JPH04315756A - ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム - Google Patents
ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システムInfo
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- JPH04315756A JPH04315756A JP3007026A JP702691A JPH04315756A JP H04315756 A JPH04315756 A JP H04315756A JP 3007026 A JP3007026 A JP 3007026A JP 702691 A JP702691 A JP 702691A JP H04315756 A JPH04315756 A JP H04315756A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 10
- 239000000872 buffer Substances 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査型電子顕微鏡におけ
る検出信号をデジタル処理するためにビデオバスを用い
るようにした走査型電子顕微鏡の信号処理システムに関
するものである。
る検出信号をデジタル処理するためにビデオバスを用い
るようにした走査型電子顕微鏡の信号処理システムに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の走査型電子顕微鏡の信号処
理システムを示す図である。
理システムを示す図である。
【０００３】図中、１１は二次電子検出器、１２は反射
電子検出器、１３はＥＭＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｏｔｉ
ｖｅ Ｆｏｒｃｅ）検出器、１４はＡＥＩ（Ａｂｓｏｒ
ｐｔｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｉｍａｇｅ ）検出器
、１５は赤外線検出器、２１〜２５はプリアンプ、２６
はケーブル、３１〜３５は増幅器、４０はセレクタ、４
１〜４５はバッフア、４６は選択スイッチ、４７はケー
ブル、５０は像信号処理回路、５１は自動コントラスト
・輝度調整回路、５１ａはホールド回路、５１ｂはゲイ
ン調整回路、５２は自動焦点回路、５３は非点補正回路
、５４はＣＰＵ、５５はレンズ系、５６はＦＩＳ（フレ
ーム積分システム）、６０、６１はスイッチ、６２は第
１ディスプレイ、６３は記録用ディスプレイ、６４は第
２ディスプレイである。
電子検出器、１３はＥＭＦ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｏｔｉ
ｖｅ Ｆｏｒｃｅ）検出器、１４はＡＥＩ（Ａｂｓｏｒ
ｐｔｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｉｍａｇｅ ）検出器
、１５は赤外線検出器、２１〜２５はプリアンプ、２６
はケーブル、３１〜３５は増幅器、４０はセレクタ、４
１〜４５はバッフア、４６は選択スイッチ、４７はケー
ブル、５０は像信号処理回路、５１は自動コントラスト
・輝度調整回路、５１ａはホールド回路、５１ｂはゲイ
ン調整回路、５２は自動焦点回路、５３は非点補正回路
、５４はＣＰＵ、５５はレンズ系、５６はＦＩＳ（フレ
ーム積分システム）、６０、６１はスイッチ、６２は第
１ディスプレイ、６３は記録用ディスプレイ、６４は第
２ディスプレイである。
【０００４】レンズ系５５を通して図示しない試料に電
子線を照射し、各検出器により試料像が検出される。二
次電子像は検出器１１で検出され、プリアンプ２１、ケ
ーブル２６、増幅器３１を通して取り出される。反射電
子像は左右に設けた２つの検出器１２ａ、１２ｂでそれ
ぞれ検出され、プリアンプ２２ａ、２２ｂ、多段増幅器
３２ａ、３２ｂを通して取り出される。ＥＭＦ像、即ち
ＩＣパターンに対して電子線を照射したような場合に得
られる像信号は、ＥＭＦ検出器１３により検出され、プ
リアンプ２３、増幅器３３を通して取り出される。電子
吸収像はＡＥＩ検出器１４で検出され、プリアンプ２４
、増幅器３４を通して取り出される。赤外線像は赤外線
検出器１５で検出され、プリアンプ２５、増幅器３５を
通して取り出される。必要な場合には、さらに他の検出
器により所望の像信号が検出される。これら検出された
像信号は、バッフア４１〜４５、選択スイッチ４６を有
するセレクタ４０により選択され、単独または複数の重
畳信号としてケーブル４７を通して像信号処理回路５０
に伝送される。
子線を照射し、各検出器により試料像が検出される。二
次電子像は検出器１１で検出され、プリアンプ２１、ケ
ーブル２６、増幅器３１を通して取り出される。反射電
子像は左右に設けた２つの検出器１２ａ、１２ｂでそれ
ぞれ検出され、プリアンプ２２ａ、２２ｂ、多段増幅器
３２ａ、３２ｂを通して取り出される。ＥＭＦ像、即ち
ＩＣパターンに対して電子線を照射したような場合に得
られる像信号は、ＥＭＦ検出器１３により検出され、プ
リアンプ２３、増幅器３３を通して取り出される。電子
吸収像はＡＥＩ検出器１４で検出され、プリアンプ２４
、増幅器３４を通して取り出される。赤外線像は赤外線
検出器１５で検出され、プリアンプ２５、増幅器３５を
通して取り出される。必要な場合には、さらに他の検出
器により所望の像信号が検出される。これら検出された
像信号は、バッフア４１〜４５、選択スイッチ４６を有
するセレクタ４０により選択され、単独または複数の重
畳信号としてケーブル４７を通して像信号処理回路５０
に伝送される。
【０００５】像信号処理回路５０は、自動コントラスト
・輝度調整回路５１、自動焦点回路５２、自動非点補正
回路５３を有しており、それぞれＣＰＵ５４で制御され
て条件設定されている。自動コントラスト・輝度調整回
路５１はホールド回路５１ａで、例えば平均値、最大値
等の振幅値を検出して保持し、この値に基づいてゲイン
調整回路５１ｂにおいてゲイン調整する。また、ＣＰＵ
により条件設定された自動焦点回路５２、自動非点補正
回路５３によりレンズ系５５を制御して所望の像信号が
得られるようにする。
・輝度調整回路５１、自動焦点回路５２、自動非点補正
回路５３を有しており、それぞれＣＰＵ５４で制御され
て条件設定されている。自動コントラスト・輝度調整回
路５１はホールド回路５１ａで、例えば平均値、最大値
等の振幅値を検出して保持し、この値に基づいてゲイン
調整回路５１ｂにおいてゲイン調整する。また、ＣＰＵ
により条件設定された自動焦点回路５２、自動非点補正
回路５３によりレンズ系５５を制御して所望の像信号が
得られるようにする。
【０００６】検出された像信号はＦＩＳ５６でフレーム
積分されてノイズの低減化をしたり、またエッジ強調等
の画像処理が行われる。そして、スイッチ６０、６１で
ケーブル４７から直接またはコントラスト・輝度調整さ
れた信号が選択されると、第１ディスプレイ６２で試料
面を走査したときのオリジナルな像信号がそのまま表示
される。このときの信号はＳ／Ｎ比を良くするために、
例えば１画面を形成するのに数１０秒、或いは１００秒
程度かけているために人間の目には画像としてではなく
ラインが見えるだけである。また、ＦＩＳ５６でエッジ
強調、画面分割等の画像処理が行われ、一旦、データを
メモリに蓄積してテレビレートで読み出して第２ディス
プレイ６４で人間の目で認識することができる画像とし
て表示される。また、ＦＩＳ５６からの画像信号は、ス
イッチ６１で選択されて記録用ディスプレイ６３にも表
示され、写真撮影される。
積分されてノイズの低減化をしたり、またエッジ強調等
の画像処理が行われる。そして、スイッチ６０、６１で
ケーブル４７から直接またはコントラスト・輝度調整さ
れた信号が選択されると、第１ディスプレイ６２で試料
面を走査したときのオリジナルな像信号がそのまま表示
される。このときの信号はＳ／Ｎ比を良くするために、
例えば１画面を形成するのに数１０秒、或いは１００秒
程度かけているために人間の目には画像としてではなく
ラインが見えるだけである。また、ＦＩＳ５６でエッジ
強調、画面分割等の画像処理が行われ、一旦、データを
メモリに蓄積してテレビレートで読み出して第２ディス
プレイ６４で人間の目で認識することができる画像とし
て表示される。また、ＦＩＳ５６からの画像信号は、ス
イッチ６１で選択されて記録用ディスプレイ６３にも表
示され、写真撮影される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図２に示す従来の信号
処理システムでは、画像信号をアナログ信号により伝送
しているため、単一増幅器の帯域を１０ＭＨｚ程度確保
したとしても、数段の増幅器を通してディスプレイに導
く間には、段数にもよるが５〜６ＭＨｚに帯域劣化して
しまうとともに、増幅段を多段にするためにノイズが加
算され、Ｓ／Ｎ比が低下するという問題があった。また
、アナログ処理のために、コントラストや輝度調整、焦
点合わせ、非点補正等はそれぞれ個別の専用回路で処理
しなければならずシステム構成が複雑になってしまうと
いう問題があった。
処理システムでは、画像信号をアナログ信号により伝送
しているため、単一増幅器の帯域を１０ＭＨｚ程度確保
したとしても、数段の増幅器を通してディスプレイに導
く間には、段数にもよるが５〜６ＭＨｚに帯域劣化して
しまうとともに、増幅段を多段にするためにノイズが加
算され、Ｓ／Ｎ比が低下するという問題があった。また
、アナログ処理のために、コントラストや輝度調整、焦
点合わせ、非点補正等はそれぞれ個別の専用回路で処理
しなければならずシステム構成が複雑になってしまうと
いう問題があった。
【０００８】本発明は上記課題を解決するためのもので
、信号の帯域劣化やＳ／Ｎ比の低下を防止し、システム
の構成を簡略化することができるビデオバスを用いた走
査型電子顕微鏡の信号処理システムを提供することを目
的とする。
、信号の帯域劣化やＳ／Ｎ比の低下を防止し、システム
の構成を簡略化することができるビデオバスを用いた走
査型電子顕微鏡の信号処理システムを提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のビデオバスを用
いた走査型電子顕微鏡の信号処理システムは、試料に電
子線を照射して一つ以上の検出器で試料情報を検出し、
検出信号を処理して表示するようにした走査型電子顕微
鏡において、検出したアナログ信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換された画像データを
伝送するビデオバスと、ビデオバスを通して入力される
画像データを処理するデジタル信号処理回路と、制御バ
スを通してデジタル信号処理回路を制御するＣＰＵと、
デジタル信号処理回路の出力データを伝送するビデオバ
スと、ビデオバスを通して伝送される処理データをアナ
ログ信号に変換するＤ／Ａ変換器とを備えたことを特徴
とする。
いた走査型電子顕微鏡の信号処理システムは、試料に電
子線を照射して一つ以上の検出器で試料情報を検出し、
検出信号を処理して表示するようにした走査型電子顕微
鏡において、検出したアナログ信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換された画像データを
伝送するビデオバスと、ビデオバスを通して入力される
画像データを処理するデジタル信号処理回路と、制御バ
スを通してデジタル信号処理回路を制御するＣＰＵと、
デジタル信号処理回路の出力データを伝送するビデオバ
スと、ビデオバスを通して伝送される処理データをアナ
ログ信号に変換するＤ／Ａ変換器とを備えたことを特徴
とする。
【００１０】
【作用】本発明は、試料面を走査して得られた試料像信
号をデジタル化し、高速かつ大量の画像データをビデオ
バスを通して伝送し、ＣＰＵにより制御されるデジタル
信号処理回路によってリアルタイムで画像処理し、処理
データをＤ／Ａ変換することにより、アナログ増幅段を
入力段と出力段のみにして帯域劣化やＳ／Ｎ比の低下を
防止し、またデジタル信号処理のための各種ソフトを用
意することにより、単一のデジタル信号処理回路で各種
画像処理を行い、システム構成を簡略化することが可能
となる。
号をデジタル化し、高速かつ大量の画像データをビデオ
バスを通して伝送し、ＣＰＵにより制御されるデジタル
信号処理回路によってリアルタイムで画像処理し、処理
データをＤ／Ａ変換することにより、アナログ増幅段を
入力段と出力段のみにして帯域劣化やＳ／Ｎ比の低下を
防止し、またデジタル信号処理のための各種ソフトを用
意することにより、単一のデジタル信号処理回路で各種
画像処理を行い、システム構成を簡略化することが可能
となる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１２】図１は本発明の一実施例を示す図であり、
図２と同一番号は同一内容を示している。図中、１０１
、１０２は増幅器、１１１、１１２、１１３はバッフア
、１２１、１２２、１２３はＡ／Ｄ変換器、１３０はビ
デオバス、１３１はＣＰＵ、１３２はデジタルシグナル
プロセッサ（ＤＳＰ）、１３３は制御バス、１３４はビ
デオバス、１４１、１４２、１４３はＤ／Ａコンバータ
、１５１はレンズ系、１５２はモニタ、１５３は記録用
またはオリジナル信号用ＣＲＴである。
図２と同一番号は同一内容を示している。図中、１０１
、１０２は増幅器、１１１、１１２、１１３はバッフア
、１２１、１２２、１２３はＡ／Ｄ変換器、１３０はビ
デオバス、１３１はＣＰＵ、１３２はデジタルシグナル
プロセッサ（ＤＳＰ）、１３３は制御バス、１３４はビ
デオバス、１４１、１４２、１４３はＤ／Ａコンバータ
、１５１はレンズ系、１５２はモニタ、１５３は記録用
またはオリジナル信号用ＣＲＴである。
【００１３】本実施例では反射電子検出信号用の広帯域
増幅器１０１、１０２の一方をＥＭＦ用、ＡＥＩ用、赤
外線像用にも兼用するようにしており、スイッチ１００
で検出する信号を選択する。勿論、各検出器専用の増幅
器を用意するようにしてももよい。増幅された検出信号
はバッフア１１１〜１１３を通し、Ａ／Ｄ変換器１２１
〜１２３でディジタル信号に変換される。変換されたデ
ィジタル信号はビデオバス１３０を通して伝送され、Ｃ
ＰＵ１３１、ＤＳＰ１３２に取り込まれる。ＣＰＵ１３
１は自身では画像データの処理は行わずに命令を出すだ
けのものであり、ビデオバス１３０を通して伝送されて
くる画像データの監視を行って同期をとり、制御バス１
３３を通してＤＳＰ１３２における処理モードの設定を
行う。もちろん、高機能のＣＰＵ１３１であればＣＰＵ
自体でも独自の画像データ処理を行うようにしてもよい
。
増幅器１０１、１０２の一方をＥＭＦ用、ＡＥＩ用、赤
外線像用にも兼用するようにしており、スイッチ１００
で検出する信号を選択する。勿論、各検出器専用の増幅
器を用意するようにしてももよい。増幅された検出信号
はバッフア１１１〜１１３を通し、Ａ／Ｄ変換器１２１
〜１２３でディジタル信号に変換される。変換されたデ
ィジタル信号はビデオバス１３０を通して伝送され、Ｃ
ＰＵ１３１、ＤＳＰ１３２に取り込まれる。ＣＰＵ１３
１は自身では画像データの処理は行わずに命令を出すだ
けのものであり、ビデオバス１３０を通して伝送されて
くる画像データの監視を行って同期をとり、制御バス１
３３を通してＤＳＰ１３２における処理モードの設定を
行う。もちろん、高機能のＣＰＵ１３１であればＣＰＵ
自体でも独自の画像データ処理を行うようにしてもよい
。
【００１４】ＤＳＰ１３２は信号処理専用のシステムで
、制御バス１３３を通してＣＰＵ１３１により制御され
、リアルタイムで画像データ処理を行う。ここでの処理
は、コントラスト、輝度調整、自動焦点合わせ、非点補
正等のレンズ系の制御データ生成処理や、画像反転、複
数信号の結合、加算、減算、エッジ強調、フィルタリン
グ等の各種画像演算処理を行い、ソフトの変更により様
々な処理機能を付加することが可能である。そして、生
成された制御データはビデオバス１３４を通して伝送し
、Ｄ／Ａコンバータ１４１でアナログ信号に変換される
。Ｄ／Ａコンバータ１４１は制御バス１３３に接続され
ており、制御バス１３３より送られてくる信号によりレ
ンズ系１５１の設定が自動的に行われる。また、演算し
た画像データはビデオバスを通して伝送され、Ｄ／Ａコ
ンバータ１４２、１４３で画像信号に変換され、モニタ
１５２で表示したり、記録用、またはオリジナル信号表
示用のＣＲＴ１５３で表示される。
、制御バス１３３を通してＣＰＵ１３１により制御され
、リアルタイムで画像データ処理を行う。ここでの処理
は、コントラスト、輝度調整、自動焦点合わせ、非点補
正等のレンズ系の制御データ生成処理や、画像反転、複
数信号の結合、加算、減算、エッジ強調、フィルタリン
グ等の各種画像演算処理を行い、ソフトの変更により様
々な処理機能を付加することが可能である。そして、生
成された制御データはビデオバス１３４を通して伝送し
、Ｄ／Ａコンバータ１４１でアナログ信号に変換される
。Ｄ／Ａコンバータ１４１は制御バス１３３に接続され
ており、制御バス１３３より送られてくる信号によりレ
ンズ系１５１の設定が自動的に行われる。また、演算し
た画像データはビデオバスを通して伝送され、Ｄ／Ａコ
ンバータ１４２、１４３で画像信号に変換され、モニタ
１５２で表示したり、記録用、またはオリジナル信号表
示用のＣＲＴ１５３で表示される。
【００１５】このように、高速、かつ大量の画像データ
をビデオバスを通して伝送し、各種ソフトを用意するこ
とにより単一のＤＳＰでリアルタイムで画像処理し、処
理データをビデオバスを通してレンズ系または表示系ま
で伝送することにより、増幅段数を減らして帯域劣化や
Ｓ／Ｎ比の低下を防ぐことができる。
をビデオバスを通して伝送し、各種ソフトを用意するこ
とにより単一のＤＳＰでリアルタイムで画像処理し、処
理データをビデオバスを通してレンズ系または表示系ま
で伝送することにより、増幅段数を減らして帯域劣化や
Ｓ／Ｎ比の低下を防ぐことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、画像デー
タをディジタル化してビデオバスを通して信号処理する
ようしたので、アナログ信号に対する入力段と出力段の
増幅器の帯域を、例えば１０ＭＨｚ確保すれば帯域の劣
化が生ずることがない。また、増幅器系は入力段と出力
段の２段のみとなるので、Ｓ／Ｎの劣化を防止すること
ができ、さらに１つのＤＳＰで各種演算を行うことが可
能になるのでシステムの構成を簡略化することができ、
その結果、トラブルの発生も減らすことが可能となる。
タをディジタル化してビデオバスを通して信号処理する
ようしたので、アナログ信号に対する入力段と出力段の
増幅器の帯域を、例えば１０ＭＨｚ確保すれば帯域の劣
化が生ずることがない。また、増幅器系は入力段と出力
段の２段のみとなるので、Ｓ／Ｎの劣化を防止すること
ができ、さらに１つのＤＳＰで各種演算を行うことが可
能になるのでシステムの構成を簡略化することができ、
その結果、トラブルの発生も減らすことが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】従来の走査型電子顕微鏡の信号処理システムを
示す図である。
示す図である。
１１…二次電子検出器、１２…反射電子検出器、１３…
ＥＭＦ検出器、１４…ＡＥＩ検出器、１５は赤外線検出
器、１０１、１０２…増幅器、１１１、１１２、１１３
…バッフア、１２１、１２２、１２３…Ａ／Ｄ変換器、
１３０…ビデオバス、１３１…ＣＰＵ、１３２…デジタ
ルシグナルプロセッサ、１３３…制御バス、１３４…ビ
デオバス、１４１、１４２、１４３…Ｄ／Ａコンバータ
、１５１…レンズ系、１５２…モニタ、１５３…記録用
またはオリジナル信号用ＣＲＴ。
ＥＭＦ検出器、１４…ＡＥＩ検出器、１５は赤外線検出
器、１０１、１０２…増幅器、１１１、１１２、１１３
…バッフア、１２１、１２２、１２３…Ａ／Ｄ変換器、
１３０…ビデオバス、１３１…ＣＰＵ、１３２…デジタ
ルシグナルプロセッサ、１３３…制御バス、１３４…ビ
デオバス、１４１、１４２、１４３…Ｄ／Ａコンバータ
、１５１…レンズ系、１５２…モニタ、１５３…記録用
またはオリジナル信号用ＣＲＴ。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に電子線を照射して一つ以上の検
出器で試料情報を検出し、検出信号を処理して表示する
ようにした走査型電子顕微鏡において、検出したアナロ
グ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／
Ｄ変換された画像データを伝送するビデオバスと、ビデ
オバスを通して入力される画像データを処理するデジタ
ル信号処理回路と、制御バスを通してデジタル信号処理
回路を制御するＣＰＵと、デジタル信号処理回路の出力
データを伝送するビデオバスと、ビデオバスを通して伝
送される処理データをアナログ信号に変換するＤ／Ａ変
換器とを備えたことを特徴とするビデオバスを用いた走
査型電子顕微鏡の信号処理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3007026A JPH04315756A (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3007026A JPH04315756A (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04315756A true JPH04315756A (ja) | 1992-11-06 |
Family
ID=11654534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3007026A Pending JPH04315756A (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04315756A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002042712A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Hitachi Ltd | 電子線を用いたパターン検査方法及びその装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02126547A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
-
1991
- 1991-01-24 JP JP3007026A patent/JPH04315756A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02126547A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002042712A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Hitachi Ltd | 電子線を用いたパターン検査方法及びその装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990223 |