JP2005100092A - 半導体生産シミュレーション方法および半導体生産シミュレーションプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の搬送手段に自走式搬送装置とオペレータが含まれること、および自走式搬送装置が複数の小エリアのいずれかに対応して移動できること、ならびに複数の処理装置が自走可能であって複数の小エリアのいずれかに対応して移動できることを条件として、生産エリア内での移動における最適値をコンピュータで計算し、生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトをコンピュータによってシミュレーション計算する工程(ステップS101〜103)と、複数の搬送手段のうちオペレータの数および複数の小エリアの各々への割り当てをパラメータとして設定し、小エリア毎のオペレータの移動に関わる負荷をコンピュータによって計算する工程(ステップS105〜106)とを備えている。
【選択図】図2
Description
(1)製品の品種数/生産量、設備の故障/メンテナンス/段取り替え等の生産における環境変動に柔軟に対応できる生産システム設計手法。
(2)製品の流れを制御し、リアルタイムにスケジューリングできる計画手法。
(3)上記(2)のスケジューリングを受けて、仕掛かり量を適正にコントロールするディスパッチ手法。
(1)自身の状態である製品搬送中、待機中、故障中、保守中などのステータス情報。
(2)生産エリア内における自身の位置情報。
これらの情報はホストコンピュータで集中管理するなどの方法が考えられる。
製品投入口および処理装置からの搬送要求信号。
搬送している製品の工程情報から処理要求信号を読み取り、要求されている次工程を処理可能な処理装置が発信する処理可能信号。ただし、最終工程終了後は、製品払出口からの信号。
(a)オペレータの休憩時間を設定し、各勤務帯・各担当エリア内の複数名のオペレータが交代に休憩する。オペレータを搬送手段として計算する場合、この休憩時間を自走式搬送装置のメンテナンス時間や充電時間として使用できない時間と置き換えて設定することができる。
(b)オペレータの移動速度は例えば2km/hとする(設定上は可変にできる。)。
(c)オペレータは処理装置の有する付帯作業時間の情報を読み取り、各装置についてロットのセット+レシピセット+スタートの時間、および各装置についてロットの取出し時間、は拘束されるものとする。変形例として検査装置のマニュアル検査作業はオペレータが対応する場合はその検査時間分は検査装置に拘束されるものとする。
(d)検査装置は全オペレータが共通で担当する。検査終了後、次装置までの搬送を担当する。
(e)オペレータが自分の担当エリア(小エリア)内の装置間での搬送を行う以外に小エリア間をまたがって作業を行う場合については、隣接の小エリアへの搬送を行うことができる。例えば、小エリア(1)の装置で処理終了後、小エリア(2)の装置で処理する場合(代替機処理を含む)、小エリア(1)を担当するオペレータが小エリア(2)までの搬送を担当する。また、小エリア(2)を担当するオペレータはロットのセット+レシピセット+スタートの作業を担当する。あるいは、小エリア(1)を担当するオペレータがロットのセット+レシピセット+スタートの作業までを担当するなどのモデルが考えられる。
Claims (8)
- 計算上の生産エリアに関する情報、前記生産エリアを区分けした複数の小エリアに関する情報、複数の処理装置に関する情報、複数の搬送手段に関する情報、半導体製品の製造工程に関する情報を用いて前記生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび前記複数の搬送手段の移動ならびにオペレータの人員配置による負荷をコンピュータでシミュレーション計算する半導体生産シミュレーション方法において、
前記複数の搬送手段に自走式搬送装置と前記オペレータが含まれること、および前記自走式搬送装置が前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できること、ならびに前記複数の処理装置が自走可能であって前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できることを条件とした上で、前記半導体製品の製造工程に関する情報から各製造工程での処理を順次進める間に前記複数の処理装置および前記複数の搬送手段の前記生産エリア内での移動における最適値を前記コンピュータで計算し、前記生産エリア内における前記複数の処理装置のレイアウトを前記コンピュータによってシミュレーション計算する工程と、
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトにおいて、前記複数の搬送手段のうち前記オペレータの数および前記複数の小エリアの各々への人数の割り当てをパラメータとして設定し、前記小エリア毎の前記オペレータに関わる負荷を前記コンピュータによって計算する工程と
を備えることを特徴とする半導体生産シミュレーション方法。 - 前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトを実際の制約条件を加味して修正する工程を含む
ことを特徴とする請求項1記載の半導体生産シミュレーション方法。 - 前記オペレータに関わる負荷として、前記オペレータの総人数および前記複数の小エリアへの人数に割り当てにおける複数のパターンに対してTAT(Turn Around Time)、WIP(Work In Process)、スループット、動線、稼働率を各々計算して出力する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体生産シミュレーション方法。 - 前記コンピュータは、前記レイアウトをシミュレーション計算するにあたり、
前記搬送手段が半導体製品を搬送している場合、その半導体製品の工程に関する情報から搬送先となり得る処理装置を特定し、その処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算し、
前記搬送手段が半導体製品を搭載していない場合、前記処理装置からの搬送要求があるか否かを判断し、搬送要求のある処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体生産シミュレーション方法。 - 計算上の生産エリアに関する情報、前記生産エリアを区分けした複数の小エリアに関する情報、複数の処理装置に関する情報、複数の搬送手段に関する情報、半導体製品の製造工程に関する情報を用いて前記生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび前記複数の搬送手段の移動ならびにオペレータの人員配置による負荷をコンピュータでシミュレーション計算する半導体生産シミュレーションプログラムにおいて、
前記複数の搬送手段に自走式搬送装置と前記オペレータが含まれること、および前記自走式搬送装置が前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できること、ならびに前記複数の処理装置が自走可能であって前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できることを条件とした上で、前記半導体製品の製造工程に関する情報から各製造工程での処理を順次進める間に前記複数の処理装置および前記複数の搬送手段の前記生産エリア内での移動における最適値を前記コンピュータで計算し、前記生産エリア内における前記複数の処理装置のレイアウトを前記コンピュータによってシミュレーション計算する工程と、
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトにおいて、前記複数の搬送手段のうち前記オペレータの数および前記複数の小エリアの各々への人数の割り当てをパラメータとして設定し、前記小エリア毎の前記オペレータに関わる負荷を前記コンピュータによって計算する工程と
を備えることを特徴とする半導体生産シミュレーションプログラム。 - 前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトを実際の制約条件を加味して修正する工程を含む
ことを特徴とする請求項5記載の半導体生産シミュレーションプログラム。 - 前記オペレータに関わる負荷として、前記オペレータの総人数および前記複数の小エリアへの人数に割り当てにおける複数のパターンに対してTAT(Turn Around Time)、WIP(Work In Process)、スループット、動線、稼働率を各々計算して出力する
ことを特徴とする請求項5記載の半導体生産シミュレーションプログラム。 - 前記コンピュータは、前記レイアウトをシミュレーション計算するにあたり、
前記搬送手段が半導体製品を搬送している場合、その半導体製品の工程に関する情報から搬送先となり得る処理装置を特定し、その処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算し、
前記搬送手段が半導体製品を搭載していない場合、前記処理装置からの搬送要求があるか否かを判断し、搬送要求のある処理装置の位置情報および状態情報と、自身の位置情報および状態情報とに基づき移動方向および移動距離を示すベクトルを随時生成し、そのベクトルに応じた前記生産エリア内での移動を計算する
ことを特徴とする請求項5記載の半導体生産シミュレーションプログラム。
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