の平面図に示す如き十字状の
支持部材107によってゾーンプレート14が支持され
ている。図4に示す如く、光学顕微鏡用対物レンズ23
の光軸に沿う貫通開口内にゾーンプレート14によるX
線の結像光路が形成される。ここで、図5に示す如く、
光学顕微鏡の光路は支持部材107により若干遮られる
が、開口部108により十分な観察光を得ることができ
る。また、ゾーンプレート14により被検物体の像をX
線二次元X線撮像素子15上に拡大結像するために、厳
密にはゾーンプレート14からの光束102は極僅かで
はあるが収斂光束とすることが必要であり、ゾーンプレ
ート14の光学的焦点位置は対物レンズ23の光学的焦
点位置よりもやや射出光側に位置している。このため、
図4に示す如く、対物レンズ23からの光束101はほ
ぼ平行光束となる。このようにして、ゾーンプレート1
4による像に対する物点と対物レンズ23による像に対
する物点とが一致するようにゾーンプレート14と対物
レンズ23とが一体的に構成されているため、対物レン
ズ23の軸上移動によって被検物体へのピント合わせを
行えば、自動的にゾーンプレート14によるX線顕微鏡
の焦点合わせが完了する。一般にはゾーンプレート14
の開口数が非常に小さいため、X線顕微鏡としてのピン
ト合わせが難しのであるが、光学顕微鏡の対物レンズ2
3との一体的構成により、容易に焦点調節が可能とな
る。
【0019】図1に示す如く、光学顕微鏡対物レンズ2
3からの平行光束は、斜設孔開き反射鏡24によって反
射され、窓ガラス25を通して真空容器18外に導か
れ、結像レンズ26,光路屈曲ミラー27を介して空間
像28が形成される。この空間像28を接眼レンズ29
を通して所定の倍率で観察することができる。尚、上記
の実施例では、斜設孔開き反射鏡24によってX線によ
る像と可視光像とを分離することとしたが、X線二次元
X線撮像素子15としてX線のみならず可視光に対して
も感度のある特性の検出器、例えばCCDを用いること
とすれば、観察系についてX線顕微鏡と光学顕微鏡とを
完全に同軸構成とすることが可能となる。また、回転楕
円体多層膜凹面反射鏡9においては、X線ゾーンプレー
ト14の光軸上にXが入射して撮像素子15でのノイズ
を生ずることがないように、中心位置(光軸上位置)に
微小な吸収体、例えばアルミニウムの微小体を設けるこ
とが望ましい。
3からの平行光束は、斜設孔開き反射鏡24によって反
射され、窓ガラス25を通して真空容器18外に導か
れ、結像レンズ26,光路屈曲ミラー27を介して空間
像28が形成される。この空間像28を接眼レンズ29
を通して所定の倍率で観察することができる。尚、上記
の実施例では、斜設孔開き反射鏡24によってX線によ
る像と可視光像とを分離することとしたが、X線二次元
X線撮像素子15としてX線のみならず可視光に対して
も感度のある特性の検出器、例えばCCDを用いること
とすれば、観察系についてX線顕微鏡と光学顕微鏡とを
完全に同軸構成とすることが可能となる。また、回転楕
円体多層膜凹面反射鏡9においては、X線ゾーンプレー
ト14の光軸上にXが入射して撮像素子15でのノイズ
を生ずることがないように、中心位置(光軸上位置)に
微小な吸収体、例えばアルミニウムの微小体を設けるこ
とが望ましい。
【0020】
【発明の効果】以上の如き本発明によれば、X線顕微鏡
と光学顕微鏡の照明光学系及び対物光学系が同軸である
ため、X線顕微鏡による狭い視野の確認を容易に行うこ
とが可能であり、X線源としてパルスX線源を使用した
場合にも、X線顕微鏡の光学調整が容易である。そし
て、X線顕微鏡の焦点と光学顕微鏡の焦点とを一致させ
ておくこととすれば、X線顕微鏡にて観察したい部位を
光学顕微鏡で観察することによって、自動的にX線顕微
鏡の焦点合わせを達成することが可能となる。
と光学顕微鏡の照明光学系及び対物光学系が同軸である
ため、X線顕微鏡による狭い視野の確認を容易に行うこ
とが可能であり、X線源としてパルスX線源を使用した
場合にも、X線顕微鏡の光学調整が容易である。そし
て、X線顕微鏡の焦点と光学顕微鏡の焦点とを一致させ
ておくこととすれば、X線顕微鏡にて観察したい部位を
光学顕微鏡で観察することによって、自動的にX線顕微
鏡の焦点合わせを達成することが可能となる。
【図1】本発明による実施例の概略構成図。
【図2】本発明における凹面反射鏡の構成を示す断面
図。
図。
【図3】本発明における凹面反射鏡の構成を示す平面
図。
図。
【図4】本発明における対物光学系の構成を示す断面
図。
図。
【図5】本発明における対物光学系の構成を示す平面
図。
図。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G21K 7/00 G02B 21/00
Claims (3)
- 【請求項1】X線源と、該X線源からのX線を被検物体
上に集光するための多層膜凹面反射鏡と、該被検物体か
らのX線を集光して被検物体像を形成するためのゾーン
プレート対物と、該被検物体の像を検出する二次元X線
撮像素子とを有するX線顕微鏡において、前記ゾーンプ
レート対物の光路を形成するために光軸に沿った貫通開
口を有する光学顕微鏡対物レンズを該ゾーンプレートと
同軸に設け、前記多層膜凹面反射鏡の少なくとも周辺部
に該光学顕微鏡用の照明光を反射する反射領域を設け、
該凹面反射鏡をX線顕微鏡と光学顕微鏡とに共用したこ
とを特徴とする結像型軟X線顕微鏡装置。 - 【請求項2】前記ゾーンプレートは前記光学顕微鏡対物
レンズの被検物体側に突出した鏡筒内に取りつけられて
いることを特徴とする請求項1記載の結像型軟X線顕微
鏡装置。 - 【請求項3】前記X線源は、レーザ光源と該レーザ光源
からの光をX線ターゲットに導くレーザ照射光学系とを
有し、前記光学顕微鏡の照明光は、該レーザ照射光学系
中に配置された光分割器を介して供給されることを特徴
とする請求項1乃至2記載の結像型軟X線顕微鏡装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3027403A JP3049790B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 結像型軟x線顕微鏡装置 |
US07/833,918 US5199057A (en) | 1989-08-09 | 1992-02-11 | Image formation-type soft X-ray microscopic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3027403A JP3049790B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 結像型軟x線顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04265900A JPH04265900A (ja) | 1992-09-22 |
JP3049790B2 true JP3049790B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=12220105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3027403A Expired - Lifetime JP3049790B2 (ja) | 1989-08-09 | 1991-02-21 | 結像型軟x線顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3049790B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4220170B2 (ja) * | 2002-03-22 | 2009-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線像拡大装置 |
JP2007058130A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Japan Science & Technology Agency | 極端紫外線顕微鏡及び検査方法 |
CN115993713B (zh) * | 2023-03-22 | 2023-06-09 | 西安玄瑞光电科技有限公司 | 一种折反式超大视场x射线显微耦合光学成像*** |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP3027403A patent/JP3049790B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04265900A (ja) | 1992-09-22 |
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