JPH0427409A - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
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- JPH0427409A JPH0427409A JP13209190A JP13209190A JPH0427409A JP H0427409 A JPH0427409 A JP H0427409A JP 13209190 A JP13209190 A JP 13209190A JP 13209190 A JP13209190 A JP 13209190A JP H0427409 A JPH0427409 A JP H0427409A
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- chamber
- fan
- air
- airflow
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、空気を浄化する空気清浄装置に関し、特に軽
量・薄型・低騒音であって、廖埃の捕集効率に優れ、さ
らには浄化された空気が層流となって排出される空気清
浄装置に関する。
量・薄型・低騒音であって、廖埃の捕集効率に優れ、さ
らには浄化された空気が層流となって排出される空気清
浄装置に関する。
(従来の技術)
半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオテクノロ
ジー、製薬工業などの分野においては、超高度の清浄空
間が必要とされる。清浄空間には、作業環境全域を清浄
化するクリーンルーム、作業環境を局部的に清浄化する
クリーンベンチやクリーンブースなどがある。このよう
な清浄空間を形成するために、ファンとエアーフィルタ
ーとを組合わせた空気清浄装置が用いられる。
ジー、製薬工業などの分野においては、超高度の清浄空
間が必要とされる。清浄空間には、作業環境全域を清浄
化するクリーンルーム、作業環境を局部的に清浄化する
クリーンベンチやクリーンブースなどがある。このよう
な清浄空間を形成するために、ファンとエアーフィルタ
ーとを組合わせた空気清浄装置が用いられる。
従来の空気清浄装置では、ファンから送出される空気流
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると、エアーフィルターから
排出される空気は乱流となる。該乱流が、例えばクリー
ンルーム内に吹出すれると、塵埃が滞留するので高度の
清浄度が得られない。また、防音、遮音について考慮さ
れておらず、騒音が高いという問題点がある。
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると、エアーフィルターから
排出される空気は乱流となる。該乱流が、例えばクリー
ンルーム内に吹出すれると、塵埃が滞留するので高度の
清浄度が得られない。また、防音、遮音について考慮さ
れておらず、騒音が高いという問題点がある。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、その
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ、例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも低騒音の
空気清浄装置を提供することにある。
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ、例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも低騒音の
空気清浄装置を提供することにある。
(課題を解決するための手段)
本発明の空気清浄装置は、内部に浄化室が設けられたケ
ーシングと、該浄化室内を、気流流入側のファン室およ
び該ファン室に連通ずる消音室と気流排出側のフィルタ
ー室とに分割すると共に、該消音室と該フィルター室と
を連通ずる連通口を有する盲板と、該ファン室内に配設
されて該盲板に沿って気流を送出するファンと、該フィ
ルター室内に配設されたエアーフィルターと、該ファン
から該消音室内に送出された気流を整流して該エアーフ
ィルターに導くための、該連通口に配設された相互に平
行する複数の流路を形成する整流偏向板と、を具備して
おり、そのことによって上記目的が達成される。
ーシングと、該浄化室内を、気流流入側のファン室およ
び該ファン室に連通ずる消音室と気流排出側のフィルタ
ー室とに分割すると共に、該消音室と該フィルター室と
を連通ずる連通口を有する盲板と、該ファン室内に配設
されて該盲板に沿って気流を送出するファンと、該フィ
ルター室内に配設されたエアーフィルターと、該ファン
から該消音室内に送出された気流を整流して該エアーフ
ィルターに導くための、該連通口に配設された相互に平
行する複数の流路を形成する整流偏向板と、を具備して
おり、そのことによって上記目的が達成される。
また、前記エアーフィルターの気流流入側の全面を覆う
多孔板を更に具備する構成とすることもし得る。
多孔板を更に具備する構成とすることもし得る。
(実施例)
本発明の実施例について以下に説明する。
第1図及び第2図に、本発明の空気清浄装置の一実施例
の斜視図及び平面図を示す。第3図に第2図のm−m線
に沿った断面図を示す。尚、第1図および第2図では、
空気清浄装置の上部の蓋部を除去して示しである。本発
明の空気清浄装置は、第1図および第2図に示すように
、ファン室11と消音室14とフィルター室12とを有
する浄化室10が設けられたケーシング1と、ファン室
lI内に配設されたファン2およびフィルター室12内
に設けられたエアーフィルター3を有する。浄化室10
内を空気が通流する間に、該空気は浄化される。
の斜視図及び平面図を示す。第3図に第2図のm−m線
に沿った断面図を示す。尚、第1図および第2図では、
空気清浄装置の上部の蓋部を除去して示しである。本発
明の空気清浄装置は、第1図および第2図に示すように
、ファン室11と消音室14とフィルター室12とを有
する浄化室10が設けられたケーシング1と、ファン室
lI内に配設されたファン2およびフィルター室12内
に設けられたエアーフィルター3を有する。浄化室10
内を空気が通流する間に、該空気は浄化される。
浄化室10は、盲板4により気流流入側のファン室11
および消音室14と、気流排出側のフィルター室12と
に分割される。盲板4の4つの周側面のうち2側面は、
浄化室10の2つの周側面に当接しているが、他の2つ
の側面は、該浄化室10の側面から離隔しており、この
離隔した一方の部分にて、ファン室11および消音室1
4とフィルター室12とを連通ずる連通口13を形成し
ている。
および消音室14と、気流排出側のフィルター室12と
に分割される。盲板4の4つの周側面のうち2側面は、
浄化室10の2つの周側面に当接しているが、他の2つ
の側面は、該浄化室10の側面から離隔しており、この
離隔した一方の部分にて、ファン室11および消音室1
4とフィルター室12とを連通ずる連通口13を形成し
ている。
連通口13は、ケーシング1の幅方向の全域に亘って設
けられている。一方、ファン2の送出口21は、ケーシ
ング1の幅の略2分の1の幅を有している。連通口13
と送出口21との間には、ケーシング1の側壁および気
流案内板6によって、徐々に幅の変化する消音室14が
形成されている。気流案内板6はファン2およびケーシ
ング1とは気密に接している。ファン室llに配設され
ているファン2よって盲板4に沿って消音室14へ送出
される気流は、徐々に幅の変化する消音室14の形状の
拡散効果により、連通口13に均等に導入される。また
、ファン2から発生する騒音も、この消音室14の拡散
効果により低減される。
けられている。一方、ファン2の送出口21は、ケーシ
ング1の幅の略2分の1の幅を有している。連通口13
と送出口21との間には、ケーシング1の側壁および気
流案内板6によって、徐々に幅の変化する消音室14が
形成されている。気流案内板6はファン2およびケーシ
ング1とは気密に接している。ファン室llに配設され
ているファン2よって盲板4に沿って消音室14へ送出
される気流は、徐々に幅の変化する消音室14の形状の
拡散効果により、連通口13に均等に導入される。また
、ファン2から発生する騒音も、この消音室14の拡散
効果により低減される。
ファン2の送出口21の反対側には、遮音パネル16が
浄化室10の幅方向の全域に亘って設けられている。遮
音パネル1Gには金属板が使用されるが、制量鉄板、ゴ
ム等の吸音材を貼付した鉄板等も用い得る。
浄化室10の幅方向の全域に亘って設けられている。遮
音パネル1Gには金属板が使用されるが、制量鉄板、ゴ
ム等の吸音材を貼付した鉄板等も用い得る。
浄化室lOのフィルター室12内には、盲板4とは所定
間隔をあけてエアーフィルター3が設けられている。該
エアーフィルター3は、ケーシング1の四周面に対し気
密状に取付けられている。エアーフィルター3のフィル
ター室12側には、該エアーフィルター3とは所定間隔
を置いて、多孔板であるパンチングプレート15が設け
られている。パンチングプレート15は連通口13を通
過した気流を分散、整流して、均等な空気流をエアーフ
ィルタ3上の全面に供給する機能を果たす。多孔板とし
て、パンチングブレー)15の代わりに金属、ブラスチ
ック等の網状物も用い得る。
間隔をあけてエアーフィルター3が設けられている。該
エアーフィルター3は、ケーシング1の四周面に対し気
密状に取付けられている。エアーフィルター3のフィル
ター室12側には、該エアーフィルター3とは所定間隔
を置いて、多孔板であるパンチングプレート15が設け
られている。パンチングプレート15は連通口13を通
過した気流を分散、整流して、均等な空気流をエアーフ
ィルタ3上の全面に供給する機能を果たす。多孔板とし
て、パンチングブレー)15の代わりに金属、ブラスチ
ック等の網状物も用い得る。
浄化室10における消音室14とフィルター室12とを
連通ずる連通口13内には、3枚の整流偏向板51、S
2、及び53が平行に配設されている。各整流偏向板5
1.52、及び53は、連通口13の長さ方向(ケーシ
ングlの幅方向)の全域にわたって嵌合されている。ま
た、各整流偏向板51.52、及び53は、連通口13
を4等分するように等間隔で配列されている。各整流偏
向板51.52、及び53の上下方向の長さは、ファン
2から近いものから遠いものへと、順に長くなっている
。即ち、ファン2に最も近くに位置する整流偏向板51
が最も短(、ファン2から最も遠くに位置する整流偏向
板53が最も長い。
連通ずる連通口13内には、3枚の整流偏向板51、S
2、及び53が平行に配設されている。各整流偏向板5
1.52、及び53は、連通口13の長さ方向(ケーシ
ングlの幅方向)の全域にわたって嵌合されている。ま
た、各整流偏向板51.52、及び53は、連通口13
を4等分するように等間隔で配列されている。各整流偏
向板51.52、及び53の上下方向の長さは、ファン
2から近いものから遠いものへと、順に長くなっている
。即ち、ファン2に最も近くに位置する整流偏向板51
が最も短(、ファン2から最も遠くに位置する整流偏向
板53が最も長い。
各整流偏向板5L 52、及び53の上端部は、ファン
2の気流流入方向に屈曲している。また、各整流偏向板
51.52、及び53の上端部は、消音室14の上下方
向の長さを4等分する位置に配設されているO各整流偏
向板51.52、及び53の下端部は、気流流出方向に
屈曲している。このような整流偏向板51.52、及び
53の構成により、相互に平行する4個の流路が連通口
13に形成される。4個の流路は、ファン2から消音室
14内に送出された気流を整流して、均等にパンチング
プレート15上に供給する。
2の気流流入方向に屈曲している。また、各整流偏向板
51.52、及び53の上端部は、消音室14の上下方
向の長さを4等分する位置に配設されているO各整流偏
向板51.52、及び53の下端部は、気流流出方向に
屈曲している。このような整流偏向板51.52、及び
53の構成により、相互に平行する4個の流路が連通口
13に形成される。4個の流路は、ファン2から消音室
14内に送出された気流を整流して、均等にパンチング
プレート15上に供給する。
本実施例では3枚の整流偏向板を設けたが、本発明はこ
れに限定されるものではない。ファン2の送風量にもよ
るが、整流偏向板の数が3枚より少ない場合には、整流
効果が小さくなるので好ましくない。4枚以上の整流偏
向板を設けると、空気清浄装置の重量が増加し、また、
整流偏向板の取付工程の増加によりコストアップとなる
ので好ましくない。
れに限定されるものではない。ファン2の送風量にもよ
るが、整流偏向板の数が3枚より少ない場合には、整流
効果が小さくなるので好ましくない。4枚以上の整流偏
向板を設けると、空気清浄装置の重量が増加し、また、
整流偏向板の取付工程の増加によりコストアップとなる
ので好ましくない。
本実施例では吸音効果を高めるため、盲板4は2枚の鉄
板を有し、これらの鉄板の間にはグラスウールが充填さ
れている。盲板4の厚さは約25m−である。充填され
ているグラスウールは、48kg/I”のものである。
板を有し、これらの鉄板の間にはグラスウールが充填さ
れている。盲板4の厚さは約25m−である。充填され
ているグラスウールは、48kg/I”のものである。
また、消音室14を囲むケーシング1、気流案内板6、
および上部の蓋17にも、吸音効果を高めるために、4
8kg/+*”のグラスウールが約25avの厚さに貼
り付けられている。
および上部の蓋17にも、吸音効果を高めるために、4
8kg/+*”のグラスウールが約25avの厚さに貼
り付けられている。
上記構成を有する空気清浄装置を、空気の流れに沿って
説明する。ファン室II内のファン2は、その軸方向に
沿って空気をファン2内に吸引する。
説明する。ファン室II内のファン2は、その軸方向に
沿って空気をファン2内に吸引する。
ファン2は、その送出口21から盲板4に沿って気流を
消音室14内に送出する。消音室14へ送出された気流
は、徐々に幅の変化する消音室14の形状の拡散効果に
より、連通口13に均等に導入される。
消音室14内に送出する。消音室14へ送出された気流
は、徐々に幅の変化する消音室14の形状の拡散効果に
より、連通口13に均等に導入される。
また、ファン2から発生する騒音も、消音室14の拡散
効果により低減される。
効果により低減される。
消音室14から流出した気流は、整流偏向板51.52
及び53によって形成される等間隔の4個の流路に導入
される。これらの流路に導入された気流は、各整流偏向
板51.52、及び53に沿って移動する間に整流され
る。整流された気流は、各整流偏向板に51.52、及
び53の気流流出方向に屈曲した下端部によってフィル
ター室12内に導入される。
及び53によって形成される等間隔の4個の流路に導入
される。これらの流路に導入された気流は、各整流偏向
板51.52、及び53に沿って移動する間に整流され
る。整流された気流は、各整流偏向板に51.52、及
び53の気流流出方向に屈曲した下端部によってフィル
ター室12内に導入される。
フィルター室12内に導入された気流は、パンチングプ
レート15によって分散され、均一化されてエアーフィ
ルター3上の全面に供給される。)くンチングプレート
15を通過した気流はエアーフィルター3を通過する間
に浄化され、浄化室10外へ排出される。このように、
整流偏向板5152、及び53によって整流された気流
は、更にパンチングプレート15によって分散、均一化
されため、フィルター室12から排出される気流は層流
となっている。
レート15によって分散され、均一化されてエアーフィ
ルター3上の全面に供給される。)くンチングプレート
15を通過した気流はエアーフィルター3を通過する間
に浄化され、浄化室10外へ排出される。このように、
整流偏向板5152、及び53によって整流された気流
は、更にパンチングプレート15によって分散、均一化
されため、フィルター室12から排出される気流は層流
となっている。
整流効果は、以下に示す式で表すことができる。
風速の標準偏差
整流効果=
平均風速(m/秒)
従来の空気清浄装置では、整流効果の値は0.205で
あった。これに対し本実施例の空気清浄装置では、整流
効果の値は0.128であった。このように本実施例の
空気清浄装置は、高い整流効果を有している。
あった。これに対し本実施例の空気清浄装置では、整流
効果の値は0.128であった。このように本実施例の
空気清浄装置は、高い整流効果を有している。
本実施例の空気清浄装置には、ファン2と連通口13と
の間に、その幅が徐々に変化する消音室14が設けられ
ているので、高い騒音防止効果が得られる。また、本実
施例では、消音室14を囲むケーシング1、気流案内板
6、及び蓋17にはグラスウールが貼り付けられている
。また、盲板4は2枚の鉄板を有し、これらの鉄板の間
にはグラスウ−ルが充填されている。更に本実施例では
、ファン2の送出口210反対側に遮音パネル16が設
けられている。このような構成により、防音効果が更に
高められている。運転中の空気清浄装置の下方1mに於
ける騒音は、従来の空気清浄装置では、例えば55dB
であった。これに対し、本実施例の空気清浄装置では5
0dBであった。このように、本実施例の空気清浄装置
は、高い防音効果を有していることがわかる。
の間に、その幅が徐々に変化する消音室14が設けられ
ているので、高い騒音防止効果が得られる。また、本実
施例では、消音室14を囲むケーシング1、気流案内板
6、及び蓋17にはグラスウールが貼り付けられている
。また、盲板4は2枚の鉄板を有し、これらの鉄板の間
にはグラスウ−ルが充填されている。更に本実施例では
、ファン2の送出口210反対側に遮音パネル16が設
けられている。このような構成により、防音効果が更に
高められている。運転中の空気清浄装置の下方1mに於
ける騒音は、従来の空気清浄装置では、例えば55dB
であった。これに対し、本実施例の空気清浄装置では5
0dBであった。このように、本実施例の空気清浄装置
は、高い防音効果を有していることがわかる。
(発明の効果)
本発明の空気清浄装置では、このように、ファンから送
出される気流の流路が長く、気流整流効果の高い整流偏
向板が設けられているため、気流は効率よ(整流され、
均一化されている。従って、該気流は、均一な風速分布
をもってゆるやかにエアーフィルターに導入され、エア
ーフィルターから層流として排出される。また、パンチ
ングプレートを設けた構成により、排出される気流は更
に整流され均一化されたものとなる。このように、本発
明の空気清浄装置を用いれば、排出される気流は層流と
なるため、クリーンルーム内の塵埃)滞留が防止され、
高い清浄度が確実に得られる。
出される気流の流路が長く、気流整流効果の高い整流偏
向板が設けられているため、気流は効率よ(整流され、
均一化されている。従って、該気流は、均一な風速分布
をもってゆるやかにエアーフィルターに導入され、エア
ーフィルターから層流として排出される。また、パンチ
ングプレートを設けた構成により、排出される気流は更
に整流され均一化されたものとなる。このように、本発
明の空気清浄装置を用いれば、排出される気流は層流と
なるため、クリーンルーム内の塵埃)滞留が防止され、
高い清浄度が確実に得られる。
また、本発明の空気清浄装置の浄化室内には消音室が設
けられているので、低騒音の運転が可能となる。
けられているので、低騒音の運転が可能となる。
4、 の な雷日
第1図は本発明の空気清浄装置の一例を示す一部破断斜
視図、第2図は第1図の空気清浄装置の平面図、第3図
は第2図の■−■線に沿った断面図である。
視図、第2図は第1図の空気清浄装置の平面図、第3図
は第2図の■−■線に沿った断面図である。
1・・・ケーシング、2・・・ファン、3・・・エアー
フィルター 4・・・盲板、6・・・気流案内板、11
・・・ファン室、12・・・フィルター室、13・・・
連通口、 15・・・パンチングプレート、16・・
・遮音パネル、51. 52. 53・・・整流偏向板
。
フィルター 4・・・盲板、6・・・気流案内板、11
・・・ファン室、12・・・フィルター室、13・・・
連通口、 15・・・パンチングプレート、16・・
・遮音パネル、51. 52. 53・・・整流偏向板
。
以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、内部に浄化室が設けられたケーシングと、該浄化室
内を、気流流入側のファン室および該ファン室に連通す
る消音室と気流排出側のフィルター室とに分割すると共
に、該消音室と該フィルター室とを連通する連通口を有
する盲板と、該ファン室内に配設されて該盲板に沿って
気流を送出するファンと、 該フィルター室内に配設されたエアーフィルターと、 該ファンから該消音室内に送出された気流を整流して該
エアーフィルターに導くための、該連通口に配設された
相互に平行する複数の流路を形成する整流偏向板と、 を具備する空気清浄装置。 2、前記エアーフィルターの気流流入側の全面を覆う多
孔板を更に具備する、請求項1に記載の空気清浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2132091A JPH0775650B2 (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2132091A JPH0775650B2 (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 空気清浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0427409A true JPH0427409A (ja) | 1992-01-30 |
JPH0775650B2 JPH0775650B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=15073281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2132091A Expired - Lifetime JPH0775650B2 (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0775650B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100445381B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2004-08-25 | 한국과학기술연구원 | 자동세정형 충돌점착식 공기여과장치용 기류균일화장치 및그를 포함하는 공기여과장치 |
JP2008086873A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Japan Servo Co Ltd | ファンフィルタユニット |
JP2015055162A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 日本電産株式会社 | 送風ファンおよび電子機器 |
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JPS62182540A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-10 | Nitta Kk | 空気清浄装置 |
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1990
- 1990-05-22 JP JP2132091A patent/JPH0775650B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPH0775650B2 (ja) | 1995-08-16 |
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