JPH0432426A - 基板投入装置 - Google Patents
基板投入装置Info
- Publication number
- JPH0432426A JPH0432426A JP2136478A JP13647890A JPH0432426A JP H0432426 A JPH0432426 A JP H0432426A JP 2136478 A JP2136478 A JP 2136478A JP 13647890 A JP13647890 A JP 13647890A JP H0432426 A JPH0432426 A JP H0432426A
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- suction
- substrates
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Links
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- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プリント配線板の製造工程の中で、積載した
基板を移載投入する基板投入装置に関する。
基板を移載投入する基板投入装置に関する。
プリント配線板の製造工程に於いて、研1、エツチング
等のコンへア型の製造装置に基板を投入する際、基板を
積載した状態から、複数の吸着パットにより一枚ずつ吸
着し、移載投入する方法が一般に用いられる。
等のコンへア型の製造装置に基板を投入する際、基板を
積載した状態から、複数の吸着パットにより一枚ずつ吸
着し、移載投入する方法が一般に用いられる。
前記の方法では、基板の厚みが薄くなるにつれ、基板の
2枚吸着が発生し易くなるという問題点があった。本発
明は、基板の2枚吸着を防止する機構、また、2枚吸着
をした場合でも、製造装置に投入する前にそれを検出し
、製造装置への2枚投入を未然に防ぐ機構を有する基板
投入装置を捷供するものである。
2枚吸着が発生し易くなるという問題点があった。本発
明は、基板の2枚吸着を防止する機構、また、2枚吸着
をした場合でも、製造装置に投入する前にそれを検出し
、製造装置への2枚投入を未然に防ぐ機構を有する基板
投入装置を捷供するものである。
本発明の基板投入装置は、第1図に示す様に積載した基
板を所定の高さで保持する積載基板昇降部1、積載され
た基板を咬着保持し移載する基板吸着移載部2、及び、
移載されてきた基板を製造装置に送りこむ基板搬送コン
ベア3、また、基板搬送コンヘア3を支持し、その重量
を測定する重量測定部4から成る。
板を所定の高さで保持する積載基板昇降部1、積載され
た基板を咬着保持し移載する基板吸着移載部2、及び、
移載されてきた基板を製造装置に送りこむ基板搬送コン
ベア3、また、基板搬送コンヘア3を支持し、その重量
を測定する重量測定部4から成る。
積載基板昇降部1はテーブルリフタであり、図2に示す
ようにテーブル上部にセンサ5を配置し、基板の積載量
が違う場合、また、吸着移載を行ない積載高さが減少し
ていく際に、積載基板の上面が常に一定の高さとなるよ
う設定される。
ようにテーブル上部にセンサ5を配置し、基板の積載量
が違う場合、また、吸着移載を行ない積載高さが減少し
ていく際に、積載基板の上面が常に一定の高さとなるよ
う設定される。
また、基板積載部側面にはエアノズル6があり、基板吸
着直前に圧縮エアを側面より吹き付け、基板の分離を容
易にし、2枚吸着を防止する。
着直前に圧縮エアを側面より吹き付け、基板の分離を容
易にし、2枚吸着を防止する。
基板吸着移載部2は、移載投入方向に対し、前後2つの
7と8の吸着器と、7と8の間に位置する基板押さえシ
リンダー9より構成され、7,8゜9は各々エアシリン
ダーにより所定のストロークを上下に作動する。7.8
の先端のパットは真空ポンプに接続されており、真空ポ
ンプの運転により基板を吸着保持することができる。
7と8の吸着器と、7と8の間に位置する基板押さえシ
リンダー9より構成され、7,8゜9は各々エアシリン
ダーにより所定のストロークを上下に作動する。7.8
の先端のパットは真空ポンプに接続されており、真空ポ
ンプの運転により基板を吸着保持することができる。
また、基板吸着移載部2は上部に駆動装置を持ち、前述
の積載基板昇降部1と、後述、基板搬送コンベア3上を
移動する。
の積載基板昇降部1と、後述、基板搬送コンベア3上を
移動する。
基板搬送コンヘア3は、基板吸着移載部2によって移載
されてきた基板を、投入装置後部に接続される製造装置
へ送りこむ駆動コンベアである。
されてきた基板を、投入装置後部に接続される製造装置
へ送りこむ駆動コンベアである。
また、基板搬送コンベア3は、全体が重量測定部4に乗
っており、基板吸着移載部2によって、基板搬送コンベ
ア3上に移載されてきた基板の重量が測定される。
っており、基板吸着移載部2によって、基板搬送コンベ
ア3上に移載されてきた基板の重量が測定される。
この時、任意の重量値を設定することにより、その設定
価を鰯えたものに対し、警報を発生したり、設備を停止
することで製造装置への基板2枚投入を防止できる機能
を持つ。
価を鰯えたものに対し、警報を発生したり、設備を停止
することで製造装置への基板2枚投入を防止できる機能
を持つ。
本装置は、まず積載基板昇降部1のテーブルリフターが
上昇し、積載されている基板の上面をセンサ5が検出し
た時点でテーブルリフターが停止する。次に、基板吸着
移載部2がテーブルリフター上に移動して停止する。
上昇し、積載されている基板の上面をセンサ5が検出し
た時点でテーブルリフターが停止する。次に、基板吸着
移載部2がテーブルリフター上に移動して停止する。
次に、基板後部吸着器7が下降し、パットで基板上面後
部を押さえる。そして、基板両側面のエアノズル6より
圧縮エアを任意の時間吹き付ける。
部を押さえる。そして、基板両側面のエアノズル6より
圧縮エアを任意の時間吹き付ける。
積載された基板間にエアを吹きこむことにより、基板の
分離が容易なものとなる。
分離が容易なものとなる。
次に基板前部吸着器8と、押さえシリンダー9が同時に
下降し、基板に接触し停止する。この時点で、真空ポン
プが運転し、7.8の先端パットが基板を吸着する。
下降し、基板に接触し停止する。この時点で、真空ポン
プが運転し、7.8の先端パットが基板を吸着する。
そして、基板吸着器7.8が同時に上昇し、それより任
意の時間だけ遅れて押さえシリンダー9が上昇を開始す
る。
意の時間だけ遅れて押さえシリンダー9が上昇を開始す
る。
この時、基板吸着器7.8が先に上昇し、後から押さえ
シリンダー9が上昇するため、基板は、押さえシリンダ
ー9を支点にたわむことになり、前述のエア吹き付は動
作と合わせ、基板の分離がより確実なものとなる。
シリンダー9が上昇するため、基板は、押さえシリンダ
ー9を支点にたわむことになり、前述のエア吹き付は動
作と合わせ、基板の分離がより確実なものとなる。
基板吸着器7,8及び押さえシリンダー9が所定のスト
ローク上昇後、基板吸着移載部2は、基板を吸着保持し
たまま、基板搬送コンベア3上まで移動し停止する。
ローク上昇後、基板吸着移載部2は、基板を吸着保持し
たまま、基板搬送コンベア3上まで移動し停止する。
そして基板吸着器7及び8が基板を吸着したまま、下降
し基板搬送コンヘア3上で、真空ポンプを停止させ、吸
着を解放し基板をコンベア3に移す。
し基板搬送コンヘア3上で、真空ポンプを停止させ、吸
着を解放し基板をコンベア3に移す。
コンベア3は、重量測定部4に乗っているが、この時、
基板の重¥、つまりコンベア3の樹脂増加分を測定し、
あらかじめ設定した値に対し、それを越える場合には、
警報発生、あるいは設備停止を行う、越えない場合には
コンベア3を駆動し、本装置後部に接続される製造装置
に送り込む。
基板の重¥、つまりコンベア3の樹脂増加分を測定し、
あらかじめ設定した値に対し、それを越える場合には、
警報発生、あるいは設備停止を行う、越えない場合には
コンベア3を駆動し、本装置後部に接続される製造装置
に送り込む。
以下、この投入サイクルを繰り返す。
本発明により、研磨、エツチング等の製造装置に積載し
である基板を確実に1枚づつ投入することが可能となっ
た。
である基板を確実に1枚づつ投入することが可能となっ
た。
第1図は本発明の一実施例を示す概略図、第2図は本発
明の一実施例の一部である積載基板昇降部を示す斜視図
、第3図(a)は本発明の一実施例の一部である基板吸
着移動1a載部を示す斜視図、第3図(b)は本発明の
一実施例の一部である基板吸着移動積載部を示す側面図
である。 符号の説明 積載基板昇降部 基板搬送コンベア 重量測定部 センサ 基板後部1着器 基板前部吸着器 押さえシリンダー 〇、基板 6゜ 基板吸着移動積載部 エアノズル
明の一実施例の一部である積載基板昇降部を示す斜視図
、第3図(a)は本発明の一実施例の一部である基板吸
着移動1a載部を示す斜視図、第3図(b)は本発明の
一実施例の一部である基板吸着移動積載部を示す側面図
である。 符号の説明 積載基板昇降部 基板搬送コンベア 重量測定部 センサ 基板後部1着器 基板前部吸着器 押さえシリンダー 〇、基板 6゜ 基板吸着移動積載部 エアノズル
Claims (1)
- 1.プリント配線板の製造工程の中で、基板を積載した
状態から吸着パットにより、基板を吸着移載する投入装
置に於いて、前後独立作動式の吸着パットで基板を吸着
する際、エアを噴射するノズルを基板積載部側面に有し
、また基板吸着上昇時に基板中央部を上部より押さえる
、押さえシリンダーを吸着移載部分に有し、また、移載
後の基板搬送コンベア部に重量測定機能を有し、基板の
2枚投入を防止することを特徴とする基板投入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2136478A JPH0432426A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 基板投入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2136478A JPH0432426A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 基板投入装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0432426A true JPH0432426A (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=15176075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2136478A Pending JPH0432426A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 基板投入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0432426A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009212430A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | ウエハ取り出し装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010168138A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Micro-Tec Co Ltd | 板取得装置及び板取得方法 |
JP2014189396A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 基板吸着装置及び基板搬送装置 |
CN104440628A (zh) * | 2014-12-04 | 2015-03-25 | 张和庆 | 纤维网片取放进料装置 |
WO2016002798A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | エリーパワー株式会社 | 二次電池の電極板の供給装置およびその制御方法 |
JP2017143089A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装方法および部品実装装置 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP2136478A patent/JPH0432426A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009212430A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | ウエハ取り出し装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4600495B2 (ja) * | 2008-03-06 | 2010-12-15 | セイコーエプソン株式会社 | ウエハ取り出し装置及び半導体装置の製造方法 |
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TWI645594B (zh) * | 2014-06-30 | 2018-12-21 | 日商艾利電力能源有限公司 | 二次電池的電極板的供給裝置及其控制方法 |
CN104440628A (zh) * | 2014-12-04 | 2015-03-25 | 张和庆 | 纤维网片取放进料装置 |
CN104440628B (zh) * | 2014-12-04 | 2017-02-08 | 刘晓冰 | 纤维网片取放进料装置 |
JP2017143089A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装方法および部品実装装置 |
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