JPH04263049A - 超高真空機器用ステンレス鋼材および超高真空容器の製造方法 - Google Patents
超高真空機器用ステンレス鋼材および超高真空容器の製造方法Info
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- JPH04263049A JPH04263049A JP2488691A JP2488691A JPH04263049A JP H04263049 A JPH04263049 A JP H04263049A JP 2488691 A JP2488691 A JP 2488691A JP 2488691 A JP2488691 A JP 2488691A JP H04263049 A JPH04263049 A JP H04263049A
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Landscapes
- Heat Treatment Of Steel (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空チャンバー、配管
などの真空容器等の超高真空機器用ステンレス鋼材およ
び超高真空容器の製造方法に関するものである。
などの真空容器等の超高真空機器用ステンレス鋼材およ
び超高真空容器の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、真空容器用機器には素材とし
てＳＵＳ ３０４， ＳＵＳ３１６Ｌなどの１８Ｃｒ−
８Ｎｉ系ステンレス鋼が主に用いられ、その表面はＧＢ
Ｂ（ガラスビードブラスト）処理、電解研磨処理等を施
して使用されることが一般的である。前記ステンレス鋼
材は放出ガス量が少なく、耐食性、加工性、溶接性にも
優れ、一般の真空容器用材料としてはほぼ満足できるも
のであり、１０−８Ｐａ台の真空用途には適用可能なも
のである。
てＳＵＳ ３０４， ＳＵＳ３１６Ｌなどの１８Ｃｒ−
８Ｎｉ系ステンレス鋼が主に用いられ、その表面はＧＢ
Ｂ（ガラスビードブラスト）処理、電解研磨処理等を施
して使用されることが一般的である。前記ステンレス鋼
材は放出ガス量が少なく、耐食性、加工性、溶接性にも
優れ、一般の真空容器用材料としてはほぼ満足できるも
のであり、１０−８Ｐａ台の真空用途には適用可能なも
のである。
【０００３】しかし、例えばＭＢＢ（モレキュラ・ビー
ム・エピタキシー）装置においては、容器内で成長させ
る結晶の品質向上の面から１０−９Ｐａ台の超高真空度
が要求されつつあるように、最近の真空度のニーズは超
高真空度になっており、その要求を満たすには真空容器
用材料放出ガス量が極力少ない鋼材が必須である。これ
までに本発明者らは、特開平１−４４６０号公報，特開
平２−８５３５１号公報において提示したように、Ｍｎ
，Ｎを多く含有させたステンレス鋼が１０−９Ｐａ台の
真空特性に耐え得ることを見出した。
ム・エピタキシー）装置においては、容器内で成長させ
る結晶の品質向上の面から１０−９Ｐａ台の超高真空度
が要求されつつあるように、最近の真空度のニーズは超
高真空度になっており、その要求を満たすには真空容器
用材料放出ガス量が極力少ない鋼材が必須である。これ
までに本発明者らは、特開平１−４４６０号公報，特開
平２−８５３５１号公報において提示したように、Ｍｎ
，Ｎを多く含有させたステンレス鋼が１０−９Ｐａ台の
真空特性に耐え得ることを見出した。
【０００４】鋼材の真空特性を劣化させる原因は、鋼中
のガス成分（主として水素ガス）の放出によるものであ
る。鋼中のガスは、非金属介在物による微小割れあるい
は表面疵等の欠陥部に集積し、真空状態で放出されて真
空特性を劣化させることが知られている。そのため、非
金属介在物の低減化および微細化を図ることが試みられ
ている。
のガス成分（主として水素ガス）の放出によるものであ
る。鋼中のガスは、非金属介在物による微小割れあるい
は表面疵等の欠陥部に集積し、真空状態で放出されて真
空特性を劣化させることが知られている。そのため、非
金属介在物の低減化および微細化を図ることが試みられ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最近の
真空度の要求レベルは一段と厳しくなっており、例えば
、ＬＳＩ，超ＬＳＩ製造装置等に求められる真空度は、
１０−１０ Ｐａ台である。本発明は、超高真空容器，
配管などの超高真空機器用途に適したガス放出特性の優
れたステンレス鋼材及び超高真空容器を提供することを
目的とするものである。
真空度の要求レベルは一段と厳しくなっており、例えば
、ＬＳＩ，超ＬＳＩ製造装置等に求められる真空度は、
１０−１０ Ｐａ台である。本発明は、超高真空容器，
配管などの超高真空機器用途に適したガス放出特性の優
れたステンレス鋼材及び超高真空容器を提供することを
目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、この目的のた
めに成分及び製造方法を種々検討した結果達成したもの
で、その要旨とするところは下記のとおりである。 （１）重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ：０．２〜２
．０％，Ｍｎ：０．５〜１５．０％，Ｐ≦０．０５０％
，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％，Ｎ≦０．３
５％，Ａｌ≦０．００５％を含有し、残部がＦｅおよび
不可避的不純物よりなるステンレス鋼で、熱間圧延材に
おける非金属介在物の組成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。
めに成分及び製造方法を種々検討した結果達成したもの
で、その要旨とするところは下記のとおりである。 （１）重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ：０．２〜２
．０％，Ｍｎ：０．５〜１５．０％，Ｐ≦０．０５０％
，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％，Ｎ≦０．３
５％，Ａｌ≦０．００５％を含有し、残部がＦｅおよび
不可避的不純物よりなるステンレス鋼で、熱間圧延材に
おける非金属介在物の組成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。
【０００７】（２）重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ
：０．２〜２．０％，Ｍｎ：２．０〜１５．０％，Ｐ≦
０．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％
，Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％を含有し、残部
がＦｅおよび不可避的不純物よりなるステンレス鋼で、
熱間圧延材における非金属介在物の組成がＭｎＯ≧５０
％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３ ≦３０％であ
ることを特徴とする超高真空機器用ステンレス鋼材。
：０．２〜２．０％，Ｍｎ：２．０〜１５．０％，Ｐ≦
０．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％
，Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％を含有し、残部
がＦｅおよび不可避的不純物よりなるステンレス鋼で、
熱間圧延材における非金属介在物の組成がＭｎＯ≧５０
％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３ ≦３０％であ
ることを特徴とする超高真空機器用ステンレス鋼材。
【０００８】（３）重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ
：０．２〜２．０％，Ｍｎ：０．５〜１５．０％，Ｐ≦
０．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％
，Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％，Ｏ≦０．００
５％を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物よりな
るステンレス鋼で、熱間圧延材における非金属介在物の
組成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。
：０．２〜２．０％，Ｍｎ：０．５〜１５．０％，Ｐ≦
０．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％
，Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％，Ｏ≦０．００
５％を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物よりな
るステンレス鋼で、熱間圧延材における非金属介在物の
組成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。
【０００９】（４）重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ
：０．２〜２．０％，Ｍｎ：２．０〜１５．０％，Ｐ≦
０．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％
，Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％，Ｏ≦０．００
５％を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物よりな
るステンレス鋼で、熱間圧延材における非金属介在物の
組成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。
：０．２〜２．０％，Ｍｎ：２．０〜１５．０％，Ｐ≦
０．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％
，Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％，Ｏ≦０．００
５％を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物よりな
るステンレス鋼で、熱間圧延材における非金属介在物の
組成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。
【００１０】（５）前記（１）〜（４）の超高真空機器
用ステンレス鋼材を表面酸化処理し、続いて真空容器に
組み立てることを特徴とする超高真空容器の製造方法。 （６）前記（１）〜（４）の超高真空機器用ステンレス
鋼材を用いて真空容器に組み立て、続いて真空側表面を
酸化処理することを特徴とする超高真空容器の製造方法
。
用ステンレス鋼材を表面酸化処理し、続いて真空容器に
組み立てることを特徴とする超高真空容器の製造方法。 （６）前記（１）〜（４）の超高真空機器用ステンレス
鋼材を用いて真空容器に組み立て、続いて真空側表面を
酸化処理することを特徴とする超高真空容器の製造方法
。
【００１１】各成分範囲の限定理由は次のとおりである
。Ｃは、オーステナイト安定化元素であるが、０．０８
％を超えると、溶接したときにＣｒ炭化物を析出し耐食
性を損なうため、Ｃ含有量を０．０８％以下とした。 Ｓｉは、冷間加工における加工硬化性を向上する効果が
あり、０．２％未満ではその効果が少なく、また他の硬
質系介在物を生成し、ガス放出特性を劣化させる。また
、２．０％を超えると、フェライトが生成する他、Ｓｉ
Ｏ２ 系の硬質酸化物を形成し、ガス放出特性を劣化さ
せる。従って、Ｓｉ含有量は０．２〜２．０％とした。
。Ｃは、オーステナイト安定化元素であるが、０．０８
％を超えると、溶接したときにＣｒ炭化物を析出し耐食
性を損なうため、Ｃ含有量を０．０８％以下とした。 Ｓｉは、冷間加工における加工硬化性を向上する効果が
あり、０．２％未満ではその効果が少なく、また他の硬
質系介在物を生成し、ガス放出特性を劣化させる。また
、２．０％を超えると、フェライトが生成する他、Ｓｉ
Ｏ２ 系の硬質酸化物を形成し、ガス放出特性を劣化さ
せる。従って、Ｓｉ含有量は０．２〜２．０％とした。
【００１２】Ｍｎは、０．５％未満では、他の硬質系介
在物を生成し、ガス放出特性を劣化させる。また、１５
％を超えると、ＭｎＯ系を主体とする硬質系介在物を生
成しガス放出特性を劣化させる。従って、Ｍｎ含有量は
０．５〜１５％とした。さらに望ましくは、鋼表面にＭ
ｎ系酸化皮膜を形成し、真空中でのガス放出速度をより
低減させるために、２．０〜１５．０％がよい。
在物を生成し、ガス放出特性を劣化させる。また、１５
％を超えると、ＭｎＯ系を主体とする硬質系介在物を生
成しガス放出特性を劣化させる。従って、Ｍｎ含有量は
０．５〜１５％とした。さらに望ましくは、鋼表面にＭ
ｎ系酸化皮膜を形成し、真空中でのガス放出速度をより
低減させるために、２．０〜１５．０％がよい。
【００１３】Ｐは、熱間加工性を劣化させるため、低い
ほど望ましいが、原料から不可避的に混入してくるので
、Ｐ含有量を０．０５０％以下とした。Ｃｒは、ステン
レン鋼の基本成分であり、優れた耐食性を得るには最低
１２％を必要とする。また、２３％を超えると加工性が
悪くなるので、上限を２３％とした。従って、Ｃｒ含有
量は１２〜２３％とした。
ほど望ましいが、原料から不可避的に混入してくるので
、Ｐ含有量を０．０５０％以下とした。Ｃｒは、ステン
レン鋼の基本成分であり、優れた耐食性を得るには最低
１２％を必要とする。また、２３％を超えると加工性が
悪くなるので、上限を２３％とした。従って、Ｃｒ含有
量は１２〜２３％とした。
【００１４】Ｎｉは、オーステナイト系ステンレス鋼の
基本成分の一つである。加工性、耐食性に有効な元素で
あり、７％以上を必要とする。また、２０％を超えると
向上効果割合は小さく、高価であることから、上限を２
０％とした。従って、Ｎｉ含有量は７〜２０％とした。 Ｎは、強力なオーステナイト安定化元素であるが、０．
３５％を超えると、変形抵抗が大きくなり製造性を損な
うため、上限を０．３５％とした。
基本成分の一つである。加工性、耐食性に有効な元素で
あり、７％以上を必要とする。また、２０％を超えると
向上効果割合は小さく、高価であることから、上限を２
０％とした。従って、Ｎｉ含有量は７〜２０％とした。 Ｎは、強力なオーステナイト安定化元素であるが、０．
３５％を超えると、変形抵抗が大きくなり製造性を損な
うため、上限を０．３５％とした。
【００１５】Ａｌは、単独で存在すると鋼中に硬質の酸
化物系介在物を形成して鋼の清浄性を悪くし、かつ真空
中への放出ガス量を著しく増大させるため、高清浄性を
確保するためには低いほど好ましい。しかし、溶解原料
あるいは耐火物から単独で不可避的に混入するおそれが
ある。従って、本発明においては、０．００５％以下に
することにより、高清浄化するとともに、冷間加工時に
介在物が延伸および分断され易くする。
化物系介在物を形成して鋼の清浄性を悪くし、かつ真空
中への放出ガス量を著しく増大させるため、高清浄性を
確保するためには低いほど好ましい。しかし、溶解原料
あるいは耐火物から単独で不可避的に混入するおそれが
ある。従って、本発明においては、０．００５％以下に
することにより、高清浄化するとともに、冷間加工時に
介在物が延伸および分断され易くする。
【００１６】Ｏは、非金属介在物を増加させ、かつ０．
００５％を超えるとＡｌ２ Ｏ３ ，ＭｇＯ系の硬質介
在物が増加し、ガス放出特性を劣化させるため、その上
限を０．００５％とした。さらに望ましくは０．００３
％以下がよい。上記、鋼組成に調整されたオーステナイ
ト系ステンレス鋼を、１０００℃以上１３００℃以下の
温度で１０分間以上加熱した後、熱間圧延し、熱間圧延
材における介在物の組成を ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％とする。非金属介在物の組成がこの範囲を外れ
ると硬質系となり、引続く冷間圧延時に非金属介在物が
延伸することなく粗大し、かつ分断し難くなるために、
ステンレス鋼材内部に残留した場合、ガス放出特性が劣
化する。
００５％を超えるとＡｌ２ Ｏ３ ，ＭｇＯ系の硬質介
在物が増加し、ガス放出特性を劣化させるため、その上
限を０．００５％とした。さらに望ましくは０．００３
％以下がよい。上記、鋼組成に調整されたオーステナイ
ト系ステンレス鋼を、１０００℃以上１３００℃以下の
温度で１０分間以上加熱した後、熱間圧延し、熱間圧延
材における介在物の組成を ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％とする。非金属介在物の組成がこの範囲を外れ
ると硬質系となり、引続く冷間圧延時に非金属介在物が
延伸することなく粗大し、かつ分断し難くなるために、
ステンレス鋼材内部に残留した場合、ガス放出特性が劣
化する。
【００１７】上記により得たステンレス鋼材を、表面酸
化処理した後、真空容器に組み立てるか、あるいは真空
容器を組み立てた後、表面を酸化処理することにより、
実用に供される。表面酸化処理は、通常大気圧の空気中
において、１００〜６００℃の温度で１〜５０時間の加
熱によって行うが、雰囲気は空気中に限らず、他の酸化
性雰囲気でもよい。
化処理した後、真空容器に組み立てるか、あるいは真空
容器を組み立てた後、表面を酸化処理することにより、
実用に供される。表面酸化処理は、通常大気圧の空気中
において、１００〜６００℃の温度で１〜５０時間の加
熱によって行うが、雰囲気は空気中に限らず、他の酸化
性雰囲気でもよい。
【００１８】
【作用】Ｍｎがガス放出特性に及ぼす効果について推察
する。表面酸化皮膜をグリムグロー放電発光分光分析法
（ＧＤＳ）により調べた結果、Ｍｎ−Ｆｅ−Ｃｒ系の酸
化物であった。超高真空領域では、真空中の残留ガス主
成分は水素ガスである。これは主に真空容器構成材料で
あるステンレス鋼材中の水素が真空雰囲気に接する表面
から放出されるためであり、高Ｍｎステンレス鋼では、
Ｍｎを含んだ表面酸化皮膜が水素の拡散を遅らせ真空中
への水素の放出を抑えていると考えられる。
する。表面酸化皮膜をグリムグロー放電発光分光分析法
（ＧＤＳ）により調べた結果、Ｍｎ−Ｆｅ−Ｃｒ系の酸
化物であった。超高真空領域では、真空中の残留ガス主
成分は水素ガスである。これは主に真空容器構成材料で
あるステンレス鋼材中の水素が真空雰囲気に接する表面
から放出されるためであり、高Ｍｎステンレス鋼では、
Ｍｎを含んだ表面酸化皮膜が水素の拡散を遅らせ真空中
への水素の放出を抑えていると考えられる。
【００１９】次に、請求項に示す介在物組成とすること
により、ガス放出特性が向上する理由について推察する
。介在物組成をＭｎＯ−ＳｉＯ２ −Ａｌ２ Ｏ３ 系
に制御した場合、圧延によって容易に延伸し、かつ分断
し易くなるために、微細な分散した介在物となる。微細
分散され、またマトリックスにもよく整合して存在する
介在物の場合、介在物近傍の微小割れあるいは表面疵等
の欠陥が減少し、従ってそこに集まるガスが低減し、ガ
ス放出特性が向上すると考えられる。
により、ガス放出特性が向上する理由について推察する
。介在物組成をＭｎＯ−ＳｉＯ２ −Ａｌ２ Ｏ３ 系
に制御した場合、圧延によって容易に延伸し、かつ分断
し易くなるために、微細な分散した介在物となる。微細
分散され、またマトリックスにもよく整合して存在する
介在物の場合、介在物近傍の微小割れあるいは表面疵等
の欠陥が減少し、従ってそこに集まるガスが低減し、ガ
ス放出特性が向上すると考えられる。
【００２０】
【実施例】以下に、本発明のステンレス鋼材と、比較合
金の実施例を示す。表１、表２に示す成分系のステンレ
ス鋼を、真空溶解ならびに電子ビーム溶解法にて溶製し
、熱延用スラブを製造した。このスラブを１２００℃×
３ｈｒ加熱後、熱間圧延し、厚さ３ｍｍの熱延板を得た
。
金の実施例を示す。表１、表２に示す成分系のステンレ
ス鋼を、真空溶解ならびに電子ビーム溶解法にて溶製し
、熱延用スラブを製造した。このスラブを１２００℃×
３ｈｒ加熱後、熱間圧延し、厚さ３ｍｍの熱延板を得た
。
【００２１】得られた熱延板の非金属介在物について、
非金属介在物２０個の平均組成を調べ、さらに単位面積
当りの３μｍ 以上の大きさの介在物個数を測定した。 さらに得られた熱延板を焼鈍酸洗の後、冷間圧延して厚
さ１ｍｍ，幅５０ｍｍ，長さ１２０ｍｍの板状試料を採
取した。 この試料について、ＳｉＣ紙＃２０００研磨し、アセト
ンで脱脂を行なって大気中２５０℃×２４ｈｒのベーキ
ング処理後、ガス放出速度の測定に供した。
非金属介在物２０個の平均組成を調べ、さらに単位面積
当りの３μｍ 以上の大きさの介在物個数を測定した。 さらに得られた熱延板を焼鈍酸洗の後、冷間圧延して厚
さ１ｍｍ，幅５０ｍｍ，長さ１２０ｍｍの板状試料を採
取した。 この試料について、ＳｉＣ紙＃２０００研磨し、アセト
ンで脱脂を行なって大気中２５０℃×２４ｈｒのベーキ
ング処理後、ガス放出速度の測定に供した。
【００２２】このガス放出速度測定用試料を測定装置内
に組み込み、室温で２４ｈｒ排気後、２５０℃×２４ｈ
ｒの真空中ベーキングし、さらに室温で２４ｈｒ排気後
、ガス放出速度を測定した。測定法は、２室法により、
試料の単位面積当りのガス放出速度をＱＳ として、オ
リフィス部のコンダクタンスをＣＯ 、試料を装入した
時のサンプルチャンバーの圧力をＰＳ 、メインチャン
バーの圧力をＰｍ 、試料を装入しない時のサンプルチ
ャンバーのガス放出速度をＱｂ 、試料の表面積をＳと
して次式で求めた。
に組み込み、室温で２４ｈｒ排気後、２５０℃×２４ｈ
ｒの真空中ベーキングし、さらに室温で２４ｈｒ排気後
、ガス放出速度を測定した。測定法は、２室法により、
試料の単位面積当りのガス放出速度をＱＳ として、オ
リフィス部のコンダクタンスをＣＯ 、試料を装入した
時のサンプルチャンバーの圧力をＰＳ 、メインチャン
バーの圧力をＰｍ 、試料を装入しない時のサンプルチ
ャンバーのガス放出速度をＱｂ 、試料の表面積をＳと
して次式で求めた。
【００２３】
ＱＳ ＝｛ＣＯ （ＰＳ −Ｐｍ ）−Ｑｂ
｝／Ｓ〔Ｐａ・ｍ３ ・ｓ−１・ｍ−２〕これらの結果
を表３、表４に示す。非金属介在物組成を制御した本発
明合金（Ｎｏ． １〜Ｎｏ． １４）は、３μｍ以上の
酸化物系非金属介在物の個数が少なく、またガス放出速
度が低いことが判る。特にＭｎを２〜１５％に制御した
本発明合金Ｎｏ． ４，Ｎｏ． ５，Ｎｏ． ９〜Ｎｏ
． １４は、ガス放出速度が非常に低いことが判る。
｝／Ｓ〔Ｐａ・ｍ３ ・ｓ−１・ｍ−２〕これらの結果
を表３、表４に示す。非金属介在物組成を制御した本発
明合金（Ｎｏ． １〜Ｎｏ． １４）は、３μｍ以上の
酸化物系非金属介在物の個数が少なく、またガス放出速
度が低いことが判る。特にＭｎを２〜１５％に制御した
本発明合金Ｎｏ． ４，Ｎｏ． ５，Ｎｏ． ９〜Ｎｏ
． １４は、ガス放出速度が非常に低いことが判る。
【００２４】これに対して、比較合金は、Ｎｏ． １５
，Ｎｏ． １９はＡｌが、Ｎｏ． １６はＭｎ，Ａｌが
、Ｎｏ． １７はＳｉ，Ａｌが、Ｎｏ． １８はＳｉが
、Ｎｏ． ２０はＭｎが本発明成分範囲より外れていて
、しかも非金属介在物組成が制御されていない。また、
３μｍ以上の酸化物系非金属介在物の個数が多く、従っ
てガス放出速度が高いことが判る。
，Ｎｏ． １９はＡｌが、Ｎｏ． １６はＭｎ，Ａｌが
、Ｎｏ． １７はＳｉ，Ａｌが、Ｎｏ． １８はＳｉが
、Ｎｏ． ２０はＭｎが本発明成分範囲より外れていて
、しかも非金属介在物組成が制御されていない。また、
３μｍ以上の酸化物系非金属介在物の個数が多く、従っ
てガス放出速度が高いことが判る。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
【００２７】
【表３】
【００２８】
【表４】
【００２９】
【発明の効果】実施例にも示した如く、本発明は超高真
空容器、配管などの真空機器に用いるのに適したガス放
出特性の優れたステンレス鋼材の提供を可能とするもの
であり、超高真空を必要とする装置を始めとし、中・高
真空領域で使用される装置においても小排気能力のポン
プの使用を可能にするなど、真空装置の設計、製作を容
易にし、その工業的価値は非常に大なるものである。
空容器、配管などの真空機器に用いるのに適したガス放
出特性の優れたステンレス鋼材の提供を可能とするもの
であり、超高真空を必要とする装置を始めとし、中・高
真空領域で使用される装置においても小排気能力のポン
プの使用を可能にするなど、真空装置の設計、製作を容
易にし、その工業的価値は非常に大なるものである。
Claims (6)
- 【請求項１】 重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ：
０．２〜２．０％，Ｍｎ：０．５〜１５．０％，Ｐ≦０
．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％，
Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％を含有し、残部が
Ｆｅおよび不可避的不純物よりなるステンレス鋼で、熱
間圧延材における非金属介在物の組成がＭｎＯ≧５０％
，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３ ≦３０％である
ことを特徴とする超高真空機器用ステンレス鋼材。 - 【請求項２】 重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ：
０．２〜２．０％，Ｍｎ：２．０〜１５．０％，Ｐ≦０
．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％，
Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％を含有し、残部が
Ｆｅおよび不可避的不純物よりなるステンレス鋼で、熱
間圧延材における非金属介在物の組成がＭｎＯ≧５０％
，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３ ≦３０％である
ことを特徴とする超高真空機器用ステンレス鋼材。 - 【請求項３】 重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ：
０．２〜２．０％，Ｍｎ：０．５〜１５．０％，Ｐ≦０
．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％，
Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％，Ｏ≦０．００５
％を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物よりなる
ステンレス鋼で、熱間圧延材における非金属介在物の組
成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。 - 【請求項４】 重量％にて、Ｃ≦０．０８％，Ｓｉ：
０．２〜２．０％，Ｍｎ：２．０〜１５．０％，Ｐ≦０
．０５０％，Ｃｒ：１２〜２３％，Ｎｉ：７〜２０％，
Ｎ≦０．３５％，Ａｌ≦０．００５％，Ｏ≦０．００５
％を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物よりなる
ステンレス鋼で、熱間圧延材における非金属介在物の組
成が ＭｎＯ≧５０％，ＳｉＯ２ ≦５０％，Ａｌ２ Ｏ３
≦３０％であることを特徴とする超高真空機器用ステン
レス鋼材。 - 【請求項５】 請求項１又は２又は３又は４記載の超
高真空機器用ステンレス鋼材を表面酸化処理し、続いて
真空容器に組み立てることを特徴とする超高真空容器の
製造方法。 - 【請求項６】 請求項１又は２又は３又は４記載の超
高真空機器用ステンレス鋼材を用いて真空容器に組み立
て、続いて表面を酸化処理することを特徴とする超高真
空容器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2488691A JPH04263049A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 超高真空機器用ステンレス鋼材および超高真空容器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2488691A JPH04263049A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 超高真空機器用ステンレス鋼材および超高真空容器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04263049A true JPH04263049A (ja) | 1992-09-18 |
Family
ID=12150673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2488691A Withdrawn JPH04263049A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 超高真空機器用ステンレス鋼材および超高真空容器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04263049A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2690190A4 (en) * | 2011-03-25 | 2015-03-04 | Nisshin Steel Co Ltd | AUSTENITIC STAINLESS STEEL |
| CN117660849A (zh) * | 2024-01-31 | 2024-03-08 | 成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司 | 一种控磷00Cr21Ni13Mn5N高氮奥氏体不锈钢及其生产方法 |
-
1991
- 1991-02-19 JP JP2488691A patent/JPH04263049A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2690190A4 (en) * | 2011-03-25 | 2015-03-04 | Nisshin Steel Co Ltd | AUSTENITIC STAINLESS STEEL |
| CN117660849A (zh) * | 2024-01-31 | 2024-03-08 | 成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司 | 一种控磷00Cr21Ni13Mn5N高氮奥氏体不锈钢及其生产方法 |
| CN117660849B (zh) * | 2024-01-31 | 2024-06-04 | 成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司 | 一种控磷00Cr21Ni13Mn5N高氮奥氏体不锈钢及其生产方法 |
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