JP3420722B2 - 局所空気清浄装置 - Google Patents

局所空気清浄装置

Info

Publication number
JP3420722B2
JP3420722B2 JP16844399A JP16844399A JP3420722B2 JP 3420722 B2 JP3420722 B2 JP 3420722B2 JP 16844399 A JP16844399 A JP 16844399A JP 16844399 A JP16844399 A JP 16844399A JP 3420722 B2 JP3420722 B2 JP 3420722B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter unit
fan filter
support member
ceiling
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP16844399A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000356378A (ja
Inventor
一也 吉田
一郎 藤沢
隆夫 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Dan Co Ltd
Original Assignee
Dai Dan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Dan Co Ltd filed Critical Dai Dan Co Ltd
Priority to JP16844399A priority Critical patent/JP3420722B2/ja
Publication of JP2000356378A publication Critical patent/JP2000356378A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3420722B2 publication Critical patent/JP3420722B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
おいて任意区域の清浄度を局所的に高める局所空気清浄
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の空気清浄装置は、図７に示すよう
に、クリーンルーム１１の天井１２に給気口１３と還気
口１４を設け、天井１２内に前記給気口１３と還気口１
４に接続されるダクト１５を設けてを空気循環系を構成
し、前記空気循環系内に送風機１６とフィルター１７を
設けることによって、循環空気を浄化しクリーンルーム
内を清浄に維持している。
【０００３】しかしながら、従来の空気清浄装置では、
空気清浄装置を取り付け後、容易に給気口と還気口の配
置を変更することができず、例えば半導体工場のように
製造装置レイアウトが短期間の周期で変更するような用
途には十分対応することができなかった。
【０００４】したがって、従来の空気清浄装置はクリー
ンルーム全体を均等に高い清浄度に保つように、換気量
を増やし、クリーンルームの天井に多数の給気口を配置
し対処していた。しかし、換気量が過大となるために運
転エネルギーが増大し、多大な運転コストを必要とす
る。また、設備も大掛かりとなりイニシャルコストも増
加する問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事情に
鑑みてなされたもので、クリーンルームにおいて任意区
域の清浄度を局所的に高めることができ、且つ設備規模
を抑えて設備費の低減を図り、しかも省エネルギーを実
施できる局所空気清浄装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の局所空気清浄装置は、クリーンルームの天井
から吊り下げられ周囲に垂れ壁が設けられた支持部材
と、この支持部材に移動可能に載置され且つクリーンル
ームの天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装
置及びフィルターよりなるファンフィルターユニットと
を具備し、ファンフィルターユニットとして、上面全て
をフィルターもしくは網状部材で覆ったファンフィルタ
ーユニットを用い、且つ支持部材に取り付けられたファ
ンフィルターユニットとファンフィルターユニットとの
間を空気流通可能にしたことを特徴とするものである。
【０００７】また本発明の局所空気清浄装置は、クリー
ンルームの天井から吊り下げられ周囲に垂れ壁が設けら
れた支持部材と、この支持部材に支持部材との接触面積
を小さくし滑りをよくするよう移動可能に載置され且つ
クリーンルームの天井との間に間隙を設けて取り付けら
れた送風装置及びフィルターよりなるファンフィルター
ユニットとを具備し、ファンフィルターユニットとし
て、上面全てをフィルターもしくは網状部材で覆ったフ
ァンフィルターユニットを用い、且つ支持部材に取り付
けられたファンフィルターユニットとファンフィルター
ユニットとの間を空気流通可能にしたことを特徴とする
ものである。
【０００８】また本発明は、前記局所空気清浄装置にお
いて、ファンフィルターユニットとして、空気吹出し面
の周辺部分の気流速度を周辺部分から内側部分の気流速
度より速くしたファンフィルターユニットを用いること
を特徴とするものである。
【０００９】
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態例を詳細に説明する。
【００１１】図１は本発明が適用されるクリーンルーム
の一部を示す構成斜視図である。すなわち、天井スラブ
２１の下方にはクリーンルーム天井ライン２２が設けら
れ、このクリーンルーム天井ライン２２には給気口２３
が空気を下方に吹き出すようにして設けられ、この給気
口２３はダクト２４を介してクリーンルーム系統空調機
２５に接続され、このクリーンルーム系統空調機２５は
ダクト２６を介して床スラブ２７近傍に設けられた還気
口２８に接続されて空気循環系が構成される。前記クリ
ーンルーム天井ライン２２には局所空気清浄装置２９が
吊り下げて取り付けられる。前記局所空気清浄装置２９
は周囲に垂れ壁３０が設けられた支持部材３１と、この
支持部材３１に前後もしくは左右方向にスライド可能に
且つ前記クリーンルーム天井ライン２２との間に間隙を
設けて取り付けられた送風装置及びフィルターよりなる
ファンフィルターユニット３２より構成される。３３は
高清浄度域である。
【００１２】図２は本発明に係る局所空気清浄装置の一
部を示す構成説明図である。すなわち、ファンフィルタ
ーユニット３２が前後もしくは左右方向にスライドでき
るように、支持部材３１と支持部材３１の間にフィルタ
ー３４が納まるように載置され、支持部材３１とフィル
ター３４の接触面積を小さくし滑りをよくするように構
成される。前記フィルター３４の上部には送風装置３５
が取り付けられる。
【００１３】図１に示すように、クリーンルームの室内
に給気口２３および還気口２８を設け、この給気口２３
および還気口２８にダクト２４，２６を介してクリーン
ルーム系統空調機２５を接続することにより、循環空気
を浄化しクリーンルームの室内を清浄に維持している。
さらに、クリーンルーム天井ライン２２には局所空気清
浄装置２９が任意の必要箇所に吊り下げて取り付けられ
ることにより、クリーンルームにおいて任意に必要区域
の清浄度を局所的に高めることができる。また、ファン
フィルターユニット３２を前後もしくは左右方向にスラ
イドすることによって、例えば半導体製造工場の製造ラ
イン等の変更による清浄区域の変更も容易に行なうこと
ができる。尚、クリーンルームにおいて、清浄度を必要
とする区域が変更される時はファンフィルターユニット
３２を増やすことによっても容易に用途変更に対応でき
る。
【００１４】図３及び図４は本発明に係る局所空気清浄
装置の気流を説明するための構成説明図である。すなわ
ち、図３に示すように、支持部材３１に取り付けられた
ファンフィルターユニット３２とファンフィルターユニ
ット３２の間の隙間を遮蔽しないで空気流通可能にする
ため、細孔板３６を設ける（もしくは遮蔽板を設けな
い）ことで、清浄域上部の塵埃滞留部分が少なくなり、
例えば、ファンフィルターユニット３２の面から約１ｍ
下部において均一な高清浄域が得られる。ファンフィル
ターユニット３２とファンフィルターユニット３２の間
の隙間部分の空気流通を確保することで上昇気流が生
じ、塵埃が滞留し難くなり高清浄度を維持できる。尚、
図４に示すように、支持部材３１に取り付けられたファ
ンフィルターユニット３２とファンフィルターユニット
３２の間の隙間に遮蔽板３７を設けた場合には、遮蔽板
３７部分で塵埃の滞留が生じ清浄度維持の障害となる。
【００１５】図５は本発明に係るファンフィルターユニ
ットを示す平面構成説明図である。すなわち、ファンフ
ィルターユニット３２として、空気吹出し面の周辺部分
３４１の気流速度を周辺部分から内側部分３４２の気流
速度より速くすることで、清浄気流がファンフィルター
ユニット３２の吸込み部に容易に回り込まれないように
し、効率的に清浄空気を活用でき、局所空気清浄装置の
空気清浄機能を高めることができる。
【００１６】図６は本発明に係るファンフィルターユニ
ットを示す側面構成説明図である。すなわち、支持部材
３１に載置されたフィルター３４及び送風装置３５より
なるファンフィルターユニット３２の上面全てをプレフ
ィルター（もしくは目の細かい網状部材）３８で覆うこ
とにより、ファンフィルターユニット３２の吸込み気流
によりファンフィルターユニット３２の上面に堆積した
塵埃を再飛散させないことができる。
【００１７】本実施形態例は以下の特徴がある。
【００１８】（１） クリーンルームの用途変更に対応
できる。
【００１９】（２） 必要部分を重点的に換気し清浄性
を必要とする部分の清浄度を向上させる。
【００２０】（３） 必要最低限の換気量により清浄度
を維持し、省エネルギーを実施する。
【００２１】（４） 自由にファンフィルターユニット
の増減を行なえ、且つファンフィルターユニットを移動
できることによって、必要最低限の設備とし、初期設備
規模を抑え初期設備費の低減を図る。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、クリ
ーンルームにおいて任意区域の清浄度を局所的に高める
ことができ、且つ設備規模を抑えて設備費の低減を図
り、しかも省エネルギーを実施できる局所空気清浄装置
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用されるクリーンルームの一部を示
す構成斜視図である。
【図２】本発明に係る局所空気清浄装置の一例を示す一
部構成説明図である。
【図３】本発明に係る局所空気清浄装置の気流例を説明
するための構成説明図である。
【図４】本発明に係る局所空気清浄装置の気流例を説明
するための構成説明図である。
【図５】本発明に係るファンフィルターユニットの一例
を示す平面構成説明図である。
【図６】本発明に係るファンフィルターユニットの他の
例を示す側面構成説明図である。
【図７】従来の空気清浄装置を示す構成説明図である。
【符号の説明】
２９ 局所空気清浄装置 ３０ 垂れ壁 ３１ 支持部材 ３２ ファンフィルターユニット ３４ フィルター ３５ 送風装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−5117（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−281519（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−247512（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−118754（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 クリーンルームの天井から吊り下げられ
    周囲に垂れ壁が設けられた支持部材と、 この支持部材に移動可能に載置され且つクリーンルーム
    の天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装置及
    びフィルターよりなるファンフィルターユニットとを具
    備し、 ファンフィルターユニットとして、上面全てをフィルタ
    ーもしくは網状部材で覆ったファンフィルターユニット
    を用い、且つ支持部材に取り付けられたファンフィルタ
    ーユニットとファンフィルターユニットとの間を空気流
    通可能にした ことを特徴とする局所空気清浄装置。
  2. 【請求項２】 クリーンルームの天井から吊り下げられ
    周囲に垂れ壁が設けられた支持部材と、 この支持部材に支持部材との接触面積を小さくし滑りを
    よくするよう移動可能に載置され且つクリーンルームの
    天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装置及び
    フィルターよりなるファンフィルターユニットとを具備
    し、 ファンフィルターユニットとして、上面全てをフィルタ
    ーもしくは網状部材で覆ったファンフィルターユニット
    を用い、且つ支持部材に取り付けられたファンフィルタ
    ーユニットとファンフィルターユニットとの間を空気流
    通可能にした ことを特徴とする局所空気清浄装置。
  3. 【請求項３】 ファンフィルターユニットとして、空気
    吹出し面の周辺部分の気流速度を周辺部分から内側部分
    の気流速度より速くしたファンフィルターユニットを用
    いることを特徴とする請求項１または２記載の局所空気
    清浄装置。
JP16844399A 1999-06-15 1999-06-15 局所空気清浄装置 Expired - Fee Related JP3420722B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16844399A JP3420722B2 (ja) 1999-06-15 1999-06-15 局所空気清浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16844399A JP3420722B2 (ja) 1999-06-15 1999-06-15 局所空気清浄装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002327069A Division JP2003148777A (ja) 2002-11-11 2002-11-11 局所空気清浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000356378A JP2000356378A (ja) 2000-12-26
JP3420722B2 true JP3420722B2 (ja) 2003-06-30

Family

ID=15868221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16844399A Expired - Fee Related JP3420722B2 (ja) 1999-06-15 1999-06-15 局所空気清浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3420722B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5154976B2 (ja) * 2008-02-27 2013-02-27 新日本空調株式会社 局所空間の空気清浄化装置
JP2013181715A (ja) * 2012-03-02 2013-09-12 Ohbayashi Corp 空調システムおよび空調方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000356378A (ja) 2000-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6321637B1 (en) Low-profile air filter module
JPH01179841A (ja) 流体処理装置
JP3420722B2 (ja) 局所空気清浄装置
JP2551923Y2 (ja) クリーンルーム
JPH0311379B2 (ja)
US7118473B2 (en) Air velocity control unit and air conditioning system having the same
JP4486727B2 (ja) 循環型クリーンルーム
JPH0535326B2 (ja)
JP4275969B2 (ja) 乱流式クリーンルーム
JP2003148777A (ja) 局所空気清浄装置
JPH11211164A (ja) 空気清浄化用送風機ユニット
JP2536188B2 (ja) 空気清浄装置
JP3808567B2 (ja) クリーンルーム構造
JPS59185923A (ja) クリーンルームの形成方法
JP2007178065A (ja) クリーンルーム用還気装置
JPS61168735A (ja) クリ−ンル−ム
JPH0225065Y2 (ja)
JP5652917B2 (ja) クリーンルーム
JPS629135A (ja) 空気調和装置
JPH0535327B2 (ja)
JPH0646240U (ja) クリーンルーム
JP3521764B2 (ja) クリーンルームの天井構造
JPH0686951B2 (ja) 清浄室装置
JPS6176836A (ja) 空気調和室
JP3820609B2 (ja) トンネル式のクリーンルームのフィルタダクト形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3420722

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120418

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120418

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140418

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees