JPH0427409A

JPH0427409A - 空気清浄装置

Info

Publication number: JPH0427409A
Application number: JP13209190A
Authority: JP
Inventors: Keiji Yoshimura; 芳村　恵司
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1990-05-22
Filing date: 1990-05-22
Publication date: 1992-01-30
Anticipated expiration: 2010-08-16
Also published as: JPH0775650B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、空気を浄化する空気清浄装置に関し、特に軽
量・薄型・低騒音であって、廖埃の捕集効率に優れ、さ
らには浄化された空気が層流となって排出される空気清
浄装置に関する。

（従来の技術）半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオテクノロ
ジー、製薬工業などの分野においては、超高度の清浄空
間が必要とされる。清浄空間には、作業環境全域を清浄
化するクリーンルーム、作業環境を局部的に清浄化する
クリーンベンチやクリーンブースなどがある。このよう
な清浄空間を形成するために、ファンとエアーフィルタ
ーとを組合わせた空気清浄装置が用いられる。

従来の空気清浄装置では、ファンから送出される空気流
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると、エアーフィルターから
排出される空気は乱流となる。該乱流が、例えばクリー
ンルーム内に吹出すれると、塵埃が滞留するので高度の
清浄度が得られない。また、防音、遮音について考慮さ
れておらず、騒音が高いという問題点がある。

（発明が解決しようとする課題）本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、その
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ、例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも低騒音の
空気清浄装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段）本発明の空気清浄装置は、内部に浄化室が設けられたケ
ーシングと、該浄化室内を、気流流入側のファン室およ
び該ファン室に連通ずる消音室と気流排出側のフィルタ
ー室とに分割すると共に、該消音室と該フィルター室と
を連通ずる連通口を有する盲板と、該ファン室内に配設
されて該盲板に沿って気流を送出するファンと、該フィ
ルター室内に配設されたエアーフィルターと、該ファン
から該消音室内に送出された気流を整流して該エアーフ
ィルターに導くための、該連通口に配設された相互に平
行する複数の流路を形成する整流偏向板と、を具備して
おり、そのことによって上記目的が達成される。

また、前記エアーフィルターの気流流入側の全面を覆う
多孔板を更に具備する構成とすることもし得る。

（実施例）本発明の実施例について以下に説明する。

第１図及び第２図に、本発明の空気清浄装置の一実施例
の斜視図及び平面図を示す。第３図に第２図のｍ−ｍ線
に沿った断面図を示す。尚、第１図および第２図では、
空気清浄装置の上部の蓋部を除去して示しである。本発
明の空気清浄装置は、第１図および第２図に示すように
、ファン室１１と消音室１４とフィルター室１２とを有
する浄化室１０が設けられたケーシング１と、ファン室
ｌＩ内に配設されたファン２およびフィルター室１２内
に設けられたエアーフィルター３を有する。浄化室１０
内を空気が通流する間に、該空気は浄化される。

浄化室１０は、盲板４により気流流入側のファン室１１
および消音室１４と、気流排出側のフィルター室１２と
に分割される。盲板４の４つの周側面のうち２側面は、
浄化室１０の２つの周側面に当接しているが、他の２つ
の側面は、該浄化室１０の側面から離隔しており、この
離隔した一方の部分にて、ファン室１１および消音室１
４とフィルター室１２とを連通ずる連通口１３を形成し
ている。

連通口１３は、ケーシング１の幅方向の全域に亘って設
けられている。一方、ファン２の送出口２１は、ケーシ
ング１の幅の略２分の１の幅を有している。連通口１３
と送出口２１との間には、ケーシング１の側壁および気
流案内板６によって、徐々に幅の変化する消音室１４が
形成されている。気流案内板６はファン２およびケーシ
ング１とは気密に接している。ファン室ｌｌに配設され
ているファン２よって盲板４に沿って消音室１４へ送出
される気流は、徐々に幅の変化する消音室１４の形状の
拡散効果により、連通口１３に均等に導入される。また
、ファン２から発生する騒音も、この消音室１４の拡散
効果により低減される。

ファン２の送出口２１の反対側には、遮音パネル１６が
浄化室１０の幅方向の全域に亘って設けられている。遮
音パネル１Ｇには金属板が使用されるが、制量鉄板、ゴ
ム等の吸音材を貼付した鉄板等も用い得る。

浄化室ｌＯのフィルター室１２内には、盲板４とは所定
間隔をあけてエアーフィルター３が設けられている。該
エアーフィルター３は、ケーシング１の四周面に対し気
密状に取付けられている。エアーフィルター３のフィル
ター室１２側には、該エアーフィルター３とは所定間隔
を置いて、多孔板であるパンチングプレート１５が設け
られている。パンチングプレート１５は連通口１３を通
過した気流を分散、整流して、均等な空気流をエアーフ
ィルタ３上の全面に供給する機能を果たす。多孔板とし
て、パンチングブレー）１５の代わりに金属、ブラスチ
ック等の網状物も用い得る。

浄化室１０における消音室１４とフィルター室１２とを
連通ずる連通口１３内には、３枚の整流偏向板５１、Ｓ
２、及び５３が平行に配設されている。各整流偏向板５
１．５２、及び５３は、連通口１３の長さ方向（ケーシ
ングｌの幅方向）の全域にわたって嵌合されている。ま
た、各整流偏向板５１．５２、及び５３は、連通口１３
を４等分するように等間隔で配列されている。各整流偏
向板５１．５２、及び５３の上下方向の長さは、ファン
２から近いものから遠いものへと、順に長くなっている
。即ち、ファン２に最も近くに位置する整流偏向板５１
が最も短（、ファン２から最も遠くに位置する整流偏向
板５３が最も長い。

各整流偏向板５Ｌ　５２、及び５３の上端部は、ファン
２の気流流入方向に屈曲している。また、各整流偏向板
５１．５２、及び５３の上端部は、消音室１４の上下方
向の長さを４等分する位置に配設されているＯ各整流偏
向板５１．５２、及び５３の下端部は、気流流出方向に
屈曲している。このような整流偏向板５１．５２、及び
５３の構成により、相互に平行する４個の流路が連通口
１３に形成される。４個の流路は、ファン２から消音室
１４内に送出された気流を整流して、均等にパンチング
プレート１５上に供給する。

本実施例では３枚の整流偏向板を設けたが、本発明はこ
れに限定されるものではない。ファン２の送風量にもよ
るが、整流偏向板の数が３枚より少ない場合には、整流
効果が小さくなるので好ましくない。４枚以上の整流偏
向板を設けると、空気清浄装置の重量が増加し、また、
整流偏向板の取付工程の増加によりコストアップとなる
ので好ましくない。

本実施例では吸音効果を高めるため、盲板４は２枚の鉄
板を有し、これらの鉄板の間にはグラスウールが充填さ
れている。盲板４の厚さは約２５ｍ−である。充填され
ているグラスウールは、４８ｋｇ／Ｉ”のものである。

また、消音室１４を囲むケーシング１、気流案内板６、
および上部の蓋１７にも、吸音効果を高めるために、４
８ｋｇ／＋＊”のグラスウールが約２５ａｖの厚さに貼
り付けられている。

上記構成を有する空気清浄装置を、空気の流れに沿って
説明する。ファン室ＩＩ内のファン２は、その軸方向に
沿って空気をファン２内に吸引する。

ファン２は、その送出口２１から盲板４に沿って気流を
消音室１４内に送出する。消音室１４へ送出された気流
は、徐々に幅の変化する消音室１４の形状の拡散効果に
より、連通口１３に均等に導入される。

また、ファン２から発生する騒音も、消音室１４の拡散
効果により低減される。

消音室１４から流出した気流は、整流偏向板５１．５２
及び５３によって形成される等間隔の４個の流路に導入
される。これらの流路に導入された気流は、各整流偏向
板５１．５２、及び５３に沿って移動する間に整流され
る。整流された気流は、各整流偏向板に５１．５２、及
び５３の気流流出方向に屈曲した下端部によってフィル
ター室１２内に導入される。

フィルター室１２内に導入された気流は、パンチングプ
レート１５によって分散され、均一化されてエアーフィ
ルター３上の全面に供給される。）くンチングプレート
１５を通過した気流はエアーフィルター３を通過する間
に浄化され、浄化室１０外へ排出される。このように、
整流偏向板５１５２、及び５３によって整流された気流
は、更にパンチングプレート１５によって分散、均一化
されため、フィルター室１２から排出される気流は層流
となっている。

整流効果は、以下に示す式で表すことができる。

風速の標準偏差整流効果＝平均風速（ｍ／秒）従来の空気清浄装置では、整流効果の値は０．２０５で
あった。これに対し本実施例の空気清浄装置では、整流
効果の値は０．１２８であった。このように本実施例の
空気清浄装置は、高い整流効果を有している。

本実施例の空気清浄装置には、ファン２と連通口１３と
の間に、その幅が徐々に変化する消音室１４が設けられ
ているので、高い騒音防止効果が得られる。また、本実
施例では、消音室１４を囲むケーシング１、気流案内板
６、及び蓋１７にはグラスウールが貼り付けられている
。また、盲板４は２枚の鉄板を有し、これらの鉄板の間
にはグラスウ−ルが充填されている。更に本実施例では
、ファン２の送出口２１０反対側に遮音パネル１６が設
けられている。このような構成により、防音効果が更に
高められている。運転中の空気清浄装置の下方１ｍに於
ける騒音は、従来の空気清浄装置では、例えば５５ｄＢ
であった。これに対し、本実施例の空気清浄装置では５
０ｄＢであった。このように、本実施例の空気清浄装置
は、高い防音効果を有していることがわかる。

（発明の効果）本発明の空気清浄装置では、このように、ファンから送
出される気流の流路が長く、気流整流効果の高い整流偏
向板が設けられているため、気流は効率よ（整流され、
均一化されている。従って、該気流は、均一な風速分布
をもってゆるやかにエアーフィルターに導入され、エア
ーフィルターから層流として排出される。また、パンチ
ングプレートを設けた構成により、排出される気流は更
に整流され均一化されたものとなる。このように、本発
明の空気清浄装置を用いれば、排出される気流は層流と
なるため、クリーンルーム内の塵埃）滞留が防止され、
高い清浄度が確実に得られる。

また、本発明の空気清浄装置の浄化室内には消音室が設
けられているので、低騒音の運転が可能となる。

４、　　　の　　な雷日第１図は本発明の空気清浄装置の一例を示す一部破断斜
視図、第２図は第１図の空気清浄装置の平面図、第３図
は第２図の■−■線に沿った断面図である。

１・・・ケーシング、２・・・ファン、３・・・エアー
フィルター　４・・・盲板、６・・・気流案内板、１１
・・・ファン室、１２・・・フィルター室、１３・・・
連通口、　　１５・・・パンチングプレート、１６・・
・遮音パネル、５１．　５２．　５３・・・整流偏向板
。

以上

Claims

【特許請求の範囲】１、内部に浄化室が設けられたケーシングと、該浄化室
内を、気流流入側のファン室および該ファン室に連通す
る消音室と気流排出側のフィルター室とに分割すると共
に、該消音室と該フィルター室とを連通する連通口を有
する盲板と、該ファン室内に配設されて該盲板に沿って
気流を送出するファンと、該フィルター室内に配設されたエアーフィルターと、該ファンから該消音室内に送出された気流を整流して該
エアーフィルターに導くための、該連通口に配設された
相互に平行する複数の流路を形成する整流偏向板と、を具備する空気清浄装置。２、前記エアーフィルターの気流流入側の全面を覆う多
孔板を更に具備する、請求項１に記載の空気清浄装置。