JPH04282441A - 透明導電膜の検査方法および検査装置 - Google Patents
透明導電膜の検査方法および検査装置Info
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- JPH04282441A JPH04282441A JP7048191A JP7048191A JPH04282441A JP H04282441 A JPH04282441 A JP H04282441A JP 7048191 A JP7048191 A JP 7048191A JP 7048191 A JP7048191 A JP 7048191A JP H04282441 A JPH04282441 A JP H04282441A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【技術分野】本発明は、透明導電膜の検査方法および検
査装置に関し、より詳細には、液晶表示板、プラズマデ
ィスプレイなどの透明電極のパターン検査に関する。例
えば、上述の透明電極のパターン検査の他に紫外線を吸
収する透明物体の認識および検査に応用される。
査装置に関し、より詳細には、液晶表示板、プラズマデ
ィスプレイなどの透明電極のパターン検査に関する。例
えば、上述の透明電極のパターン検査の他に紫外線を吸
収する透明物体の認識および検査に応用される。
【0002】
【従来技術】透明導電膜は、光を透過し、導電性を有す
る薄膜で、透明な基板にスプレイ法、真空蒸着法、高周
波スパッタ法、フォトエッチング法等の方法で成膜がな
される。代表的な透明導電膜としてITO(Indiu
m Tin Oxide:酸化インジウム膜)があり、
酸化インジウムに6%程の酸化すずが混合したもので可
視光に対しては透明率が高く紫外光を吸収する特性があ
る。また電気抵抗が低く電気光学的特性がすぐれており
、更に電極パターンの形成が容易である等の特徴をもっ
ている。また透明な基板としては一般に平坦な表面をも
つフロートガラス、パイレックスガラス、石英ガラス等
のガラスが用いられるが、ガラス基板の代わりにポリエ
ステル等の樹脂が使われることもある。
る薄膜で、透明な基板にスプレイ法、真空蒸着法、高周
波スパッタ法、フォトエッチング法等の方法で成膜がな
される。代表的な透明導電膜としてITO(Indiu
m Tin Oxide:酸化インジウム膜)があり、
酸化インジウムに6%程の酸化すずが混合したもので可
視光に対しては透明率が高く紫外光を吸収する特性があ
る。また電気抵抗が低く電気光学的特性がすぐれており
、更に電極パターンの形成が容易である等の特徴をもっ
ている。また透明な基板としては一般に平坦な表面をも
つフロートガラス、パイレックスガラス、石英ガラス等
のガラスが用いられるが、ガラス基板の代わりにポリエ
ステル等の樹脂が使われることもある。
【0003】透明導電膜は、液晶セル、表示素子などの
光デバイス用の透明電極として使用されており、近年需
要は急速に拡大するとともに応用面も拡大し微細な電極
パターンを形成されるようになった。しかし、透明導電
膜は透明であり目視ができないので、成膜時の厚さむら
、ピンホール、異物付着、パターン等の欠陥を発見する
ための検査方法を確立する必要があった。
光デバイス用の透明電極として使用されており、近年需
要は急速に拡大するとともに応用面も拡大し微細な電極
パターンを形成されるようになった。しかし、透明導電
膜は透明であり目視ができないので、成膜時の厚さむら
、ピンホール、異物付着、パターン等の欠陥を発見する
ための検査方法を確立する必要があった。
【0004】本発明に関連した公知の文献として、例え
ば特開平1−272945号公報「表面欠陥の検査方法
」がある。これは、レチクル、マスク等の表面に有機物
の異物が付着した場合の表面欠陥検査方法に関するもの
で、従来、レチクル、マスク等の表面にレーザ光を照射
した場合、反射光は一定方向であるが異物の場合は散乱
光となるのでこの散乱光を検知することで、表面検査を
実施していたが、十分な欠陥検出能力が得られないため
、有機物系の異物が付着する被検物に一定波長の紫外線
を照射し、該紫外線吸収により前記異物から発する蛍光
を検知し、有機物系の特性による発色量の違いにより表
面欠陥を検査するものである。しかしながら、有機物系
異物付着を検知するものであり、透明導電膜の検査には
応用することができない。
ば特開平1−272945号公報「表面欠陥の検査方法
」がある。これは、レチクル、マスク等の表面に有機物
の異物が付着した場合の表面欠陥検査方法に関するもの
で、従来、レチクル、マスク等の表面にレーザ光を照射
した場合、反射光は一定方向であるが異物の場合は散乱
光となるのでこの散乱光を検知することで、表面検査を
実施していたが、十分な欠陥検出能力が得られないため
、有機物系の異物が付着する被検物に一定波長の紫外線
を照射し、該紫外線吸収により前記異物から発する蛍光
を検知し、有機物系の特性による発色量の違いにより表
面欠陥を検査するものである。しかしながら、有機物系
異物付着を検知するものであり、透明導電膜の検査には
応用することができない。
【0005】また、ITO膜の透過率については、「エ
レクトロセラミックス」(1985年5月号第28頁)
に記載されており、透明なガラス基板上に成膜された透
明導電膜のパターン検査を微妙な反射光の変化で検査す
る検査方法が記載されている。
レクトロセラミックス」(1985年5月号第28頁)
に記載されており、透明なガラス基板上に成膜された透
明導電膜のパターン検査を微妙な反射光の変化で検査す
る検査方法が記載されている。
【0006】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、石英ガラス等の透明な基板は紫外光を通過する
のに対し、ITO(酸化インジウム膜)などの透明導電
膜は紫外光を吸収する点に着目し、紫外光の透過光を検
知することにより、より確実に表面欠陥の検査を行う方
法および検査装置を提供することを目的としてなされた
ものである。
もので、石英ガラス等の透明な基板は紫外光を通過する
のに対し、ITO(酸化インジウム膜)などの透明導電
膜は紫外光を吸収する点に着目し、紫外光の透過光を検
知することにより、より確実に表面欠陥の検査を行う方
法および検査装置を提供することを目的としてなされた
ものである。
【0007】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、(1)
紫外光を透過する透明基板上に成膜された透明導電膜に
紫外光を照射し、前記透明導電膜の欠陥を透過した紫外
光の透過強度から検知すること、更には、(2)前記(
1)において、紫外光を透過する透明基板上に成膜され
た透明導電膜に紫外光を照射し、透過した紫外光を、透
過側に配設され紫外光を吸収して紫外光量に応じた強度
の蛍光を発する蛍光体により受光し、受光により該蛍光
体の発する発光強度を検知し、検知した発光強度から透
明導電膜の欠陥を検査すること、更には、(3)紫外光
を透過する透明基板上に成膜された透明導電膜に、紫外
線を照射する光源と、該光源から照射された紫外光量を
吸収し、該紫外光量に応じた強度の可視光を発する蛍光
板と、前記光源から照射された紫外光を、透明導電膜を
成膜した透明基板に照射する照明手段と、前記蛍光板に
前記透明導電膜を透過した紫外線を受光する受光手段と
から成ること、更には、(4)紫外光を透過する透明基
板上に成膜された透明導電膜に紫外線を照射する照明手
段と、前記透明導電膜を透過した紫外光を吸収して可視
光を発する蛍光板と、該蛍光板の発光パターンを撮像す
る撮像手段と、該撮像手段により撮像された蛍光板の発
光パターンの画像を処理する画像処理手段とから成るこ
とを特徴とするものである。以下、本発明の実施例に基
づいて説明する。
紫外光を透過する透明基板上に成膜された透明導電膜に
紫外光を照射し、前記透明導電膜の欠陥を透過した紫外
光の透過強度から検知すること、更には、(2)前記(
1)において、紫外光を透過する透明基板上に成膜され
た透明導電膜に紫外光を照射し、透過した紫外光を、透
過側に配設され紫外光を吸収して紫外光量に応じた強度
の蛍光を発する蛍光体により受光し、受光により該蛍光
体の発する発光強度を検知し、検知した発光強度から透
明導電膜の欠陥を検査すること、更には、(3)紫外光
を透過する透明基板上に成膜された透明導電膜に、紫外
線を照射する光源と、該光源から照射された紫外光量を
吸収し、該紫外光量に応じた強度の可視光を発する蛍光
板と、前記光源から照射された紫外光を、透明導電膜を
成膜した透明基板に照射する照明手段と、前記蛍光板に
前記透明導電膜を透過した紫外線を受光する受光手段と
から成ること、更には、(4)紫外光を透過する透明基
板上に成膜された透明導電膜に紫外線を照射する照明手
段と、前記透明導電膜を透過した紫外光を吸収して可視
光を発する蛍光板と、該蛍光板の発光パターンを撮像す
る撮像手段と、該撮像手段により撮像された蛍光板の発
光パターンの画像を処理する画像処理手段とから成るこ
とを特徴とするものである。以下、本発明の実施例に基
づいて説明する。
【0008】図1(a),(b)は本発明による透明導
電膜の検査方法を説明するための図で、図(a)は可視
光を入射した場合の透過光を示す図、図(b)は紫外光
を入射した場合の透過光を示す図である。図中、1は可
視光、2は透明導電膜、3は透明基板、4は可視光の透
過光、5は光電子増倍管、6は紫外光、7は紫外光の透
過光である。
電膜の検査方法を説明するための図で、図(a)は可視
光を入射した場合の透過光を示す図、図(b)は紫外光
を入射した場合の透過光を示す図である。図中、1は可
視光、2は透明導電膜、3は透明基板、4は可視光の透
過光、5は光電子増倍管、6は紫外光、7は紫外光の透
過光である。
【0009】図示において、透明基板3は、通常、パイ
レックスや石英ガラス等の紫外線を透過する均一で平滑
な板状体であるが、紫外線を透過して均一平滑な板状体
であれば樹脂材料、その他材料のものでもよい。透明導
電膜2はITO(Indium tim Oxide:
酸化インジウム)で酸化インジウムに6%程の酸化すず
を混合したもので、可視光に対しては透明性が高く目視
できないが、紫外光は吸収するという光学特性をもって
おり、該透明導電膜2を例えば真空蒸着法等で回路パタ
ーンを成膜するもので、図示の透明導電膜2は成膜され
た部分を示す。
レックスや石英ガラス等の紫外線を透過する均一で平滑
な板状体であるが、紫外線を透過して均一平滑な板状体
であれば樹脂材料、その他材料のものでもよい。透明導
電膜2はITO(Indium tim Oxide:
酸化インジウム)で酸化インジウムに6%程の酸化すず
を混合したもので、可視光に対しては透明性が高く目視
できないが、紫外光は吸収するという光学特性をもって
おり、該透明導電膜2を例えば真空蒸着法等で回路パタ
ーンを成膜するもので、図示の透明導電膜2は成膜され
た部分を示す。
【0010】図(a)では、可視光1を透明基板3に垂
直に入射し、その可視光の透過光4を光電子増倍管5に
入射して光増幅して可視光の透過光4の光強度を検知す
るもので、可視光1のIは、透明基板3だけの部分の入
射光、可視光1のIIは透明導電膜2の部分の入射光で
ある。図示において、透明導電膜2に厚さむら、異物付
着等の欠陥がある場合、可視光1−I、可視光1−II
の各々の透過光4が変化し、各々の光電子増倍管5の出
力差が生ずる。図(b)の紫外光6の場合も可視光1の
場合と同様に、Iは透明基板3だけの部分に入射する入
射光、IIは透明導電膜2の部分の入射光であり、紫外
光の透過光7は各々に光電子増倍管5に入射して光増幅
して紫外光の透過光7の光強度を検知する。以下に、I
TO膜と石英ガラスの紫外光の透過特性について説明す
る。
直に入射し、その可視光の透過光4を光電子増倍管5に
入射して光増幅して可視光の透過光4の光強度を検知す
るもので、可視光1のIは、透明基板3だけの部分の入
射光、可視光1のIIは透明導電膜2の部分の入射光で
ある。図示において、透明導電膜2に厚さむら、異物付
着等の欠陥がある場合、可視光1−I、可視光1−II
の各々の透過光4が変化し、各々の光電子増倍管5の出
力差が生ずる。図(b)の紫外光6の場合も可視光1の
場合と同様に、Iは透明基板3だけの部分に入射する入
射光、IIは透明導電膜2の部分の入射光であり、紫外
光の透過光7は各々に光電子増倍管5に入射して光増幅
して紫外光の透過光7の光強度を検知する。以下に、I
TO膜と石英ガラスの紫外光の透過特性について説明す
る。
【0011】図4は、ITO膜および石英ガラスの紫外
光透過率を示す図で、横軸に光波長、縦軸に光透過率(
%)を示してある。ITO膜に関しては光反射率も図示
している。このITO膜はすず6%を含む酸化インジウ
ムで真空蒸着法により成膜した膜厚2500Å(オング
ストローム)のものである。図示によると、ITO膜は
光の波長が0.4μm(マイクロメータ)以下の紫外光
を照射した場合、光透過率は急激に減少するが、一方石
英ガラスは0.4μm以下の波長の光でも90%以上透
過する。
光透過率を示す図で、横軸に光波長、縦軸に光透過率(
%)を示してある。ITO膜に関しては光反射率も図示
している。このITO膜はすず6%を含む酸化インジウ
ムで真空蒸着法により成膜した膜厚2500Å(オング
ストローム)のものである。図示によると、ITO膜は
光の波長が0.4μm(マイクロメータ)以下の紫外光
を照射した場合、光透過率は急激に減少するが、一方石
英ガラスは0.4μm以下の波長の光でも90%以上透
過する。
【0012】上述のように波長0.4μm以下の紫外光
は石英ガラスでは透過するが、ITO膜は透過しないの
で、図(b)において、ITO膜にピンホールがない場
合は紫外線の透過光7は点線で示すように極めて小さい
。従って光電子増倍管5の出力も小さく、紫外線6−I
の透過光7側の光電子増倍管5の出力と比較すると大き
い出力差があるが、もしピンホールがあれば光電子増倍
管5の出力が増大し、紫外線6−Iの透過光7の光電子
増倍管5の出力との比較値が近接する。これによりピン
ホールなどの欠陥を検知できる。上述のごとく、透明導
電膜2にピンホールなどの欠陥が存在すると、紫外光6
が透過し、該透過光は紫外光に対して増幅作用をもつ光
電子増倍管5等の紫外線ビジコンディテクターで光増幅
されて検出されるので、確実に欠陥検査を行うことが可
能である。しかしながら、紫外線6は不可視であり、人
間には直接検知できない。そのため通常のCCD(電荷
結合素子:Charge coupled devic
e)カメラなどによる撮像も困難である。
は石英ガラスでは透過するが、ITO膜は透過しないの
で、図(b)において、ITO膜にピンホールがない場
合は紫外線の透過光7は点線で示すように極めて小さい
。従って光電子増倍管5の出力も小さく、紫外線6−I
の透過光7側の光電子増倍管5の出力と比較すると大き
い出力差があるが、もしピンホールがあれば光電子増倍
管5の出力が増大し、紫外線6−Iの透過光7の光電子
増倍管5の出力との比較値が近接する。これによりピン
ホールなどの欠陥を検知できる。上述のごとく、透明導
電膜2にピンホールなどの欠陥が存在すると、紫外光6
が透過し、該透過光は紫外光に対して増幅作用をもつ光
電子増倍管5等の紫外線ビジコンディテクターで光増幅
されて検出されるので、確実に欠陥検査を行うことが可
能である。しかしながら、紫外線6は不可視であり、人
間には直接検知できない。そのため通常のCCD(電荷
結合素子:Charge coupled devic
e)カメラなどによる撮像も困難である。
【0013】図2は、本発明の他の実施例の構成を示す
図で、図中、8は蛍光体、9は蛍光で、図1と同一の作
用する部分には等しい符号を付している。図示のごとく
、透過した紫外光を可視化するため蛍光体8は透明基板
3を挾んで紫外光6の入射側と反対側に配置される。
図で、図中、8は蛍光体、9は蛍光で、図1と同一の作
用する部分には等しい符号を付している。図示のごとく
、透過した紫外光を可視化するため蛍光体8は透明基板
3を挾んで紫外光6の入射側と反対側に配置される。
【0014】透明導電膜2に入射する紫外光6−IIは
ピンホール等の欠陥がなければ吸収され、蛍光体8は発
光することはなく、ピンホール等の欠陥があれば欠陥部
分は発光する。透明導電膜2のない透明基板3に入射し
た紫外光6−Iは透過して蛍光体8に吸収される。この
結果、蛍光体8は発光する。ここで蛍光体8が可視光の
蛍光9を発光するものであれば、透過した紫外光は可視
化することができる。蛍光体8から発光した光は光電子
増倍管5,5で検知され比較される。
ピンホール等の欠陥がなければ吸収され、蛍光体8は発
光することはなく、ピンホール等の欠陥があれば欠陥部
分は発光する。透明導電膜2のない透明基板3に入射し
た紫外光6−Iは透過して蛍光体8に吸収される。この
結果、蛍光体8は発光する。ここで蛍光体8が可視光の
蛍光9を発光するものであれば、透過した紫外光は可視
化することができる。蛍光体8から発光した光は光電子
増倍管5,5で検知され比較される。
【0015】図3は、本発明の透明導電膜の検査装置の
構成を示す図で、図中、10は紫外光源、11はレンズ
、12は蛍光板、13はCCDカメラ、14は画像処理
装置で、図中、図1と同一の作用する部分には等しい符
号を付している。
構成を示す図で、図中、10は紫外光源、11はレンズ
、12は蛍光板、13はCCDカメラ、14は画像処理
装置で、図中、図1と同一の作用する部分には等しい符
号を付している。
【0016】図示のものは、透明導電膜2による配線パ
ターンを有した透明基板3などにおいて前記配線パター
ンを2次元パターンとして可視化するように、紫外光6
の入射側と反射側に蛍光板12を配置した例である。な
お、レンズ11は紫外光源10から発光する紫外光を平
行にして透明基板3を照射するためのものである。図示
において透明導電膜2による配線パターンのない部分は
紫外光6を透過し、透過光7は蛍光9を発光するが、配
線パターンの形成された部分は吸収し蛍光を発すること
がないので蛍光板12に表示される発光パターンは透明
基板3に形成された配線パターンを暗部として表現され
る。この発光パターンを目視あるいは一般のCCDカメ
ラ13などで撮像して画像処理装置14によってその配
線パターンを解析して検査することができる。
ターンを有した透明基板3などにおいて前記配線パター
ンを2次元パターンとして可視化するように、紫外光6
の入射側と反射側に蛍光板12を配置した例である。な
お、レンズ11は紫外光源10から発光する紫外光を平
行にして透明基板3を照射するためのものである。図示
において透明導電膜2による配線パターンのない部分は
紫外光6を透過し、透過光7は蛍光9を発光するが、配
線パターンの形成された部分は吸収し蛍光を発すること
がないので蛍光板12に表示される発光パターンは透明
基板3に形成された配線パターンを暗部として表現され
る。この発光パターンを目視あるいは一般のCCDカメ
ラ13などで撮像して画像処理装置14によってその配
線パターンを解析して検査することができる。
【0017】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 (1)請求項1に対応する効果;紫外光の照射により透
明基板では該紫外光の吸収はなく透過し、透明導電膜で
は吸収されるので透明導電膜の紫外光透過強度を検知す
ることにより透明導電膜の欠陥を確実に検査できる。 (2)請求項2に対応する効果;透明基板および透明導
電膜を透過した紫外光を蛍光体に吸収させ、蛍光を発光
することにより、不可視の紫外光を可視の蛍光とするこ
とができ、透明導電膜の欠陥を確実に検査できる。 (3)請求項3に対応する効果;透明基板および透明導
電膜を透過した紫外光を蛍光板に吸収させ、該蛍光体の
発光パターンを目視検査することで紫外光の2次元の強
度パターンを検査できる。 (4)請求項4に対応する効果;透明基板および透明導
電膜を透過した紫外光を蛍光板に吸収させ、該蛍光体の
発光パターンをCCDカメラなどで撮像し、画像処理装
置で紫外光の2次元パターンとして検査するので検査の
自動化が可能となる。
と、以下のような効果がある。 (1)請求項1に対応する効果;紫外光の照射により透
明基板では該紫外光の吸収はなく透過し、透明導電膜で
は吸収されるので透明導電膜の紫外光透過強度を検知す
ることにより透明導電膜の欠陥を確実に検査できる。 (2)請求項2に対応する効果;透明基板および透明導
電膜を透過した紫外光を蛍光体に吸収させ、蛍光を発光
することにより、不可視の紫外光を可視の蛍光とするこ
とができ、透明導電膜の欠陥を確実に検査できる。 (3)請求項3に対応する効果;透明基板および透明導
電膜を透過した紫外光を蛍光板に吸収させ、該蛍光体の
発光パターンを目視検査することで紫外光の2次元の強
度パターンを検査できる。 (4)請求項4に対応する効果;透明基板および透明導
電膜を透過した紫外光を蛍光板に吸収させ、該蛍光体の
発光パターンをCCDカメラなどで撮像し、画像処理装
置で紫外光の2次元パターンとして検査するので検査の
自動化が可能となる。
【図1】 本発明による透明導電膜の検査方法を説明
するための図である。
するための図である。
【図2】 本発明の他の実施例の構成を示す図である
。
。
【図3】 本発明の透明導電膜の検査装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図4】 ITO膜および石英ガラスの紫外光透過率
を示す図である。
を示す図である。
1…可視光、2…透明導電膜、3…透明基板、4…可視
光の透過光、5…光電子増倍管、6…紫外光、7…紫外
光の透過光。
光の透過光、5…光電子増倍管、6…紫外光、7…紫外
光の透過光。
Claims (4)
- 【請求項1】 紫外光を透過する透明基板上に成膜さ
れた透明導電膜に紫外光を照射し、前記透明導電膜の欠
陥を透過した紫外光の透過強度から検知することを特徴
とした透明導電膜の検査方法。 - 【請求項2】 紫外光を透過する透明基板上に成膜さ
れた透明導電膜に紫外光を照射し、透過した紫外光を、
透過側に配設され紫外光を吸収して紫外光量に応じた強
度の蛍光を発する蛍光体により受光し、受光により該蛍
光体の発する発光強度を検知し、検知した発光強度から
透明導電膜の欠陥を検査することを特徴とした請求項1
記載の透明導電膜の検査方法。 - 【請求項3】 紫外光を透過する透明基板上に成膜さ
れた透明導電膜に、紫外線を照射する光源と、該光源か
ら照射された紫外光量を吸収し、該紫外光量に応じた強
度の可視光を発する蛍光板と、前記光源から照射された
紫外光を、透明導電膜を成膜した透明基板に照射する照
明手段と、前記蛍光板に前記透明導電膜を透過した紫外
線を受光する受光手段とから成ることを特徴とする透明
導電膜の検査装置。 - 【請求項4】 紫外光を透過する透明基板上に成膜さ
れた透明導電膜に紫外線を照射する照明手段と、前記透
明導電膜を透過した紫外光を吸収して可視光を発する蛍
光板と、該蛍光板の発光パターンを撮像する撮像手段と
、該撮像手段により撮像された蛍光板の発光パターンの
画像を処理する画像処理手段とから成ることを特徴とし
た透明電導膜の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7048191A JPH04282441A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 透明導電膜の検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7048191A JPH04282441A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 透明導電膜の検査方法および検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04282441A true JPH04282441A (ja) | 1992-10-07 |
Family
ID=13432759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7048191A Pending JPH04282441A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 透明導電膜の検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04282441A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001035084A1 (en) * | 1998-05-12 | 2001-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection apparatus |
WO2013035524A1 (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-14 | 東レエンジニアリング株式会社 | 透明電極の観察装置および透明電極の観察方法 |
JP2014106172A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Pulstec Industrial Co Ltd | 透明電極検査装置 |
JP2014109514A (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | National Printing Bureau | シートの品質管理装置及び品質管理方法 |
WO2020075060A1 (en) * | 2018-10-11 | 2020-04-16 | Ethicon, Inc. | Systems and methods of using uv absorbent coatings for detecting defects in substrates used to make sterile medical device packages |
-
1991
- 1991-03-11 JP JP7048191A patent/JPH04282441A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US10914685B2 (en) | 2018-10-11 | 2021-02-09 | Ethicon, Inc. | Systems and methods of using UV absorbent coatings for detecting defects in substrates used to make sterile medical device packages |
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