JPH04309060A - 密着型イメ−ジセンサ - Google Patents
密着型イメ−ジセンサInfo
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- JPH04309060A JPH04309060A JP3099809A JP9980991A JPH04309060A JP H04309060 A JPH04309060 A JP H04309060A JP 3099809 A JP3099809 A JP 3099809A JP 9980991 A JP9980991 A JP 9980991A JP H04309060 A JPH04309060 A JP H04309060A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はファクシミリやイメ−ジ
スキャナ等に用いられ、光信号を電気信号に光電変換す
るイメ−ジセンサに係り、特に原稿と1対1に対応する
複数の光電変換素子から成る光電変換素子アレイを有す
る密着型イメ−ジセンサに関するものである。
スキャナ等に用いられ、光信号を電気信号に光電変換す
るイメ−ジセンサに係り、特に原稿と1対1に対応する
複数の光電変換素子から成る光電変換素子アレイを有す
る密着型イメ−ジセンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、原稿などに描かれた画像文字を光
学的に検知して電気信号に変換する手段として、縮小レ
ンズ系を用いてMOS型やCCD型のICセンサに結像
させる縮小型イメ−ジセンサと、画像に対して1:1と
なる等倍レンズ系を用いて原稿巾と同一の長さを有する
光電変換素子アレイを使用する密着型イメ−ジセンサと
が存在する。
学的に検知して電気信号に変換する手段として、縮小レ
ンズ系を用いてMOS型やCCD型のICセンサに結像
させる縮小型イメ−ジセンサと、画像に対して1:1と
なる等倍レンズ系を用いて原稿巾と同一の長さを有する
光電変換素子アレイを使用する密着型イメ−ジセンサと
が存在する。
【0003】上記密着型イメ−ジセンサにおいて、カラ
−画像を読み取るためには、異なる分光透過率を有する
2種以上のカラ−フィルタを光電変換素子アレイ上に配
置する構造が提案されている。すなわち、例えば図9及
び図10に示すように、ガラス基板101上に形成され
る3本の光電変換素子アレイ102(図の表裏方向に長
尺状となる)と、透明基板103上に透明樹脂104を
スピンコ−トした後、赤色,緑色,青色の染料を用いて
次々にポリマ−を染色することにより形成される島状の
カラ−フィルタアレイ105とを別々に作製し、両者を
貼り合わせて密着型カラ−イメ−ジセンサを構成してい
る。各光電変換素子アレイ102は、光電変換層102
cを共通電極102aと個別電極102cとで挟む薄膜
積層構造で形成されている。図中、106は絶縁膜、1
07は遮光を兼ねる共通信号線、108はパシベ−ショ
ン膜である。この構造の密着型カラ−イメ−ジセンサに
よれば、微細加工が少ない、カラ−フィルタアレイ10
5の形成時の熱が光電変換素子アレイ102に影響を与
えない等、歩留り及び信頼性の点で優れているという利
点がある(特開昭61−232758公報参照)。
−画像を読み取るためには、異なる分光透過率を有する
2種以上のカラ−フィルタを光電変換素子アレイ上に配
置する構造が提案されている。すなわち、例えば図9及
び図10に示すように、ガラス基板101上に形成され
る3本の光電変換素子アレイ102(図の表裏方向に長
尺状となる)と、透明基板103上に透明樹脂104を
スピンコ−トした後、赤色,緑色,青色の染料を用いて
次々にポリマ−を染色することにより形成される島状の
カラ−フィルタアレイ105とを別々に作製し、両者を
貼り合わせて密着型カラ−イメ−ジセンサを構成してい
る。各光電変換素子アレイ102は、光電変換層102
cを共通電極102aと個別電極102cとで挟む薄膜
積層構造で形成されている。図中、106は絶縁膜、1
07は遮光を兼ねる共通信号線、108はパシベ−ショ
ン膜である。この構造の密着型カラ−イメ−ジセンサに
よれば、微細加工が少ない、カラ−フィルタアレイ10
5の形成時の熱が光電変換素子アレイ102に影響を与
えない等、歩留り及び信頼性の点で優れているという利
点がある(特開昭61−232758公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
造の密着型カラ−イメ−ジセンサによると次のような問
題点があった。すなわち、カラ−フィルタアレイ105
が形成される透明基板103の幅Lは、透明基板103
側に設けられる周辺回路、例えば光電変換素子アレイ1
02の各光電変換素子から画像信号を読み取るための駆
動用LSIや信号取り出しコネクタ(図示せず)の実装
により制約を受け、通常は3〜5mm幅となる。一方、
上記構造の密着型カラ−イメ−ジセンサは、図8に示す
ように、原稿面との間に結像レンズとして、ロッドレン
ズアレイ110を配置させている。
造の密着型カラ−イメ−ジセンサによると次のような問
題点があった。すなわち、カラ−フィルタアレイ105
が形成される透明基板103の幅Lは、透明基板103
側に設けられる周辺回路、例えば光電変換素子アレイ1
02の各光電変換素子から画像信号を読み取るための駆
動用LSIや信号取り出しコネクタ(図示せず)の実装
により制約を受け、通常は3〜5mm幅となる。一方、
上記構造の密着型カラ−イメ−ジセンサは、図8に示す
ように、原稿面との間に結像レンズとして、ロッドレン
ズアレイ110を配置させている。
【0005】このような構造であると、ロッドレンズア
レイ110を通して光電変換素子アレイ102上面に照
射される画像幅(原稿面からの反射光の巾)は、その構
造上、密着型イメ−ジセンサに最も適した開口角12度
のロッドレンズ111を4列並べたもので8.62mm
と広く(ロッドレンズ111を2列並べたもので6.7
4mm)、透明基板103の幅Lを大きく上回る。この
ため、カラ−フィルタアレイ105の上方から拡散光と
して入射する光は、透明基板103の側面部103aに
おいて反射し、散乱光として光電変換素子アレイ102
の各光電変換素子に到達する。これは透明基板103が
ガラス(屈折率1.5)で作成されているため、外部(
空気:屈折率1.0)との界面で全反射するからである
。透明基板103で散乱光(フレア)が発生する現象は
、各光電変換素子でのMTF(解像度)を著しく低下さ
せる。
レイ110を通して光電変換素子アレイ102上面に照
射される画像幅(原稿面からの反射光の巾)は、その構
造上、密着型イメ−ジセンサに最も適した開口角12度
のロッドレンズ111を4列並べたもので8.62mm
と広く(ロッドレンズ111を2列並べたもので6.7
4mm)、透明基板103の幅Lを大きく上回る。この
ため、カラ−フィルタアレイ105の上方から拡散光と
して入射する光は、透明基板103の側面部103aに
おいて反射し、散乱光として光電変換素子アレイ102
の各光電変換素子に到達する。これは透明基板103が
ガラス(屈折率1.5)で作成されているため、外部(
空気:屈折率1.0)との界面で全反射するからである
。透明基板103で散乱光(フレア)が発生する現象は
、各光電変換素子でのMTF(解像度)を著しく低下さ
せる。
【0006】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
、光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを配置させた密
着型イメ−ジセンサにおいて、カバ−ガラスの側面部で
の反射光の発生を抑えて解像度の向上を図ることができ
る構造を提供することを目的としている。
、光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを配置させた密
着型イメ−ジセンサにおいて、カバ−ガラスの側面部で
の反射光の発生を抑えて解像度の向上を図ることができ
る構造を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するため本発明の密着型イメ−ジセンサは、絶縁基板
上に光電変換素子アレイを設け、該光電変換素子アレイ
上にカバ−ガラスを配置した密着型イメ−ジセンサにお
いて、次の構成を特徴としている。請求項1の密着型イ
メ−ジセンサは、前記カバ−ガラスの周囲縁部に黒色系
樹脂を塗布して構成される。請求項2の密着型イメ−ジ
センサは、前記カバ−ガラスの周囲縁部にカバ−ガラス
の屈折率と略同一の屈折率を有する樹脂を塗布して構成
される。請求項3の密着型イメ−ジセンサは、前記カバ
−ガラスの反光電変換素子ライン側に、該光電変換素子
アレイに対応する開口部を有する遮光膜を形成して構成
される。請求項4の密着型イメ−ジセンサは、前記カバ
−ガラスの上方に、光電変換素子アレイに対応する開口
部を有する遮光板を配置して構成される。
決するため本発明の密着型イメ−ジセンサは、絶縁基板
上に光電変換素子アレイを設け、該光電変換素子アレイ
上にカバ−ガラスを配置した密着型イメ−ジセンサにお
いて、次の構成を特徴としている。請求項1の密着型イ
メ−ジセンサは、前記カバ−ガラスの周囲縁部に黒色系
樹脂を塗布して構成される。請求項2の密着型イメ−ジ
センサは、前記カバ−ガラスの周囲縁部にカバ−ガラス
の屈折率と略同一の屈折率を有する樹脂を塗布して構成
される。請求項3の密着型イメ−ジセンサは、前記カバ
−ガラスの反光電変換素子ライン側に、該光電変換素子
アレイに対応する開口部を有する遮光膜を形成して構成
される。請求項4の密着型イメ−ジセンサは、前記カバ
−ガラスの上方に、光電変換素子アレイに対応する開口
部を有する遮光板を配置して構成される。
【0008】
【作用】請求項1の密着型イメ−ジセンサによれば、カ
バ−ガラス内への入射光で周囲縁部に到達する光は黒色
系樹脂で吸収されるので、カバ−ガラス側面部での全反
射を防止することができる。請求項2の密着型イメ−ジ
センサによれば、カバ−ガラス内への入射光で周囲縁部
に到達する光は、カバ−ガラスと樹脂との界面で反射す
ることなく透過し、カバ−ガラス側面部での全反射を防
止することができる。請求項3の密着型イメ−ジセンサ
によれば、カバ−ガラス内に入射する光を遮光膜で制限
するので、カバ−ガラス側面部での全反射を防止するこ
とができる。請求項4の密着型イメ−ジセンサによれば
、カバ−ガラス内に入射する光を遮光板で制限するので
、カバ−ガラス側面部での全反射を防止することができ
る。
バ−ガラス内への入射光で周囲縁部に到達する光は黒色
系樹脂で吸収されるので、カバ−ガラス側面部での全反
射を防止することができる。請求項2の密着型イメ−ジ
センサによれば、カバ−ガラス内への入射光で周囲縁部
に到達する光は、カバ−ガラスと樹脂との界面で反射す
ることなく透過し、カバ−ガラス側面部での全反射を防
止することができる。請求項3の密着型イメ−ジセンサ
によれば、カバ−ガラス内に入射する光を遮光膜で制限
するので、カバ−ガラス側面部での全反射を防止するこ
とができる。請求項4の密着型イメ−ジセンサによれば
、カバ−ガラス内に入射する光を遮光板で制限するので
、カバ−ガラス側面部での全反射を防止することができ
る。
【0009】
【実施例】本発明の密着型カラ−イメ−ジセンサの一実
施例について図1及び図2を参照しながら説明する。図
1の表裏方向に長尺となる絶縁基板1上に、前記長尺方
向に沿って3本の光電変換素子アレイ2を設けている。 光電変換素子アレイ2は、例えば、離散的に配置された
クロム(Cr)等から成る金属電極,アモルファスシリ
コン(a−Si)等から成る帯状の光電変換層,酸化イ
ンジウム・スズ(ITO)等から成る帯状の透明電極膜
を着膜及びパタ−ニングし、薄膜積層構造の複数の光電
変換素子をアレイ状に配列して構成されている。光電変
換素子アレイ2は、保護膜としての絶縁膜3で被覆され
ている。
施例について図1及び図2を参照しながら説明する。図
1の表裏方向に長尺となる絶縁基板1上に、前記長尺方
向に沿って3本の光電変換素子アレイ2を設けている。 光電変換素子アレイ2は、例えば、離散的に配置された
クロム(Cr)等から成る金属電極,アモルファスシリ
コン(a−Si)等から成る帯状の光電変換層,酸化イ
ンジウム・スズ(ITO)等から成る帯状の透明電極膜
を着膜及びパタ−ニングし、薄膜積層構造の複数の光電
変換素子をアレイ状に配列して構成されている。光電変
換素子アレイ2は、保護膜としての絶縁膜3で被覆され
ている。
【0010】前記絶縁基板1上には透明基板(カバ−ガ
ラス)4が配置され、この透明基板4の光電変換素子ア
レイ2側には各光電変換素子アレイ2に対応するカラ−
フィルタアレイ5が形成されている。このカラ−フィル
タアレイ5は、透明基板4上に透明樹脂をスピンコ−ト
した後、赤色,緑色,青色の染料を用いて次々にポリマ
−を染色することにより形成する。絶縁基板1と透明基
板4とは、光電変換素子アレイ2とカラ−フィルタアレ
イ5とが対峙するように、接着剤(図示せず)を介して
接合されている。
ラス)4が配置され、この透明基板4の光電変換素子ア
レイ2側には各光電変換素子アレイ2に対応するカラ−
フィルタアレイ5が形成されている。このカラ−フィル
タアレイ5は、透明基板4上に透明樹脂をスピンコ−ト
した後、赤色,緑色,青色の染料を用いて次々にポリマ
−を染色することにより形成する。絶縁基板1と透明基
板4とは、光電変換素子アレイ2とカラ−フィルタアレ
イ5とが対峙するように、接着剤(図示せず)を介して
接合されている。
【0011】透明基板4の周囲縁部には、例えばシリコ
−ン系樹脂(JCR6126ブラック 東レ・ダウコ
−ニング・シリコ−ン(株)製)等の黒色樹脂6が塗布
されている。この黒色樹脂6は、絶縁基板1と透明基板
4とを接合した後、先端部がノズル形状のレジンコ−タ
−(図示せず)から樹脂を押し出すことにより透明基板
4の周囲縁部に塗布される。
−ン系樹脂(JCR6126ブラック 東レ・ダウコ
−ニング・シリコ−ン(株)製)等の黒色樹脂6が塗布
されている。この黒色樹脂6は、絶縁基板1と透明基板
4とを接合した後、先端部がノズル形状のレジンコ−タ
−(図示せず)から樹脂を押し出すことにより透明基板
4の周囲縁部に塗布される。
【0012】本実施例によれば、図8に示すように上方
にロッドレンズアレイ110を配置した場合、ロッドレ
ンズアレイ110の端部からの拡散光が透明基板4内に
入射し、側面部4aに当たっても黒色樹脂6により吸収
され、側面部界面において全反射光が発生せず、透明基
板4内に散乱光を発生させない。
にロッドレンズアレイ110を配置した場合、ロッドレ
ンズアレイ110の端部からの拡散光が透明基板4内に
入射し、側面部4aに当たっても黒色樹脂6により吸収
され、側面部界面において全反射光が発生せず、透明基
板4内に散乱光を発生させない。
【0013】図3は本発明の他の実施例の密着型カラ−
イメ−ジセンサを示すものである。図1と同一構成をと
る部分については同一符号を付している。この実施例で
は、透明基板4の周囲縁部に、例えばシリコ−ン系樹脂
(JCR6126ブラック 東レシリコ−ン(株)製
屈折率 約1.5)等、透明基板4と略近似した
値の屈折率を有する樹脂7が塗布されている。透明基板
4は、ガラス(例えば、コ−ニング7059 屈折率
1.5 コ−ニング社製)を使用している。樹脂
7の塗布方法は図1の実施例と同様であるが、図1の実
施例に比較して裾広がりとなるように塗布する。具体的
には、透明基板4の副走査方向幅が3mmである場合、
樹脂7の底部は2mm程度とするのが好ましい。
イメ−ジセンサを示すものである。図1と同一構成をと
る部分については同一符号を付している。この実施例で
は、透明基板4の周囲縁部に、例えばシリコ−ン系樹脂
(JCR6126ブラック 東レシリコ−ン(株)製
屈折率 約1.5)等、透明基板4と略近似した
値の屈折率を有する樹脂7が塗布されている。透明基板
4は、ガラス(例えば、コ−ニング7059 屈折率
1.5 コ−ニング社製)を使用している。樹脂
7の塗布方法は図1の実施例と同様であるが、図1の実
施例に比較して裾広がりとなるように塗布する。具体的
には、透明基板4の副走査方向幅が3mmである場合、
樹脂7の底部は2mm程度とするのが好ましい。
【0014】本実施例によれば、図8に示すように上方
にロッドレンズアレイ110を配置した場合、ロッドレ
ンズアレイ110の端部からの拡散光が透明基板4内に
入射して側面部4aに当たっても、透明基板4と樹脂7
の屈折率が同じであれば界面で反射せずにそのまま樹脂
7内に侵入していく。樹脂7内に侵入した光は、樹脂7
と外部との界面において反射するが、前記樹脂7は裾広
がりの形状としたので界面での反射光は光電変換素子ア
レイ2側へ入射しない。
にロッドレンズアレイ110を配置した場合、ロッドレ
ンズアレイ110の端部からの拡散光が透明基板4内に
入射して側面部4aに当たっても、透明基板4と樹脂7
の屈折率が同じであれば界面で反射せずにそのまま樹脂
7内に侵入していく。樹脂7内に侵入した光は、樹脂7
と外部との界面において反射するが、前記樹脂7は裾広
がりの形状としたので界面での反射光は光電変換素子ア
レイ2側へ入射しない。
【0015】図4は本発明の他の実施例の密着型カラ−
イメ−ジセンサを示すものである。図1と同一構成をと
る部分については同一符号を付している。この実施例で
は、カラ−フィルタアレイ5と反対側の透明基板4(光
電変換素子アレイ2と反対側)に遮光膜8を形成してい
る。この遮光膜8には、3本の光電変換素子アレイ2の
副走査方向幅に等しいスリット幅の帯状開口部9が形成
されている。前記遮光膜8は、透明基板4上にスクリ−
ン印刷若しくはオフセット印刷を用いて、例えば#24
0−SB シリコ−ンペ−スト(ESLジャパン(株
)製)の黒色樹脂をスリット状に塗布して形成する。
イメ−ジセンサを示すものである。図1と同一構成をと
る部分については同一符号を付している。この実施例で
は、カラ−フィルタアレイ5と反対側の透明基板4(光
電変換素子アレイ2と反対側)に遮光膜8を形成してい
る。この遮光膜8には、3本の光電変換素子アレイ2の
副走査方向幅に等しいスリット幅の帯状開口部9が形成
されている。前記遮光膜8は、透明基板4上にスクリ−
ン印刷若しくはオフセット印刷を用いて、例えば#24
0−SB シリコ−ンペ−スト(ESLジャパン(株
)製)の黒色樹脂をスリット状に塗布して形成する。
【0016】本実施例によれば、図8に示すように上方
にロッドレンズアレイ110を配置した場合、ロッドレ
ンズアレイ110の端部からの拡散光が透明基板4内に
入射するのを遮光膜8で制限し、拡散光が透明基板4の
側面部4aに到達せず透明基板4内に散乱光を発生させ
ない。
にロッドレンズアレイ110を配置した場合、ロッドレ
ンズアレイ110の端部からの拡散光が透明基板4内に
入射するのを遮光膜8で制限し、拡散光が透明基板4の
側面部4aに到達せず透明基板4内に散乱光を発生させ
ない。
【0017】図5は本発明の他の実施例の密着型カラ−
イメ−ジセンサを示すものである。図1と同一構成をと
る部分については同一符号を付している。上述した実施
例で使用される密着型イメ−ジセンサは、例えば図6に
示すように、絶縁基板1上に形成された3本の光電変換
素子アレイ2と、光電変換素子アレイ2の離散的に配置
された金属電極に接続される駆動配線10と、ライン毎
に共通となる光電変換素子アレイ2の透明導電膜に接続
される信号出力線11と、前記駆動配線10に駆動パル
スを印加する複数の駆動IC12とから構成されている
。モ−ルド材13は駆動IC12の保護および絶縁を図
るものである。
イメ−ジセンサを示すものである。図1と同一構成をと
る部分については同一符号を付している。上述した実施
例で使用される密着型イメ−ジセンサは、例えば図6に
示すように、絶縁基板1上に形成された3本の光電変換
素子アレイ2と、光電変換素子アレイ2の離散的に配置
された金属電極に接続される駆動配線10と、ライン毎
に共通となる光電変換素子アレイ2の透明導電膜に接続
される信号出力線11と、前記駆動配線10に駆動パル
スを印加する複数の駆動IC12とから構成されている
。モ−ルド材13は駆動IC12の保護および絶縁を図
るものである。
【0018】このセンサは、各光電変換素子に印加する
パルスにより信号出力線11を流れる電流を検知して画
像信号を検出する方式をとるので、信号出力線11はハ
イインピ−ダンス配線となっている。通常この種のカラ
−イメ−ジセンサにおいては、光源として蛍光灯を採用
するので、蛍光灯を駆動する交流電圧により前記信号出
力線11が外部からの誘導ノイズにさらされた状態とな
り、画像信号に雑音が重畳しやすいという問題点がある
。
パルスにより信号出力線11を流れる電流を検知して画
像信号を検出する方式をとるので、信号出力線11はハ
イインピ−ダンス配線となっている。通常この種のカラ
−イメ−ジセンサにおいては、光源として蛍光灯を採用
するので、蛍光灯を駆動する交流電圧により前記信号出
力線11が外部からの誘導ノイズにさらされた状態とな
り、画像信号に雑音が重畳しやすいという問題点がある
。
【0019】本実施例では、アルミニウム等の金属で形
成され、絶縁基板1より一回り大きい導電性支持板21
上に前記絶縁基板1を接着し、この支持板21の四隅に
導電性支柱22(例えば真ちゅうのプリント基板用スペ
−サ等)を立設し、絶縁基板1を覆うように導電性黒色
遮光板23の四隅を前記支柱22の上端の穴にビス24
により固定する。遮光板23は、例えばアルミニウム等
の金属を陽極酸化処理し黒化させて形成する。遮光板2
3には、絶縁基板1上に形成された3本の光電変換素子
アレイ2の副走査方向幅に等しいスリット幅の帯状開口
部25が形成されている。また、前記支持板21は接地
されている。
成され、絶縁基板1より一回り大きい導電性支持板21
上に前記絶縁基板1を接着し、この支持板21の四隅に
導電性支柱22(例えば真ちゅうのプリント基板用スペ
−サ等)を立設し、絶縁基板1を覆うように導電性黒色
遮光板23の四隅を前記支柱22の上端の穴にビス24
により固定する。遮光板23は、例えばアルミニウム等
の金属を陽極酸化処理し黒化させて形成する。遮光板2
3には、絶縁基板1上に形成された3本の光電変換素子
アレイ2の副走査方向幅に等しいスリット幅の帯状開口
部25が形成されている。また、前記支持板21は接地
されている。
【0020】本実施例によれば、上方にロッドレンズア
レイ110を配置した場合、ロッドレンズアレイ110
の端部からの拡散光が透明基板4内に入射するのを遮光
板23で制限し、拡散光が透明基板4の側面部4aに到
達せず透明基板4内に散乱光を発生させない。また、ビ
ス24、支柱22及び支持板21を介して接地されてい
る遮光板23によって信号出力線11を覆う構成をとる
ので、信号出力線11を蛍光灯光源などから電気的にシ
−ルドする効果がある。従って、信号出力線11に対す
る外部誘導ノイズを影響を抑えてイメ−ジセンサから出
力される画像信号のS/N比を向上させることができる
。通常、OA機器の蛍光灯の点灯周波数は数10kHz
であるので、前記遮光板23により十分な電気的シ−ル
ド効果を得ることができる。
レイ110を配置した場合、ロッドレンズアレイ110
の端部からの拡散光が透明基板4内に入射するのを遮光
板23で制限し、拡散光が透明基板4の側面部4aに到
達せず透明基板4内に散乱光を発生させない。また、ビ
ス24、支柱22及び支持板21を介して接地されてい
る遮光板23によって信号出力線11を覆う構成をとる
ので、信号出力線11を蛍光灯光源などから電気的にシ
−ルドする効果がある。従って、信号出力線11に対す
る外部誘導ノイズを影響を抑えてイメ−ジセンサから出
力される画像信号のS/N比を向上させることができる
。通常、OA機器の蛍光灯の点灯周波数は数10kHz
であるので、前記遮光板23により十分な電気的シ−ル
ド効果を得ることができる。
【0021】図7は上述した各実施例の構造の密着型イ
メ−ジセンサと従来構造の密着型イメ−ジセンサのMT
F特性の測定結果を示したものである。図中、白丸鎖線
は従来例の構造の密着型イメ−ジセンサのMTF、黒丸
鎖線は本発明実施例の構造の密着型イメ−ジセンサのM
TFである。
メ−ジセンサと従来構造の密着型イメ−ジセンサのMT
F特性の測定結果を示したものである。図中、白丸鎖線
は従来例の構造の密着型イメ−ジセンサのMTF、黒丸
鎖線は本発明実施例の構造の密着型イメ−ジセンサのM
TFである。
【0022】この測定は、密着型イメ−ジセンサに一様
に光を照射させた場合の出力をフォト出力P、一様に暗
くした場合の出力をダ−ク出力D、密着型イメ−ジセン
サ上に白黒ラインを交互に描いたラダ−チャ−トを配置
させ、白ライン下の光電変換素子からの出力のうち最大
のものを出力A、黒ライン下の光電変換素子からの出力
のうち最小のものを出力Bとした場合、MTF={A−
B/(P−D)}×100%で計算する。横軸の正規化
空間周波数(cycle/mm)は、センサの画素密度
が16dot/mmである場合に、白黒ラインが画素毎
に交互に描かれるラダ−チャ−ト(8ライン/mm)を
用いた場合を1としている。従って、正規化空間周波数
0.5は、4ライン/mmのラダ−チャ−トを用いた場
合(2画素毎に白黒ラインが交互に描かれる)である。 この測定によれば、正規化された空間周波数内において
、少なくとも20%以上のMTF向上を確認することが
できた。
に光を照射させた場合の出力をフォト出力P、一様に暗
くした場合の出力をダ−ク出力D、密着型イメ−ジセン
サ上に白黒ラインを交互に描いたラダ−チャ−トを配置
させ、白ライン下の光電変換素子からの出力のうち最大
のものを出力A、黒ライン下の光電変換素子からの出力
のうち最小のものを出力Bとした場合、MTF={A−
B/(P−D)}×100%で計算する。横軸の正規化
空間周波数(cycle/mm)は、センサの画素密度
が16dot/mmである場合に、白黒ラインが画素毎
に交互に描かれるラダ−チャ−ト(8ライン/mm)を
用いた場合を1としている。従って、正規化空間周波数
0.5は、4ライン/mmのラダ−チャ−トを用いた場
合(2画素毎に白黒ラインが交互に描かれる)である。 この測定によれば、正規化された空間周波数内において
、少なくとも20%以上のMTF向上を確認することが
できた。
【0023】以上の実施例では密着型カラ−イメ−ジセ
ンサについて示したが、モノクロの密着型イメ−ジセン
サの場合でも、光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを
配置する構造ものに適用すれば、上記した実施例と同様
の理由によりMTFの向上を図ることができる。
ンサについて示したが、モノクロの密着型イメ−ジセン
サの場合でも、光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを
配置する構造ものに適用すれば、上記した実施例と同様
の理由によりMTFの向上を図ることができる。
【0024】
【発明の効果】本発明によれば、カバ−ガラス側面部で
の全反射を防ぐことによりカバ−ガラス内部での散乱光
の発生を防止し、カバ−ガラス下に配置される光電変換
素子のMTFの向上を図ることができる。
の全反射を防ぐことによりカバ−ガラス内部での散乱光
の発生を防止し、カバ−ガラス下に配置される光電変換
素子のMTFの向上を図ることができる。
【図1】 本発明の一実施例を示す密着型カラ−イメ
−ジセンサの一部分の断面説明図である。
−ジセンサの一部分の断面説明図である。
【図2】 同上の密着型カラ−イメ−ジセンサの平面
説明図である。
説明図である。
【図3】 本発明の他の実施例を示す密着型カラ−イ
メ−ジセンサの一部分の断面説明図である。
メ−ジセンサの一部分の断面説明図である。
【図4】 本発明の他の実施例を示す密着型カラ−イ
メ−ジセンサの一部分の断面説明図である。
メ−ジセンサの一部分の断面説明図である。
【図5】 本発明の他の実施例を示す密着型カラ−イ
メ−ジセンサの断面説明図である。
メ−ジセンサの断面説明図である。
【図6】 実施例で使用される密着型イメ−ジセンサ
の平面説明図である。
の平面説明図である。
【図7】 実施例の密着型イメ−ジセンサ及び従来の
密着型イメ−ジセンサにおいて各空間周波数におけるM
TFを測定した特性図である。
密着型イメ−ジセンサにおいて各空間周波数におけるM
TFを測定した特性図である。
【図8】 密着型イメ−ジセンサの構成概略説明図で
ある。
ある。
【図9】 従来の密着型カラ−イメ−ジセンサの一部
分の断面説明図である。
分の断面説明図である。
【図10】 従来の密着型カラ−イメ−ジセンサの一
部分の平面説明図である。
部分の平面説明図である。
1…絶縁基板、 2…光電変換素子アレイ、 3…
保護膜、 4…透明基板(カバ−ガラス)、 5…
カラ−フィルタアレイ、 6…黒色樹脂、 7…樹
脂、8…遮光膜、 9…開口部、 23…遮光板、
25…開口部。
保護膜、 4…透明基板(カバ−ガラス)、 5…
カラ−フィルタアレイ、 6…黒色樹脂、 7…樹
脂、8…遮光膜、 9…開口部、 23…遮光板、
25…開口部。
Claims (4)
- 【請求項1】 絶縁基板上に光電変換素子アレイを設
け、該光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを配置した
密着型イメ−ジセンサにおいて、前記カバ−ガラスの周
囲縁部に黒色系樹脂を塗布したことを特徴とする密着型
イメ−ジセンサ。 - 【請求項2】 絶縁基板上に光電変換素子アレイを設
け、該光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを配置した
密着型イメ−ジセンサにおいて、前記カバ−ガラスの周
囲縁部にカバ−ガラスの屈折率と略同一の屈折率を有す
る樹脂を塗布したことを特徴とする密着型イメ−ジセン
サ。 - 【請求項3】 絶縁基板上に光電変換素子アレイを設
け、該光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを配置した
密着型イメ−ジセンサにおいて、前記カバ−ガラスの反
光電変換素子アレイ側に、該光電変換素子アレイに対応
する開口部を有する遮光膜を形成したことを特徴とする
密着型イメ−ジセンサ。 - 【請求項4】 絶縁基板上に光電変換素子アレイを設
け、該光電変換素子アレイ上にカバ−ガラスを配置した
密着型イメ−ジセンサにおいて、前記カバ−ガラスの上
方に、該光電変換素子アレイに対応する開口部を有する
遮光板を配置したことを特徴とする密着型イメ−ジセン
サ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3099809A JPH04309060A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 密着型イメ−ジセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3099809A JPH04309060A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 密着型イメ−ジセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04309060A true JPH04309060A (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=14257190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3099809A Pending JPH04309060A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 密着型イメ−ジセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04309060A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007142058A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体撮像素子およびその製造方法並びに半導体撮像装置とその製造方法 |
US7616250B2 (en) | 2004-07-27 | 2009-11-10 | Fujitsu Microelectronics Limited | Image capturing device |
JP2012022341A (ja) * | 2011-10-17 | 2012-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
-
1991
- 1991-04-05 JP JP3099809A patent/JPH04309060A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7616250B2 (en) | 2004-07-27 | 2009-11-10 | Fujitsu Microelectronics Limited | Image capturing device |
JP2007142058A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体撮像素子およびその製造方法並びに半導体撮像装置とその製造方法 |
JP2012022341A (ja) * | 2011-10-17 | 2012-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
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