JPH04265918A - 被検査体を3次元検査するための同焦点光路を有する光学式装置 - Google Patents
被検査体を3次元検査するための同焦点光路を有する光学式装置Info
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- JPH04265918A JPH04265918A JP3294011A JP29401191A JPH04265918A JP H04265918 A JPH04265918 A JP H04265918A JP 3294011 A JP3294011 A JP 3294011A JP 29401191 A JP29401191 A JP 29401191A JP H04265918 A JPH04265918 A JP H04265918A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 58
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
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- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
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- G—PHYSICS
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- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は請求項1に記載した形式
の、被検査体を3次元検査するための装置に関する。
の、被検査体を3次元検査するための装置に関する。
【0002】
【従来技術】同焦点のスキャニングマイクロスコープの
形をした装置はD.K.Hamilton e.a(
Appl. Phys.B27、211(1982)
)の刊行物に記載されている。いわゆる点光源が被検査
体の平面にかつこの平面がいわゆる点受光器もしくは背
後に受光器が位置する孔絞りに結像される、同焦点の光
路を有するマイクロスコープはきわめて高選択性である
という特性、すなわち小さな間隔しか相互間に有してい
ない平面を光学的に分離するという特性を有している。 前述の刊行物においては前記特性は半導体構成素子の表
面プロフィールを検出するために利用されている。この
ためには光点の各x−y位置のために被検査体はZ−方
向(光軸方向)に動かされ、集中度経過が測定される。 光点の像が表面に正確に位置していると、集中度経過は
きわだった最大を有しているので、x−y平面における
各点のためには、表面の高さがz方向に決定され、この
ような形式で時間的に順次被検査体の全表面プロフィー
ルが検出される。
形をした装置はD.K.Hamilton e.a(
Appl. Phys.B27、211(1982)
)の刊行物に記載されている。いわゆる点光源が被検査
体の平面にかつこの平面がいわゆる点受光器もしくは背
後に受光器が位置する孔絞りに結像される、同焦点の光
路を有するマイクロスコープはきわめて高選択性である
という特性、すなわち小さな間隔しか相互間に有してい
ない平面を光学的に分離するという特性を有している。 前述の刊行物においては前記特性は半導体構成素子の表
面プロフィールを検出するために利用されている。この
ためには光点の各x−y位置のために被検査体はZ−方
向(光軸方向)に動かされ、集中度経過が測定される。 光点の像が表面に正確に位置していると、集中度経過は
きわだった最大を有しているので、x−y平面における
各点のためには、表面の高さがz方向に決定され、この
ような形式で時間的に順次被検査体の全表面プロフィー
ルが検出される。
【0003】この公知の装置の欠点は、表面プロフィー
ルの検出に多くの時間が必要であることである。何故な
らば、各時点においては個々の被検査体点しか検出され
ないからである。
ルの検出に多くの時間が必要であることである。何故な
らば、各時点においては個々の被検査体点しか検出され
ないからである。
【0004】さらにUS−PS4407008号によれ
ば、単次元又は2次元発光ダイオード配列が被検査体平
面に結像される同焦点のマイクロスコープが公知である
。被検査体表面において散乱するか又は反射する光は単
次元又は2次元の検出器ダイオード配列の上に結像され
る。このマイクロスコープは光線を機械的に偏向するこ
となく又は被検査体を移動させることなく被検査体を検
出することを可能にするが、この場合にも被検査体の唯
一の小さい範囲しか照射されないので、この構成でも表
面プロフィールを検出するためには多くの時間が必要で
ある。
ば、単次元又は2次元発光ダイオード配列が被検査体平
面に結像される同焦点のマイクロスコープが公知である
。被検査体表面において散乱するか又は反射する光は単
次元又は2次元の検出器ダイオード配列の上に結像され
る。このマイクロスコープは光線を機械的に偏向するこ
となく又は被検査体を移動させることなく被検査体を検
出することを可能にするが、この場合にも被検査体の唯
一の小さい範囲しか照射されないので、この構成でも表
面プロフィールを検出するためには多くの時間が必要で
ある。
【0005】
【発明の効果】本発明の課題は比較的に短い時間で3次
元の光学的検査が実施されるようにしたことである。
元の光学的検査が実施されるようにしたことである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は請求項1
に記載した特徴により解決された。
に記載した特徴により解決された。
【0007】
【発明の効果】本発明の装置においては照射ラスタは多
数の離れた光斑をフォーカス面に同時に生ぜしめるので
、相応の数の被検査体点が検出される。光斑相互の間隔
、つまり照射ラスタ寸法はほぼ光斑の直径の2〜10倍
である。この照射ラスタ寸法は、照射ラスタ寸法の結像
が検出器ラスタ寸法よりも大きいか又は検出器ラスタが
個々の検出器素子の感光性の面の直径もしくは辺長さよ
りも大きくなるように検出器ラスタの上に結像される。 両方の二者択一的な実施例においては検出器ラスタは同
時に検出器及び同焦点ラスタを成す。前者の場合には扁
平な被検査体のためにフォーカス面において照射ラスタ
の結像の間にある検出器素子は絞りとして作用し、これ
らの検出器の出力信号は第2の評価に際して考慮されな
い。後者の場合には検出器素子の間の感光性範囲は同焦
点絞りとして作用する。
数の離れた光斑をフォーカス面に同時に生ぜしめるので
、相応の数の被検査体点が検出される。光斑相互の間隔
、つまり照射ラスタ寸法はほぼ光斑の直径の2〜10倍
である。この照射ラスタ寸法は、照射ラスタ寸法の結像
が検出器ラスタ寸法よりも大きいか又は検出器ラスタが
個々の検出器素子の感光性の面の直径もしくは辺長さよ
りも大きくなるように検出器ラスタの上に結像される。 両方の二者択一的な実施例においては検出器ラスタは同
時に検出器及び同焦点ラスタを成す。前者の場合には扁
平な被検査体のためにフォーカス面において照射ラスタ
の結像の間にある検出器素子は絞りとして作用し、これ
らの検出器の出力信号は第2の評価に際して考慮されな
い。後者の場合には検出器素子の間の感光性範囲は同焦
点絞りとして作用する。
【0008】検出器ラスタとしては市販のCCD受光器
がもっとも適していることが証明された。この場合には
このセンサの一般的な欠点としての特性、すなわち受光
器面の小さな部分しか感光性の範囲から形成されていな
いという特性が利用されている。個々の検出器素子の間
隔はその直径のほぼ5〜6倍である。
がもっとも適していることが証明された。この場合には
このセンサの一般的な欠点としての特性、すなわち受光
器面の小さな部分しか感光性の範囲から形成されていな
いという特性が利用されている。個々の検出器素子の間
隔はその直径のほぼ5〜6倍である。
【0009】CCD受光器と照射された層における2次
元の孔配列とを使用することはUS−PS第48060
04号に示されたスキャニングマイクロスコープにより
公知である。しかしながらそこでは被検査体を種々の層
平面で観察できるということしか記載されていない。な
かんづくそこではCCD受光器の絞り作用は利用されて
いない。つまり、CCD受光器がラスタ状に配置された
感光性の範囲から成り、該範囲の寸法がその間隔よりも
著しく小さいという特徴は利用されていない。
元の孔配列とを使用することはUS−PS第48060
04号に示されたスキャニングマイクロスコープにより
公知である。しかしながらそこでは被検査体を種々の層
平面で観察できるということしか記載されていない。な
かんづくそこではCCD受光器の絞り作用は利用されて
いない。つまり、CCD受光器がラスタ状に配置された
感光性の範囲から成り、該範囲の寸法がその間隔よりも
著しく小さいという特徴は利用されていない。
【0010】前述のUS特許においては同焦点の光路は
被検査体に当たる光束が被検査体から反射する光束と同
じ孔配列を通過する上光マイクロスコープにおいてしか
実現されていない。したがって接眼レンズと呼ばれる光
学的な素子を通して孔配列を孔配列が観察されるか又は
撮影される平面に結像することが必要である。後者の場
合にはなかんづく、CCD受光器を有するビデオカメラ
が用いられる。このビデオカメラの像は記憶されかつ評
価される。
被検査体に当たる光束が被検査体から反射する光束と同
じ孔配列を通過する上光マイクロスコープにおいてしか
実現されていない。したがって接眼レンズと呼ばれる光
学的な素子を通して孔配列を孔配列が観察されるか又は
撮影される平面に結像することが必要である。後者の場
合にはなかんづく、CCD受光器を有するビデオカメラ
が用いられる。このビデオカメラの像は記憶されかつ評
価される。
【0011】これに対して本発明の場合には、検出器ラ
スタの検出器素子のラスタ状の配置が利用されている。
スタの検出器素子のラスタ状の配置が利用されている。
【0012】本発明による解決策は、冒頭に述べたHa
miltonの刊行物及びUS−PS4407008号
により公知であるマイクロスコープに対して、複数の被
検査体点が同時に照射されることにより表面プロフィー
ルの検出が著しく迅速に行なわれるだけではなく、直接
的に高選択性の観察が可能であるという利点を有してい
る。何故ならば同焦点の光路によって個々の被検査体個
所から反射する光線の強さが当該被検査体個所の高さに
直接的に関連しているので、各ラスタ素子が該ラスタ素
子に配属された被検査体個所における表面の高さについ
て情報を提供し、ひいては表面における強度分布が直接
的に被検査体表面の高さ分布に関する展望を可能にする
からである。特にこれによって被検査体が光路に対して
相対的に光軸の方向に動かされると、きわめて簡単に表
面の同じ高さの範囲を検出することができるようになる
。
miltonの刊行物及びUS−PS4407008号
により公知であるマイクロスコープに対して、複数の被
検査体点が同時に照射されることにより表面プロフィー
ルの検出が著しく迅速に行なわれるだけではなく、直接
的に高選択性の観察が可能であるという利点を有してい
る。何故ならば同焦点の光路によって個々の被検査体個
所から反射する光線の強さが当該被検査体個所の高さに
直接的に関連しているので、各ラスタ素子が該ラスタ素
子に配属された被検査体個所における表面の高さについ
て情報を提供し、ひいては表面における強度分布が直接
的に被検査体表面の高さ分布に関する展望を可能にする
からである。特にこれによって被検査体が光路に対して
相対的に光軸の方向に動かされると、きわめて簡単に表
面の同じ高さの範囲を検出することができるようになる
。
【0013】透明な層内に又は該層の下に反射する範囲
を有する被検査体においては、被検査体における高さに
対する強度の関連性に基づき、透明な層の表面のために
小さな最少値を有しかつ反射する範囲のために大きな最
大値を有する反射プロフィールが生じる。したがって本
発明の装置では表面プロフィールを検査するだけではな
く透明な層の内部又は透明な層の下の組織も検査できる
。
を有する被検査体においては、被検査体における高さに
対する強度の関連性に基づき、透明な層の表面のために
小さな最少値を有しかつ反射する範囲のために大きな最
大値を有する反射プロフィールが生じる。したがって本
発明の装置では表面プロフィールを検査するだけではな
く透明な層の内部又は透明な層の下の組織も検査できる
。
【0014】本発明の有利な簡単な実施例においては、
照射ラスタは1つの光源により照射される層における孔
によって実現される。照射された孔(以後単に光点と呼
ぶ)の大きな強度を達成するためには孔を有する層の前
にレンズ配列を配置することができる。このレンズ配列
は孔源の光線が層を均一に照射するのではなく、孔に集
中するために役立つ。
照射ラスタは1つの光源により照射される層における孔
によって実現される。照射された孔(以後単に光点と呼
ぶ)の大きな強度を達成するためには孔を有する層の前
にレンズ配列を配置することができる。このレンズ配列
は孔源の光線が層を均一に照射するのではなく、孔に集
中するために役立つ。
【0015】通常はCCD受光器と照射ラスタは互いに
、検出器ラスタの平面に結像された光点がCCD受光器
の感光性の範囲に当たるように調整される。このケース
ではフォーカスする場合には、反射面が正確にフォーカ
ス平面に位置する被検査体個所のための最大強度が生じ
る。CCD受光器を特別に構成することにより、たとえ
ばピクセルの間の比較的に面積の小さい感光性範囲によ
り、前記効果はさらに強められる。
、検出器ラスタの平面に結像された光点がCCD受光器
の感光性の範囲に当たるように調整される。このケース
ではフォーカスする場合には、反射面が正確にフォーカ
ス平面に位置する被検査体個所のための最大強度が生じ
る。CCD受光器を特別に構成することにより、たとえ
ばピクセルの間の比較的に面積の小さい感光性範囲によ
り、前記効果はさらに強められる。
【0016】さらに逆の照射ラスタも可能である。つま
りフォーカス平面とフォーカス平面に対して変化させら
れた平面に結像されたラスタは明るい光点から成ってい
るのではなく、ラスタ状の配置で小さな暗いゾーンを有
する明るい面から成っている。このような照射ラスタ、
つまり透光性ではないゾーンを有する、1つの光源によ
り照射された層から成る照射ラスタは、暗いゾーンが結
像される小さな感光性範囲を有するCCD受光器の場合
には、同様に反射する面がフォーカス面に正確に位置す
る被検査体個所のために最高強度をもたらす。
りフォーカス平面とフォーカス平面に対して変化させら
れた平面に結像されたラスタは明るい光点から成ってい
るのではなく、ラスタ状の配置で小さな暗いゾーンを有
する明るい面から成っている。このような照射ラスタ、
つまり透光性ではないゾーンを有する、1つの光源によ
り照射された層から成る照射ラスタは、暗いゾーンが結
像される小さな感光性範囲を有するCCD受光器の場合
には、同様に反射する面がフォーカス面に正確に位置す
る被検査体個所のために最高強度をもたらす。
【0017】別の有利な実施例においては照射ラスタは
、ほぼ点状の光源を多重にラスタ状の配置で照射平面に
結像するレンズ配列により生ぜしめられる。
、ほぼ点状の光源を多重にラスタ状の配置で照射平面に
結像するレンズ配列により生ぜしめられる。
【0018】別の有利な実施例においては照射ラスタは
、1つの光源から照射された絞りが多重にラスタ状の配
置で照射平面に結像されることにより生ぜしめられる。 この場合にも逆の照射ラスタは例えば絞りが光を通さな
い中心を有していることによって実現される。
、1つの光源から照射された絞りが多重にラスタ状の配
置で照射平面に結像されることにより生ぜしめられる。 この場合にも逆の照射ラスタは例えば絞りが光を通さな
い中心を有していることによって実現される。
【0019】特に有利な実施例においては照射ラスタは
光源配列によって生ぜしめられる。これは例えば個々の
光ダイオードから組立てられるか又は統合技術で製造さ
れる。いずれの場合にも光源配列とその電圧供給装置は
各個々の光源又は光源の所定の部分量が他の光源又は他
の部分量とは無関係に接続及び遮断できるように構成さ
れていると特に有利である。この場合には照射ラスタ寸
法は可変であり、種々の深度解像が調節可能である。
光源配列によって生ぜしめられる。これは例えば個々の
光ダイオードから組立てられるか又は統合技術で製造さ
れる。いずれの場合にも光源配列とその電圧供給装置は
各個々の光源又は光源の所定の部分量が他の光源又は他
の部分量とは無関係に接続及び遮断できるように構成さ
れていると特に有利である。この場合には照射ラスタ寸
法は可変であり、種々の深度解像が調節可能である。
【0020】可変な照射ラスタは、照射ラスタの部分範
囲のトランスミッションが可変であることによっても実
現可能である。このためには照射ラスタは背後から照射
された液晶マトリックスであることができる。
囲のトランスミッションが可変であることによっても実
現可能である。このためには照射ラスタは背後から照射
された液晶マトリックスであることができる。
【0021】前述の高選択性の全体像を撮影するために
は、フォーカス平面を光点の像と一緒に被検査体の種々
の層平面に調節する調節装置を設けることが有利である
。
は、フォーカス平面を光点の像と一緒に被検査体の種々
の層平面に調節する調節装置を設けることが有利である
。
【0022】解像性の良い完全な反射プロフィールを撮
影するためには、照射ラスタと被検査体とを互いに相対
的に光軸に対して直角な平面内に動かし、被検査体が照
射ラスタでスキャンされるようにする調節装置を用いる
ことが有利である。この場合、光点と被検査体との間の
相対運動は隣り合う光点の間隔内に留まるか又はその整
数倍であることができる。可変な照射ラスタを使用した
場合には照射ラスタの種々の部分範囲をセットで接続す
ることにより粗いスキャンを行なうことができる。
影するためには、照射ラスタと被検査体とを互いに相対
的に光軸に対して直角な平面内に動かし、被検査体が照
射ラスタでスキャンされるようにする調節装置を用いる
ことが有利である。この場合、光点と被検査体との間の
相対運動は隣り合う光点の間隔内に留まるか又はその整
数倍であることができる。可変な照射ラスタを使用した
場合には照射ラスタの種々の部分範囲をセットで接続す
ることにより粗いスキャンを行なうことができる。
【0023】本発明の別の有利な実施例においては、C
CD受光器は該CCD受光器の信号を評価するコンピュ
ータと接続されている。この場合には光点と被検査体と
を互いに相対的に光軸の方向にかつ(又は)光点もしく
は被検査体の平面に動かす調節装置をコンピュータで制
御することが有利である。
CD受光器は該CCD受光器の信号を評価するコンピュ
ータと接続されている。この場合には光点と被検査体と
を互いに相対的に光軸の方向にかつ(又は)光点もしく
は被検査体の平面に動かす調節装置をコンピュータで制
御することが有利である。
【0024】本発明の特に有利な実施例ではコンピュー
タによってはさらに、光源配列の光源の種々の部分量を
接続及び遮断するかもしくは照射ラスタの種々の部分範
囲のトランスミッションを変化させる切換え装置を制御
することができる。この場合には例えば接続された光源
の数をコンピュータの評価結果により制御し、被検査体
の臨界範囲における散乱光の割合が有効な光源数の減少
により低下させることができる。
タによってはさらに、光源配列の光源の種々の部分量を
接続及び遮断するかもしくは照射ラスタの種々の部分範
囲のトランスミッションを変化させる切換え装置を制御
することができる。この場合には例えば接続された光源
の数をコンピュータの評価結果により制御し、被検査体
の臨界範囲における散乱光の割合が有効な光源数の減少
により低下させることができる。
【0025】被検査体のスキャンに際しては照射ラスタ
とCCD受光器とを互いに相対的に照射平面もしくは絞
り平面において切換え又は調節装置(有利にはコンピュ
ータより制御される)を用いて実際的に又は仮想的に移
動させることが有利である。高性能のコンピュータで、
前記移動によっては付加的に正確な評価を可能にする情
報を得ることができる。この場合には照射ラスタの寸法
はCCD受光器の感光性の範囲のラスタ寸法よりも大き
くしておきたい。
とCCD受光器とを互いに相対的に照射平面もしくは絞
り平面において切換え又は調節装置(有利にはコンピュ
ータより制御される)を用いて実際的に又は仮想的に移
動させることが有利である。高性能のコンピュータで、
前記移動によっては付加的に正確な評価を可能にする情
報を得ることができる。この場合には照射ラスタの寸法
はCCD受光器の感光性の範囲のラスタ寸法よりも大き
くしておきたい。
【0026】照射ラスタと検出器ラスタとの仮想的な移
動は例えば、照射ラスタと検出ラスタとが光軸に対して
直角に位置する軸を中心として旋回可能である面平行な
板の上に配置されることにより実現される。レンズ配列
を有する実施例の場合には2つの光源を並べて配置する
ことができる。この場合には仮想の移動は2つの光源の
間の切換えにより行なうことができる。
動は例えば、照射ラスタと検出ラスタとが光軸に対して
直角に位置する軸を中心として旋回可能である面平行な
板の上に配置されることにより実現される。レンズ配列
を有する実施例の場合には2つの光源を並べて配置する
ことができる。この場合には仮想の移動は2つの光源の
間の切換えにより行なうことができる。
【0027】照射ラスタと観察ラスタとの移動は光点が
感光性の範囲に結像される調整状態と光点が検出器ラス
タの間の非感光性の中間室に結合される調整状態との間
の周期的な交換を可能にする。種々異なる調整状態にお
いて描出された2つの像のコンピュータにおけるピクセ
ル的な差異形成によって、同焦点効果が強められる。な
ぜならば、フォーカスされた範囲の差がきわめて大きく
、フォーカスされない被検査体範囲における差異が特に
小さいからである。
感光性の範囲に結像される調整状態と光点が検出器ラス
タの間の非感光性の中間室に結合される調整状態との間
の周期的な交換を可能にする。種々異なる調整状態にお
いて描出された2つの像のコンピュータにおけるピクセ
ル的な差異形成によって、同焦点効果が強められる。な
ぜならば、フォーカスされた範囲の差がきわめて大きく
、フォーカスされない被検査体範囲における差異が特に
小さいからである。
【0028】同焦点の結像の深度をできるだけ小さくす
るためには通常の円形のテレセンタリング絞りの代りに
リング状の絞りを設けることが有利である。このような
絞りの使用はEP−A2−0244640号により公知
である。そこには公知の被検査パターンに3次元の伝達
作用を適合させるために前述の光学的な結像系にも適し
ている、他のトランスミッションパターンを有する絞り
も記載されている。
るためには通常の円形のテレセンタリング絞りの代りに
リング状の絞りを設けることが有利である。このような
絞りの使用はEP−A2−0244640号により公知
である。そこには公知の被検査パターンに3次元の伝達
作用を適合させるために前述の光学的な結像系にも適し
ている、他のトランスミッションパターンを有する絞り
も記載されている。
【0029】
【実施例】図1においては符号(11)で光源、例えば
ハロゲンランプが示されている。該ハロゲンランプ(1
1)はコンデンサ(11k)を用いて、場合によっては
フィルタ(11f)(十分に幅の狭い、スペクトル範囲
を選別するためのフィルタ)を介して層(12s)にお
ける孔(12l)を照射する。このような層(12l)
は公知の形式で例えばガラスプレート(12g)の上の
クロームから形成されている。孔(12l)は層(12
s)においてCCD受光器(17)の感光範囲と同様に
ラスタ形状に配置されている。Fa.Sonyの受光器
1CX022が使用されると層はラスタの両方向に11
μmの間隔をおいて例えば2μm×2μmの大きさの孔
を512×512個有している。孔の大きさはしたがっ
て孔の間隔よりも著しく小さい。
ハロゲンランプが示されている。該ハロゲンランプ(1
1)はコンデンサ(11k)を用いて、場合によっては
フィルタ(11f)(十分に幅の狭い、スペクトル範囲
を選別するためのフィルタ)を介して層(12s)にお
ける孔(12l)を照射する。このような層(12l)
は公知の形式で例えばガラスプレート(12g)の上の
クロームから形成されている。孔(12l)は層(12
s)においてCCD受光器(17)の感光範囲と同様に
ラスタ形状に配置されている。Fa.Sonyの受光器
1CX022が使用されると層はラスタの両方向に11
μmの間隔をおいて例えば2μm×2μmの大きさの孔
を512×512個有している。孔の大きさはしたがっ
て孔の間隔よりも著しく小さい。
【0030】層(12s)における照射された孔(12
l)を通して生ぜしめられた照射ラスタは照射面(11
b)に位置している。これはレンズ(13c,13u)
によってフォーカス面(13f)に結像されるので、こ
のフォーカス面(13f)において被検査体(14)は
ラスタ状に配置された光点により照射される。中心から
中心までの光点の間隔は照射ラスタ寸法と呼ぶことにす
る。透光性ではない被検査体の場合には、表面(14o
)だけが照射されるのに対し、透光性の被検査体の場合
には内部が光点で照射される。フォーカス面における被
検査体から反射される光線はレンズ(13u,13o)
により分光器(16)を介して絞り面(17b)にフォ
ーカスされる。同焦点的な配置に必要な絞りは絞り面(
17b)においてCCD受光器の感光性の範囲によって
実現される。この感光性の範囲は該感光性の範囲よりも
大きな中間室により互いに分離されている。
l)を通して生ぜしめられた照射ラスタは照射面(11
b)に位置している。これはレンズ(13c,13u)
によってフォーカス面(13f)に結像されるので、こ
のフォーカス面(13f)において被検査体(14)は
ラスタ状に配置された光点により照射される。中心から
中心までの光点の間隔は照射ラスタ寸法と呼ぶことにす
る。透光性ではない被検査体の場合には、表面(14o
)だけが照射されるのに対し、透光性の被検査体の場合
には内部が光点で照射される。フォーカス面における被
検査体から反射される光線はレンズ(13u,13o)
により分光器(16)を介して絞り面(17b)にフォ
ーカスされる。同焦点的な配置に必要な絞りは絞り面(
17b)においてCCD受光器の感光性の範囲によって
実現される。この感光性の範囲は該感光性の範囲よりも
大きな中間室により互いに分離されている。
【0031】レンズ(13c,13u)の間には通常は
いわゆるテレセンタリング絞り(13f)が配置されて
いる。該テレセンタリング絞りは中心光線(13m)が
光軸(10)に対して平行に被検査体(14)に当たり
、被検査体(14)を光軸(10)の方向に動かしても
被検査体の上の光点の位置が変わらないようにする。
いわゆるテレセンタリング絞り(13f)が配置されて
いる。該テレセンタリング絞りは中心光線(13m)が
光軸(10)に対して平行に被検査体(14)に当たり
、被検査体(14)を光軸(10)の方向に動かしても
被検査体の上の光点の位置が変わらないようにする。
【0032】被検査体(14)は調節装置(15)によ
ってすべての3つの空間方向に動かすことができるので
被検査体(14)の種々の層(14s)がスキャニング
され得る。この場合にはx方向とy方向の運動は光点(
12)もしくはCCD受光器(17)のラスタ寸法より
も小さく選ぶことが可能である。もちろんz方向の被検
査体の運動はレンズ(13o,13u)を光軸(10)
の方向に移動させることによっても達成でき、同様に被
検査体をx方向及びy方向に移動させる代りに孔(12
l)を有する層(12s)及びCCD受光器(17)を
適当に動かすこともできる。
ってすべての3つの空間方向に動かすことができるので
被検査体(14)の種々の層(14s)がスキャニング
され得る。この場合にはx方向とy方向の運動は光点(
12)もしくはCCD受光器(17)のラスタ寸法より
も小さく選ぶことが可能である。もちろんz方向の被検
査体の運動はレンズ(13o,13u)を光軸(10)
の方向に移動させることによっても達成でき、同様に被
検査体をx方向及びy方向に移動させる代りに孔(12
l)を有する層(12s)及びCCD受光器(17)を
適当に動かすこともできる。
【0033】CCD受光器(17)の信号は接続導線(
17i)を介してコンピュータ(18)に伝達される。 該コンピュータ(18)は評価装置を有し、スクリーン
(18b)の上に評価の結果を、例えばグラフの形で再
生する。コンピュータ(18)は接続導線(18v)を
介して被検査体におけるフォーカス平面の移動及びx方
向及びy方向のスキャンを制御することもできる。この
制御はコンピュータにおいて固定したプログラムとして
組んでおくか評価の結果に関連して行なうこともできる
。
17i)を介してコンピュータ(18)に伝達される。 該コンピュータ(18)は評価装置を有し、スクリーン
(18b)の上に評価の結果を、例えばグラフの形で再
生する。コンピュータ(18)は接続導線(18v)を
介して被検査体におけるフォーカス平面の移動及びx方
向及びy方向のスキャンを制御することもできる。この
制御はコンピュータにおいて固定したプログラムとして
組んでおくか評価の結果に関連して行なうこともできる
。
【0034】図2においてはコンデンサ(11k)もし
くはフィルタ(11f)と孔(12l)を有する層(1
2s)との間にレンズ配列(22a)が配置されている
。このレンズ配列(22a)は層(12s)が孔(12
l)を有している数と同じ数の小さなレンズ(22l)
を有している。該レンズ(22l)は光源の照射螺旋の
像を孔に結像し、光点により大きな強度を与えるという
任務を有している。
くはフィルタ(11f)と孔(12l)を有する層(1
2s)との間にレンズ配列(22a)が配置されている
。このレンズ配列(22a)は層(12s)が孔(12
l)を有している数と同じ数の小さなレンズ(22l)
を有している。該レンズ(22l)は光源の照射螺旋の
像を孔に結像し、光点により大きな強度を与えるという
任務を有している。
【0035】レンズ配列(22a)と孔(12l)を有
する層(12s)は図示のように共通の部分(22g)
に纏めることもできる。適当なレンズ配列の製造はK.
Koizumi の公開刊行物(SPIE Vol
.1128,74(1989)により公知である。
する層(12s)は図示のように共通の部分(22g)
に纏めることもできる。適当なレンズ配列の製造はK.
Koizumi の公開刊行物(SPIE Vol
.1128,74(1989)により公知である。
【0036】照射ラスタの特に有利な実現は図3に示さ
れている。図3においては符号(31)では例えば発光
ダイオード(LEDs)(31l)から成っている光源
配列が示されている。例えば10×10ダイオードの大
きさを有するこのような配列は、例えば2.5mmのダ
イオード間隔でFa.Siemensの市販のミニダイ
オードLSU260−EOから組立ることができ、全体
として2.5cm×2.5cmの大きさを有している。 約1:5の寸法で照射平面(11b)には対物レンズ(
31o)によって、CCD受光器の平面における照射ラ
スタの結像がCCD受光器の総感光面の5mm×5mm
の大きさを有するように結像される。CCD受光器(1
7)からはこの場合には全部で512×512個存在す
る検出素子の内、約0.5mm×0.5mmの間隔を有
する100個の感光範囲しか活用されない。それにも拘
らず、100の光点によって1つの光点だけで行なわれ
るスキャンに対して著しい時間的短縮が達成される。
れている。図3においては符号(31)では例えば発光
ダイオード(LEDs)(31l)から成っている光源
配列が示されている。例えば10×10ダイオードの大
きさを有するこのような配列は、例えば2.5mmのダ
イオード間隔でFa.Siemensの市販のミニダイ
オードLSU260−EOから組立ることができ、全体
として2.5cm×2.5cmの大きさを有している。 約1:5の寸法で照射平面(11b)には対物レンズ(
31o)によって、CCD受光器の平面における照射ラ
スタの結像がCCD受光器の総感光面の5mm×5mm
の大きさを有するように結像される。CCD受光器(1
7)からはこの場合には全部で512×512個存在す
る検出素子の内、約0.5mm×0.5mmの間隔を有
する100個の感光範囲しか活用されない。それにも拘
らず、100の光点によって1つの光点だけで行なわれ
るスキャンに対して著しい時間的短縮が達成される。
【0037】この場合にも照射面(11b)においては
孔(32l)を有する層(32s)を配置し、光点が十
分に小さな寸法を得るようにすることが有利である。縮
小された結像のための対物レンズ(31o)の他に同焦
点の光路における別の結像のためのフィールドレンズ(
31f)を設けておくことが合目的的である。
孔(32l)を有する層(32s)を配置し、光点が十
分に小さな寸法を得るようにすることが有利である。縮
小された結像のための対物レンズ(31o)の他に同焦
点の光路における別の結像のためのフィールドレンズ(
31f)を設けておくことが合目的的である。
【0038】圧電駆動装置(15v)によって層(32
s)は光軸に対して直角にx方向及び(又は)y方向に
移動させることができるので、二者択一的に孔(32l
)はCCDカメラ(17)の感光範囲と非感光性の中間
室とに結像される。コンピュータ(18)においては順
次結像した2つの像の光強度の差がピクセル形式で計算
される。これによって強化された同焦点効果が達成され
る。
s)は光軸に対して直角にx方向及び(又は)y方向に
移動させることができるので、二者択一的に孔(32l
)はCCDカメラ(17)の感光範囲と非感光性の中間
室とに結像される。コンピュータ(18)においては順
次結像した2つの像の光強度の差がピクセル形式で計算
される。これによって強化された同焦点効果が達成され
る。
【0039】著しく有利であるのは、照射ラスタのため
に、例えばJ.P.Donnellyの公開刊行物(S
PIE1043,92(1989))に記載されている
ような統合されたLED配列を使用することである。こ
のようなLED配列はミニダイオードから組立てられた
配列と同様に、LEDの規定された部分量が接続及び遮
断されるという利点を有している。いずれの場合にも接
続遮断はコンピュータ(18)により切換え装置(19
)を介して制御することができる。
に、例えばJ.P.Donnellyの公開刊行物(S
PIE1043,92(1989))に記載されている
ような統合されたLED配列を使用することである。こ
のようなLED配列はミニダイオードから組立てられた
配列と同様に、LEDの規定された部分量が接続及び遮
断されるという利点を有している。いずれの場合にも接
続遮断はコンピュータ(18)により切換え装置(19
)を介して制御することができる。
【0040】図1から図3までに示された照射面(11
b)、フォーカス面(13f)及び絞り面(17b)と
の間の同焦点の光路は、本発明において専門家が即座に
認識し得る形式で使用できる複数の公知の同焦点の光路
の特別な1実施態様にすぎない。さらに図示の光路にお
いてはフォーカス面(13f)において照射面(11b
)を1:1の寸法で結像することは決して必要ではない
。むしろこの場合にはマイクロスコープにより公知であ
るように縮小するだけではなく拡大することも可能であ
る。したがって見出しでもマイクロスコープの呼称は使
用されていない。
b)、フォーカス面(13f)及び絞り面(17b)と
の間の同焦点の光路は、本発明において専門家が即座に
認識し得る形式で使用できる複数の公知の同焦点の光路
の特別な1実施態様にすぎない。さらに図示の光路にお
いてはフォーカス面(13f)において照射面(11b
)を1:1の寸法で結像することは決して必要ではない
。むしろこの場合にはマイクロスコープにより公知であ
るように縮小するだけではなく拡大することも可能であ
る。したがって見出しでもマイクロスコープの呼称は使
用されていない。
【0041】図4においては逆の照射ラスタのためのガ
ラス板(41)が示されている。この場合にはガラス板
の上に設けられた非透明の層は比較的に幅の広い透光性
の範囲によって互いに分離された小さなゾーンだけから
成っている。
ラス板(41)が示されている。この場合にはガラス板
の上に設けられた非透明の層は比較的に幅の広い透光性
の範囲によって互いに分離された小さなゾーンだけから
成っている。
【0042】図5においては照射ラスタは、十分に良好
な結像特性によってほぼ点状の光源(51)から十分に
小さい光点(54)を照射面(11b)に形成するレン
ズ配列(53)によって生ぜしめられる。コンデンサレ
ンズ(52)はレンズ配列(53)が平行光束によって
貫通され、個々のレンズ(53l)のすべてが効果的に
利用されるようにする。
な結像特性によってほぼ点状の光源(51)から十分に
小さい光点(54)を照射面(11b)に形成するレン
ズ配列(53)によって生ぜしめられる。コンデンサレ
ンズ(52)はレンズ配列(53)が平行光束によって
貫通され、個々のレンズ(53l)のすべてが効果的に
利用されるようにする。
【0043】図6にはレンズ配列(53)によって絞り
(61)が多重に照射面(11b)に結像される配置が
示されている。これらの絞りはコンデンサ(62)と拡
散ガラス(63)とを介して光源(11)から照射され
る。絞りとしては種々の実施例が可能である。例として
は図7には透光性の範囲が正方形に制限されかつ逆の照
射ラスタのために透光性のセンタ(72)を有する絞り
(61)が示されている。もちろん光点から成る照射ラ
スタのための絞り等も可能である。
(61)が多重に照射面(11b)に結像される配置が
示されている。これらの絞りはコンデンサ(62)と拡
散ガラス(63)とを介して光源(11)から照射され
る。絞りとしては種々の実施例が可能である。例として
は図7には透光性の範囲が正方形に制限されかつ逆の照
射ラスタのために透光性のセンタ(72)を有する絞り
(61)が示されている。もちろん光点から成る照射ラ
スタのための絞り等も可能である。
【0044】図8の実施例においては、同焦点のラスタ
マイクロスコープが示されている。このラスタミクロス
コープは照射ラスタとして液晶ディスプレー(83)を
有している。図面には9個の部分範囲しか示されていな
い、液晶ディスプレーの部分範囲(83a〜i)のトラ
ンスミッションは電子的な切換え装置(97)によりア
ドレス可能に変化させることができる。
マイクロスコープが示されている。このラスタミクロス
コープは照射ラスタとして液晶ディスプレー(83)を
有している。図面には9個の部分範囲しか示されていな
い、液晶ディスプレーの部分範囲(83a〜i)のトラ
ンスミッションは電子的な切換え装置(97)によりア
ドレス可能に変化させることができる。
【0045】液晶ディスプレー(83)は背面側で光源
(81)とコレクタ(82)で照射される。中間レンズ
(84)とコンデンサ(85)とを介して照射ラスタ(
83)は縮小されてフォーカス面(87)に結像される
。テレセンタリング絞りとしてはこの場合にはコンデン
サの入口瞳孔(85b)が用いられている。
(81)とコレクタ(82)で照射される。中間レンズ
(84)とコンデンサ(85)とを介して照射ラスタ(
83)は縮小されてフォーカス面(87)に結像される
。テレセンタリング絞りとしてはこの場合にはコンデン
サの入口瞳孔(85b)が用いられている。
【0046】観察側においてはフォーカス面におかれた
液晶ディスプレーの像は対物レンズ(88)とターバス
レンズ(90)とを介してテレセンタ的にCCD受光器
(91)に結像される。この場合には対物レンズ(88
)の出口瞳孔(88b)はテレセンタリング絞りとして
用いられる。
液晶ディスプレーの像は対物レンズ(88)とターバス
レンズ(90)とを介してテレセンタ的にCCD受光器
(91)に結像される。この場合には対物レンズ(88
)の出口瞳孔(88b)はテレセンタリング絞りとして
用いられる。
【0047】CCD受光器(91)により受像された像
はアナログデジタル変換器でデジタル化されたあとで計
算器(94)に読込まれかつ処理される。
はアナログデジタル変換器でデジタル化されたあとで計
算器(94)に読込まれかつ処理される。
【0048】図示されたケースでは液晶ディスプレー(
83)の2つの部分範囲だけが高いトランスミッション
に切換えられる。これに相応してフォーカス面(87)
においても2つの光斑だけが生ぜしめられ、両方の部分
範囲(83a,83e)に結像的に配属された2つの検
出素子(91a,91e)だけがフォーカス面(87)
において散乱した光を受光する。残った検出部材(91
b〜d,91f〜i)は信号が像評価に際して考慮され
ないか特別には考慮されない同焦点の絞りとして作用す
る。
83)の2つの部分範囲だけが高いトランスミッション
に切換えられる。これに相応してフォーカス面(87)
においても2つの光斑だけが生ぜしめられ、両方の部分
範囲(83a,83e)に結像的に配属された2つの検
出素子(91a,91e)だけがフォーカス面(87)
において散乱した光を受光する。残った検出部材(91
b〜d,91f〜i)は信号が像評価に際して考慮され
ないか特別には考慮されない同焦点の絞りとして作用す
る。
【0049】被検査体(14)はフォーカス面(87)
において、液晶ディスプレー(83)の種々の部分範囲
(83a〜i)又は部分範囲(83a〜i)の種々の組
合せが順次高いトランスミッションに切換えられ、それ
ぞれ切換えられた部分範囲(83a〜i)に配属された
検出素子(91a〜i)の信号が評価に際して考慮され
て検出される。このアドレス可能な部分範囲(83a〜
i)の制御のためには、コンピュータ(94)は切換え
装置(97)と接続されている。次いで複数の単個像か
ら組合わされた全体像はモニタ(95)に表示される。
において、液晶ディスプレー(83)の種々の部分範囲
(83a〜i)又は部分範囲(83a〜i)の種々の組
合せが順次高いトランスミッションに切換えられ、それ
ぞれ切換えられた部分範囲(83a〜i)に配属された
検出素子(91a〜i)の信号が評価に際して考慮され
て検出される。このアドレス可能な部分範囲(83a〜
i)の制御のためには、コンピュータ(94)は切換え
装置(97)と接続されている。次いで複数の単個像か
ら組合わされた全体像はモニタ(95)に表示される。
【0050】さらに被検査体テーブル(86)は、この
場合にもコンピュータ(94)により制御された制御装
置(98)を介して互いに直交する3つの空間方向に移
動可能である。被検査体テーブル(86)を細かくフォ
ーカス面(87)に対して平行に移動させることにより
、像はきわめて高い潜在解像性をもって形成される。 被検査体テーブル(86)を光軸に対して平行に移動さ
せることは被検査体(14)の種々の深さ断層を検査す
るために役立つ。
場合にもコンピュータ(94)により制御された制御装
置(98)を介して互いに直交する3つの空間方向に移
動可能である。被検査体テーブル(86)を細かくフォ
ーカス面(87)に対して平行に移動させることにより
、像はきわめて高い潜在解像性をもって形成される。 被検査体テーブル(86)を光軸に対して平行に移動さ
せることは被検査体(14)の種々の深さ断層を検査す
るために役立つ。
【0051】この実施例においては検出部材ラスタ寸法
、すなわち検出素子(91a〜i)の中心間隔だけが不
変である。これに対してフォーカス面における照射ラス
タ寸法はコンピュータ(94)と切換え装置(97)と
を介して、ディスプレー(83)のいくつかの部分範囲
が同時に高いトランスミッションに切換えられることに
関連して変化可能である。例えば総括像を形成するため
にすべての部分範囲を高いトランスミッションに切換え
ることもできる。CCDセンサ(91)によって受取ら
れた像はこの場合には普通の明域像に相当する。しかし
ながら高いトランスミッションに接続された部分範囲(
83a〜i)を異なる間隔に調節することも可能である
。この場合には像域内で同焦点効果は変化する。
、すなわち検出素子(91a〜i)の中心間隔だけが不
変である。これに対してフォーカス面における照射ラス
タ寸法はコンピュータ(94)と切換え装置(97)と
を介して、ディスプレー(83)のいくつかの部分範囲
が同時に高いトランスミッションに切換えられることに
関連して変化可能である。例えば総括像を形成するため
にすべての部分範囲を高いトランスミッションに切換え
ることもできる。CCDセンサ(91)によって受取ら
れた像はこの場合には普通の明域像に相当する。しかし
ながら高いトランスミッションに接続された部分範囲(
83a〜i)を異なる間隔に調節することも可能である
。この場合には像域内で同焦点効果は変化する。
【0052】図8においては図を見やすくするためにデ
ィスプレーの9個の部分範囲(83a〜i)と9個の配
属された検出素子(91a〜i)だけが示されている。 ディスプレーも受光器(91)も著しく多くの、2つの
座標方向に配置された部分範囲もしくは検出素子を有し
ていることも明らかである。
ィスプレーの9個の部分範囲(83a〜i)と9個の配
属された検出素子(91a〜i)だけが示されている。 ディスプレーも受光器(91)も著しく多くの、2つの
座標方向に配置された部分範囲もしくは検出素子を有し
ていることも明らかである。
【0053】図面を用いて説明した実施例においては光
は照射側でも観察側でも同じ波長を有している。しかし
ながら本発明の装置は螢光測定のためにも有利に使用す
ることもできる。このためには検出器ラスタの前に適当
な色フィルタを使用することができる。この色フィルタ
は被検査体の螢光だけを伝送させる。該螢光は被検査体
の上に投影された光を遮断する。
は照射側でも観察側でも同じ波長を有している。しかし
ながら本発明の装置は螢光測定のためにも有利に使用す
ることもできる。このためには検出器ラスタの前に適当
な色フィルタを使用することができる。この色フィルタ
は被検査体の螢光だけを伝送させる。該螢光は被検査体
の上に投影された光を遮断する。
【図面の簡単な説明】
【図1】照射ラスタが孔を有する層の照射によって形成
される実施例を示した図。
される実施例を示した図。
【図2】孔からの照射が付加的なレンズ配列によって改
善されている実施例を示した図。
善されている実施例を示した図。
【図3】照射ラスタが半導体配列によって生ぜしめられ
る実施例を示した図。
る実施例を示した図。
【図4】逆の照射ラスタのためにパターンを有するガラ
ス板を示した図。
ス板を示した図。
【図5】照射ラスタを形成するために光源がレンズ配列
によって多重に結像される装置を示した図。
によって多重に結像される装置を示した図。
【図6】照射ラスタを形成するためにレンズ配列を用い
て、照射された絞りが多重に結像される装置を示した図
。
て、照射された絞りが多重に結像される装置を示した図
。
【図7】図6に示された照射された絞りの1例を示した
図。
図。
【図8】通過光における照射ラスタとして液晶マトリッ
クスを有する装置を示した図。
クスを有する装置を示した図。
11 光源、 11b 照射面、 11f
フィルタ、 11k コンデンサ、12 光点、
12g ガラス板、 12l 孔、 12
s 層、 13fフォーカス面、 13o,13
u レンズ、 14 被検査体、 14o
表面、 14s 層、 16 導光体、 1
7 CCD受光器、 17b 絞り面、 18
コンピュータ、 22a レンズ配列、 2
2l レンズ、 31光源配列、 31l 発
光ダイオード、 31o 対物レンズ、 32s
層、32l 孔、 51 光源、 53
レンズ配列、 54 光点、 61 絞り、
62コンデンサ、 63 拡散がラス、 8
1 光源、 83 液晶ディスプレー、91
CCD受光器 、94 コンピュータ、 97
切換え装置、 98 制御装置
フィルタ、 11k コンデンサ、12 光点、
12g ガラス板、 12l 孔、 12
s 層、 13fフォーカス面、 13o,13
u レンズ、 14 被検査体、 14o
表面、 14s 層、 16 導光体、 1
7 CCD受光器、 17b 絞り面、 18
コンピュータ、 22a レンズ配列、 2
2l レンズ、 31光源配列、 31l 発
光ダイオード、 31o 対物レンズ、 32s
層、32l 孔、 51 光源、 53
レンズ配列、 54 光点、 61 絞り、
62コンデンサ、 63 拡散がラス、 8
1 光源、 83 液晶ディスプレー、91
CCD受光器 、94 コンピュータ、 97
切換え装置、 98 制御装置
Claims (12)
- 【請求項1】 被検査体を3次元検査するための装置
であって、 −照射ラスタ −互いに無関係な多数の検出器から成り、該検出器の中
心点間隔が検出器ラスタ寸法を成している検出器ラスタ
−照射ラスタをフォーカス面に結像しかつフォーカス面
を検出器ラスタに結像する光学素子 とを有する形式のものにおいて、 −照射ラスタ(12;22;31;83)が同時に複数
の別個の光斑又は影域をフォーカス面(13f;87)
に生ぜしめられ、該光斑又は影域の中心点間隔が照射ラ
スタ寸法を成しており、 −検出器ラスタ(17;91)の平面における照射ラス
タ寸法の結像が検出器ラスタ寸法よりも大きいか検出器
ラスタ寸法が個々の検出部材の感光面の直径又は辺長さ
よりも大きい、ことを特徴とする、被検査体を3次元検
査するための同焦点光路を有する光学式装置。 - 【請求項2】 検出器ラスタ寸法が個々の検出部材の
感光面の直径もしくは辺長さの少なくとも2倍に相応し
ている、請求項1記載の装置。 - 【請求項3】 検出器がCCDセンサ(17;91)
である、請求項1又は2記載の装置。 - 【請求項4】 検出器ラスタ(17;91)の平面に
おける照射ラスタ寸法の結像が検出器ラスタ寸法の少な
くとも2倍に相応している、請求項1から3までのいず
れか1項記載の装置。 - 【請求項5】 照射ラスタ(12)が層(12s)に
おける、1つの光源から照射された孔(12l)から成
っている、請求孔1から4までのいずれか1項記載の装
置。 - 【請求項6】 照射ラスタが、1つの光源(11)に
より照射された、非透光性のゾーン(42)を有する層
から成っている、請求項1から4までのいずれか1項記
載の装置。 - 【請求項7】 照射ラスタが1つの光源(51)を多
重に、ラスタ状の配置で照射平面(11b)に結像する
レンズ配列(53)によって生ぜしめられる、請求項1
から4までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項8】 照射ラスタ寸法が変化可能である、請
求項1から4までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項9】 照射ラスタが光源配列(31)を有し
ており、光源配列(31a)の光源(31l)が個々に
又は部分量で接続及び遮断可能である、請求項8記載の
装置。 - 【請求項10】 照射ラスタ寸法を変化させるために
電子的な切換え装置(19;97)が設けられている、
請求項8又は9記載の装置。 - 【請求項11】 CCD受光器(17;91)がコン
ピュータ(18;94)と接続されており、該コンピュ
ータ内にCCD受光器(17;91)の信号が評価され
、コンピュータ(18;94)が調節装置(15;98
)と接続されており、該調節装置(15;98)がフォ
ーカス面(13f;87)を被検査体(14)の種々の
層(14s)に調節すること及び(又は)照射ラスタ(
12;22;31;83)と被検査体(14)の相対的
な運動をコンピュータ(18;94)により制御するこ
とが可能である、請求項1から10までのいずれか1項
記載の装置。 - 【請求項12】 コンピュータ(18)が切換装置又
は調節装置(15v)と接続されており、これにより照
射ラスタ(12;22;31)とCCD受光器(17)
が互いに相対的にそのつどの平面内で移動可能である、
請求項11記載の装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19904035799 DE4035799C2 (de) | 1990-11-10 | 1990-11-10 | Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Untersuchung eines Objektes |
DE4035799.6 | 1990-11-10 | ||
US62667890A | 1990-12-12 | 1990-12-12 | |
US07/626678 | 1990-12-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04265918A true JPH04265918A (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=25898384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3294011A Pending JPH04265918A (ja) | 1990-11-10 | 1991-11-11 | 被検査体を3次元検査するための同焦点光路を有する光学式装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0485803B1 (ja) |
JP (1) | JPH04265918A (ja) |
AT (1) | ATE137588T1 (ja) |
CA (1) | CA2054928A1 (ja) |
DE (1) | DE59107758D1 (ja) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0533109U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点レ−ザ顕微鏡 |
JPH0533111U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点用光スキヤナ |
JPH0961719A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
JPH09257440A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 2次元配列型共焦点光学装置 |
WO1997037264A1 (fr) * | 1996-03-29 | 1997-10-09 | Komatsu Ltd. | Appareil optique confocal |
WO1997038341A1 (fr) * | 1996-04-08 | 1997-10-16 | Komatsu Ltd. | Dispositif optique confocal |
WO1997040412A1 (fr) * | 1996-04-23 | 1997-10-30 | Komatsu Ltd. | Dispositif optique confocal et dispositif d'exposition a un hologramme |
JPH10318733A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 2次元配列型共焦点光学装置 |
JPH11249023A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-09-17 | Max Planck Ges Foerderung Wissenschaft Ev | 共焦点分光システムおよび分光方法 |
JP2001508340A (ja) * | 1997-01-13 | 2001-06-26 | メディスペクトラ インコーポレーテッド | 空間的に分解された光学的測定 |
WO2002023248A1 (fr) * | 2000-09-11 | 2002-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope confocal et procede de mesure de hauteur utilisant ledit microscope |
JP2002311388A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Nikon Corp | 光学系 |
JP2005525566A (ja) * | 2002-05-15 | 2005-08-25 | イコス ヴィジオン システムズ ナムローゼ フェンノートシャップ | 物体のトポグラフィ形状を三次元で測定する装置 |
JP2009510498A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 顕微鏡検査方法および顕微鏡 |
JP2010026151A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス装置 |
JP2012002670A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 高さ検出装置 |
CN107764208A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-03-06 | 河南工程学院 | 发制品垂度测试仪 |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2707018B1 (ja) * | 1993-06-22 | 1995-07-21 | Commissariat Energie Atomique | |
GB9603788D0 (en) * | 1996-02-22 | 1996-04-24 | Isis Innovation | Confocal microscope |
WO1997034171A2 (en) * | 1996-02-28 | 1997-09-18 | Johnson Kenneth C | Microlens scanner for microlithography and wide-field confocal microscopy |
DE19653413C2 (de) * | 1996-12-22 | 2002-02-07 | Stefan Hell | Rastermikroskop, bei dem eine Probe in mehreren Probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird |
DE19746575A1 (de) * | 1997-10-22 | 1999-04-29 | Zeiss Carl Fa | Optische Bildaufnahmeeinrichtung und Verfahren zu deren Nutzung |
EP0911667B1 (en) * | 1997-10-22 | 2003-04-02 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Programmable spatially light modulated microscope and microscopy method |
DE19811202C2 (de) * | 1998-03-09 | 2002-01-17 | Gf Mestechnik Gmbh | Konfokales Scanmikroskop |
DE19960583A1 (de) * | 1999-12-15 | 2001-07-05 | Evotec Biosystems Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Mikroskopie |
KR20050044369A (ko) | 2001-11-07 | 2005-05-12 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 마스크없는 광자-전자 스팟-그리드 어레이 프린터 |
US6897941B2 (en) | 2001-11-07 | 2005-05-24 | Applied Materials, Inc. | Optical spot grid array printer |
DE10211070A1 (de) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Gurny Broesch Andrea | Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts |
US7923260B2 (en) | 2002-08-20 | 2011-04-12 | Illumina, Inc. | Method of reading encoded particles |
US7901630B2 (en) | 2002-08-20 | 2011-03-08 | Illumina, Inc. | Diffraction grating-based encoded microparticle assay stick |
US7164533B2 (en) | 2003-01-22 | 2007-01-16 | Cyvera Corporation | Hybrid random bead/chip based microarray |
WO2004034894A1 (en) * | 2002-10-16 | 2004-04-29 | Campbell Science Group, Inc. | Cornea characteristics measuring device |
DE10301775A1 (de) * | 2003-01-18 | 2004-07-29 | Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co.Kg | Erfassungsvorrichtung für die optische Erfassung eines Objektes, Verfahren zum Betrieb einer derartigen Erfassungsvorrichtung sowie Scannvorrichtung und konfokales Mikroskop |
DE102004020663A1 (de) | 2004-04-24 | 2005-11-10 | Carl Zeiss Meditec Ag | Einrichtung zur Beleuchtung organischer Objekte |
AU2005307746B2 (en) | 2004-11-16 | 2011-05-12 | Illumina, Inc. | And methods and apparatus for reading coded microbeads |
GB0606788D0 (en) * | 2006-04-03 | 2006-05-10 | Ind Co Ltd | Confocal microscopy |
US7830575B2 (en) | 2006-04-10 | 2010-11-09 | Illumina, Inc. | Optical scanner with improved scan time |
EP1933131A1 (en) * | 2006-12-11 | 2008-06-18 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Efficient method and system for detecting luminescence |
GB2451443B (en) | 2007-07-30 | 2012-12-26 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Optical measurement apparatus and method therefor |
GB2451441B (en) | 2007-07-30 | 2012-07-11 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Optical alignment apparatus and method thereof |
GB2457302B (en) | 2008-02-11 | 2013-04-10 | Lein Applied Diagnostics Ltd | Measurement apparatus and method therefor |
GB0808965D0 (en) * | 2008-05-16 | 2008-06-25 | Imp Innovations Ltd | Equipment to stimulate photosensitized cells |
DE102011013195A1 (de) * | 2011-03-02 | 2012-09-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensor |
CN103411556B (zh) * | 2013-08-15 | 2015-12-09 | 哈尔滨工业大学 | 基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法 |
DE102013223894B3 (de) * | 2013-11-22 | 2015-02-19 | Sirona Dental Systems Gmbh | Optisches Messsystem und Verfahren zur dreidimensionalen optischen Vermessung eines Objekts |
DE102013226497A1 (de) | 2013-12-18 | 2015-06-18 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren zur Planung einer Sinterung eines Zahnersatzteils |
US10989903B2 (en) * | 2018-02-26 | 2021-04-27 | Washington State University | Modular scanning confocal optical profile microscopy with digital imaging processing |
DE102021116504A1 (de) * | 2021-06-25 | 2022-12-29 | Abberior Instruments Gmbh | Verfahren, Computerprogramm und Vorrichtung zum Schätzen einer Position eines Emitters oder Reflektors in einer Probe |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3037983C2 (de) * | 1980-10-08 | 1983-03-31 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und Vorrichtung zur lichtinduzierten rastermikroskopischen Darstellung von Probenparametern in ihrer räumlichen Verteilung |
US4806004A (en) * | 1987-07-10 | 1989-02-21 | California Institute Of Technology | Scanning microscopy |
US4802748A (en) * | 1987-12-14 | 1989-02-07 | Tracor Northern, Inc. | Confocal tandem scanning reflected light microscope |
-
1991
- 1991-10-30 DE DE59107758T patent/DE59107758D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-10-30 AT AT91118461T patent/ATE137588T1/de active
- 1991-10-30 EP EP91118461A patent/EP0485803B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-05 CA CA002054928A patent/CA2054928A1/en not_active Abandoned
- 1991-11-11 JP JP3294011A patent/JPH04265918A/ja active Pending
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0533111U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点用光スキヤナ |
JPH0533109U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点レ−ザ顕微鏡 |
JPH0961719A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
JPH09257440A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 2次元配列型共焦点光学装置 |
WO1997037264A1 (fr) * | 1996-03-29 | 1997-10-09 | Komatsu Ltd. | Appareil optique confocal |
WO1997038341A1 (fr) * | 1996-04-08 | 1997-10-16 | Komatsu Ltd. | Dispositif optique confocal |
WO1997040412A1 (fr) * | 1996-04-23 | 1997-10-30 | Komatsu Ltd. | Dispositif optique confocal et dispositif d'exposition a un hologramme |
JP2001508340A (ja) * | 1997-01-13 | 2001-06-26 | メディスペクトラ インコーポレーテッド | 空間的に分解された光学的測定 |
JPH10318733A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 2次元配列型共焦点光学装置 |
JP4712923B2 (ja) * | 1997-11-17 | 2011-06-29 | マツクス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシャフテン エー フアウ | 共焦点分光システムおよび分光方法 |
JPH11249023A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-09-17 | Max Planck Ges Foerderung Wissenschaft Ev | 共焦点分光システムおよび分光方法 |
WO2002023248A1 (fr) * | 2000-09-11 | 2002-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope confocal et procede de mesure de hauteur utilisant ledit microscope |
US6580518B2 (en) | 2000-09-11 | 2003-06-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Confocal microscope and height measurement method using the same |
JP2002311388A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Nikon Corp | 光学系 |
JP2005525566A (ja) * | 2002-05-15 | 2005-08-25 | イコス ヴィジオン システムズ ナムローゼ フェンノートシャップ | 物体のトポグラフィ形状を三次元で測定する装置 |
JP2009510498A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 顕微鏡検査方法および顕微鏡 |
JP2010026151A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス装置 |
JP2012002670A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 高さ検出装置 |
CN107764208A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-03-06 | 河南工程学院 | 发制品垂度测试仪 |
CN107764208B (zh) * | 2017-11-20 | 2023-05-16 | 河南工程学院 | 发制品垂度测试仪 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2054928A1 (en) | 1992-05-11 |
EP0485803A1 (de) | 1992-05-20 |
DE59107758D1 (de) | 1996-06-05 |
EP0485803B1 (de) | 1996-05-01 |
ATE137588T1 (de) | 1996-05-15 |
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