JPH04229702A - 信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステム - Google Patents
信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステムInfo
- Publication number
- JPH04229702A JPH04229702A JP3095349A JP9534991A JPH04229702A JP H04229702 A JPH04229702 A JP H04229702A JP 3095349 A JP3095349 A JP 3095349A JP 9534991 A JP9534991 A JP 9534991A JP H04229702 A JPH04229702 A JP H04229702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- output
- signals
- sine wave
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 25
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 12
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24404—Interpolation using high frequency signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエンコーダやレーザ測長
器などの変位検出装置において得られる周期信号を基に
、検出分解能を高めるための信号処理の技術に関するも
のである。
器などの変位検出装置において得られる周期信号を基に
、検出分解能を高めるための信号処理の技術に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来の変位検出装置、例えば光学式のイ
ンクリメンタル型ロータリーエンコーダやリニアエンコ
ーダにおいては、２つの受光手段から得られる位相の異
なる正弦波（二相正弦波信号、換言すれば正弦波と余弦
波）を用いて回転物体の回転変位量及び回転方向等を検
出している。分解能をより高めるために、上記の正弦波
信号と余弦波信号から、分割単位に相当する位相差を有
した複数の分割パルスを信号を作って利用することが一
般に知られている。
ンクリメンタル型ロータリーエンコーダやリニアエンコ
ーダにおいては、２つの受光手段から得られる位相の異
なる正弦波（二相正弦波信号、換言すれば正弦波と余弦
波）を用いて回転物体の回転変位量及び回転方向等を検
出している。分解能をより高めるために、上記の正弦波
信号と余弦波信号から、分割単位に相当する位相差を有
した複数の分割パルスを信号を作って利用することが一
般に知られている。
【０００３】図１０は、その信号処理手段の一例を示す
ブロック図であり、図１１の実線で示す波形は図１０の
回路各部での信号波形を表わす。同図において、１，２
は入力端子であり、正弦波信号と余弦波信号が入力され
る。つまり入力端子１からの信号ａ（正弦波）に対して
入力端子２からは９０度の位相差を有した信号ｂ（余弦
波）が入力される。反転回路３では信号ａに１８０度の
位相差を持たせた信号ｃを得る。これらの３つの信号を
適宜抵抗等により重み付け加算し任意の角度の正弦波信
号を内挿している。図９では抵抗Ｒを全て同じ値とし、
位相差４５度と１３５度の信号ｄ，ｅを得ている。これ
らの信号は、コンパレータ４，５，６，７によって矩形
波に変換され、パルス回路８によって９０°の位相差を
有する二相矩形波信号を得る。このようにして、受光手
段から得られる正弦波信号と余弦波信号から、より分解
能の高い信号を得ることができる。
ブロック図であり、図１１の実線で示す波形は図１０の
回路各部での信号波形を表わす。同図において、１，２
は入力端子であり、正弦波信号と余弦波信号が入力され
る。つまり入力端子１からの信号ａ（正弦波）に対して
入力端子２からは９０度の位相差を有した信号ｂ（余弦
波）が入力される。反転回路３では信号ａに１８０度の
位相差を持たせた信号ｃを得る。これらの３つの信号を
適宜抵抗等により重み付け加算し任意の角度の正弦波信
号を内挿している。図９では抵抗Ｒを全て同じ値とし、
位相差４５度と１３５度の信号ｄ，ｅを得ている。これ
らの信号は、コンパレータ４，５，６，７によって矩形
波に変換され、パルス回路８によって９０°の位相差を
有する二相矩形波信号を得る。このようにして、受光手
段から得られる正弦波信号と余弦波信号から、より分解
能の高い信号を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、重み付けの抵抗値によって任意の分解能を得
ることができるという長所を有してはいるが、分解能を
大きくしようとするほど以下の点が問題となってくる。
来例では、重み付けの抵抗値によって任意の分解能を得
ることができるという長所を有してはいるが、分解能を
大きくしようとするほど以下の点が問題となってくる。
【０００５】（１）加算抵抗が多くなるので、その前に
多くのバッファが必要になる。
多くのバッファが必要になる。
【０００６】（２）加算抵抗値の誤差やコンパレータの
入力オフセットのばらつきの影響で内挿精度が悪くなる
。
入力オフセットのばらつきの影響で内挿精度が悪くなる
。
【０００７】（３）コンパレータの数が増えて回路規模
が大きくなってしまう。例えば元の信号の６４倍の周波
数の二相矩形波信号を得ようとすると、３２個のコンパ
レータが必要となる。
が大きくなってしまう。例えば元の信号の６４倍の周波
数の二相矩形波信号を得ようとすると、３２個のコンパ
レータが必要となる。
【０００８】（４）２つの入力信号の振幅、オフセツト
、位相差にかなりの精度が要求され調整が困難となる。
、位相差にかなりの精度が要求され調整が困難となる。
【０００９】本発明は上記問題点を解決した新規な信号
処理の手法を提供することを目的とする。更にはこの信
号処理方法を応用した変位検出装置やシステムを提供す
ることを目的とする。
処理の手法を提供することを目的とする。更にはこの信
号処理方法を応用した変位検出装置やシステムを提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、基準となる正弦波及び余弦波信号を入力する手段
と、前記基準信号の整数倍の周波数の正弦波信号を創出
する第１の演算手段と、前記基準信号の整数倍の周波数
の余弦波信号を創出する第２の演算手段を有することを
特徴とする信号処理装置およびこれを用いた変位検出装
置や駆動システムである。
明は、基準となる正弦波及び余弦波信号を入力する手段
と、前記基準信号の整数倍の周波数の正弦波信号を創出
する第１の演算手段と、前記基準信号の整数倍の周波数
の余弦波信号を創出する第２の演算手段を有することを
特徴とする信号処理装置およびこれを用いた変位検出装
置や駆動システムである。
【００１１】
【実施例】（実施例１）図１は本発明にかかるエンコー
ダやレーザ測長器等の変位検出装置の信号処理に好適な
信号処理回路の基本形態を説明するためのブロック図で
ある。同図において、変位検出装置で得られる２信号Ｃ
１、Ｓ１が、 Ｃ１＝ ｃｏｓωｔ ，Ｓ１＝ ｓｉｎωｔと表わされ
る波形の信号であるとすると、乗算器１３の出力Ｓ２は
、
ダやレーザ測長器等の変位検出装置の信号処理に好適な
信号処理回路の基本形態を説明するためのブロック図で
ある。同図において、変位検出装置で得られる２信号Ｃ
１、Ｓ１が、 Ｃ１＝ ｃｏｓωｔ ，Ｓ１＝ ｓｉｎωｔと表わされ
る波形の信号であるとすると、乗算器１３の出力Ｓ２は
、
【００１２】
【外１】
が得られる。
【００１３】又、加算器９の出力は（ｃｏｓωｔ ＋
ｓｉｎωｔ）、加算器１０の出力は（ｃｏｓωｔ −
ｓｉｎωｔ）であるので、乗算器１４の出力Ｃ２は、 となる。
ｓｉｎωｔ）、加算器１０の出力は（ｃｏｓωｔ −
ｓｉｎωｔ）であるので、乗算器１４の出力Ｃ２は、 となる。
【００１４】ここで、出力Ｓ２を２倍した信号２Ｓ２と
、出力Ｃ２とを書き出すと、Ｃ２＝ ｃｏｓ２ωｔ ，
２Ｓ２＝ ｓｉｎ２ωｔとなる。すなわち、基準となる
元の２信号に対して周波数が２倍の信号を得ることがで
きることを示している。
、出力Ｃ２とを書き出すと、Ｃ２＝ ｃｏｓ２ωｔ ，
２Ｓ２＝ ｓｉｎ２ωｔとなる。すなわち、基準となる
元の２信号に対して周波数が２倍の信号を得ることがで
きることを示している。
【００１５】図２は図１の回路を用いた本発明の具体的
な実施例の構成図である。Ｓ２を２倍にするための演算
は、同図のように、乗算器１３の前に加算器１１、１２
を設けて、Ｃ１の信号同士を加算して２倍にすることに
より達成している。なお、同一信号Ｃ１の加算によって
レベルを２倍にする方式には限らず、増幅器を設けて単
純に２倍に増幅しても良いことは言うまでも無い。
な実施例の構成図である。Ｓ２を２倍にするための演算
は、同図のように、乗算器１３の前に加算器１１、１２
を設けて、Ｃ１の信号同士を加算して２倍にすることに
より達成している。なお、同一信号Ｃ１の加算によって
レベルを２倍にする方式には限らず、増幅器を設けて単
純に２倍に増幅しても良いことは言うまでも無い。
【００１６】この回路を複数重ねて連結し、同様のプロ
セスを更に繰り返すことによって周波数が４倍、８倍、
１６倍・・・・というように、２のべき乗倍の二相正弦
波信号を得ることができる。すなわち本方式によれば、
分解能を倍にするには乗算器を２個追加するだけで達成
できるので、従来の方式に較べて、特に高い分解能を得
ようとする場合ほど有利になる。又、乗算器としては、
１素子だけで （Ａ−Ｂ）（Ｃ−Ｄ） のような演算を
行なえるものも一般に市販されているので、これを適当
に利用することで更に回路規模を抑えることができる。
セスを更に繰り返すことによって周波数が４倍、８倍、
１６倍・・・・というように、２のべき乗倍の二相正弦
波信号を得ることができる。すなわち本方式によれば、
分解能を倍にするには乗算器を２個追加するだけで達成
できるので、従来の方式に較べて、特に高い分解能を得
ようとする場合ほど有利になる。又、乗算器としては、
１素子だけで （Ａ−Ｂ）（Ｃ−Ｄ） のような演算を
行なえるものも一般に市販されているので、これを適当
に利用することで更に回路規模を抑えることができる。
【００１７】図３は上記図２の回路を更に改良し、熱に
よる出力のドリフトを抑えることのできる実施例のブロ
ック図である。変位検出装置より得られる信号Ｃ１、Ｓ
１、及びＣ１の反転信号−Ｃ１が、 Ｃ１＝ ｃｏｓωｔ，Ｓ１＝ ｓｉｎωｔ，−Ｃ１
＝−ｃｏｓ ωｔ ・・・・（１）と表わされる
波形の信号であるとすると、乗算器４０、４１の出力は
、以下のようになる。α１，α２は乗算器４０、４１の
熱ドリフトの成分である。
よる出力のドリフトを抑えることのできる実施例のブロ
ック図である。変位検出装置より得られる信号Ｃ１、Ｓ
１、及びＣ１の反転信号−Ｃ１が、 Ｃ１＝ ｃｏｓωｔ，Ｓ１＝ ｓｉｎωｔ，−Ｃ１
＝−ｃｏｓ ωｔ ・・・・（１）と表わされる
波形の信号であるとすると、乗算器４０、４１の出力は
、以下のようになる。α１，α２は乗算器４０、４１の
熱ドリフトの成分である。
【００１８】
ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α１，−ｓｉｎ ω
ｔ× ｃｏｓωｔ＋α２ ・・・・（２）差動増幅器
４４の出力Ｓ２は、 Ｓ２＝（ ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α１）−（
− ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α２） ＝
２× ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α１−α２
＝ ｓｉｎ２ωｔ＋α１−α２
・・・・（３）となる。
ｔ× ｃｏｓωｔ＋α２ ・・・・（２）差動増幅器
４４の出力Ｓ２は、 Ｓ２＝（ ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α１）−（
− ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α２） ＝
２× ｓｉｎωｔ× ｃｏｓωｔ＋α１−α２
＝ ｓｉｎ２ωｔ＋α１−α２
・・・・（３）となる。
【００１９】一方、乗算器４３、４３の出力は各乗算器
のドリフトをα３，α４とすると、以下のようになる。
のドリフトをα３，α４とすると、以下のようになる。
【００２０】
ｓｉｎ２ωｔ＋α３，ｃｏｓ２ωｔ＋α４
・・・・（４）よっ
て、差動増幅器４５の出力Ｃ２は、となる。
・・・・（４）よっ
て、差動増幅器４５の出力Ｃ２は、となる。
【００２１】この時、温度上昇により出力が必ず＋方向
にドリフトする乗算器素子（例えばＡＤ６３２）を用い
た場合は、（２）（４）式のドリフト成分が温度変化に
よって同じような変化をするので、（３）（５）式のド
リフト成分の差成分α１−α２，α３−α４は温度によ
る変化を受けにくい。又、温度上昇により出力が必ずし
も＋方向にドリフトするとは限らない乗算器素子（例え
ばＡＤ６３４）を用いた場合においても、ドリフトの温
度特性が同じようなものを選べば温度による変化を受け
にくすることができる。このように本実施例によれば図
３に示す回路構成を取って２つの乗算器の出力を差動増
幅するこよにより、基準となる元の信号に対して２倍の
周波数の信号が得られるだけでなく、アナログ乗算器の
ドリフトの影響を減少させることができる。
にドリフトする乗算器素子（例えばＡＤ６３２）を用い
た場合は、（２）（４）式のドリフト成分が温度変化に
よって同じような変化をするので、（３）（５）式のド
リフト成分の差成分α１−α２，α３−α４は温度によ
る変化を受けにくい。又、温度上昇により出力が必ずし
も＋方向にドリフトするとは限らない乗算器素子（例え
ばＡＤ６３４）を用いた場合においても、ドリフトの温
度特性が同じようなものを選べば温度による変化を受け
にくすることができる。このように本実施例によれば図
３に示す回路構成を取って２つの乗算器の出力を差動増
幅するこよにより、基準となる元の信号に対して２倍の
周波数の信号が得られるだけでなく、アナログ乗算器の
ドリフトの影響を減少させることができる。
【００２２】さて以上は信号処理回路の説明であるが、
この信号処理回路は変位検出装置やレーザ測長器等の装
置に使用することができる。一例として上記信号処理回
路を有するリニアエンコーダやロータリーエンコーダ等
の変位検出装置の構成例を図７に示す。
この信号処理回路は変位検出装置やレーザ測長器等の装
置に使用することができる。一例として上記信号処理回
路を有するリニアエンコーダやロータリーエンコーダ等
の変位検出装置の構成例を図７に示す。
【００２３】半導体レーザ等の可干渉性の光源１０１か
ら出射された光束はビームスプリツタ１０２によって２
光束に分岐され、移動スケール板や回転デイスク板上に
形成される移動量計測用スリツトである回折格子１０３
上の一点位置に入射する。光束の光入射によって回折格
子１０３から反射光学系１０４方向に発生する高次回折
光、ここでは±１次回折光は両者共に反射光学系１０４
によって反射して再び回折格子１０３上の実質同一位置
に再入射する。反射光学系１０４は所謂キヤツツアイ光
学系を成している。ここで再・射によって発生する±１
次の再回折光は実質的に入射時と同一光路を戻る。そし
てこの±１次の再回折光同志により形成された干渉光は
、偏向ビームスプリッタ１０４及び偏向板によって９０
度の位相差を持った２相の周期信号として光検出器１０
６及び１０７にてそれぞれ検出される。これらの光検出
器１０６、１０７で得られた正弦・余弦状の検出信号は
、上記信号処理回路を有する処理回路１０８にて検出分
解能を高めるために高調波信号が作成され、創出された
信号の波形のゼロクロス点を検出することで分割パルス
を得て、これを回折格子の変位に応じた検出パルスとし
て出力する。こうして入射光束に対する回折格子の相対
変位量（移動量や回転量）に応じた数の検出パルスが信
号処理回路１０８の出力端子から出力される。更には２
つの信号の位相差を利用して回転方向や移動方向も検出
される。
ら出射された光束はビームスプリツタ１０２によって２
光束に分岐され、移動スケール板や回転デイスク板上に
形成される移動量計測用スリツトである回折格子１０３
上の一点位置に入射する。光束の光入射によって回折格
子１０３から反射光学系１０４方向に発生する高次回折
光、ここでは±１次回折光は両者共に反射光学系１０４
によって反射して再び回折格子１０３上の実質同一位置
に再入射する。反射光学系１０４は所謂キヤツツアイ光
学系を成している。ここで再・射によって発生する±１
次の再回折光は実質的に入射時と同一光路を戻る。そし
てこの±１次の再回折光同志により形成された干渉光は
、偏向ビームスプリッタ１０４及び偏向板によって９０
度の位相差を持った２相の周期信号として光検出器１０
６及び１０７にてそれぞれ検出される。これらの光検出
器１０６、１０７で得られた正弦・余弦状の検出信号は
、上記信号処理回路を有する処理回路１０８にて検出分
解能を高めるために高調波信号が作成され、創出された
信号の波形のゼロクロス点を検出することで分割パルス
を得て、これを回折格子の変位に応じた検出パルスとし
て出力する。こうして入射光束に対する回折格子の相対
変位量（移動量や回転量）に応じた数の検出パルスが信
号処理回路１０８の出力端子から出力される。更には２
つの信号の位相差を利用して回転方向や移動方向も検出
される。
【００２４】図８は上記エンコーダの使用例を示すもの
で、エンコーダを用いた駆動システムのシステム構成図
である。モータやアクチユエータ、内燃機関等の駆動源
を有する駆動手段１１０の駆動出力部、あるいは駆動さ
れる物体の移動部にはエンコーダユニット１１１が接続
され、回転量や回転速度あるいは移動量や移動速度等の
駆動状態を検出する。このエンコーダユニットは上記説
明した信号処理回路を有している。エンコーダユニット
１１１からの検出出力は制御手段１１２にフイードバツ
クされ、制御手段１１２においては設定手段１１３で設
定された状態となるように駆動手段１１０に駆動信号を
伝達する。このようなフイードバツク系を構成すること
によって設定手段１１３で設定された駆動状態を保つこ
とができる。このような駆動システムは、例えばタイプ
ライタ、プリンタ、コピーマシン、ファクシミリ等の事
務機器、又、カメラ、ビデオレコーダ等の映像機器、更
には記録装置、ロボット、工作機械、製造装置、更には
これらに限らず駆動手段を有する装置全般に広く適用す
ることができる。
で、エンコーダを用いた駆動システムのシステム構成図
である。モータやアクチユエータ、内燃機関等の駆動源
を有する駆動手段１１０の駆動出力部、あるいは駆動さ
れる物体の移動部にはエンコーダユニット１１１が接続
され、回転量や回転速度あるいは移動量や移動速度等の
駆動状態を検出する。このエンコーダユニットは上記説
明した信号処理回路を有している。エンコーダユニット
１１１からの検出出力は制御手段１１２にフイードバツ
クされ、制御手段１１２においては設定手段１１３で設
定された状態となるように駆動手段１１０に駆動信号を
伝達する。このようなフイードバツク系を構成すること
によって設定手段１１３で設定された駆動状態を保つこ
とができる。このような駆動システムは、例えばタイプ
ライタ、プリンタ、コピーマシン、ファクシミリ等の事
務機器、又、カメラ、ビデオレコーダ等の映像機器、更
には記録装置、ロボット、工作機械、製造装置、更には
これらに限らず駆動手段を有する装置全般に広く適用す
ることができる。
【００２５】図９はこの駆動システムを用いた具体的な
一例であり、ハードデイスクのサーボライタ・システム
の全体構成図を示す。同図において、２００は不図示の
駆動手段により回転する磁気デイスク面、２０１は高精
度な回転が可能なステツピングモータ等のモータ、２０
３はモータ２０１のモータ軸、２０４はモータ軸２０３
にタイレクトに取り付けられたアーム部、２０５はアー
ム部２０４の先端に取り付けられたトラツク信号の書き
込みヘツドである。この構成によりモータ２０１の回転
によって書き込みヘツド２０５は磁気デイスク面２００
上で径方向に移動する。又、２０２は上記説明したロー
タリーエンコーダであり、モータ２０１の回転軸に取り
付けられ、モータ２０１の回転量を検出する。
一例であり、ハードデイスクのサーボライタ・システム
の全体構成図を示す。同図において、２００は不図示の
駆動手段により回転する磁気デイスク面、２０１は高精
度な回転が可能なステツピングモータ等のモータ、２０
３はモータ２０１のモータ軸、２０４はモータ軸２０３
にタイレクトに取り付けられたアーム部、２０５はアー
ム部２０４の先端に取り付けられたトラツク信号の書き
込みヘツドである。この構成によりモータ２０１の回転
によって書き込みヘツド２０５は磁気デイスク面２００
上で径方向に移動する。又、２０２は上記説明したロー
タリーエンコーダであり、モータ２０１の回転軸に取り
付けられ、モータ２０１の回転量を検出する。
【００２６】一方、２０６は上記説明した信号処理回路
を有する分割器であり、エンコーダ２０２の検出出力を
電気分割して検出分解能を上げる。２０７は分割器２０
６からの検出パルスをカウントするカウンタである。２
０８はシステムを総合的に制御するコントローラであり
、ＣＰＵやＤＳＰ等を有する。２０９はコントローラ２
０８の指令に基づいてモータ２０１の駆動を行なうモー
タドライバであり、Ｄ／Ａ変換器等を有する。２１０は
システムの動作の設定を行なうホストコンピユータであ
る。
を有する分割器であり、エンコーダ２０２の検出出力を
電気分割して検出分解能を上げる。２０７は分割器２０
６からの検出パルスをカウントするカウンタである。２
０８はシステムを総合的に制御するコントローラであり
、ＣＰＵやＤＳＰ等を有する。２０９はコントローラ２
０８の指令に基づいてモータ２０１の駆動を行なうモー
タドライバであり、Ｄ／Ａ変換器等を有する。２１０は
システムの動作の設定を行なうホストコンピユータであ
る。
【００２７】コントローラ２０８は、カウンタ２０７か
ら得られるエンコーダ２０２での検出に基づいて、ホス
トコンピユータ２１０で設定された動作となるようにモ
ータドライバ２０９に指令を行ない、モータ２０１を駆
動することにより、アーム部２０４の先端に取付けられ
た書き込みヘツド２０５を磁気デイスク面２００上で径
方向に移動させ所定のトラツク位置に正確に移行させる
。そして不図示の回路からの信号に基づいて書き込みヘ
ツド２０５によって磁気デイスク面２００にトラツク信
号を書き込む。
ら得られるエンコーダ２０２での検出に基づいて、ホス
トコンピユータ２１０で設定された動作となるようにモ
ータドライバ２０９に指令を行ない、モータ２０１を駆
動することにより、アーム部２０４の先端に取付けられ
た書き込みヘツド２０５を磁気デイスク面２００上で径
方向に移動させ所定のトラツク位置に正確に移行させる
。そして不図示の回路からの信号に基づいて書き込みヘ
ツド２０５によって磁気デイスク面２００にトラツク信
号を書き込む。
【００２８】（実施例２）上記説明した信号処理回路の
演算方法の他にも種々の演算方法が考えられるが一例を
図４に挙げる。ここでＳ２は先の図１の例と同様である
ので、Ｃ２についてのみ記述する。図３において、Ｃ２
は、
演算方法の他にも種々の演算方法が考えられるが一例を
図４に挙げる。ここでＳ２は先の図１の例と同様である
ので、Ｃ２についてのみ記述する。図３において、Ｃ２
は、
【００２９】
【外２】
となり、オフセツト調整回路等を用いて直流分１／２を
取り除くことにより、元の基準信号の２倍の周波数の余
弦波信号を得ることができる。
取り除くことにより、元の基準信号の２倍の周波数の余
弦波信号を得ることができる。
【００３０】（実施例３）図５は上記実施例を更に発展
させた第３の実施例を示し、正弦波・余弦波の両波より
３倍の高調波を得るものである。同図において、加算器
２１〜２４、及び乗算器２５，２６から成る構成は先の
図２の実施例と同等であり、乗算器２５，２６の出力は
前述と同様、基準信号の２倍の高調波が得られる。
させた第３の実施例を示し、正弦波・余弦波の両波より
３倍の高調波を得るものである。同図において、加算器
２１〜２４、及び乗算器２５，２６から成る構成は先の
図２の実施例と同等であり、乗算器２５，２６の出力は
前述と同様、基準信号の２倍の高調波が得られる。
【００３１】ここで、この２倍の高調波と元のｓｉｎ，
ｃｏｓ 両波とを加算器２７〜３０によって組み合わせ
て掛け合せると、 ｃｏｓ２ωｔ ｓｉｎωｔ ‥‥■ ｃｏｓ２ωｔ ｃｏｓωｔ ‥‥■ ｓｉｎ２ωｔ ｃｏｓωｔ ‥‥■ ｓｉｎ２ωｔ ｓｉｎωｔ ‥‥■ の４つの信号が得られる。
ｃｏｓ 両波とを加算器２７〜３０によって組み合わせ
て掛け合せると、 ｃｏｓ２ωｔ ｓｉｎωｔ ‥‥■ ｃｏｓ２ωｔ ｃｏｓωｔ ‥‥■ ｓｉｎ２ωｔ ｃｏｓωｔ ‥‥■ ｓｉｎ２ωｔ ｓｉｎωｔ ‥‥■ の４つの信号が得られる。
【００３２】そして加算器３１で■と■を加算すること
によって ｓｉｎ３ωｔ が得られ、又、減算器３２に
よって■から■を減算することによって ｃｏｓ３ωｔ
が得られる。すなわち入力される基準信号の３倍の高
調波が得られることが分かる。
によって ｓｉｎ３ωｔ が得られ、又、減算器３２に
よって■から■を減算することによって ｃｏｓ３ωｔ
が得られる。すなわち入力される基準信号の３倍の高
調波が得られることが分かる。
【００３３】なお同様の手段を更に組合わせることによ
って、正弦波・余弦波の両波より元の信号の周波数の任
意の整数倍の信号を容易に得ることができる。
って、正弦波・余弦波の両波より元の信号の周波数の任
意の整数倍の信号を容易に得ることができる。
【００３４】（実施例４）さて上述の各実施例は、入力
される正弦波信号と余弦波信号が、振幅が正確に一致し
且つ位相差が正確に９０°の理想的な信号であるとの前
提であったが、実際には、受光手段から得られる正弦波
信号と余弦波信号の振幅及び位相差が理想的であるとは
限らず、その場合、内挿精度が低下するという問題を生
じる。
される正弦波信号と余弦波信号が、振幅が正確に一致し
且つ位相差が正確に９０°の理想的な信号であるとの前
提であったが、実際には、受光手段から得られる正弦波
信号と余弦波信号の振幅及び位相差が理想的であるとは
限らず、その場合、内挿精度が低下するという問題を生
じる。
【００３５】図１１は図１０の回路の端子１、２にそれ
ぞれ、 Ｃ１＝Ａｃｏｓ ωｔ ，Ｓ１＝Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ）
を入力したときの内挿信号のずれを示している。ここで
Ａ，Ｂはそれぞれの振幅、ψは位相差を表わす。同図に
おいて、実線は理想信号が入力された場合、破線は上記
２信号が入力された場合を示しており、破線の如く内挿
精度が低下していることが分かる。
ぞれ、 Ｃ１＝Ａｃｏｓ ωｔ ，Ｓ１＝Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ）
を入力したときの内挿信号のずれを示している。ここで
Ａ，Ｂはそれぞれの振幅、ψは位相差を表わす。同図に
おいて、実線は理想信号が入力された場合、破線は上記
２信号が入力された場合を示しており、破線の如く内挿
精度が低下していることが分かる。
【００３６】そこで本実施例ではこの問題の解決に当た
っている。図６は本実施例を示すブロック図であり、一
例として先の図２の実施例を基に改良を加えた形態とし
ている。同図において入力端子１、２にそれぞれ入力さ
れる２信号Ｃ１，Ｓ１が、 Ｃ１＝Ａｃｏｓ ωｔ ，Ｓ１＝Ｂｓｉｎ ωｔ
‥‥（６）で表されるような、互いの振幅が異なっ
たものであるとすると、乗算器１３の出力Ｓ２は、
っている。図６は本実施例を示すブロック図であり、一
例として先の図２の実施例を基に改良を加えた形態とし
ている。同図において入力端子１、２にそれぞれ入力さ
れる２信号Ｃ１，Ｓ１が、 Ｃ１＝Ａｃｏｓ ωｔ ，Ｓ１＝Ｂｓｉｎ ωｔ
‥‥（６）で表されるような、互いの振幅が異なっ
たものであるとすると、乗算器１３の出力Ｓ２は、
【００３７】
【外３】
となり、振幅差が３．８ ％以内になることが分かる。
一方、図６において、入力の２信号Ｓ１，Ｃ１の位相差
が理想からψだけずれた場合、Ｓ１，Ｃ１は、
が理想からψだけずれた場合、Ｓ１，Ｃ１は、
【００３
８】
８】
【外４】
となる。（１１）式、（１２）式よりＳ２，Ｃ２の位相
差のずれはなく、Ｃ２の振幅がＳ２の（ｃｏｓ ψ）倍
になる。Ｓ１とＣ１の位相差のずれψ＝１０°とすると
、ｃｏｓ ψ＝０．９８であるから、得られる両信号は
振幅が２％ずれていること以外は理想的な信号となる。
差のずれはなく、Ｃ２の振幅がＳ２の（ｃｏｓ ψ）倍
になる。Ｓ１とＣ１の位相差のずれψ＝１０°とすると
、ｃｏｓ ψ＝０．９８であるから、得られる両信号は
振幅が２％ずれていること以外は理想的な信号となる。
【００３９】さらに図６において、入力の２信号Ｃ１，
Ｓ１の振幅、位相差が共に理想波形からずれた場合は、
Ｃ１＝Ａｃｏｓ ωｔ ，Ｓ１＝Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ）
と表され、乗算器１３の出力Ｓ２は、 が得られる。又、加算器９の出力は｛Ａｃｏｓ ωｔ
＋Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ） ｝、加算器１０の出力は｛Ａ
ｃｏｓ ωｔ −Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ） ｝であるなの
で、乗算器１４の出力Ｃ２は、
Ｓ１の振幅、位相差が共に理想波形からずれた場合は、
Ｃ１＝Ａｃｏｓ ωｔ ，Ｓ１＝Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ）
と表され、乗算器１３の出力Ｓ２は、 が得られる。又、加算器９の出力は｛Ａｃｏｓ ωｔ
＋Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ） ｝、加算器１０の出力は｛Ａ
ｃｏｓ ωｔ −Ｂｓｉｎ（ωｔ＋ψ） ｝であるなの
で、乗算器１４の出力Ｃ２は、
【００４０】
【外５】
ここで一般的な変位検出装置の出力値の一例として、振
幅差２０％以内、位相差１５°以内という条件を当ては
めると、 （Ｂ＝１．２ Ａ，ψ＝１５°） Ｃ３＝１．２２Ａ２ｃｏｓ（ ２ωｔ＋ψ−２．３４°
）Ｓ３＝１．２ Ａ２ｓｉｎ（ ２ωｔ＋ψ）となり、
振幅差が２％以内、位相差が２．３４％以内になること
が分かる。この操作を繰り返すことによって振幅、位相
差が理想的な信号を作り出すことができる。
幅差２０％以内、位相差１５°以内という条件を当ては
めると、 （Ｂ＝１．２ Ａ，ψ＝１５°） Ｃ３＝１．２２Ａ２ｃｏｓ（ ２ωｔ＋ψ−２．３４°
）Ｓ３＝１．２ Ａ２ｓｉｎ（ ２ωｔ＋ψ）となり、
振幅差が２％以内、位相差が２．３４％以内になること
が分かる。この操作を繰り返すことによって振幅、位相
差が理想的な信号を作り出すことができる。
【００４１】なお、以上は乗算器の後段にオフセット調
整手段を設けているが、出力として直流成分を必要とし
ない場合にはオフセット調整手段の替わりにハイパスフ
ィルタを用いることもできる。この場合、２つの入力信
号を増幅する個々のオペアンプの高周波領域における位
相の変化や振幅の低下のずれが自動的に補償されるので
、高周波領域における内挿誤差の拡大を軽減することが
できる。
整手段を設けているが、出力として直流成分を必要とし
ない場合にはオフセット調整手段の替わりにハイパスフ
ィルタを用いることもできる。この場合、２つの入力信
号を増幅する個々のオペアンプの高周波領域における位
相の変化や振幅の低下のずれが自動的に補償されるので
、高周波領域における内挿誤差の拡大を軽減することが
できる。
【００４２】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、演算
処理を適宜利用して入力された正弦波信号と余弦波信号
の整数倍の周波数の正弦波信号と余弦波信号を容易に創
出することができる。またこの回路を重ねて使用すれば
、回路規模をそれほど大きくすることなく非常に高分解
能な装置となる。
処理を適宜利用して入力された正弦波信号と余弦波信号
の整数倍の周波数の正弦波信号と余弦波信号を容易に創
出することができる。またこの回路を重ねて使用すれば
、回路規模をそれほど大きくすることなく非常に高分解
能な装置となる。
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図である
。
。
【図２】本発明の別の実施例を示すブロック図である。
【図３】本発明の別の実施例を示すブロック図である。
【図４】本発明の別の実施例を示すブロック図である。
【図５】本発明の別の実施例を示すブロック図である。
【図６】本発明の別の実施例を示すブロック図である。
【図７】変位測定装置の構成図である。
【図８】変位測定装置を有する駆動システムの構成図で
ある。
ある。
【図９】ハードディスクのサーボライタシステムの構成
図である。
図である。
【図１０】従来例を示すブロック図である。
【図１１】理想的でない信号が入力されたときの信号波
形を示す図である。
形を示す図である。
１、２ 入力端子
３ 反転回路
４、５、６、７ コンパレータ
８ パルス回路
９、１０、１１、１２ 加算器
１３、１４ 乗算器
１５、１６ オフセット調整手段
２１、２２、２３、２４、３１、３２ 加算器２５、
２６、２７、２８、２９、３０ 乗算器４０、４１、
４２、４３ 乗算器 ４４、４５ 差動増幅器
２６、２７、２８、２９、３０ 乗算器４０、４１、
４２、４３ 乗算器 ４４、４５ 差動増幅器
Claims (5)
- 【請求項１】 基準となる正弦波及び余弦波信号に、
演算により前記基準信号の整数倍の周波数の正弦波と余
弦波を創出する信号処理方法。 - 【請求項２】 基準となる正弦波及び余弦波信号を入
力する手段、前記基準信号の整数倍の周波数の正弦波信
号を創出する第１の演算手段、前記基準信号の整数倍の
周波数の余弦波信号を創出する第２の演算手段を有する
ことを特徴とする信号処理装置。 - 【請求項３】 変位状態を検出して、変位状態に応じ
て正弦波信号及び余弦波信号を出力する検出手段、前記
検出手段の出力である正弦波及び余弦波信号を基に、前
記信号の整数倍の周波数の正弦波信号を創出する第１の
演算手段、前記信号の整数倍の周波数の余弦波信号を創
出する第２の演算手段を有することを特徴とする変位検
出装置。 - 【請求項４】 物体を駆動する駆動手段と、前記物体
の変位状態を検出する変位検出手段、を有し、前記変位
検出手段は以下を有する：前記物体の変位状態を検出し
て、変位状態に応じて正弦波信号及び余弦波信号を出力
する検出手段、前記検出手段の出力である正弦波及び余
弦波信号を基に、前記信号の整数倍の周波数の正弦波信
号を創出する第１の演算手段、前記信号の整数倍の周波
数の余弦波信号を創出する第２の演算手段を有すること
を特徴とする駆動システム。 - 【請求項５】 前記基準となる正弦波及び余弦波信号
の振幅及び／又は位相差にずれがあった場合に、ずれに
よる誤差成分を補償する補償手段を更に有する請求項２
記載の信号処理装置、又は請求項３記載の変位検出装置
、又は請求項４記載の駆動システム。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3095349A JPH04229702A (ja) | 1990-06-20 | 1991-04-25 | 信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステム |
| US07/717,328 US5235406A (en) | 1990-06-20 | 1991-06-18 | Object displacement detection |
| DE69117219T DE69117219T2 (de) | 1990-06-20 | 1991-06-19 | Verfahren und Apparat zur Verarbeitung von Signalen, und ein System wie z.B. eine Vorrichtung zur Bestimmung von Verschiebungen, die diese verwendet |
| EP91110087A EP0463561B1 (en) | 1990-06-20 | 1991-06-19 | Signal processing method and apparatus, and a system such as a displacement detecting device using the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-163611 | 1990-06-20 | ||
| JP16361190 | 1990-06-20 | ||
| JP3095349A JPH04229702A (ja) | 1990-06-20 | 1991-04-25 | 信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04229702A true JPH04229702A (ja) | 1992-08-19 |
Family
ID=26436603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3095349A Pending JPH04229702A (ja) | 1990-06-20 | 1991-04-25 | 信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5235406A (ja) |
| EP (1) | EP0463561B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04229702A (ja) |
| DE (1) | DE69117219T2 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2256476B (en) * | 1991-05-30 | 1995-09-27 | Rank Taylor Hobson Ltd | Positional measurement |
| US5283434A (en) * | 1991-12-20 | 1994-02-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement detecting device with integral optics |
| US5390022A (en) * | 1992-04-07 | 1995-02-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information detection apparatus for receiving a divergent light beam |
| JP3232795B2 (ja) * | 1992-08-06 | 2001-11-26 | キヤノン株式会社 | 検出装置 |
| JP3210111B2 (ja) * | 1992-12-24 | 2001-09-17 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
| JPH06194123A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Canon Inc | 変位検出装置 |
| JP3005131B2 (ja) * | 1992-12-28 | 2000-01-31 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
| JPH06219007A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-09 | Sharp Corp | 印字位置制御装置 |
| US5372030A (en) * | 1993-09-15 | 1994-12-13 | The University Of Georgia Research Foundation, Inc. | Non-destructive firmness measuring device |
| JPH08145719A (ja) * | 1994-09-22 | 1996-06-07 | Canon Inc | 位置または角度の検出方法 |
| US5646496A (en) * | 1994-11-08 | 1997-07-08 | Dana Corporation | Apparatus and method for generating digital position signals for a rotatable shaft |
| DE19601657B4 (de) * | 1996-01-18 | 2005-07-07 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Lenkwinkelgeber mit konstanter Abtastfrequenz zur Abtastung der Sensorsignale |
| DE19815438B4 (de) * | 1997-04-16 | 2007-08-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmeßeinrichtung |
| DE19861259C5 (de) * | 1997-04-16 | 2010-09-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmeßeinrichtung |
| US6351312B1 (en) * | 1997-07-23 | 2002-02-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Interference-type distance measuring device |
| EP1399715B1 (de) * | 2001-06-27 | 2006-11-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und vorrichtung zum vorbereiten eines sensorsignals eines positionssensors für eine übertragung zu einer auswerteeinheit |
| US7119588B2 (en) * | 2005-01-28 | 2006-10-10 | James Wayne Kelley | Circuit for multiplying continuously varying signals |
| US20060232763A1 (en) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Specialty Minerals (Michigan) Inc. | Optical element, measuring apparatus and measuring method |
| JP4865456B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2012-02-01 | キヤノン株式会社 | 通信装置及び通信装置を制御する制御方法、通信装置を制御するためのプログラム、プログラムを格納した記憶媒体 |
| JP2008306549A (ja) | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Canon Inc | 無線制御局、及び無線端末局の制御方法、当該制御方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム |
| JP5366579B2 (ja) * | 2009-02-09 | 2013-12-11 | キヤノン株式会社 | 通信システム、通信装置、その処理方法及びプログラム |
| US8384014B2 (en) * | 2010-10-27 | 2013-02-26 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Interpolation method and device for increasing the resolution of encoders |
| EP2987220A1 (en) | 2013-04-19 | 2016-02-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Power transmitting apparatus, power receiving apparatus, control methods thereof, and program |
| JP6166598B2 (ja) | 2013-06-26 | 2017-07-19 | キヤノン株式会社 | 送電装置、受電装置、無線電力伝送システム、制御方法、及びプログラム |
| JP6261209B2 (ja) | 2013-07-04 | 2018-01-17 | キヤノン株式会社 | 複数の生産装置を備えるシステム |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3410976A (en) * | 1965-06-09 | 1968-11-12 | Itek Corp | Shaft angle encoder with phase detection |
| US3626308A (en) * | 1969-12-23 | 1971-12-07 | Nasa | Wide-band doubler and sine wave quadrature generator |
| SU911583A1 (ru) * | 1980-08-19 | 1982-03-07 | Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков | Преобразователь перемещени в код |
| US4700390A (en) * | 1983-03-17 | 1987-10-13 | Kenji Machida | Signal synthesizer |
| SU1166265A1 (ru) * | 1983-05-05 | 1985-07-07 | Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков | Преобразователь ортогональных сигналов в треугольный с удвоением частоты |
| DE3484649D1 (de) * | 1983-11-04 | 1991-07-04 | Sony Magnescale Inc | Optisches instrument zur messung einer verschiebung. |
| SU1283807A1 (ru) * | 1985-06-24 | 1987-01-15 | Предприятие П/Я В-8543 | Фазовый интерпол тор двух квадратурных сигналов |
| JP2649390B2 (ja) * | 1988-10-12 | 1997-09-03 | キヤノン株式会社 | 信号内挿回路 |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP3095349A patent/JPH04229702A/ja active Pending
- 1991-06-18 US US07/717,328 patent/US5235406A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-19 DE DE69117219T patent/DE69117219T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-19 EP EP91110087A patent/EP0463561B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5235406A (en) | 1993-08-10 |
| EP0463561A1 (en) | 1992-01-02 |
| DE69117219D1 (de) | 1996-03-28 |
| EP0463561B1 (en) | 1996-02-21 |
| DE69117219T2 (de) | 1996-09-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04229702A (ja) | 信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステム | |
| JP3313750B2 (ja) | 信号処理装置及びこれを用いた装置 | |
| EP0308656B1 (en) | Method and apparatus for generating a digital signal indicative on an angular displacement | |
| US20060052973A1 (en) | Position measuring method and position measuring system used in the multiplication of signal periods | |
| US6037735A (en) | Slow-speed servomechanism | |
| JP3232795B2 (ja) | 検出装置 | |
| US20050122242A1 (en) | Absolute encoder and absolute value signal generation method | |
| US4109189A (en) | Phase-sensitive transducer apparatus with improved signal offset means | |
| US4884226A (en) | Method for detecting position | |
| US6070132A (en) | Position detecting apparatus | |
| JP5162739B2 (ja) | エンコーダ信号処理方法、エンコーダ装置及びサーボモータ | |
| JP2004219333A (ja) | エンコーダ出力信号補正装置 | |
| JPH0658769A (ja) | 信号処理方法及びそれを用いた変位検出装置 | |
| US4378519A (en) | Transducer system with increased tracking capability | |
| JPH0476049B2 (ja) | ||
| JP2597374B2 (ja) | 位置制御装置 | |
| JPS6347612A (ja) | 変位検出装置 | |
| SU1562969A1 (ru) | Преобразователь перемещени в код | |
| JPH0215889B2 (ja) | ||
| SU1446691A2 (ru) | Преобразователь угла поворота вала в код | |
| JPH10254549A (ja) | 位置決め制御装置 | |
| JPS62187212A (ja) | 位相差補正付位置検出器 | |
| JPH10132604A (ja) | 位置検出装置 | |
| JP2008130035A (ja) | 信号処理器および制御系 | |
| JPS5951007B2 (ja) | 位置検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010313 |