JPH04225173A - 回路基板検査装置 - Google Patents
回路基板検査装置Info
- Publication number
- JPH04225173A JPH04225173A JP2414815A JP41481590A JPH04225173A JP H04225173 A JPH04225173 A JP H04225173A JP 2414815 A JP2414815 A JP 2414815A JP 41481590 A JP41481590 A JP 41481590A JP H04225173 A JPH04225173 A JP H04225173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- coordinate system
- measurement
- circuit board
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 35
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 17
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＸ−Ｙ型の回路基板検
査装置に関し、さらに詳しく言えば、測定ポイントのテ
ィーチングに関するものである。
査装置に関し、さらに詳しく言えば、測定ポイントのテ
ィーチングに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】少なくとも２本のプローブを移動自在と
するＸ−Ｙ型回路基板検査装置においては、実際の測定
に先立って測定ポイントをティーチングしてその座標デ
ータを得る必要がある。
するＸ−Ｙ型回路基板検査装置においては、実際の測定
に先立って測定ポイントをティーチングしてその座標デ
ータを得る必要がある。
【０００３】図３を例にして説明すると、１はプローブ
２を有する移動ヘッドである。この移動ヘッド１は、例
えばＸ方向に配向されたガイドアーム３に沿って往復動
するとともに、同ガイドアーム３自体がＹ方向に配向さ
れた図示しないガイドレールに沿って往復的に移動する
ことにより、回路基板Ａ上の任意の位置に移動する。
２を有する移動ヘッドである。この移動ヘッド１は、例
えばＸ方向に配向されたガイドアーム３に沿って往復動
するとともに、同ガイドアーム３自体がＹ方向に配向さ
れた図示しないガイドレールに沿って往復的に移動する
ことにより、回路基板Ａ上の任意の位置に移動する。
【０００４】移動ヘッド１には、測定ポイントＰをティ
ーチングするためのレーザー光源４が設けられている。 すなわち、レーザー光源４のレーザービームを参考にし
ながら、Ｘ，Ｙ移動キーによりプローブ２を教示したい
位置（測定ポイントＰ）上に移動する。そして、実際に
プローブ２をダウンさせてその位置が正しいかを確認す
る。
ーチングするためのレーザー光源４が設けられている。 すなわち、レーザー光源４のレーザービームを参考にし
ながら、Ｘ，Ｙ移動キーによりプローブ２を教示したい
位置（測定ポイントＰ）上に移動する。そして、実際に
プローブ２をダウンさせてその位置が正しいかを確認す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、正しく
ない時にはこれを試行錯誤的に繰り返すことになり、か
なりの時間がかかることになる。
ない時にはこれを試行錯誤的に繰り返すことになり、か
なりの時間がかかることになる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記従来の事
情に鑑みなされたもので、その構成上の特徴は、Ｘ−Ｙ
方向に移動自在な少なくとも２本のプローブと、同プロ
ーブに接続される測定信号発生部および信号測定部を含
む測定部と、上記プローブを移動させるプローブ移動手
段と、所定のプログラムに基づいて上記測定部およびプ
ローブ移動手段などを制御するＣＰＵなどの制御手段と
を備えてなる回路基板検査装置において、上記プローブ
とともに移動し、同プローブの予め定められた測定ポイ
ントを撮像するＣＣＤカメラと、同ＣＣＤカメラから出
力される画像データを２値化レベルのデジタルデータに
変換し、マトリクス状に配列された画素座標系上に展開
する画像処理部とを備え、上記制御手段は、上記画素座
標系上の上記測定ポイントの形状に対応する画素数およ
びそれらが有する個々の座標値から上記測定ポイントの
重心位置を求めるとともに、同重心位置が上記画素座標
系上の特定点に一致するように上記プローブ移動手段を
制御するようにしたことにある。
情に鑑みなされたもので、その構成上の特徴は、Ｘ−Ｙ
方向に移動自在な少なくとも２本のプローブと、同プロ
ーブに接続される測定信号発生部および信号測定部を含
む測定部と、上記プローブを移動させるプローブ移動手
段と、所定のプログラムに基づいて上記測定部およびプ
ローブ移動手段などを制御するＣＰＵなどの制御手段と
を備えてなる回路基板検査装置において、上記プローブ
とともに移動し、同プローブの予め定められた測定ポイ
ントを撮像するＣＣＤカメラと、同ＣＣＤカメラから出
力される画像データを２値化レベルのデジタルデータに
変換し、マトリクス状に配列された画素座標系上に展開
する画像処理部とを備え、上記制御手段は、上記画素座
標系上の上記測定ポイントの形状に対応する画素数およ
びそれらが有する個々の座標値から上記測定ポイントの
重心位置を求めるとともに、同重心位置が上記画素座標
系上の特定点に一致するように上記プローブ移動手段を
制御するようにしたことにある。
【０００７】
【作用】上記構成によると、測定ポイントの映像が２値
化レベルのデジタルデータに変換され、マトリクス状に
配列された画素座標系上に展開される。
化レベルのデジタルデータに変換され、マトリクス状に
配列された画素座標系上に展開される。
【０００８】制御手段（ＣＰＵ）は、この画像データか
らその重心位置を求めるとともに、その重心位置が画素
座標系上の特定点、例えば中心点に一致するようにプロ
ーブ移動手段を制御する。
らその重心位置を求めるとともに、その重心位置が画素
座標系上の特定点、例えば中心点に一致するようにプロ
ーブ移動手段を制御する。
【０００９】これにより、プローブは各測定ポイントに
対して相対的な意味での同じ条件で接触することになる
ため、測定の信頼性が高められる。
対して相対的な意味での同じ条件で接触することになる
ため、測定の信頼性が高められる。
【００１０】
【実施例】図１に示されているように、この発明による
と移動ヘッド１には、従来のレーザー光源に代えてＣＣ
Ｄカメラ１１が取付けられている。これに関連して、そ
の表示装置としてのＣＲＴ１２と、画像処理部１３とが
設けられている。
と移動ヘッド１には、従来のレーザー光源に代えてＣＣ
Ｄカメラ１１が取付けられている。これに関連して、そ
の表示装置としてのＣＲＴ１２と、画像処理部１３とが
設けられている。
【００１１】なお、１４は制御手段としてのＣＰＵ、１
５は一対のプローブ２，２に接続される測定信号発生部
および信号測定部を含む測定部、１６はプローブ２のサ
ーボ駆動系を制御する制御部、１７は検査プログラムな
どが書き込まれたメモリである。
５は一対のプローブ２，２に接続される測定信号発生部
および信号測定部を含む測定部、１６はプローブ２のサ
ーボ駆動系を制御する制御部、１７は検査プログラムな
どが書き込まれたメモリである。
【００１２】１８はＣＰＵ１４に指令を与えるキーボー
ドであるが、同キーボード１８には、移動ヘッド１のＸ
−Ｙ方向の移動を指示するカーソルキー１８ａ、プロー
ブ２をアップさせるアップキー１８ｂおよび同プローブ
２をダウンさせるダウンキー１８ｃの他に、重心移動キ
ー１９が設けられている。
ドであるが、同キーボード１８には、移動ヘッド１のＸ
−Ｙ方向の移動を指示するカーソルキー１８ａ、プロー
ブ２をアップさせるアップキー１８ｂおよび同プローブ
２をダウンさせるダウンキー１８ｃの他に、重心移動キ
ー１９が設けられている。
【００１３】測定ポイントＰをティーチングするには、
カーソルキー１８ａを操作してＣＣＤカメラ１１にてそ
の測定ポイントＰが捉えられるように移動ヘッド１を移
動させる。これにより、ＣＲＴ１２に測定ポイントＰの
映像が表示されるとともに、その映像信号は画像処理部
１３のメモリ内に画像データとして書き込まれる。
カーソルキー１８ａを操作してＣＣＤカメラ１１にてそ
の測定ポイントＰが捉えられるように移動ヘッド１を移
動させる。これにより、ＣＲＴ１２に測定ポイントＰの
映像が表示されるとともに、その映像信号は画像処理部
１３のメモリ内に画像データとして書き込まれる。
【００１４】この画像データは所定の閾値により、白黒
の２値化レベルのデジタルデータに変換され、図２に示
されているように、マトリクス状に配列された画素座標
系１３ａ上に展開される。
の２値化レベルのデジタルデータに変換され、図２に示
されているように、マトリクス状に配列された画素座標
系１３ａ上に展開される。
【００１５】この実施例においては、測定ポイントＰの
形状に対応する領域内の画素が黒データとされ、その画
素数とそれらの各座標値とによりその重心位置がＣＰＵ
１４によって求められる。
形状に対応する領域内の画素が黒データとされ、その画
素数とそれらの各座標値とによりその重心位置がＣＰＵ
１４によって求められる。
【００１６】すなわち、重心位置の座標を（ｘ，ｙ）、
黒データの総画素数をｎ、各黒データの座標を（Ｘｎ，
Ｙｎ）とすると、（ｘ，ｙ）＝Σ（Ｘｎ，Ｙｎ）／ｎに
よって表される。
黒データの総画素数をｎ、各黒データの座標を（Ｘｎ，
Ｙｎ）とすると、（ｘ，ｙ）＝Σ（Ｘｎ，Ｙｎ）／ｎに
よって表される。
【００１７】このようにして、測定ポイントＰの重心位
置（ｘ，ｙ）が求められたのち、キーボード１８の重心
移動キー１９を押すと、ＣＰＵ１４はその重心位置（ｘ
，ｙ）が画素座標系１３ａの例えば中心点に来るように
、サーボ系制御部１６を介して移動ヘッド１を移動させ
る。
置（ｘ，ｙ）が求められたのち、キーボード１８の重心
移動キー１９を押すと、ＣＰＵ１４はその重心位置（ｘ
，ｙ）が画素座標系１３ａの例えば中心点に来るように
、サーボ系制御部１６を介して移動ヘッド１を移動させ
る。
【００１８】そして、ダウンキー１８ｃを押して実際に
プローブ２を下降させて、ＣＲＴ１２にて確認する。こ
れを全部の測定ポイントに対して行なうことにより、そ
の座標データが得られる。
プローブ２を下降させて、ＣＲＴ１２にて確認する。こ
れを全部の測定ポイントに対して行なうことにより、そ
の座標データが得られる。
【００１９】なお上記実施例では、重心移動キー１９を
押した際、重心位置（ｘ，ｙ）が画素座標系１３ａの中
心点に移動するように移動ヘッド１を動かしているが、
必ずしも中心点である必要はない。すなわち、これは任
意の特定点であってよく、要するに、すべての測定ポイ
ントにおける重心位置をその特定点に移動させるように
すればよい。
押した際、重心位置（ｘ，ｙ）が画素座標系１３ａの中
心点に移動するように移動ヘッド１を動かしているが、
必ずしも中心点である必要はない。すなわち、これは任
意の特定点であってよく、要するに、すべての測定ポイ
ントにおける重心位置をその特定点に移動させるように
すればよい。
【００２０】また、画素座標系１３ａ上において、測定
ポイントＰのパターン内の画素を黒データとしているが
、これを反転させ白データとして認識してその重心を計
算してもよいことは勿論である。
ポイントＰのパターン内の画素を黒データとしているが
、これを反転させ白データとして認識してその重心を計
算してもよいことは勿論である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、従来のように試行錯誤を繰り返すことなく、測定ポイ
ントのティーチングに要する時間を大幅に短縮すること
ができる。
、従来のように試行錯誤を繰り返すことなく、測定ポイ
ントのティーチングに要する時間を大幅に短縮すること
ができる。
【図１】この発明の一実施例を説明するための模式図。
【図２】同実施例中の画像処理部内の画素座標系を示し
た図。
た図。
【図３】従来例を説明するための模式図。
１ 移動ヘッド
２ プローブ
１１ ＣＣＤカメラ
１２ ＣＲＴ
１３ 画像処理部
１４ 制御手段（ＣＰＵ）
１５ 測定部
１６ サーボ系制御部
１７ メモリ
１８ キーボード
１９ 重心移動キー
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ−Ｙ方向に移動自在な少なくとも２本の
プローブと、同プローブに接続される測定信号発生部お
よび信号測定部を含む測定部と、上記プローブを移動さ
せるプローブ移動手段と、所定のプログラムに基づいて
上記測定部およびプローブ移動手段などを制御する制御
手段とを備えてなる回路基板検査装置において、上記プ
ローブとともに移動し、同プローブの予め定められた測
定ポイントを撮像するＣＣＤカメラと、同ＣＣＤカメラ
から出力される画像データを２値化レベルのデジタルデ
ータに変換し、マトリクス状に配列された画素座標系上
に展開する画像処理部とを備え、上記制御手段は、上記
画素座標系上の上記測定ポイントの形状に対応する画素
数およびそれらが有する個々の座標値から上記測定ポイ
ントの重心位置を求めるとともに、同重心位置が上記画
素座標系上の特定点に一致するように上記プローブ移動
手段を制御することを特徴とする回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2414815A JPH04225173A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2414815A JPH04225173A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 回路基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225173A true JPH04225173A (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=18523254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2414815A Pending JPH04225173A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04225173A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994008205A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-04-14 | Carl Zeiss | Verfahren zur koordinatenmessung an werkstücken |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2414815A patent/JPH04225173A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994008205A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-04-14 | Carl Zeiss | Verfahren zur koordinatenmessung an werkstücken |
| EP0614517B1 (de) * | 1992-09-25 | 1997-03-12 | Carl Zeiss | Verfahren und vorrichtung zur koordinatenmessung an werkstücken |
| US5615489A (en) * | 1992-09-25 | 1997-04-01 | Carl-Zeiss-Stiftung | Method of making coordinate measurements on workpieces |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2019164382A1 (ko) | 부품의 실장 상태를 검사하기 위한 방법, 인쇄 회로 기판 검사 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록매체 | |
| CN105424721A (zh) | 一种金属应变计缺陷自动检测*** | |
| JPS63265442A (ja) | 半導体デバイス用外観検査装置 | |
| CN110815208B (zh) | 控制***、解析装置以及控制方法 | |
| KR20050028847A (ko) | 결함검출기 및 결함검출방법 | |
| JPH04225173A (ja) | 回路基板検査装置 | |
| US6205238B1 (en) | Apparatus and method for inspecting leads of an IC | |
| KR100293698B1 (ko) | 플라즈마디스플레이패널의패턴검사기및그검사방법 | |
| JP2001283194A (ja) | 回路基板の外観検査方法及び回路基板の外観検査装置 | |
| JPH0882505A (ja) | カメラパラメーターのキャリブレーション方法および物体の位置計測方法 | |
| KR100742546B1 (ko) | 시험편 신장측정방법 및 장치 | |
| JP2005181250A (ja) | 液晶表示パネルの検査方法及び装置 | |
| JPS63265129A (ja) | 表示装置の画素検査システム | |
| JPH0282172A (ja) | 導体パターンの導通検査機 | |
| JP3552381B2 (ja) | 画像測定機 | |
| EP0441972A1 (en) | Object recognition method by otpical cutting method | |
| JPH0599623A (ja) | 変位計測装置 | |
| JPS63108204A (ja) | 寸法測定方法 | |
| JPS61196110A (ja) | 形状検査装置 | |
| JPH058822B2 (ja) | ||
| JPH01210807A (ja) | 塗膜平滑度自動検査装置 | |
| JPS60213040A (ja) | ウエ−ハプロ−バ装置 | |
| JP3478173B2 (ja) | ビデオ式伸び計 | |
| JP2839115B2 (ja) | Ｉｃ検査装置 | |
| JP3052454B2 (ja) | キャリブレーション設定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000426 |