JPH0432426A - 基板投入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プリント配線板の製造工程の中で、積載した
基板を移載投入する基板投入装置に関する。

〔従来の技術〕

プリント配線板の製造工程に於いて、研１、エツチング
等のコンへア型の製造装置に基板を投入する際、基板を
積載した状態から、複数の吸着パットにより一枚ずつ吸
着し、移載投入する方法が一般に用いられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記の方法では、基板の厚みが薄くなるにつれ、基板の
２枚吸着が発生し易くなるという問題点があった。本発
明は、基板の２枚吸着を防止する機構、また、２枚吸着
をした場合でも、製造装置に投入する前にそれを検出し
、製造装置への２枚投入を未然に防ぐ機構を有する基板
投入装置を捷供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の基板投入装置は、第１図に示す様に積載した基
板を所定の高さで保持する積載基板昇降部１、積載され
た基板を咬着保持し移載する基板吸着移載部２、及び、
移載されてきた基板を製造装置に送りこむ基板搬送コン
ベア３、また、基板搬送コンヘア３を支持し、その重量
を測定する重量測定部４から成る。

積載基板昇降部１はテーブルリフタであり、図２に示す
ようにテーブル上部にセンサ５を配置し、基板の積載量
が違う場合、また、吸着移載を行ない積載高さが減少し
ていく際に、積載基板の上面が常に一定の高さとなるよ
う設定される。

また、基板積載部側面にはエアノズル６があり、基板吸
着直前に圧縮エアを側面より吹き付け、基板の分離を容
易にし、２枚吸着を防止する。

基板吸着移載部２は、移載投入方向に対し、前後２つの
７と８の吸着器と、７と８の間に位置する基板押さえシ
リンダー９より構成され、７，８゜９は各々エアシリン
ダーにより所定のストロークを上下に作動する。７．８
の先端のパットは真空ポンプに接続されており、真空ポ
ンプの運転により基板を吸着保持することができる。

また、基板吸着移載部２は上部に駆動装置を持ち、前述
の積載基板昇降部１と、後述、基板搬送コンベア３上を
移動する。

基板搬送コンヘア３は、基板吸着移載部２によって移載
されてきた基板を、投入装置後部に接続される製造装置
へ送りこむ駆動コンベアである。

また、基板搬送コンベア３は、全体が重量測定部４に乗
っており、基板吸着移載部２によって、基板搬送コンベ
ア３上に移載されてきた基板の重量が測定される。

この時、任意の重量値を設定することにより、その設定
価を鰯えたものに対し、警報を発生したり、設備を停止
することで製造装置への基板２枚投入を防止できる機能
を持つ。

〔作用〕

本装置は、まず積載基板昇降部１のテーブルリフターが
上昇し、積載されている基板の上面をセンサ５が検出し
た時点でテーブルリフターが停止する。次に、基板吸着
移載部２がテーブルリフター上に移動して停止する。

次に、基板後部吸着器７が下降し、パットで基板上面後
部を押さえる。そして、基板両側面のエアノズル６より
圧縮エアを任意の時間吹き付ける。

積載された基板間にエアを吹きこむことにより、基板の
分離が容易なものとなる。

次に基板前部吸着器８と、押さえシリンダー９が同時に
下降し、基板に接触し停止する。この時点で、真空ポン
プが運転し、７．８の先端パットが基板を吸着する。

そして、基板吸着器７．８が同時に上昇し、それより任
意の時間だけ遅れて押さえシリンダー９が上昇を開始す
る。

この時、基板吸着器７．８が先に上昇し、後から押さえ
シリンダー９が上昇するため、基板は、押さえシリンダ
ー９を支点にたわむことになり、前述のエア吹き付は動
作と合わせ、基板の分離がより確実なものとなる。

基板吸着器７，８及び押さえシリンダー９が所定のスト
ローク上昇後、基板吸着移載部２は、基板を吸着保持し
たまま、基板搬送コンベア３上まで移動し停止する。

そして基板吸着器７及び８が基板を吸着したまま、下降
し基板搬送コンヘア３上で、真空ポンプを停止させ、吸
着を解放し基板をコンベア３に移す。

コンベア３は、重量測定部４に乗っているが、この時、
基板の重￥、つまりコンベア３の樹脂増加分を測定し、
あらかじめ設定した値に対し、それを越える場合には、
警報発生、あるいは設備停止を行う、越えない場合には
コンベア３を駆動し、本装置後部に接続される製造装置
に送り込む。

以下、この投入サイクルを繰り返す。

〔発明の効果〕

本発明により、研磨、エツチング等の製造装置に積載し
である基板を確実に１枚づつ投入することが可能となっ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は本発
明の一実施例の一部である積載基板昇降部を示す斜視図
、第３図（ａ）は本発明の一実施例の一部である基板吸
着移動１ａ載部を示す斜視図、第３図（ｂ）は本発明の
一実施例の一部である基板吸着移動積載部を示す側面図
である。 符号の説明 積載基板昇降部 基板搬送コンベア 重量測定部 センサ 基板後部１着器 基板前部吸着器 押さえシリンダー 〇、基板 ６゜ 基板吸着移動積載部 エアノズル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．プリント配線板の製造工程の中で、基板を積載した
   状態から吸着パットにより、基板を吸着移載する投入装
   置に於いて、前後独立作動式の吸着パットで基板を吸着
   する際、エアを噴射するノズルを基板積載部側面に有し
   、また基板吸着上昇時に基板中央部を上部より押さえる
   、押さえシリンダーを吸着移載部分に有し、また、移載
   後の基板搬送コンベア部に重量測定機能を有し、基板の
   ２枚投入を防止することを特徴とする基板投入装置。