JPH04268667A - 生産管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、情報処理装置を用いた
生産管理システムに係り、特にロット生産形態の生産ラ
インに適応した、部品等の自動供給指示を行なう生産管
理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】製品の工程進行に応じて、自動的に部品
等の供給手配を行なう生産システムとして、特開平１−
１９４００２　号に記載のフレキシブル生産システムが
知られている。これは、フレキシブル生産システム（Ｆ
ＭＳ）において、ワーク（加工物）の移動情報と作業指
示情報を同時に表示することにより、作業者の熟練度を
問うこと無く、同システムの運用効率を高めるものであ
る。まず、従来技術の全体的な動作について説明する。 あらかじめ基本情報として各種ワークについての長期的
な加工計画および、各ワーク毎の工程設計内容を設定す
る。これに基づいて、情報処理装置が、各種工作機械を
はじめとする段取り装置や洗浄装置，自動倉庫，搬送装
置等，各自動生産設備の運転スケジュール、並びに、現
場の作業指示装置に表示する作業指示情報や手配情報等
を作成する。また、このうちの事象報告（設備からの状
態変化報告や作業指示装置からの作業要求）により情報
処理装置は、ワーク等の位置の追跡を行ないワーク等の
移動情報を作成する。さらに前述した事象報告等に応じ
て制御指令を該当する生産設備に、また作業指示情報及
びワーク等の移動情報を作業指示装置にそれぞれ出力す
る。

【０００３】次に部品等の手配方法について説明する。 前述したあらかじめ設定される基本情報の中に、各ワー
クで使用する部品等の情報が含まれている。ワークが生
産ラインに投入されると、情報処理装置は、現在のワー
ク位置や加工進捗状況を示すデータを用いて、素材，治
具，工具等の手配を実行し、作業指示装置にその内容を
ワーク等の移動情報と共に表示する。

【０００４】しかし、生産ラインに投入されたワークの
数量は、加工全工程を通じて終了まで不変であり、工程
の進行にしたがいワークの数量が変動する場合について
は、考慮されていなかった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、工程
の進行にしたがって加工品の数量が変動するロット形態
の生産ラインについては考慮されておらず、加工品の数
量の変動に対応した部品等の供給指示ができないという
問題があった。

【０００６】本発明の目的は、工程の進行にしたがい製
品の数量が変動する生産ラインにおいて、その数量の変
動に対応して、部品等の自動供給指示を行なう生産管理
システムを提供することである。

【０００７】本発明の他の目的は、工程管理を行なうた
めに収集する各工程の生産実績情報を、部品，材料又は
、治工具の供給指示に利用し、部品，材料又は、治工具
の供給指示専用のデータ収集端末を用いずに、経済的に
部品等の供給指示を行なう生産管理システムを提供する
ことである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、各工程の生産実績情報を収集し、工程管理を行なう手
段を持つ生産管理システムに、ａ．各工程の生産実績情
報から、供給指示の対象となる工程を判断する手段と、
ｂ．任意の工程における生産実績情報から、供給指示の
対象となる工程で使用する部品，材料又は、治工具の種
類を把握する手段と、ｃ．生産実績情報の１つである製
品完成数から、供給指示の対象となる工程の着工予定数
量を予測する手段と、ｄ．着工予定数量から、部品，材
料又は、治工具の使用予定数量を算出する手段と、ｅ．
供給指示を行なう工程の作業場所を特定する手段と、ｆ
．以上の手段から得た情報を基に、部品，材料又は、治
工具の供給指示情報を作成する手段と、ｇ．供給指示を
行なう手段（ＣＲＴに部品，材料又は、治工具の供給指
示情報を表示するなど）を設けることを提案するもので
ある。

【０００９】

【作用】本システムは、生産実績情報収集のつど、部品
の供給指示を行なうべき工程を判断し、使用する部品，
材料又は、治工具の種類を確認し、製品完成数から着工
予定数量を予測し、着工予定数量から部品，材料又は、
治工具の使用予定数量を算出し、部品，材料又は、治工
具を使用する工程の作業場所を特定する。

【００１０】以上の処理から得た情報を基に、部品，材
料又は、治工具の供給指示情報を作成し、ＣＲＴに部品
，材料又は、治工具の供給指示情報を表示するなどの供
給指示を行なう。

【００１１】

【実施例】本発明は、多品種多量，多品種少量製品をロ
ット形態で製造している生産ラインに好適な生産管理シ
ステムを提供するものである。その様な生産ラインの例
として、半導体生産ラインがあげられる。半導体生産ラ
インは、前工程と後工程に分けられる。前工程とは、ウ
エハ上に半導体素子を作り込んでいく工程であり、後工
程とは、完成した半導体素子をパッケージに組み込む工
程である。前工程には、いくつかの特徴がある。

【００１２】ａ．一般に半導体生産ラインは、数十枚の
ウエハを１ロットとして、ロット単位で工程が進行する
。各工程では、作業終了時にウエハの検査を行ない、不
良品は順次除去する。このため、１ロット当りのウエハ
の枚数は、工程進行にしたがい変動する。

【００１３】ｂ．前工程における主要な工程の１つであ
るホト工程において、ホトマスク（以下、マスクと呼ぶ
）という治具を使用する。マスクは写真のネガフィルム
に相当するもので、常にクリーンであることが要求され
ている。このため、ごみなどが付着せぬよう専用倉庫に
保管し、使用するたびに倉庫から出庫，搬送し、使用後
は洗浄する。

【００１４】ｃ．前工程では、ホト工程を含めて同じよ
うな処理経路を十数回繰返し行なう。この際にホト工程
で使用するマスクパターンを変更することにより、同一
生産ラインで多種類の製品を作り分けることが可能とな
っている。このため、半導体生産ラインで使用するマス
クは、種類が大変多く、かつ、供給指示ミスによるマス
ク違いは、不良の発生につながる。

【００１５】以上のような理由から、マスクの供給は頻
繁に行なわれ、また歩留向上と納期短縮のため、正確か
つ迅速であることが要求される。本発明の実施例として
、半導体前工程で、工程管理及びマスクの自動供給指示
を行なう生産管理システムについて説明する。

【００１６】図１は、本発明による生産管理システムの
一実施例の構成を示す系統図である。半導体前工程２１
〜２Ｎと、ホト工程で使用するマスクの保管及びホト工
程への供給を行なう自動倉庫６０，自動倉庫６０の入出
庫を制御する情報処理装置５０を有する半導体生産ライ
ンに、工程２１〜２Ｎのそれぞれに生産実績情報入力端
末３１〜３Ｎを設置し、中央情報処理装置３０を設置し
、情報処理装置３０〜３Ｎ及び５０を同軸ケーブル等の
共通バスで接続する。中央情報処理装置３０上に型式マ
スタデータベース（以下、型式マスタＤＢと略す）４１
，プロセスＤＢ４２，マスクＤＢ４３，仕掛りＤＢ４４
を作成する。

【００１７】型式マスタＤＢ４１は、各製品型式の製造
手順を持ち、フィールド構成は、図２に示すように、型
式名とプロセスコードからなる。

【００１８】プロセスＤＢ４２は、各製造手順における
工程の流れと名称を持ち、さらに供給指示のための情報
も持つ。フィールド構成は、図３に示すように、プロセ
スコード，工程名称，工程シーケンス，作業場所，指示
対象工程までの工程数（各ホト工程のマスク供給指示を
行なう工程のみデータ有），マスク名からなる。

【００１９】マスクＤＢ４３は、各マスクの使用基準を
持ち、フィールド構成は、図４に示すように、マスク名
，マスク１枚当りの作業可能ウエハ枚数からなる。

【００２０】仕掛りＤＢ４４は、ロット投入時に型式マ
スタＤＢ４１とプロセスＤＢ４２から作成し、各ロット
の仕掛り工程，仕掛り数を登録するもので、生産実績情
報収集時に更新する。フィールド構成は、図５に示すよ
うに、ロットＮｏ，仕掛り数，工程シーケンス，工程名
称，プロセスコードからなる。

【００２１】生産実績情報入力端末３１〜３Ｎは以下の
機能を持つ。

【００２２】ａ．任意の工程の生産実績情報（ロットＮ
ｏ，作業工程名，ウエハ完成数，不良原因など）を入力
する機能。

【００２３】ｂ．入力された生産実績情報を中央情報処
理装置３０に送信する機能。

【００２４】中央情報処理装置３０は以下の機能を持つ
。

【００２５】ａ．生産実績情報を受信するたびに、仕掛
りＤＢ４４を更新する機能。

【００２６】ｂ．プロセスＤＢ４２を用いて、指示対象
工程までの工程数のフィールドをチェックする機能。

【００２７】ｃ．プロセスＤＢ４２を用いて、使用する
マスクの種類，作業場所を確認する機能。

【００２８】ｄ．マスクＤＢ４３を用いて、マスク１枚
当りに使用できるウエハの数量を確認し、指示対象工程
のマスクの使用予定数量を算出する機能。

【００２９】ｅ．以上の機能から得た情報を基に、マス
ク供給指示情報を作成し、自動倉庫制御端末５０にマス
ク供給指示情報を送信する機能。

【００３０】自動倉庫制御端末５０は以下の機能を持つ
。

【００３１】ａ．中央情報処理装置３０が送信するマス
ク供給指示情報を受信する機能。

【００３２】ｂ．受信したマスク供給指示情報を表示し
、表示したマスク名を指定することで、自動倉庫に当該
マスクを出庫する情報を送信する機能。

【００３３】以上により、複数のロットが流れる生産ラ
インにおいて、各工程の作業者が作業終了時に、生産実
績情報入力端末から、生産実績情報を入力することで、
生産実績情報をリアルタイムで収集し、その情報を用い
て工程管理及び、マスクの自動供給指示を行なう生産管
理システムを構築できる。

【００３４】次に、本システムの動作について説明する
。本発明の特徴は、各工程の生産実績情報を用いて、マ
スクの供給指示を自動的に行なうことである。よって、
工程管理については、概要のみを説明する。ロット投入
時に、ロット投入用情報処理装置（図示せず）にロット
Ｎｏ，型式名を入力する。ロット投入用情報処理装置は
、中央情報処理装置３０上の仕掛りＤＢ４４に、入力さ
れたロットＮｏを持ったレコードを、型式マスタＤＢ４
１とプロセスＤＢ４２を用いて作成する。中央情報処理
装置３０は、任意のロットの生産実績情報を受信するた
びに、仕掛りＤＢ４４の該当するレコードを、プロセス
ＤＢ４２を用いて更新する。これにより、仕掛りＤＢ４
４に、ライン内の全てのロットの仕掛り情報を保存する
ことができる。中央情報処理装置３０は、この仕掛りＤ
Ｂ４４を用いることで、各ロットの現在位置を正確に把
握し、工程進行のチェックを行なう。

【００３５】次に本システムがマスクの供給指示を自動
的に行なう際の動作を図６を参照して説明する。図６は
、任意の工程２ｎ１の作業終了時点から、その直後の工
程２ｎ２にウエハを搬送するまでのシステムの動作を示
すフローチャートである。ステップ１００で、工程２ｎ
１の作業終了後、作業者は、生産実績情報入力端末３ｎ
１（生産実績情報入力端末３１〜３Ｎのいずれか）から
、生産実績情報（作業工程名，ロットＮｏ及び工程２ｎ
１のウエハ完成数）を入力する。ステップ１０１で、生
産実績情報入力端末３ｎ１が、中央情報処理装置３０に
、入力された生産実績情報を送信する。ステップ１０２
で、中央情報処理装置３０が、受信した生産実績情報を
基にして、プロセスＤＢ４２をプロセスコード，工程シ
ーケンスをキーに検索し、仕掛りＤＢ４４を更新する。 ステップ１０３で、中央情報処理装置３０は、ステップ
１０２で検索したプロセスＤＢ４２の指示対象工程まで
の工程数のフィールドに数値（１以上）が登録されてい
るかチェックする。

【００３６】まず、ステップ１０３において、プロセス
ＤＢ４２の指示対象工程までの工程数のフィールドに、
数値として仮に２が登録されていた場合を説明する。こ
の場合は、ステップ１０４からステップ１０６までのマ
スク供給指示処理を行なう。ステップ１０４で、中央情
報処理装置３０は、プロセスコード及び、工程シーケン
スに２を加えたものをキーにプロセスＤＢ４２を検索す
ることで、２工程後の工程２ｎ３で使用するマスク名，
作業場所を確認する。そのマスク名をキーにマスクＤＢ
４３を検索し、マスク１枚当りの作業可能ウエハ枚数を
確認する。送信されたウエハ完成数をそのまま、工程２
ｎ３の着工予定数量とし、着工予定数量をマスク１枚当
りの作業可能ウエハ枚数で割り、小数点以下を切り上げ
ることにより、マスクの使用予定数量を算出する。ステ
ップ１０５で、中央情報処理装置３０は、先に求めた作
業場所，マスク名及びマスクの使用予定数量と基にマス
ク供給指示情報を作成し、自動倉庫制御端末５０にマス
ク供給指示情報を送信する。ステップ１０６で、自動倉
庫制御端末５０は、受信したマスク供給指示情報をＣＲ
Ｔに表示する。倉庫作業者が、自動倉庫制御端末５０の
ＣＲＴに表示されたマスク名を指定することで、自動倉
庫制御端末５０が、自動倉庫６０にマスク出庫指示を送
信し、自動倉庫６０が、指定されたマスクを出庫し、作
業者が出庫されたマスクを工程２ｎ３の作業場所に搬送
する。ステップ１０７で工程２ｎ１にウエハを搬送する
。

【００３７】次に、ステップ１０３において、プロセス
ＤＢ４２の指示対象工程までの工程数のフィールドが、
スペースだった場合を説明する。この場合は、ステップ
１０４からステップ１０６までのマスクの供給指示処理
は行なわず、ステップ１０７に進む。ステップ１０７で
、工程２ｎ２にウエハを搬送する。

【００３８】以上の手順で、生産実績情報入力端末が送
信する生産実績情報を基に、中央情報処理装置３０が、
指定された工程のマスク供給指示を自動的に行なう。ま
た、前述したように、本システムは全工程の生産実績情
報をリアルタイムで収集し、そのつど図４で示した処理
を行なうので、全ホト工程に対して、マスクの供給指示
を自動的に行なうことができる。

【００３９】以上説明してきた様に本実施例によれば、
半導体をロット形態で製造している生産ラインにおいて
、工程管理を行ない、かつ、マスク自動供給指示を行な
う生産管理システムを提供できる。

【００４０】なお、上記実施例では、作業終了工程の２
工程後の工程のマスク供給指示を行なったが、何工程後
でも構わない。

【００４１】なお、上記実施例では、ウエハ完成数をそ
のまま以後の工程の着工予定数として用いたが、平均歩
留をあらかじめ情報処理装置に登録しておき、それを用
いて算出してもよい。

【００４２】又、上記実施例では倉庫作業者が、自動倉
庫制御端末の画面上のマスク名を指定することにより、
マスクの出庫を行なったが、自動倉庫にマスク出庫指示
を直接送信し、出庫を行なってもよい。又、作業指示専
用の情報処理装置を設置し、該情報処理装置の画面に出
庫指示を表示して、作業者に出庫指示を行なってもよい
。

【００４３】又、上記実施例では作業者が、各工程にマ
スクを搬送したが、搬送車を用いてもよい。

【００４４】又、上記実施例では中央情報処理装置が、
マスクの供給指示を行なったが、生産実績情報を入力さ
れた生産実績情報入力端末が行なってもよい。その際Ｄ
Ｂは、ネットワークで接続した情報処理装置ならば、ど
の情報処理装置上にあってもよい。

【００４５】又、上記実施例では中央情報処理装置が、
工程管理とマスク供給指示の２つの処理を行なったが、
１台の情報処理装置にかかる負担を軽減するために、工
程管理専用の情報処理装置とマスク供給指示専用の情報
処理装置をそれぞれ設置してもよい。

【００４６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので以下に記載されているような効果がある。

【００４７】複数の工程を有する生産ラインにおいて、
各工程における生産実績情報に基づいて、該工程以降の
工程で使用する部品等の自動供給指示を行なうので、ロ
ット形態の生産ラインの様な、工程進行にしたがって製
品完成数が変動する生産ラインにおいても、製品完成数
の変動に応じた、部品等の自動供給指示を行なうことが
できる。

【００４８】また、収集した各工程の生産実績情報を、
工程管理に使用すると共に、部品等の自動供給指示にも
使用するので、収集データを有効に活用することができ
る。かつ、ハード的には、同一のデータ収集端末が、工
程管理のためのデータ収集端末及び、部品等の供給指示
のためのデータ収集端末という２台分の役割を果たして
おり、経済的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による生産管理システムの一実施例の構
成を示す系統図である。

【図２】図１の中央情報処理装置３０上に作成した型式
マスタＤＢ４１のフィールド構成図である。

【図３】図１の中央情報処理装置３０上に作成したプロ
セスＤＢ４２のフィールド構成図である。

【図４】図１の中央情報処理装置３０上に作成したマス
クＤＢ４３のフィールド構成図である。

【図５】図１の中央情報処理装置３０上に作成した仕掛
りＤＢ４４のフィールド構成図である。

【図６】図１のシステムが、マスクの供給指示を自動的
に行なう際の動作を示したフローチャートである。

【符号の説明】

１１…伝送路、２１〜２Ｎ…半導体前工程の各工程、３
０…情報処理装置（中央情報処理装置）、３１〜３Ｎ…
情報処理装置（生産実績情報入力端末）、４１…型式マ
スタデーターベース、４２…プロセスデーターベース、
４３…マスクデーターベース、４４…仕掛りデーターベ
ース、５０…情報処理装置（自動倉庫制御端末）、６０
…マスク保管用自動倉庫。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の工程と、各工程において使用する部
   品，材料又は、治工具の保管及び、各工程への供給を行
   なう倉庫からなる生産ラインに設置した、ネットワーク
   で接続した複数の情報処理装置から構成され、工程ごと
   の生産実績情報を収集する手段を持つ生産管理システム
   において、該システムに、ある工程で収集した生産実績
   情報を用いて、該工程以降の工程について、着工予定数
   量を予測し、使用する部品，材料又は、治工具の種類を
   把握し、その数量を算出する手段と、これに基づいて部
   品，材料又は、治工具の供給指示情報を作成し、倉庫に
   供給指示を行なう手段を設けた事を特徴とする生産管理
   システム。
2. 【請求項２】マスク保管倉庫を持つ半導体生産ラインに
   設置した、ネットワークで接続した複数の情報処理装置
   から構成され、各工程ごとの生産実績情報を収集する手
   段を持つ生産管理システムにおいて、該システムに、ホ
   ト工程以前の任意の工程の生産実績情報から、ホト工程
   の着工予定数量を予測し、ホト工程で使用するマスクの
   数量を算出し、これに基づいてホト工程で使用する種類
   ，数量のマスクの供給指示情報を作成し、倉庫に供給指
   示を行なう事を特徴とする半導体生産管理システム。