JPH04245496A - 多層セラミック基板の積層方法 - Google Patents
多層セラミック基板の積層方法Info
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- JPH04245496A JPH04245496A JP2951991A JP2951991A JPH04245496A JP H04245496 A JPH04245496 A JP H04245496A JP 2951991 A JP2951991 A JP 2951991A JP 2951991 A JP2951991 A JP 2951991A JP H04245496 A JPH04245496 A JP H04245496A
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Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多層セラミック基板の
積層方法に関するものである。
積層方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、多層セラミック基板の製造工程に
おいて、各層のグリーンシートを一体化するために所定
の大きさの凹部を持った金型に複数枚のグリーンシート
をセットし、グリーンシートのバインダーが軟化する適
当な温度まで金型及びグリーンシートを加熱し、上下よ
り油圧や電気モータを動力とした平板プレス機で圧力を
加えていた。
おいて、各層のグリーンシートを一体化するために所定
の大きさの凹部を持った金型に複数枚のグリーンシート
をセットし、グリーンシートのバインダーが軟化する適
当な温度まで金型及びグリーンシートを加熱し、上下よ
り油圧や電気モータを動力とした平板プレス機で圧力を
加えていた。
【０００３】しかしこの方法では、金型やプレス機平板
の加工調整不良、経時変化及び熱変形等により、その平
行度や平面度が不十分な場合、グリーンシートにかかる
圧力が一様とならず、一体化した多層グリーンシートは
圧力ムラに応じて密度が不均一となり、焼成収縮率にム
ラが生じ、所定の寸法精度が得られない問題があった。
の加工調整不良、経時変化及び熱変形等により、その平
行度や平面度が不十分な場合、グリーンシートにかかる
圧力が一様とならず、一体化した多層グリーンシートは
圧力ムラに応じて密度が不均一となり、焼成収縮率にム
ラが生じ、所定の寸法精度が得られない問題があった。
【０００４】この問題を解決するために、図４に示すよ
うな圧力タンク９内で加熱された圧力媒体たる液体８を
介してグリーンシートを加熱・加圧して一体化する方法
が特開昭６１−１５９７１８号公報、特開昭６１−２２
７０４３号公報に提案されている。
うな圧力タンク９内で加熱された圧力媒体たる液体８を
介してグリーンシートを加熱・加圧して一体化する方法
が特開昭６１−１５９７１８号公報、特開昭６１−２２
７０４３号公報に提案されている。
【０００５】この方法においては、グリーンシートが圧
力媒体と直接接触することを防ぐために、複数枚に重ね
られたグリーンシートをビニール袋にて真空パックを行
っていたが、これが適切でないと積層焼成後の多層セラ
ミック基板にデラミネーション、反り、寸法精度不足等
の問題を生ずる。
力媒体と直接接触することを防ぐために、複数枚に重ね
られたグリーンシートをビニール袋にて真空パックを行
っていたが、これが適切でないと積層焼成後の多層セラ
ミック基板にデラミネーション、反り、寸法精度不足等
の問題を生ずる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術が有していた前述の欠点を解消しようとするもので
あり、従来知られていなかった多層セラミック基板の積
層方法を新規に提供することを目的とするものである。
技術が有していた前述の欠点を解消しようとするもので
あり、従来知られていなかった多層セラミック基板の積
層方法を新規に提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決すべくなされたものであり、複数枚のセラミックの
グリーンシートを重ね合せ、周囲を気密状に保護し、所
定圧力の液中で加圧圧着させる多層セラミック基板の積
層方法において、上記複数枚重ね合わされたグリーンシ
ートが剛状体上に重ねられ、上記液中で加圧圧着される
ことを特徴とする多層セラミック基板の積層方法等を提
供するものである。
解決すべくなされたものであり、複数枚のセラミックの
グリーンシートを重ね合せ、周囲を気密状に保護し、所
定圧力の液中で加圧圧着させる多層セラミック基板の積
層方法において、上記複数枚重ね合わされたグリーンシ
ートが剛状体上に重ねられ、上記液中で加圧圧着される
ことを特徴とする多層セラミック基板の積層方法等を提
供するものである。
【０００８】
【実施例】以下、図面に従って実施例を例にとって、本
発明を詳細に説明する。図１は、実施例にかかるセラミ
ックのグリーンシートの積層体等の正面図である。図１
において、１は複数枚に重ね合わされたグリーンシート
、２はポリエチレンの包装袋、２ａは可曲性を有するポ
リエチレンフィルム、３は剛状体たるガラス基板である
。図４は、本実施例に使用した水圧プレス装置の基本的
構成図である。図４において、５はヒーター、６は加圧
ポンプ、７は加熱タンク、８は水、９は加圧タンクであ
る。
発明を詳細に説明する。図１は、実施例にかかるセラミ
ックのグリーンシートの積層体等の正面図である。図１
において、１は複数枚に重ね合わされたグリーンシート
、２はポリエチレンの包装袋、２ａは可曲性を有するポ
リエチレンフィルム、３は剛状体たるガラス基板である
。図４は、本実施例に使用した水圧プレス装置の基本的
構成図である。図４において、５はヒーター、６は加圧
ポンプ、７は加熱タンク、８は水、９は加圧タンクであ
る。
【０００９】最初に、アルミナ粉末、ガラスフリット等
からなるセラミックス粉末に有機バインダーたるアクリ
ル樹脂、可塑剤たるフタル酸ジブチル、溶剤たるアルコ
ールを添加し、混練してスラリーを作成した。該スラリ
ーをシート状に成形して厚さ２００μｍ、１００ｍｍの
正方形のいわゆるグリーンシートを作成した。
からなるセラミックス粉末に有機バインダーたるアクリ
ル樹脂、可塑剤たるフタル酸ジブチル、溶剤たるアルコ
ールを添加し、混練してスラリーを作成した。該スラリ
ーをシート状に成形して厚さ２００μｍ、１００ｍｍの
正方形のいわゆるグリーンシートを作成した。
【００１０】該グリーンシートにビアホール用等の穴を
開け、表面に銅ペーストを所定の回路に印刷した。次に
これらの印刷されたグリーンシートを５枚重ね合わせた
。この５枚重ねられたグリーンシート１を、厚さ２００
μｍのポリエチレンのフィルム２ａを間に介在させるよ
うにしてガラス基板３に重ね合わせ、これを包装袋２の
中に入れて包装袋２の中を真空とし、シールして真空パ
ックされたものとした。これは、空気の泡によるグリー
ンシートへの影響を排除するためである。
開け、表面に銅ペーストを所定の回路に印刷した。次に
これらの印刷されたグリーンシートを５枚重ね合わせた
。この５枚重ねられたグリーンシート１を、厚さ２００
μｍのポリエチレンのフィルム２ａを間に介在させるよ
うにしてガラス基板３に重ね合わせ、これを包装袋２の
中に入れて包装袋２の中を真空とし、シールして真空パ
ックされたものとした。これは、空気の泡によるグリー
ンシートへの影響を排除するためである。
【００１１】次に、上記真空パックを加圧タンク９内に
入れて加圧ポンプ６により、１００ｋｇ／ｃｍ２に加圧
し、２分間放置して圧着した。なお、水８の水温はヒー
ター５、加熱タンク７により８５℃に維持されていた。
入れて加圧ポンプ６により、１００ｋｇ／ｃｍ２に加圧
し、２分間放置して圧着した。なお、水８の水温はヒー
ター５、加熱タンク７により８５℃に維持されていた。
【００１２】ここで、圧着するための圧力は数ｋｇ〜数
百ｋｇ／ｃｍ２、水温は５０〜１００℃、放置時間は数
秒〜数十分、適宜グリーンシート等の状態に合わせて通
常選択される。その後、圧着されたグリーンシート１を
包装袋２から取り出し、必要に応じ、銅ペーストを印刷
した後、焼成した。
百ｋｇ／ｃｍ２、水温は５０〜１００℃、放置時間は数
秒〜数十分、適宜グリーンシート等の状態に合わせて通
常選択される。その後、圧着されたグリーンシート１を
包装袋２から取り出し、必要に応じ、銅ペーストを印刷
した後、焼成した。
【００１３】このようにして作成した多層セラミック基
板の横方向（平面に平行な方向）の寸法は、ガラス基板
３を使用しない従来の方法を比較すると２ｍｍ縮小して
いないものであった。
板の横方向（平面に平行な方向）の寸法は、ガラス基板
３を使用しない従来の方法を比較すると２ｍｍ縮小して
いないものであった。
【００１４】ポリエチレンの包装袋２、又はポリエチレ
ンフィルム２ａは可曲性を有する材質のものなら、ポリ
エチレンに限定されずに使用でき、ゴム、ビニール、金
属箔等のものであってもよい。可曲性を有するフィルム
たるポリエチレンフィルム２ａはなくとも使用できるが
、グリーンシート１とガラス基板３の分離を容易にする
ためには、介在することが望ましい。ポリエチレンフィ
ルム２ａの代りにグリーンシート２をポリエチレン等の
包装袋に入れてもよいし、セラミック、ガラス等の粉状
の絶縁性無機物質を使用してもよい。なお、可曲性とは
、自由に曲がる性質を有することをいい、たとえば、ポ
リエチレン、ゴム、ビニール等の場合は厚さ３ｍｍ以下
のものをいう。
ンフィルム２ａは可曲性を有する材質のものなら、ポリ
エチレンに限定されずに使用でき、ゴム、ビニール、金
属箔等のものであってもよい。可曲性を有するフィルム
たるポリエチレンフィルム２ａはなくとも使用できるが
、グリーンシート１とガラス基板３の分離を容易にする
ためには、介在することが望ましい。ポリエチレンフィ
ルム２ａの代りにグリーンシート２をポリエチレン等の
包装袋に入れてもよいし、セラミック、ガラス等の粉状
の絶縁性無機物質を使用してもよい。なお、可曲性とは
、自由に曲がる性質を有することをいい、たとえば、ポ
リエチレン、ゴム、ビニール等の場合は厚さ３ｍｍ以下
のものをいう。
【００１５】また、ガラス基板３は、剛状体ならどんな
ものでも代用できるが、圧着後のグリーンシートの寸法
精度向上のためには熱膨張係数１００×１０−７／℃以
下の低熱膨張の材料が望ましい。ガラス基板以外の使用
できる剛状体の材質は、セラミック、プラスチック、ア
クリル樹脂、鉄板等のものである。ガラス基板は、これ
らの材質の中で最も低熱膨張のために実施例に使用した
ものである。なお、剛状体とは、たとえば可曲性を有し
ないものをいう。
ものでも代用できるが、圧着後のグリーンシートの寸法
精度向上のためには熱膨張係数１００×１０−７／℃以
下の低熱膨張の材料が望ましい。ガラス基板以外の使用
できる剛状体の材質は、セラミック、プラスチック、ア
クリル樹脂、鉄板等のものである。ガラス基板は、これ
らの材質の中で最も低熱膨張のために実施例に使用した
ものである。なお、剛状体とは、たとえば可曲性を有し
ないものをいう。
【００１６】また、グリーンシート１は、実施例におい
て使用した原料、製造方法に限定されず、セラミックの
グリーンシートならどんなものにも本発明は使用できる
。水８の代りに、油その他の液体が使用できるが、グリ
ーンシート１への影響を考慮すると水が望ましい。
て使用した原料、製造方法に限定されず、セラミックの
グリーンシートならどんなものにも本発明は使用できる
。水８の代りに、油その他の液体が使用できるが、グリ
ーンシート１への影響を考慮すると水が望ましい。
【００１７】実施例にかかる図１では、剛状体たるガラ
ス基板３の片面にグリーンシート１を重ねたが、両面に
重ねてもよく、その場合は片面の場合よりも生産性がよ
い。図２は、実施例とは別の応用例を示すグリーンシー
ト等の正面図である。図２において４はゴム、ビニール
等の弾性を有する軟状体である。この軟状体４の硬度を
選択することにより、グリーンシート１表面に印刷等に
より形成された導体のグリーンシートへの埋め込み量を
コントロールすることができる。図２には示していない
が、軟状体４を、グリーンシート１と剛状体３との間に
介在させてもよいし、グリーンシート１の両面に重ねて
もよい。
ス基板３の片面にグリーンシート１を重ねたが、両面に
重ねてもよく、その場合は片面の場合よりも生産性がよ
い。図２は、実施例とは別の応用例を示すグリーンシー
ト等の正面図である。図２において４はゴム、ビニール
等の弾性を有する軟状体である。この軟状体４の硬度を
選択することにより、グリーンシート１表面に印刷等に
より形成された導体のグリーンシートへの埋め込み量を
コントロールすることができる。図２には示していない
が、軟状体４を、グリーンシート１と剛状体３との間に
介在させてもよいし、グリーンシート１の両面に重ねて
もよい。
【００１８】更に図３は、別の応用例を示すグリーンシ
ート等の正面図である。表面に凹凸を有するグリーンシ
ート１ａの圧着方法について、図３にかかるグリーンシ
ート１ａ等の正面図を示す。グリーンシート１ａの形状
に合致した凹凸を有するゴム、ビニール等の弾性を有す
る軟状体４ａを使用することによって、グリーンシート
１ａの凹凸部を均一な圧力で圧着することができる。
ート等の正面図である。表面に凹凸を有するグリーンシ
ート１ａの圧着方法について、図３にかかるグリーンシ
ート１ａ等の正面図を示す。グリーンシート１ａの形状
に合致した凹凸を有するゴム、ビニール等の弾性を有す
る軟状体４ａを使用することによって、グリーンシート
１ａの凹凸部を均一な圧力で圧着することができる。
【００１９】図３では、図示されていないがグリーンシ
ート下面に凹凸がある場合には、グリーンシート１ａと
剛状体３との間に軟状体４ａを介在させてもよいし、必
要に応じて両面に介在させてもよい。
ート下面に凹凸がある場合には、グリーンシート１ａと
剛状体３との間に軟状体４ａを介在させてもよいし、必
要に応じて両面に介在させてもよい。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、剛状体上に複数枚のグリーン
シートを重ね合わせ、かつ液中で加圧するために、変形
なく均一な密度で複数枚のグリーンシートを圧着するこ
とができる。特に横方向への縮小がほとんどない。その
結果、焼成後に縮小のバラツキがなく、寸法精度に優れ
た多層セラミック基板を得ることができる。グリーンシ
ートと剛状体の間に可曲性を有するフィルム、粉状の無
機物質等を介在させた場合には、液中加圧圧着後、グリ
ーンシートと剛状体との分離が容易となる。 また、
グリーンシート上に弾性を有する軟状体を重ね合わせる
ことによって、グリーンシート表面に形成された導体の
埋込み量をコントロールすることができる。グリーンシ
ートの表面が凹凸を有する場合には、この凹凸の形状に
合致した軟状体の使用によって、均一な加圧圧着が可能
となる。
シートを重ね合わせ、かつ液中で加圧するために、変形
なく均一な密度で複数枚のグリーンシートを圧着するこ
とができる。特に横方向への縮小がほとんどない。その
結果、焼成後に縮小のバラツキがなく、寸法精度に優れ
た多層セラミック基板を得ることができる。グリーンシ
ートと剛状体の間に可曲性を有するフィルム、粉状の無
機物質等を介在させた場合には、液中加圧圧着後、グリ
ーンシートと剛状体との分離が容易となる。 また、
グリーンシート上に弾性を有する軟状体を重ね合わせる
ことによって、グリーンシート表面に形成された導体の
埋込み量をコントロールすることができる。グリーンシ
ートの表面が凹凸を有する場合には、この凹凸の形状に
合致した軟状体の使用によって、均一な加圧圧着が可能
となる。
【図１】本発明の実施例にかかるセラミックのグリーン
シート等の正面図。
シート等の正面図。
【図２】実施例とは別の応用例を示すグリーンシート等
の正面図。
の正面図。
【図３】図２とは別の応用例を示すグリーンシート等の
正面図。
正面図。
【図４】実施例に使用した水圧プレス装置の基本的構成
図。
図。
１ 複数枚に重ね合わされたグリーンシート２
包装袋 ２ａ ポリエチレンフィルム ３ ガラス基板
包装袋 ２ａ ポリエチレンフィルム ３ ガラス基板
Claims (5)
- 【請求項１】複数枚のセラミックのグリーンシートを重
ね合せ、周囲を気密状に保護し、所定圧力の液中で加圧
圧着させる多層セラミック基板の積層方法において、上
記複数枚重ね合わされたグリーンシートが剛状体上に重
ねられ、上記液中で加圧圧着されることを特徴とする多
層セラミック基板の積層方法。 - 【請求項２】複数枚重ね合わされたグリーンシートと剛
状体との間に、可曲性を有するフィルムが介在している
ことを特徴とする請求項１の多層セラミック基板の積層
方法。 - 【請求項３】複数枚重ね合わされたグリーンシートと剛
状体との間に、粉状の絶縁性無機物質が介在しているこ
とを特徴とする請求項１の多層セラミック基板の積層方
法。 - 【請求項４】複数枚重ね合わされたグリーンシートの少
なくとも一方の面に、弾性を有する軟状体を重ね合わせ
たことを特徴とする請求項１、２又は３の多層セラミッ
ク基板の積層方法。 - 【請求項５】複数枚重ね合わされたグリーンシートとし
て、表面が凹凸状になっているグリーンシートを用い、
軟状体としてグリーンシートの該凹凸に合致した凹凸を
有する軟状体を用いることを特徴とする請求項４の多層
セラミック基板の積層方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2951991A JPH04245496A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | 多層セラミック基板の積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2951991A JPH04245496A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | 多層セラミック基板の積層方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04245496A true JPH04245496A (ja) | 1992-09-02 |
Family
ID=12278356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2951991A Withdrawn JPH04245496A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | 多層セラミック基板の積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04245496A (ja) |
-
1991
- 1991-01-30 JP JP2951991A patent/JPH04245496A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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