JPH04315756A - ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム - Google Patents
ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システムInfo
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- JPH04315756A JPH04315756A JP3007026A JP702691A JPH04315756A JP H04315756 A JPH04315756 A JP H04315756A JP 3007026 A JP3007026 A JP 3007026A JP 702691 A JP702691 A JP 702691A JP H04315756 A JPH04315756 A JP H04315756A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 10
- 239000000872 buffer Substances 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は走査型電子顕微鏡におけ
る検出信号をデジタル処理するためにビデオバスを用い
るようにした走査型電子顕微鏡の信号処理システムに関
するものである。
る検出信号をデジタル処理するためにビデオバスを用い
るようにした走査型電子顕微鏡の信号処理システムに関
するものである。
【0002】
【従来の技術】図2は従来の走査型電子顕微鏡の信号処
理システムを示す図である。
理システムを示す図である。
【0003】図中、11は二次電子検出器、12は反射
電子検出器、13はEMF(Electro Moti
ve Force)検出器、14はAEI(Absor
ption Electric Image )検出器
、15は赤外線検出器、21〜25はプリアンプ、26
はケーブル、31〜35は増幅器、40はセレクタ、4
1〜45はバッフア、46は選択スイッチ、47はケー
ブル、50は像信号処理回路、51は自動コントラスト
・輝度調整回路、51aはホールド回路、51bはゲイ
ン調整回路、52は自動焦点回路、53は非点補正回路
、54はCPU、55はレンズ系、56はFIS(フレ
ーム積分システム)、60、61はスイッチ、62は第
1ディスプレイ、63は記録用ディスプレイ、64は第
2ディスプレイである。
電子検出器、13はEMF(Electro Moti
ve Force)検出器、14はAEI(Absor
ption Electric Image )検出器
、15は赤外線検出器、21〜25はプリアンプ、26
はケーブル、31〜35は増幅器、40はセレクタ、4
1〜45はバッフア、46は選択スイッチ、47はケー
ブル、50は像信号処理回路、51は自動コントラスト
・輝度調整回路、51aはホールド回路、51bはゲイ
ン調整回路、52は自動焦点回路、53は非点補正回路
、54はCPU、55はレンズ系、56はFIS(フレ
ーム積分システム)、60、61はスイッチ、62は第
1ディスプレイ、63は記録用ディスプレイ、64は第
2ディスプレイである。
【0004】レンズ系55を通して図示しない試料に電
子線を照射し、各検出器により試料像が検出される。二
次電子像は検出器11で検出され、プリアンプ21、ケ
ーブル26、増幅器31を通して取り出される。反射電
子像は左右に設けた2つの検出器12a、12bでそれ
ぞれ検出され、プリアンプ22a、22b、多段増幅器
32a、32bを通して取り出される。EMF像、即ち
ICパターンに対して電子線を照射したような場合に得
られる像信号は、EMF検出器13により検出され、プ
リアンプ23、増幅器33を通して取り出される。電子
吸収像はAEI検出器14で検出され、プリアンプ24
、増幅器34を通して取り出される。赤外線像は赤外線
検出器15で検出され、プリアンプ25、増幅器35を
通して取り出される。必要な場合には、さらに他の検出
器により所望の像信号が検出される。これら検出された
像信号は、バッフア41〜45、選択スイッチ46を有
するセレクタ40により選択され、単独または複数の重
畳信号としてケーブル47を通して像信号処理回路50
に伝送される。
子線を照射し、各検出器により試料像が検出される。二
次電子像は検出器11で検出され、プリアンプ21、ケ
ーブル26、増幅器31を通して取り出される。反射電
子像は左右に設けた2つの検出器12a、12bでそれ
ぞれ検出され、プリアンプ22a、22b、多段増幅器
32a、32bを通して取り出される。EMF像、即ち
ICパターンに対して電子線を照射したような場合に得
られる像信号は、EMF検出器13により検出され、プ
リアンプ23、増幅器33を通して取り出される。電子
吸収像はAEI検出器14で検出され、プリアンプ24
、増幅器34を通して取り出される。赤外線像は赤外線
検出器15で検出され、プリアンプ25、増幅器35を
通して取り出される。必要な場合には、さらに他の検出
器により所望の像信号が検出される。これら検出された
像信号は、バッフア41〜45、選択スイッチ46を有
するセレクタ40により選択され、単独または複数の重
畳信号としてケーブル47を通して像信号処理回路50
に伝送される。
【0005】像信号処理回路50は、自動コントラスト
・輝度調整回路51、自動焦点回路52、自動非点補正
回路53を有しており、それぞれCPU54で制御され
て条件設定されている。自動コントラスト・輝度調整回
路51はホールド回路51aで、例えば平均値、最大値
等の振幅値を検出して保持し、この値に基づいてゲイン
調整回路51bにおいてゲイン調整する。また、CPU
により条件設定された自動焦点回路52、自動非点補正
回路53によりレンズ系55を制御して所望の像信号が
得られるようにする。
・輝度調整回路51、自動焦点回路52、自動非点補正
回路53を有しており、それぞれCPU54で制御され
て条件設定されている。自動コントラスト・輝度調整回
路51はホールド回路51aで、例えば平均値、最大値
等の振幅値を検出して保持し、この値に基づいてゲイン
調整回路51bにおいてゲイン調整する。また、CPU
により条件設定された自動焦点回路52、自動非点補正
回路53によりレンズ系55を制御して所望の像信号が
得られるようにする。
【0006】検出された像信号はFIS56でフレーム
積分されてノイズの低減化をしたり、またエッジ強調等
の画像処理が行われる。そして、スイッチ60、61で
ケーブル47から直接またはコントラスト・輝度調整さ
れた信号が選択されると、第1ディスプレイ62で試料
面を走査したときのオリジナルな像信号がそのまま表示
される。このときの信号はS/N比を良くするために、
例えば1画面を形成するのに数10秒、或いは100秒
程度かけているために人間の目には画像としてではなく
ラインが見えるだけである。また、FIS56でエッジ
強調、画面分割等の画像処理が行われ、一旦、データを
メモリに蓄積してテレビレートで読み出して第2ディス
プレイ64で人間の目で認識することができる画像とし
て表示される。また、FIS56からの画像信号は、ス
イッチ61で選択されて記録用ディスプレイ63にも表
示され、写真撮影される。
積分されてノイズの低減化をしたり、またエッジ強調等
の画像処理が行われる。そして、スイッチ60、61で
ケーブル47から直接またはコントラスト・輝度調整さ
れた信号が選択されると、第1ディスプレイ62で試料
面を走査したときのオリジナルな像信号がそのまま表示
される。このときの信号はS/N比を良くするために、
例えば1画面を形成するのに数10秒、或いは100秒
程度かけているために人間の目には画像としてではなく
ラインが見えるだけである。また、FIS56でエッジ
強調、画面分割等の画像処理が行われ、一旦、データを
メモリに蓄積してテレビレートで読み出して第2ディス
プレイ64で人間の目で認識することができる画像とし
て表示される。また、FIS56からの画像信号は、ス
イッチ61で選択されて記録用ディスプレイ63にも表
示され、写真撮影される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図2に示す従来の信号
処理システムでは、画像信号をアナログ信号により伝送
しているため、単一増幅器の帯域を10MHz程度確保
したとしても、数段の増幅器を通してディスプレイに導
く間には、段数にもよるが5〜6MHzに帯域劣化して
しまうとともに、増幅段を多段にするためにノイズが加
算され、S/N比が低下するという問題があった。また
、アナログ処理のために、コントラストや輝度調整、焦
点合わせ、非点補正等はそれぞれ個別の専用回路で処理
しなければならずシステム構成が複雑になってしまうと
いう問題があった。
処理システムでは、画像信号をアナログ信号により伝送
しているため、単一増幅器の帯域を10MHz程度確保
したとしても、数段の増幅器を通してディスプレイに導
く間には、段数にもよるが5〜6MHzに帯域劣化して
しまうとともに、増幅段を多段にするためにノイズが加
算され、S/N比が低下するという問題があった。また
、アナログ処理のために、コントラストや輝度調整、焦
点合わせ、非点補正等はそれぞれ個別の専用回路で処理
しなければならずシステム構成が複雑になってしまうと
いう問題があった。
【0008】本発明は上記課題を解決するためのもので
、信号の帯域劣化やS/N比の低下を防止し、システム
の構成を簡略化することができるビデオバスを用いた走
査型電子顕微鏡の信号処理システムを提供することを目
的とする。
、信号の帯域劣化やS/N比の低下を防止し、システム
の構成を簡略化することができるビデオバスを用いた走
査型電子顕微鏡の信号処理システムを提供することを目
的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のビデオバスを用
いた走査型電子顕微鏡の信号処理システムは、試料に電
子線を照射して一つ以上の検出器で試料情報を検出し、
検出信号を処理して表示するようにした走査型電子顕微
鏡において、検出したアナログ信号をデジタル信号に変
換するA/D変換器と、A/D変換された画像データを
伝送するビデオバスと、ビデオバスを通して入力される
画像データを処理するデジタル信号処理回路と、制御バ
スを通してデジタル信号処理回路を制御するCPUと、
デジタル信号処理回路の出力データを伝送するビデオバ
スと、ビデオバスを通して伝送される処理データをアナ
ログ信号に変換するD/A変換器とを備えたことを特徴
とする。
いた走査型電子顕微鏡の信号処理システムは、試料に電
子線を照射して一つ以上の検出器で試料情報を検出し、
検出信号を処理して表示するようにした走査型電子顕微
鏡において、検出したアナログ信号をデジタル信号に変
換するA/D変換器と、A/D変換された画像データを
伝送するビデオバスと、ビデオバスを通して入力される
画像データを処理するデジタル信号処理回路と、制御バ
スを通してデジタル信号処理回路を制御するCPUと、
デジタル信号処理回路の出力データを伝送するビデオバ
スと、ビデオバスを通して伝送される処理データをアナ
ログ信号に変換するD/A変換器とを備えたことを特徴
とする。
【0010】
【作用】本発明は、試料面を走査して得られた試料像信
号をデジタル化し、高速かつ大量の画像データをビデオ
バスを通して伝送し、CPUにより制御されるデジタル
信号処理回路によってリアルタイムで画像処理し、処理
データをD/A変換することにより、アナログ増幅段を
入力段と出力段のみにして帯域劣化やS/N比の低下を
防止し、またデジタル信号処理のための各種ソフトを用
意することにより、単一のデジタル信号処理回路で各種
画像処理を行い、システム構成を簡略化することが可能
となる。
号をデジタル化し、高速かつ大量の画像データをビデオ
バスを通して伝送し、CPUにより制御されるデジタル
信号処理回路によってリアルタイムで画像処理し、処理
データをD/A変換することにより、アナログ増幅段を
入力段と出力段のみにして帯域劣化やS/N比の低下を
防止し、またデジタル信号処理のための各種ソフトを用
意することにより、単一のデジタル信号処理回路で各種
画像処理を行い、システム構成を簡略化することが可能
となる。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【0012】図1は本発明の一実施例を示す図であり、
図2と同一番号は同一内容を示している。図中、101
、102は増幅器、111、112、113はバッフア
、121、122、123はA/D変換器、130はビ
デオバス、131はCPU、132はデジタルシグナル
プロセッサ(DSP)、133は制御バス、134はビ
デオバス、141、142、143はD/Aコンバータ
、151はレンズ系、152はモニタ、153は記録用
またはオリジナル信号用CRTである。
図2と同一番号は同一内容を示している。図中、101
、102は増幅器、111、112、113はバッフア
、121、122、123はA/D変換器、130はビ
デオバス、131はCPU、132はデジタルシグナル
プロセッサ(DSP)、133は制御バス、134はビ
デオバス、141、142、143はD/Aコンバータ
、151はレンズ系、152はモニタ、153は記録用
またはオリジナル信号用CRTである。
【0013】本実施例では反射電子検出信号用の広帯域
増幅器101、102の一方をEMF用、AEI用、赤
外線像用にも兼用するようにしており、スイッチ100
で検出する信号を選択する。勿論、各検出器専用の増幅
器を用意するようにしてももよい。増幅された検出信号
はバッフア111〜113を通し、A/D変換器121
〜123でディジタル信号に変換される。変換されたデ
ィジタル信号はビデオバス130を通して伝送され、C
PU131、DSP132に取り込まれる。CPU13
1は自身では画像データの処理は行わずに命令を出すだ
けのものであり、ビデオバス130を通して伝送されて
くる画像データの監視を行って同期をとり、制御バス1
33を通してDSP132における処理モードの設定を
行う。もちろん、高機能のCPU131であればCPU
自体でも独自の画像データ処理を行うようにしてもよい
。
増幅器101、102の一方をEMF用、AEI用、赤
外線像用にも兼用するようにしており、スイッチ100
で検出する信号を選択する。勿論、各検出器専用の増幅
器を用意するようにしてももよい。増幅された検出信号
はバッフア111〜113を通し、A/D変換器121
〜123でディジタル信号に変換される。変換されたデ
ィジタル信号はビデオバス130を通して伝送され、C
PU131、DSP132に取り込まれる。CPU13
1は自身では画像データの処理は行わずに命令を出すだ
けのものであり、ビデオバス130を通して伝送されて
くる画像データの監視を行って同期をとり、制御バス1
33を通してDSP132における処理モードの設定を
行う。もちろん、高機能のCPU131であればCPU
自体でも独自の画像データ処理を行うようにしてもよい
。
【0014】DSP132は信号処理専用のシステムで
、制御バス133を通してCPU131により制御され
、リアルタイムで画像データ処理を行う。ここでの処理
は、コントラスト、輝度調整、自動焦点合わせ、非点補
正等のレンズ系の制御データ生成処理や、画像反転、複
数信号の結合、加算、減算、エッジ強調、フィルタリン
グ等の各種画像演算処理を行い、ソフトの変更により様
々な処理機能を付加することが可能である。そして、生
成された制御データはビデオバス134を通して伝送し
、D/Aコンバータ141でアナログ信号に変換される
。D/Aコンバータ141は制御バス133に接続され
ており、制御バス133より送られてくる信号によりレ
ンズ系151の設定が自動的に行われる。また、演算し
た画像データはビデオバスを通して伝送され、D/Aコ
ンバータ142、143で画像信号に変換され、モニタ
152で表示したり、記録用、またはオリジナル信号表
示用のCRT153で表示される。
、制御バス133を通してCPU131により制御され
、リアルタイムで画像データ処理を行う。ここでの処理
は、コントラスト、輝度調整、自動焦点合わせ、非点補
正等のレンズ系の制御データ生成処理や、画像反転、複
数信号の結合、加算、減算、エッジ強調、フィルタリン
グ等の各種画像演算処理を行い、ソフトの変更により様
々な処理機能を付加することが可能である。そして、生
成された制御データはビデオバス134を通して伝送し
、D/Aコンバータ141でアナログ信号に変換される
。D/Aコンバータ141は制御バス133に接続され
ており、制御バス133より送られてくる信号によりレ
ンズ系151の設定が自動的に行われる。また、演算し
た画像データはビデオバスを通して伝送され、D/Aコ
ンバータ142、143で画像信号に変換され、モニタ
152で表示したり、記録用、またはオリジナル信号表
示用のCRT153で表示される。
【0015】このように、高速、かつ大量の画像データ
をビデオバスを通して伝送し、各種ソフトを用意するこ
とにより単一のDSPでリアルタイムで画像処理し、処
理データをビデオバスを通してレンズ系または表示系ま
で伝送することにより、増幅段数を減らして帯域劣化や
S/N比の低下を防ぐことができる。
をビデオバスを通して伝送し、各種ソフトを用意するこ
とにより単一のDSPでリアルタイムで画像処理し、処
理データをビデオバスを通してレンズ系または表示系ま
で伝送することにより、増幅段数を減らして帯域劣化や
S/N比の低下を防ぐことができる。
【0016】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、画像デー
タをディジタル化してビデオバスを通して信号処理する
ようしたので、アナログ信号に対する入力段と出力段の
増幅器の帯域を、例えば10MHz確保すれば帯域の劣
化が生ずることがない。また、増幅器系は入力段と出力
段の2段のみとなるので、S/Nの劣化を防止すること
ができ、さらに1つのDSPで各種演算を行うことが可
能になるのでシステムの構成を簡略化することができ、
その結果、トラブルの発生も減らすことが可能となる。
タをディジタル化してビデオバスを通して信号処理する
ようしたので、アナログ信号に対する入力段と出力段の
増幅器の帯域を、例えば10MHz確保すれば帯域の劣
化が生ずることがない。また、増幅器系は入力段と出力
段の2段のみとなるので、S/Nの劣化を防止すること
ができ、さらに1つのDSPで各種演算を行うことが可
能になるのでシステムの構成を簡略化することができ、
その結果、トラブルの発生も減らすことが可能となる。
【図1】本発明の一実施例を示す図である。
【図2】従来の走査型電子顕微鏡の信号処理システムを
示す図である。
示す図である。
11…二次電子検出器、12…反射電子検出器、13…
EMF検出器、14…AEI検出器、15は赤外線検出
器、101、102…増幅器、111、112、113
…バッフア、121、122、123…A/D変換器、
130…ビデオバス、131…CPU、132…デジタ
ルシグナルプロセッサ、133…制御バス、134…ビ
デオバス、141、142、143…D/Aコンバータ
、151…レンズ系、152…モニタ、153…記録用
またはオリジナル信号用CRT。
EMF検出器、14…AEI検出器、15は赤外線検出
器、101、102…増幅器、111、112、113
…バッフア、121、122、123…A/D変換器、
130…ビデオバス、131…CPU、132…デジタ
ルシグナルプロセッサ、133…制御バス、134…ビ
デオバス、141、142、143…D/Aコンバータ
、151…レンズ系、152…モニタ、153…記録用
またはオリジナル信号用CRT。
Claims (1)
- 【請求項1】 試料に電子線を照射して一つ以上の検
出器で試料情報を検出し、検出信号を処理して表示する
ようにした走査型電子顕微鏡において、検出したアナロ
グ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器と、A/
D変換された画像データを伝送するビデオバスと、ビデ
オバスを通して入力される画像データを処理するデジタ
ル信号処理回路と、制御バスを通してデジタル信号処理
回路を制御するCPUと、デジタル信号処理回路の出力
データを伝送するビデオバスと、ビデオバスを通して伝
送される処理データをアナログ信号に変換するD/A変
換器とを備えたことを特徴とするビデオバスを用いた走
査型電子顕微鏡の信号処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3007026A JPH04315756A (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3007026A JPH04315756A (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04315756A true JPH04315756A (ja) | 1992-11-06 |
Family
ID=11654534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3007026A Pending JPH04315756A (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | ビデオバスを用いた走査型電子顕微鏡の信号処理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04315756A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002042712A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Hitachi Ltd | 電子線を用いたパターン検査方法及びその装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02126547A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
-
1991
- 1991-01-24 JP JP3007026A patent/JPH04315756A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02126547A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002042712A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Hitachi Ltd | 電子線を用いたパターン検査方法及びその装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990223 |