JPH04218906A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【発明の技術分野】本発明は、多層光磁気記録層を備え
た光磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは、優れた耐酸
化性、熱安定性を有し、保磁力、残留磁化、飽和磁化な
どの磁化特性に優れ、しかも短波長の再生光を照射して
も大きなカー回転角を示し、垂直磁気記録が可能な多層
光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体に関する。
た光磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは、優れた耐酸
化性、熱安定性を有し、保磁力、残留磁化、飽和磁化な
どの磁化特性に優れ、しかも短波長の再生光を照射して
も大きなカー回転角を示し、垂直磁気記録が可能な多層
光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【発明の技術的背景】鉄、コバルトなどの遷移金属と、
テルビウム(Tb)、カドリニウム(Gd)などの希土
類元素との合金からなる非晶質合金薄膜は、膜面と垂直
な方向に磁化容易軸を有し、一方向に全面磁化された膜
面に、この全面磁化方向とは逆向きの小さな反転磁区を
形成できることが知られている。この反転磁区の有無を
「1」、「0」に対応させることによって、上記のよう
な非晶質合金薄膜にデジタル信号を記録させることが可
能となる。
テルビウム(Tb)、カドリニウム(Gd)などの希土
類元素との合金からなる非晶質合金薄膜は、膜面と垂直
な方向に磁化容易軸を有し、一方向に全面磁化された膜
面に、この全面磁化方向とは逆向きの小さな反転磁区を
形成できることが知られている。この反転磁区の有無を
「1」、「0」に対応させることによって、上記のよう
な非晶質合金薄膜にデジタル信号を記録させることが可
能となる。
【0003】このような光磁気記録媒体に使用される記
録材料としては、Gd、Tb、Dy等の希土類元素とF
e、Co等の遷移金属元素とを組み合わせた非晶質合金
が従来の代表例である。しかし、これらの非晶質合金薄
膜を構成している希土類元素やFeは非常に酸化されや
すく、空気中の酸素とも容易に結合して酸化物を形成す
る性質がある。このような酸化が進行して腐食や孔食に
至ると信号の脱落を誘起し、また特に希土類元素が酸化
されると、保磁力と残留磁気カー回転角の減少にともな
ってC/N比が低下する。このような問題は、光磁気記
録媒体の磁気記録層の材料に希土類元素が使用されてい
る限り避けられないものである。
録材料としては、Gd、Tb、Dy等の希土類元素とF
e、Co等の遷移金属元素とを組み合わせた非晶質合金
が従来の代表例である。しかし、これらの非晶質合金薄
膜を構成している希土類元素やFeは非常に酸化されや
すく、空気中の酸素とも容易に結合して酸化物を形成す
る性質がある。このような酸化が進行して腐食や孔食に
至ると信号の脱落を誘起し、また特に希土類元素が酸化
されると、保磁力と残留磁気カー回転角の減少にともな
ってC/N比が低下する。このような問題は、光磁気記
録媒体の磁気記録層の材料に希土類元素が使用されてい
る限り避けられないものである。
【0004】このような遷移金属と希土類元素とを含む
非晶質合金薄膜からなる光磁気記録媒体の酸化劣化のメ
カニズムは、たとえば日本応用磁気学会誌第9巻、No
.2、第93〜96頁で検討されており、以下のような
3つのタイプがあることが報告されている。 イ)孔食 孔食とは非晶質合金薄膜にピンホ―ルが発生することを
意味するが、この腐食は、主として高湿雰囲気下で進行
し、たとえばTb−Fe系、Tb−Co系などで著しく
進行する。 ロ)表面酸化 非晶質合金薄膜に表面酸化層が形成され、カ―回転角θ
k が経時的に変化し、ついにはカ―回転角θk が減
少してしまう。 ハ)希土類金属の選択酸化 非晶質合金薄膜中の希土類金属が選択的に酸化され、保
磁力Hc が経時的に大きく変化してしまう。
非晶質合金薄膜からなる光磁気記録媒体の酸化劣化のメ
カニズムは、たとえば日本応用磁気学会誌第9巻、No
.2、第93〜96頁で検討されており、以下のような
3つのタイプがあることが報告されている。 イ)孔食 孔食とは非晶質合金薄膜にピンホ―ルが発生することを
意味するが、この腐食は、主として高湿雰囲気下で進行
し、たとえばTb−Fe系、Tb−Co系などで著しく
進行する。 ロ)表面酸化 非晶質合金薄膜に表面酸化層が形成され、カ―回転角θ
k が経時的に変化し、ついにはカ―回転角θk が減
少してしまう。 ハ)希土類金属の選択酸化 非晶質合金薄膜中の希土類金属が選択的に酸化され、保
磁力Hc が経時的に大きく変化してしまう。
【0005】上述のような酸化や孔食は、上記非晶質合
金薄膜にTi、Cr、Al等の不動態被膜を形成し得る
元素や、Pt、Pd等の不活性元素を添加することによ
り防止することができ、比較的膜厚の厚い場合において
その効果は確認されている。しかしながら、上述のよう
な添加元素の使用はしばしば磁気カー回転角の低下につ
ながり、しかも500Å以下の膜厚では所望の効果が得
られないので、酸化防止保護膜等を併用する必要があっ
た。ところがこの酸化防止保護膜は高価であるとともに
形成するのに手間がかかり、またこの保護膜を形成して
も必ずしも非晶質合金薄膜の酸化劣化を充分には防止で
きないという問題点があった。
金薄膜にTi、Cr、Al等の不動態被膜を形成し得る
元素や、Pt、Pd等の不活性元素を添加することによ
り防止することができ、比較的膜厚の厚い場合において
その効果は確認されている。しかしながら、上述のよう
な添加元素の使用はしばしば磁気カー回転角の低下につ
ながり、しかも500Å以下の膜厚では所望の効果が得
られないので、酸化防止保護膜等を併用する必要があっ
た。ところがこの酸化防止保護膜は高価であるとともに
形成するのに手間がかかり、またこの保護膜を形成して
も必ずしも非晶質合金薄膜の酸化劣化を充分には防止で
きないという問題点があった。
【0006】このような酸化劣化にともなう問題点を解
決するために、たとえばCo層とPt層とを交互に積層
したCo/Pt超格子金属薄膜あるいはCo層とPd層
とを交互に積層したCo/Pd超格子金属薄膜が優れた
耐蝕性を示し、かつ全厚の薄い場合に優れた磁気光学特
性を有することが開示されている(EP公開30487
3)。
決するために、たとえばCo層とPt層とを交互に積層
したCo/Pt超格子金属薄膜あるいはCo層とPd層
とを交互に積層したCo/Pd超格子金属薄膜が優れた
耐蝕性を示し、かつ全厚の薄い場合に優れた磁気光学特
性を有することが開示されている(EP公開30487
3)。
【0007】ところで、光磁気記録媒体においては磁性
変化を生じさせるためには記録層が局部的にキュリー温
度以上に加熱されることが必要である。したがって、記
録層のキュリー点が低いほど、情報転送速度が向上する
ことになる。キュリー点を下げる手段としては、記録層
に第3の元素を添加することが従来より考えられている
。しかしながら、このような手段は元素の種類によって
は記録層の熱安定性を低下させるため、金属イオンの拡
散あるいは記録層の結晶化が起こり、ノイズ発生の原因
となったり、保磁力や角型比が劣化するという結果を招
くことがあった。
変化を生じさせるためには記録層が局部的にキュリー温
度以上に加熱されることが必要である。したがって、記
録層のキュリー点が低いほど、情報転送速度が向上する
ことになる。キュリー点を下げる手段としては、記録層
に第3の元素を添加することが従来より考えられている
。しかしながら、このような手段は元素の種類によって
は記録層の熱安定性を低下させるため、金属イオンの拡
散あるいは記録層の結晶化が起こり、ノイズ発生の原因
となったり、保磁力や角型比が劣化するという結果を招
くことがあった。
【0008】上述のような問題点を解決するために、た
とえば特開平1−98144号公報には、金属Coに他
の元素(P、Ti、V、Ni、Ga、Ge、B、C、S
i、FeおよびCuから選ばれる少なくとも一種)を所
定の範囲で添加してなるCo系合金層とPd層とを交互
に積層した超格子金属薄膜あるいは変調構造金属薄膜を
光磁気記録層とする光磁気記録媒体が開示されている。 また特開平1−162257号公報には、金属Coに他
の元素(B、C、Al、Si、P、Ti、V、Fe、N
i、Cu、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn
、Sb、Gd、Tb、DyおよびTaから選ばれる少な
くとも一種)を所定の範囲で添加してなるCo系合金層
とPt層とを交互に積層した金属薄膜を光磁気記録層と
する光磁気記録媒体が開示されている。
とえば特開平1−98144号公報には、金属Coに他
の元素(P、Ti、V、Ni、Ga、Ge、B、C、S
i、FeおよびCuから選ばれる少なくとも一種)を所
定の範囲で添加してなるCo系合金層とPd層とを交互
に積層した超格子金属薄膜あるいは変調構造金属薄膜を
光磁気記録層とする光磁気記録媒体が開示されている。 また特開平1−162257号公報には、金属Coに他
の元素(B、C、Al、Si、P、Ti、V、Fe、N
i、Cu、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、In、Sn
、Sb、Gd、Tb、DyおよびTaから選ばれる少な
くとも一種)を所定の範囲で添加してなるCo系合金層
とPt層とを交互に積層した金属薄膜を光磁気記録層と
する光磁気記録媒体が開示されている。
【0009】しかしながら、上記のような公報に記載さ
れた光磁気記録層においても、磁化特性、C/N特性な
どの点で必ずしも満足のいくものではなく、このような
点でさらなる改良要求があった。
れた光磁気記録層においても、磁化特性、C/N特性な
どの点で必ずしも満足のいくものではなく、このような
点でさらなる改良要求があった。
【0010】
【発明の目的】本発明は、優れた耐酸化性、熱安定性を
有し、保磁力、残留磁化、飽和磁化などの磁化特性に優
れ、しかも短波長の再生光を照射しても大きなカー回転
角を示し、垂直磁気記録が可能な多層光磁気記録層を備
えた光磁気記録媒体を提供することを目的としている。
有し、保磁力、残留磁化、飽和磁化などの磁化特性に優
れ、しかも短波長の再生光を照射しても大きなカー回転
角を示し、垂直磁気記録が可能な多層光磁気記録層を備
えた光磁気記録媒体を提供することを目的としている。
【0011】
【発明の概要】本発明に係る第1の光磁気記録媒体は、
その光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第
2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体で
あり、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM1(
ただし、M1はPd、Pt、CrまたはHfを表す。)
からなることを特徴としている。
その光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第
2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体で
あり、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM1(
ただし、M1はPd、Pt、CrまたはHfを表す。)
からなることを特徴としている。
【0012】本発明に係る第2の光磁気記録媒体は、そ
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM2M3
(ただし、M2はPtおよびPdから選ばれる少なくと
も1種の元素を表し、M3は下記(a)〜(h)よりな
る群から選ばれる少なくとも1種の元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): Pd以外の4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴としている。
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM2M3
(ただし、M2はPtおよびPdから選ばれる少なくと
も1種の元素を表し、M3は下記(a)〜(h)よりな
る群から選ばれる少なくとも1種の元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): Pd以外の4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴としている。
【0013】本発明に係る第3の光磁気記録媒体は、そ
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPtM4(ただし、M4はPdおよびA
uから選ばれる少なくとも1種の元素を表す。)からな
り、第2薄膜がCoM5(ただし、M5は下記(a)〜
(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を
表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): 5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴としている。
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPtM4(ただし、M4はPdおよびA
uから選ばれる少なくとも1種の元素を表す。)からな
り、第2薄膜がCoM5(ただし、M5は下記(a)〜
(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を
表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): 5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴としている。
【0014】本発明に係る第4の光磁気記録媒体は、そ
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPdからなり、第2薄膜がCoM6(た
だし、M6はGd、Dy、Tb、Nd、Cr、Zr、H
f、TaおよびAlから選ばれる少なくとも1種の元素
を表す。)からなることを特徴としている。
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPdからなり、第2薄膜がCoM6(た
だし、M6はGd、Dy、Tb、Nd、Cr、Zr、H
f、TaおよびAlから選ばれる少なくとも1種の元素
を表す。)からなることを特徴としている。
【0015】本発明に係る第5の光磁気記録媒体は、そ
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がCoPtM7(ただし、M7は下記(a
)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元
素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素)からなり、第2薄膜がCo
PtM8(ただし、M8は下記(a)〜(h)よりなる
群から選ばれる少なくとも1種の元素を表し、かつ前記
M7とは異なる。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴としている。
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がCoPtM7(ただし、M7は下記(a
)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元
素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素)からなり、第2薄膜がCo
PtM8(ただし、M8は下記(a)〜(h)よりなる
群から選ばれる少なくとも1種の元素を表し、かつ前記
M7とは異なる。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴としている。
【0016】本発明に係る第6の光磁気記録媒体は、そ
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPtM9(ただし、M9は下記(a)〜
(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を
表す。 (a): 3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなり
、第2薄膜がCoからなることを特徴としている。
の光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2
薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層体であ
り、第1薄膜がPtM9(ただし、M9は下記(a)〜
(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を
表す。 (a): 3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなり
、第2薄膜がCoからなることを特徴としている。
【0017】本発明に係る光磁気記録媒体は、その光磁
気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2薄膜と
が交互に積層された周期構造を有する積層体であるので
、優れた耐酸化性を有し、保磁力、残留磁化などの磁化
特性に優れ、しかも短波長の再生光を照射しても大きな
カー回転角を示し、垂直磁気記録が可能な多層光磁気記
録層を備えた光磁気記録媒体が得られる。
気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜と第2薄膜と
が交互に積層された周期構造を有する積層体であるので
、優れた耐酸化性を有し、保磁力、残留磁化などの磁化
特性に優れ、しかも短波長の再生光を照射しても大きな
カー回転角を示し、垂直磁気記録が可能な多層光磁気記
録層を備えた光磁気記録媒体が得られる。
【0018】
【発明の具体的説明】以下本発明に係る光磁気記録媒体
について具体的に説明する。本発明に係る光磁気記録媒
体の光磁気記録層は、組成が異なる2種の薄膜の積層体
として構成されている。
について具体的に説明する。本発明に係る光磁気記録媒
体の光磁気記録層は、組成が異なる2種の薄膜の積層体
として構成されている。
【0019】本発明に係る光磁気記録媒体の多層光磁気
記録層を構成する2種の薄膜のうち、一方の薄膜(以下
、第1薄膜とよぶ)はPtまたはPdからなる薄膜であ
るか、もしくはPtを含む合金薄膜である。また、該多
層光磁気記録層を構成する2種の薄膜のうち、他方の薄
膜(以下、第2薄膜とよぶ)はCoからなる薄膜である
か、またはCoを含む合金薄膜である。この第1薄膜お
よび第2薄膜を積層してなる多層光磁気記録層は、膜面
に垂直な磁化容易軸を有する合金薄膜であって、かつ隣
接する第1薄膜および第2薄膜はその組成が互いに異な
っている。以下、このような光磁気記録媒体を6つの態
様に分けてさらに具体的に説明する。
記録層を構成する2種の薄膜のうち、一方の薄膜(以下
、第1薄膜とよぶ)はPtまたはPdからなる薄膜であ
るか、もしくはPtを含む合金薄膜である。また、該多
層光磁気記録層を構成する2種の薄膜のうち、他方の薄
膜(以下、第2薄膜とよぶ)はCoからなる薄膜である
か、またはCoを含む合金薄膜である。この第1薄膜お
よび第2薄膜を積層してなる多層光磁気記録層は、膜面
に垂直な磁化容易軸を有する合金薄膜であって、かつ隣
接する第1薄膜および第2薄膜はその組成が互いに異な
っている。以下、このような光磁気記録媒体を6つの態
様に分けてさらに具体的に説明する。
【0020】本発明に係る第1の光磁気記録媒体におい
ては、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM1合
金(ただし、M1はPd、Pt、CrまたはHfを表す
。)からなる。
ては、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM1合
金(ただし、M1はPd、Pt、CrまたはHfを表す
。)からなる。
【0021】なお、第1薄膜にはPt以外にも少量に他
の金属が含有されていてもよい。このような他の金属と
しては、具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、F
e、Co、Ni、Cu、Zn等の3d遷移元素;Y、Z
r、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd
等の4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re、Os、Ir
、Au、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、H
o、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、Pm
、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga、In、
Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、Sn、Pb
等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi等のVB
族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元素が用い
られる。これらの元素のなかでも、好ましくはCr、H
f、Ti、ZrおよびTaが用いられる。
の金属が含有されていてもよい。このような他の金属と
しては、具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、F
e、Co、Ni、Cu、Zn等の3d遷移元素;Y、Z
r、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd
等の4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re、Os、Ir
、Au、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、H
o、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、Pm
、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga、In、
Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、Sn、Pb
等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi等のVB
族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元素が用い
られる。これらの元素のなかでも、好ましくはCr、H
f、Ti、ZrおよびTaが用いられる。
【0022】このような他の金属は第1薄膜中に20原
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第1の光磁気記録媒体の第
2薄膜を構成するCoM1合金としては、Co−Pd合
金、Co−Pt合金、Co−Cr合金またはCo−Hf
合金があげられる。
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第1の光磁気記録媒体の第
2薄膜を構成するCoM1合金としては、Co−Pd合
金、Co−Pt合金、Co−Cr合金またはCo−Hf
合金があげられる。
【0023】第2薄膜がCo−Pd合金からなる場合、
その組成比は、式:CoxPd100−x において、
x(原子%)が50〜99.9原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
その組成比は、式:CoxPd100−x において、
x(原子%)が50〜99.9原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
【0024】第2薄膜がCo−Pt合金からなる場合、
その組成比は、式:CoxPt100−x において、
x(原子%)が50〜99.9原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
その組成比は、式:CoxPt100−x において、
x(原子%)が50〜99.9原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
【0025】第2薄膜がCo−Cr合金からなる場合、
その組成比は、式:CoxCr100−x において、
x(原子%)が70〜99.9原子%、好ましくは80
〜98原子%であることが望ましい。
その組成比は、式:CoxCr100−x において、
x(原子%)が70〜99.9原子%、好ましくは80
〜98原子%であることが望ましい。
【0026】第2薄膜がCo−Hf合金からなる場合、
その組成比は、式:CoxHf100−x において、
x(原子%)が70〜99.9原子%、好ましくは80
〜98原子%であることが望ましい。
その組成比は、式:CoxHf100−x において、
x(原子%)が70〜99.9原子%、好ましくは80
〜98原子%であることが望ましい。
【0027】なお、第2薄膜にはCo、Pd、Pt、C
r、Hf以外にも少量に他の金属が含有されていてもよ
い。このような他の金属としては、具体的には、Sc、
Ti、V、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn等の3d遷移
元素;Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Ag
、Cd等の4d遷移元素;Ta、W、Re、Os、Ir
、Au、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、H
o、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、Pm
、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga、In、
Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、Sn、Pb
等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi等のVB
族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元素が用い
られる。
r、Hf以外にも少量に他の金属が含有されていてもよ
い。このような他の金属としては、具体的には、Sc、
Ti、V、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn等の3d遷移
元素;Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Ag
、Cd等の4d遷移元素;Ta、W、Re、Os、Ir
、Au、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、H
o、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、Pm
、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga、In、
Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、Sn、Pb
等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi等のVB
族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元素が用い
られる。
【0028】このような他の金属は第2薄膜中に20原
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第2の光磁気記録媒体にお
いては、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM2
M3(ただし、M2はPtおよびPdから選ばれる少な
くとも1種の元素を表し、M3は下記(a)〜(h)よ
りなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): Pd以外の4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
。
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第2の光磁気記録媒体にお
いては、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM2
M3(ただし、M2はPtおよびPdから選ばれる少な
くとも1種の元素を表し、M3は下記(a)〜(h)よ
りなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): Pd以外の4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
。
【0029】なお、本発明に係る第2の光磁気記録媒体
の第1薄膜は、上記第1の発明に係る光磁気記録媒体の
第1薄膜と同様である。本発明に係る第2の光磁気記録
媒体の第2薄膜を構成するCoM2M3合金としては、
Co−Pt−M3合金、Co−Pd−M3合金、Co−
Pt−Pd−M3があげられる。
の第1薄膜は、上記第1の発明に係る光磁気記録媒体の
第1薄膜と同様である。本発明に係る第2の光磁気記録
媒体の第2薄膜を構成するCoM2M3合金としては、
Co−Pt−M3合金、Co−Pd−M3合金、Co−
Pt−Pd−M3があげられる。
【0030】ここで、M3としては、下記(a)〜(h
)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素が用い
られる。 (a)Co以外の3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni
、Cu、Znが用いられる。
)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素が用い
られる。 (a)Co以外の3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni
、Cu、Znが用いられる。
【0031】これらのうち、Ti、Fe、Ni、Cu、
Znなどが好ましく用いられる。 (b)Pd以外の4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Ag、Cdが用いられる。
Znなどが好ましく用いられる。 (b)Pd以外の4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Ag、Cdが用いられる。
【0032】このうちZrまたはNbが好ましく用いら
れる。 (c)Pt以外の5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Au
、Hgが用いられる。
れる。 (c)Pt以外の5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Au
、Hgが用いられる。
【0033】このうちTaが好ましく用いられる。
(d)希土類元素
具体的には、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、L
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
【0034】このうちGd、Tb、Dy、Ho、Nd、
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
【0035】このうちB、Al、Gaが好ましく用いら
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
【0036】このうち、Si、Ge、Sn、Pbが好ま
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
【0037】このうちSbが好ましく用いられる。
(h)VIB族元素
具体的には、S、Se、Te、Poが用いられる。
【0038】このうちTeが好ましく用いられる。第2
薄膜がCo−Pt−M3合金からなる場合、その組成比
は、式:CoxPtyM3100−x−yにおいて、x
(原子%)が50〜98原子%、好ましくは70〜95
原子%であり、y(原子%)が1〜45原子%、好まし
くは4〜25原子%であることが望ましい。
薄膜がCo−Pt−M3合金からなる場合、その組成比
は、式:CoxPtyM3100−x−yにおいて、x
(原子%)が50〜98原子%、好ましくは70〜95
原子%であり、y(原子%)が1〜45原子%、好まし
くは4〜25原子%であることが望ましい。
【0039】第2薄膜がCo−Pd−M3合金からなる
場合、その組成比は、式:CoxPdyM3100−x
−yにおいて、x(原子%)が50〜98原子%、好ま
しくは70〜95原子%であり、y(原子%)が1〜4
5原子%、好ましくは4〜25原子%であることが望ま
しい。
場合、その組成比は、式:CoxPdyM3100−x
−yにおいて、x(原子%)が50〜98原子%、好ま
しくは70〜95原子%であり、y(原子%)が1〜4
5原子%、好ましくは4〜25原子%であることが望ま
しい。
【0040】第2薄膜がCo−Pt−Pd−M3合金か
らなる場合、その組成比は、式:CoxPtyPdzM
3100−x−y−zにおいて、x(原子%)が50〜
98原子%、好ましくは70〜95原子%であり、y(
原子%)が0.5〜23原子%、好ましくは2〜13原
子%であり、z(原子%)が0.5〜22原子%、好ま
しくは2〜12原子%であることが望ましい。
らなる場合、その組成比は、式:CoxPtyPdzM
3100−x−y−zにおいて、x(原子%)が50〜
98原子%、好ましくは70〜95原子%であり、y(
原子%)が0.5〜23原子%、好ましくは2〜13原
子%であり、z(原子%)が0.5〜22原子%、好ま
しくは2〜12原子%であることが望ましい。
【0041】上記本発明に係る第2の光磁気記録媒体の
第2薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Co−Pt−Fe合金、Co−Pd−Fe合金、Co−
Pt−Pd−Fe合金、Co−Pt−Fe−Ti合金、
Co−Pd−Fe−Ti合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ti合金、Co−Pt−Fe−Ni合金、Co−Pd
−Fe−Ni合金、Co−Pt−Pd−Fe−Ni合金
、Co−Pt−Fe−Cu合金、Co−Pd−Fe−C
u合金、Co−Pt−Pd−Fe−Cu合金、Co−P
t−Fe−Zn合金、Co−Pd−Fe−Zn合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Zn合金、Co−Pt−Fe−
Zr合金、Co−Pd−Fe−Zr合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Zr合金、Co−Pt−Fe−Nb合金、
Co−Pd−Fe−Nb合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Nb合金、Co−Pt−Fe−Ta合金、Co−Pd
−Fe−Ta合金、Co−Pt−Pd−Fe−Ta合金
、Co−Pt−Fe−Gd合金、Co−Pd−Fe−G
d合金、Co−Pt−Pd−Fe−Gd合金、Co−P
t−Fe−Tb合金、Co−Pd−Fe−Tb合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Tb合金、Co−Pt−Fe−
Dy合金、Co−Pd−Fe−Dy合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Dy合金、Co−Pt−Fe−Ho合金、
Co−Pd−Fe−Ho合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ho合金、Co−Pt−Fe−Nd合金、Co−Pd
−Fe−Nd合金、Co−Pt−Pd−Fe−Nd合金
、Co−Pt−Fe−Sm合金、Co−Pd−Fe−S
m合金、Co−Pt−Pd−Fe−Sm合金、Co−P
t−Fe−Pr合金、Co−Pd−Fe−Pr合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Pr合金、Co−Pt−Tb合
金、Co−Pd−Tb合金、Co−Pt−Pd−Tb合
金、Co−Pt−Tb−Ti合金、Co−Pd−Tb−
Ti合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ti合金、Co−
Pt−Tb−Ni合金、Co−Pd−Tb−Ni合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Ni合金、Co−Pt−Tb
−Cu合金、Co−Pd−Tb−Cu合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Cu合金、Co−Pt−Tb−Zn合金
、Co−Pd−Tb−Zn合金、Co−Pt−Pd−T
b−Zn合金、Co−Pt−Tb−Zr合金、Co−P
d−Tb−Zr合金、Co−Pt−Pd−Tb−Zr合
金、Co−Pt−Tb−Nb合金、Co−Pd−Tb−
Nb合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nb合金、Co−
Pt−Tb−Ta合金、Co−Pd−Tb−Ta合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Ta合金、Co−Pt−Tb
−Gd合金、Co−Pd−Tb−Gd合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Gd合金、Co−Pt−Tb−Dy合金
、Co−Pd−Tb−Dy合金、Co−Pt−Pd−T
b−Dy合金、Co−Pt−Tb−Ho合金、Co−P
d−Tb−Ho合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ho合
金、Co−Pt−Tb−Nd合金、Co−Pd−Tb−
Nd合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nd合金、Co−
Pt−Tb−Sm合金、Co−Pd−Tb−Sm合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Sm合金、Co−Pt−Tb
−Pr合金、Co−Pd−Tb−Pr合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Pr合金等をあげることができる。
第2薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Co−Pt−Fe合金、Co−Pd−Fe合金、Co−
Pt−Pd−Fe合金、Co−Pt−Fe−Ti合金、
Co−Pd−Fe−Ti合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ti合金、Co−Pt−Fe−Ni合金、Co−Pd
−Fe−Ni合金、Co−Pt−Pd−Fe−Ni合金
、Co−Pt−Fe−Cu合金、Co−Pd−Fe−C
u合金、Co−Pt−Pd−Fe−Cu合金、Co−P
t−Fe−Zn合金、Co−Pd−Fe−Zn合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Zn合金、Co−Pt−Fe−
Zr合金、Co−Pd−Fe−Zr合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Zr合金、Co−Pt−Fe−Nb合金、
Co−Pd−Fe−Nb合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Nb合金、Co−Pt−Fe−Ta合金、Co−Pd
−Fe−Ta合金、Co−Pt−Pd−Fe−Ta合金
、Co−Pt−Fe−Gd合金、Co−Pd−Fe−G
d合金、Co−Pt−Pd−Fe−Gd合金、Co−P
t−Fe−Tb合金、Co−Pd−Fe−Tb合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Tb合金、Co−Pt−Fe−
Dy合金、Co−Pd−Fe−Dy合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Dy合金、Co−Pt−Fe−Ho合金、
Co−Pd−Fe−Ho合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ho合金、Co−Pt−Fe−Nd合金、Co−Pd
−Fe−Nd合金、Co−Pt−Pd−Fe−Nd合金
、Co−Pt−Fe−Sm合金、Co−Pd−Fe−S
m合金、Co−Pt−Pd−Fe−Sm合金、Co−P
t−Fe−Pr合金、Co−Pd−Fe−Pr合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Pr合金、Co−Pt−Tb合
金、Co−Pd−Tb合金、Co−Pt−Pd−Tb合
金、Co−Pt−Tb−Ti合金、Co−Pd−Tb−
Ti合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ti合金、Co−
Pt−Tb−Ni合金、Co−Pd−Tb−Ni合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Ni合金、Co−Pt−Tb
−Cu合金、Co−Pd−Tb−Cu合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Cu合金、Co−Pt−Tb−Zn合金
、Co−Pd−Tb−Zn合金、Co−Pt−Pd−T
b−Zn合金、Co−Pt−Tb−Zr合金、Co−P
d−Tb−Zr合金、Co−Pt−Pd−Tb−Zr合
金、Co−Pt−Tb−Nb合金、Co−Pd−Tb−
Nb合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nb合金、Co−
Pt−Tb−Ta合金、Co−Pd−Tb−Ta合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Ta合金、Co−Pt−Tb
−Gd合金、Co−Pd−Tb−Gd合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Gd合金、Co−Pt−Tb−Dy合金
、Co−Pd−Tb−Dy合金、Co−Pt−Pd−T
b−Dy合金、Co−Pt−Tb−Ho合金、Co−P
d−Tb−Ho合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ho合
金、Co−Pt−Tb−Nd合金、Co−Pd−Tb−
Nd合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nd合金、Co−
Pt−Tb−Sm合金、Co−Pd−Tb−Sm合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Sm合金、Co−Pt−Tb
−Pr合金、Co−Pd−Tb−Pr合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Pr合金等をあげることができる。
【0042】本発明に係る第3の光磁気記録媒体におい
ては、第1薄膜がPtM4(ただし、M4はPdおよび
Auから選ばれる少なくとも1種の元素を表す。)から
なり、第2薄膜がCoM5(ただし、M5は下記(a)
〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素
を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): 5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
。
ては、第1薄膜がPtM4(ただし、M4はPdおよび
Auから選ばれる少なくとも1種の元素を表す。)から
なり、第2薄膜がCoM5(ただし、M5は下記(a)
〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素
を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): 5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
。
【0043】本発明に係る第3の光磁気記録媒体の第1
薄膜を構成するPtM4合金としては、Pt−Pd合金
、Pt−Au合金またはPt−Pd−Au合金があげら
れる。
薄膜を構成するPtM4合金としては、Pt−Pd合金
、Pt−Au合金またはPt−Pd−Au合金があげら
れる。
【0044】第1薄膜がPt−Pd合金からなる場合、
その組成比は、式:PtxPd100−x において、
x(原子%)が50〜99.9原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
その組成比は、式:PtxPd100−x において、
x(原子%)が50〜99.9原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
【0045】第1薄膜がPt−Au合金からなる場合、
その組成比は、式:PtxAu100−x において、
x(原子%)が50〜99.8原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
その組成比は、式:PtxAu100−x において、
x(原子%)が50〜99.8原子%、好ましくは70
〜98原子%であることが望ましい。
【0046】第1薄膜がPt−Pd−Au合金からなる
場合、その組成比は、式:PtxPdyAu100−x
−y において、x(原子%)が50〜99.8原子%
、好ましくは70〜98原子%であり、y(原子%)が
0.1〜45原子%、好ましくは1〜25原子%である
ことが望ましい。
場合、その組成比は、式:PtxPdyAu100−x
−y において、x(原子%)が50〜99.8原子%
、好ましくは70〜98原子%であり、y(原子%)が
0.1〜45原子%、好ましくは1〜25原子%である
ことが望ましい。
【0047】なお、本発明に係る第3の光磁気記録媒体
の第1薄膜には、Pt、Pd、Au以外にも少量の他の
金属が含有されていてもよい。具体的には、Sc、Ti
、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn等の
3d遷移元素;Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、R
h、Ag、Cd等の4d遷移元素;Hf、Ta、W、R
e、Os、Ir、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、
Dy、Ho、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、N
d、Pm、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga
、In、Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、S
n、Pb等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi
等のVB族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元
素が用いられる。
の第1薄膜には、Pt、Pd、Au以外にも少量の他の
金属が含有されていてもよい。具体的には、Sc、Ti
、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn等の
3d遷移元素;Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、R
h、Ag、Cd等の4d遷移元素;Hf、Ta、W、R
e、Os、Ir、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、
Dy、Ho、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、N
d、Pm、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga
、In、Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、S
n、Pb等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi
等のVB族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元
素が用いられる。
【0048】このような他の金属は第1薄膜中に20原
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第3の光磁気記録媒体の第
2薄膜を構成するCoM5合金に用いられるM5として
は、下記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なく
とも1種の元素が用いられる。 (a)Co以外の3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni
、Cu、Znが用いられる。
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第3の光磁気記録媒体の第
2薄膜を構成するCoM5合金に用いられるM5として
は、下記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なく
とも1種の元素が用いられる。 (a)Co以外の3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni
、Cu、Znが用いられる。
【0049】これらのうち、Ti、Fe、Ni、Cu、
Znなどが好ましく用いられる。 (b)4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Pd、Ag、Cdが用いられる。
Znなどが好ましく用いられる。 (b)4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Pd、Ag、Cdが用いられる。
【0050】このうちZrまたはNbが好ましく用いら
れる。 (c)5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt
、Au、Hgが用いられる。
れる。 (c)5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt
、Au、Hgが用いられる。
【0051】このうちTaが好ましく用いられる。
(d)希土類元素
具体的には、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、L
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
【0052】このうちGd、Tb、Dy、Ho、Nd、
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
【0053】このうちB、Al、Gaが好ましく用いら
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
【0054】このうち、Si、Ge、Sn、Pbが好ま
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
【0055】このうちSbが好ましく用いられる。
(h)VIB族元素
具体的には、S、Se、Te、Poが用いられる。
【0056】このうちTeが好ましく用いられる。本発
明に係る第3の光磁気記録媒体を構成する第2薄膜の組
成比は、式:CoxM5100−xにおいて、x(原子
%)が70〜99.9原子%、好ましくは80〜98原
子%であることが望ましい。
明に係る第3の光磁気記録媒体を構成する第2薄膜の組
成比は、式:CoxM5100−xにおいて、x(原子
%)が70〜99.9原子%、好ましくは80〜98原
子%であることが望ましい。
【0057】上記本発明に係る第3の光磁気記録媒体の
第2薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Co−Sc合金、Co−Ti合金、Co−V合金、Co
−Cr合金、Co−Mn合金、Co−Fe合金、Co−
Ni合金、Co−Cu合金、Co−Zn合金、Co−Y
合金、Co−Zr合金、Co−Nb合金、Co−Mo合
金、Co−Tc合金、Co−Ru合金、Co−Rh合金
、Co−Pd合金、Co−Ag合金、Co−Cd合金、
Co−Hf合金、Co−Ta合金、Co−W合金、Co
−Re合金、Co−Os合金、Co−Ir合金、Co−
Pt合金、Co−Au合金、Co−Hg合金、Co−G
d合金、Co−Tb合金、Co−Dy合金、Co−Ho
合金、Co−Er合金、Co−Yb合金、Co−Lu合
金、Co−La合金、Co−Ce合金、Co−Pr合金
、Co−Nd合金、Co−Pm合金、Co−Sm合金、
Co−Eu合金、Co−B合金、Co−Al合金、Co
−Ga合金、Co−In合金、Co−Tl合金、Co−
C合金、Co−Si合金、Co−Ge合金、Co−Sn
合金、Co−Pb合金、Co−N合金、Co−P合金、
Co−As合金、Co−Sb合金、Co−Bi合金、C
o−S合金、Co−Se合金、Co−Te合金、Co−
Po合金、Co−Pt−Fe合金、Co−Pd−Fe合
金、Co−Pt−Pd−Fe合金、Co−Pt−Fe−
Ti合金、Co−Pd−Fe−Ti合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Ti合金、Co−Pt−Fe−Ni合金、
Co−Pd−Fe−Ni合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ni合金、Co−Pt−Fe−Cu合金、Co−Pd
−Fe−Cu合金、Co−Pt−Pd−Fe−Cu合金
、Co−Pt−Fe−Zn合金、Co−Pd−Fe−Z
n合金、Co−Pt−Pd−Fe−Zn合金、Co−P
t−Fe−Zr合金、Co−Pd−Fe−Zr合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Zr合金、Co−Pt−Fe−
Nb合金、Co−Pd−Fe−Nb合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Nb合金、Co−Pt−Fe−Ta合金、
Co−Pd−Fe−Ta合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ta合金、Co−Pt−Fe−Gd合金、Co−Pd
−Fe−Gd合金、Co−Pt−Pd−Fe−Gd合金
、Co−Pt−Fe−Tb合金、Co−Pd−Fe−T
b合金、Co−Pt−Pd−Fe−Tb合金、Co−P
t−Fe−Dy合金、Co−Pd−Fe−Dy合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Dy合金、Co−Pt−Fe−
Ho合金、Co−Pd−Fe−Ho合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Ho合金、Co−Pt−Fe−Nd合金、
Co−Pd−Fe−Nd合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Nd合金、Co−Pt−Fe−Sm合金、Co−Pd
−Fe−Sm合金、Co−Pt−Pd−Fe−Sm合金
、Co−Pt−Fe−Pr合金、Co−Pd−Fe−P
r合金、Co−Pt−Pd−Fe−Pr合金、Co−P
t−Tb合金、Co−Pd−Tb合金、Co−Pt−P
d−Tb合金、Co−Pt−Tb−Ti合金、Co−P
d−Tb−Ti合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ti合
金、Co−Pt−Tb−Ni合金、Co−Pd−Tb−
Ni合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ni合金、Co−
Pt−Tb−Cu合金、Co−Pd−Tb−Cu合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Cu合金、Co−Pt−Tb
−Zn合金、Co−Pd−Tb−Zn合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Zn合金、Co−Pt−Tb−Zr合金
、Co−Pd−Tb−Zr合金、Co−Pt−Pd−T
b−Zr合金、Co−Pt−Tb−Nb合金、Co−P
d−Tb−Nb合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nb合
金、Co−Pt−Tb−Ta合金、Co−Pd−Tb−
Ta合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ta合金、Co−
Pt−Tb−Gd合金、Co−Pd−Tb−Gd合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Gd合金、Co−Pt−Tb
−Dy合金、Co−Pd−Tb−Dy合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Dy合金、Co−Pt−Tb−Ho合金
、Co−Pd−Tb−Ho合金、Co−Pt−Pd−T
b−Ho合金、Co−Pt−Tb−Nd合金、Co−P
d−Tb−Nd合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nd合
金、Co−Pt−Tb−Sm合金、Co−Pd−Tb−
Sm合金、Co−Pt−Pd−Tb−Sm合金、Co−
Pt−Tb−Pr合金、Co−Pd−Tb−Pr合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Pr合金等をあげることがで
きる。
第2薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Co−Sc合金、Co−Ti合金、Co−V合金、Co
−Cr合金、Co−Mn合金、Co−Fe合金、Co−
Ni合金、Co−Cu合金、Co−Zn合金、Co−Y
合金、Co−Zr合金、Co−Nb合金、Co−Mo合
金、Co−Tc合金、Co−Ru合金、Co−Rh合金
、Co−Pd合金、Co−Ag合金、Co−Cd合金、
Co−Hf合金、Co−Ta合金、Co−W合金、Co
−Re合金、Co−Os合金、Co−Ir合金、Co−
Pt合金、Co−Au合金、Co−Hg合金、Co−G
d合金、Co−Tb合金、Co−Dy合金、Co−Ho
合金、Co−Er合金、Co−Yb合金、Co−Lu合
金、Co−La合金、Co−Ce合金、Co−Pr合金
、Co−Nd合金、Co−Pm合金、Co−Sm合金、
Co−Eu合金、Co−B合金、Co−Al合金、Co
−Ga合金、Co−In合金、Co−Tl合金、Co−
C合金、Co−Si合金、Co−Ge合金、Co−Sn
合金、Co−Pb合金、Co−N合金、Co−P合金、
Co−As合金、Co−Sb合金、Co−Bi合金、C
o−S合金、Co−Se合金、Co−Te合金、Co−
Po合金、Co−Pt−Fe合金、Co−Pd−Fe合
金、Co−Pt−Pd−Fe合金、Co−Pt−Fe−
Ti合金、Co−Pd−Fe−Ti合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Ti合金、Co−Pt−Fe−Ni合金、
Co−Pd−Fe−Ni合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ni合金、Co−Pt−Fe−Cu合金、Co−Pd
−Fe−Cu合金、Co−Pt−Pd−Fe−Cu合金
、Co−Pt−Fe−Zn合金、Co−Pd−Fe−Z
n合金、Co−Pt−Pd−Fe−Zn合金、Co−P
t−Fe−Zr合金、Co−Pd−Fe−Zr合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Zr合金、Co−Pt−Fe−
Nb合金、Co−Pd−Fe−Nb合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Nb合金、Co−Pt−Fe−Ta合金、
Co−Pd−Fe−Ta合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Ta合金、Co−Pt−Fe−Gd合金、Co−Pd
−Fe−Gd合金、Co−Pt−Pd−Fe−Gd合金
、Co−Pt−Fe−Tb合金、Co−Pd−Fe−T
b合金、Co−Pt−Pd−Fe−Tb合金、Co−P
t−Fe−Dy合金、Co−Pd−Fe−Dy合金、C
o−Pt−Pd−Fe−Dy合金、Co−Pt−Fe−
Ho合金、Co−Pd−Fe−Ho合金、Co−Pt−
Pd−Fe−Ho合金、Co−Pt−Fe−Nd合金、
Co−Pd−Fe−Nd合金、Co−Pt−Pd−Fe
−Nd合金、Co−Pt−Fe−Sm合金、Co−Pd
−Fe−Sm合金、Co−Pt−Pd−Fe−Sm合金
、Co−Pt−Fe−Pr合金、Co−Pd−Fe−P
r合金、Co−Pt−Pd−Fe−Pr合金、Co−P
t−Tb合金、Co−Pd−Tb合金、Co−Pt−P
d−Tb合金、Co−Pt−Tb−Ti合金、Co−P
d−Tb−Ti合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ti合
金、Co−Pt−Tb−Ni合金、Co−Pd−Tb−
Ni合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ni合金、Co−
Pt−Tb−Cu合金、Co−Pd−Tb−Cu合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Cu合金、Co−Pt−Tb
−Zn合金、Co−Pd−Tb−Zn合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Zn合金、Co−Pt−Tb−Zr合金
、Co−Pd−Tb−Zr合金、Co−Pt−Pd−T
b−Zr合金、Co−Pt−Tb−Nb合金、Co−P
d−Tb−Nb合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nb合
金、Co−Pt−Tb−Ta合金、Co−Pd−Tb−
Ta合金、Co−Pt−Pd−Tb−Ta合金、Co−
Pt−Tb−Gd合金、Co−Pd−Tb−Gd合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Gd合金、Co−Pt−Tb
−Dy合金、Co−Pd−Tb−Dy合金、Co−Pt
−Pd−Tb−Dy合金、Co−Pt−Tb−Ho合金
、Co−Pd−Tb−Ho合金、Co−Pt−Pd−T
b−Ho合金、Co−Pt−Tb−Nd合金、Co−P
d−Tb−Nd合金、Co−Pt−Pd−Tb−Nd合
金、Co−Pt−Tb−Sm合金、Co−Pd−Tb−
Sm合金、Co−Pt−Pd−Tb−Sm合金、Co−
Pt−Tb−Pr合金、Co−Pd−Tb−Pr合金、
Co−Pt−Pd−Tb−Pr合金等をあげることがで
きる。
【0058】本発明に係る第4の光磁気記録媒体におい
ては、第1薄膜がPdからなり、第2薄膜がCoM6合
金(ただし、M6はGd、Dy、Tb、Nd、Cr、Z
r、Hf、TaおよびAlから選ばれる少なくとも1種
の元素を表す。)からなる。 なお、第1薄膜にはP
d以外にも少量に他の金属が含有されていてもよい。こ
のような他の金属としては、具体的には、Sc、Ti、
V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn等の3
d遷移元素;Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Ag、Cd等の4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re
、Os、Ir、Pt、Au、Hg等の5d遷移元素;G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、Lu、La、Ce
、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu等の希土類元素;B、
Al、Ga、In、Tl等のIIIB族元素;C、Si
、Ge、Sn、Pb等のIVB族元素;N、P、As、
Sb、Bi等のVB族元素;S、Se、Te、Po等の
VIB族元素が用いられる。
ては、第1薄膜がPdからなり、第2薄膜がCoM6合
金(ただし、M6はGd、Dy、Tb、Nd、Cr、Z
r、Hf、TaおよびAlから選ばれる少なくとも1種
の元素を表す。)からなる。 なお、第1薄膜にはP
d以外にも少量に他の金属が含有されていてもよい。こ
のような他の金属としては、具体的には、Sc、Ti、
V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn等の3
d遷移元素;Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Ag、Cd等の4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re
、Os、Ir、Pt、Au、Hg等の5d遷移元素;G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、Lu、La、Ce
、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu等の希土類元素;B、
Al、Ga、In、Tl等のIIIB族元素;C、Si
、Ge、Sn、Pb等のIVB族元素;N、P、As、
Sb、Bi等のVB族元素;S、Se、Te、Po等の
VIB族元素が用いられる。
【0059】このような他の金属は第1薄膜中に20原
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第4の光磁気記録媒体の第
2薄膜を構成するCoM6合金においては、M6として
Gd、Dy、Tb、Nd、Cr、Zr、Hf、Taおよ
びAlから選ばれる少なくとも1種の元素が用いられ、
中でも好ましくは、Gd、Dy、Tb、Cr、Zrおよ
びHf等が用いられる。
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。本発明に係る第4の光磁気記録媒体の第
2薄膜を構成するCoM6合金においては、M6として
Gd、Dy、Tb、Nd、Cr、Zr、Hf、Taおよ
びAlから選ばれる少なくとも1種の元素が用いられ、
中でも好ましくは、Gd、Dy、Tb、Cr、Zrおよ
びHf等が用いられる。
【0060】本発明に係る第4の光磁気記録媒体を構成
する第2薄膜の組成比は、式:CoxM6100−xに
おいて、x(原子%)が70〜99.9原子%、好まし
くは80〜98原子%であることが望ましい。
する第2薄膜の組成比は、式:CoxM6100−xに
おいて、x(原子%)が70〜99.9原子%、好まし
くは80〜98原子%であることが望ましい。
【0061】上記本発明に係る第4の光磁気記録媒体の
第2薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Co−Gd合金、Co−Dy合金、Co−Tb合金、C
o−Nd合金、Co−Cr合金、Co−Zr合金、Co
−Hf合金、Co−Ta合金、Co−Al合金、Co−
Gd−Dy合金、Co−Gd−Tb合金、Co−Gd−
Nd合金、Co−Gd−Cr合金、Co−Gd−Zr合
金、Co−Gd−Hf合金、Co−Gd−Ta合金、C
o−Gd−Al合金、Co−Gd−Dy−Tb合金、C
o−Gd−Dy−Nd合金、Co−Gd−Dy−Cr合
金、Co−Gd−Dy−Zr合金、Co−Gd−Dy−
Hf合金、Co−Gd−Dy−Ta合金、Co−Gd−
Dy−Al合金、Co−Gd−Dy−Tb−Nd合金、
Co−Gd−Dy−Tb−Cr合金、Co−Gd−Dy
−Tb−Zr合金、Co−Gd−Dy−Tb−Hf合金
、Co−Gd−Dy−Tb−Ta合金、Co−Gd−D
y−Tb−Al合金等があげられる。
第2薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Co−Gd合金、Co−Dy合金、Co−Tb合金、C
o−Nd合金、Co−Cr合金、Co−Zr合金、Co
−Hf合金、Co−Ta合金、Co−Al合金、Co−
Gd−Dy合金、Co−Gd−Tb合金、Co−Gd−
Nd合金、Co−Gd−Cr合金、Co−Gd−Zr合
金、Co−Gd−Hf合金、Co−Gd−Ta合金、C
o−Gd−Al合金、Co−Gd−Dy−Tb合金、C
o−Gd−Dy−Nd合金、Co−Gd−Dy−Cr合
金、Co−Gd−Dy−Zr合金、Co−Gd−Dy−
Hf合金、Co−Gd−Dy−Ta合金、Co−Gd−
Dy−Al合金、Co−Gd−Dy−Tb−Nd合金、
Co−Gd−Dy−Tb−Cr合金、Co−Gd−Dy
−Tb−Zr合金、Co−Gd−Dy−Tb−Hf合金
、Co−Gd−Dy−Tb−Ta合金、Co−Gd−D
y−Tb−Al合金等があげられる。
【0062】本発明に係る第5の光磁気記録媒体におい
ては、第1薄膜がCoPtM7合金からなり、第2薄膜
がCoPtM8からなる。ここで、M7およびM8は、
下記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも
1種の元素を表し、かつM7とM8とは互いに異なる。 (a)Co以外の3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni
、Cu、Znが用いられる。
ては、第1薄膜がCoPtM7合金からなり、第2薄膜
がCoPtM8からなる。ここで、M7およびM8は、
下記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも
1種の元素を表し、かつM7とM8とは互いに異なる。 (a)Co以外の3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni
、Cu、Znが用いられる。
【0063】これらのうち、Ti、Fe、Ni、Cu、
Znなどが好ましく用いられる。 (b)4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Pd、Ag、Cdが用いられる。
Znなどが好ましく用いられる。 (b)4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Pd、Ag、Cdが用いられる。
【0064】このうちZrまたはNbが好ましく用いら
れる。 (c)Pt以外の5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Au
、Hgが用いられる。
れる。 (c)Pt以外の5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Au
、Hgが用いられる。
【0065】このうちTaが好ましく用いられる。
(d)希土類元素
具体的には、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、L
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
【0066】このうちGd、Tb、Dy、Ho、Nd、
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
【0067】このうちB、Al、Gaが好ましく用いら
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
【0068】このうち、Si、Ge、Sn、Pbが好ま
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
【0069】このうちSbが好ましく用いられる。
(h)VIB族元素
具体的には、S、Se、Te、Poが用いられる。
【0070】このうちTeが好ましく用いられる。本発
明に係る第5の光磁気記録媒体を構成する第1薄膜の組
成比は、式:CoxPtyM7100−x−yにおいて
、x(原子%)が50〜99.8原子%、好ましくは7
0〜98原子%であり、y(原子%)が0.1〜45原
子%、好ましくは1〜25原子%であることが望ましい
。
明に係る第5の光磁気記録媒体を構成する第1薄膜の組
成比は、式:CoxPtyM7100−x−yにおいて
、x(原子%)が50〜99.8原子%、好ましくは7
0〜98原子%であり、y(原子%)が0.1〜45原
子%、好ましくは1〜25原子%であることが望ましい
。
【0071】本発明に係る第5の光磁気記録媒体を構成
する第2薄膜の組成比は、式:CoxPtyM8100
−x−yにおいて、x(原子%)が50〜99.8原子
%、好ましくは70〜98原子%であり、y(原子%)
が0.1〜45原子%、好ましくは1〜25原子%であ
ることが望ましい。
する第2薄膜の組成比は、式:CoxPtyM8100
−x−yにおいて、x(原子%)が50〜99.8原子
%、好ましくは70〜98原子%であり、y(原子%)
が0.1〜45原子%、好ましくは1〜25原子%であ
ることが望ましい。
【0072】上記本発明に係る第5の光磁気記録媒体の
第1薄膜および第2薄膜を構成する合金のさらに具体的
な例としては、Co−Pt−Sc合金、Co−Pt−T
i合金、Co−Pt−V合金、Co−Pt−Cr合金、
Co−Pt−Mn合金、Co−Pt−Fe合金、Co−
Pt−Ni合金、Co−Pt−Cu合金、Co−Pt−
Zn合金、Co−Pt−Y合金、Co−Pt−Zr合金
、Co−Pt−Nb合金、Co−Pt−Mo合金、Co
−Pt−Tc合金、Co−Pt−Ru合金、Co−Pt
−Rh合金、Co−Pt−Pd合金、Co−Pt−Ag
合金、Co−Pt−Cd合金、Co−Pt−Hf合金、
Co−Pt−Ta合金、Co−Pt−W合金、Co−P
t−Re合金、Co−Pt−Os合金、Co−Pt−I
r合金、Co−Pt−Au合金、Co−Pt−Hg合金
、Co−Pt−Gd合金、Co−Pt−Tb合金、Co
−Pt−Dy合金、Co−Pt−Ho合金、Co−Pt
−Er合金、Co−Pt−Yb合金、Co−Pt−Lu
合金、Co−Pt−La合金、Co−Pt−Ce合金、
Co−Pt−Pr合金、Co−Pt−Nd合金、Co−
Pt−Pm合金、Co−Pt−Sm合金、Co−Pt−
Eu合金、Co−Pt−B合金、Co−Pt−Al合金
、Co−Pt−Ga合金、Co−Pt−In合金、Co
−Pt−Tl合金、Co−Pt−C合金、Co−Pt−
Si合金、Co−Pt−Ge合金、Co−Pt−Sn合
金、Co−Pt−Pb合金、Co−Pt−N合金、Co
−Pt−P合金、Co−Pt−As合金、Co−Pt−
Sb合金、Co−Pt−Bi合金、Co−Pt−S合金
、Co−Pt−Se合金、Co−Pt−Te合金、Co
−Pt−Po合金等をあげることができる。
第1薄膜および第2薄膜を構成する合金のさらに具体的
な例としては、Co−Pt−Sc合金、Co−Pt−T
i合金、Co−Pt−V合金、Co−Pt−Cr合金、
Co−Pt−Mn合金、Co−Pt−Fe合金、Co−
Pt−Ni合金、Co−Pt−Cu合金、Co−Pt−
Zn合金、Co−Pt−Y合金、Co−Pt−Zr合金
、Co−Pt−Nb合金、Co−Pt−Mo合金、Co
−Pt−Tc合金、Co−Pt−Ru合金、Co−Pt
−Rh合金、Co−Pt−Pd合金、Co−Pt−Ag
合金、Co−Pt−Cd合金、Co−Pt−Hf合金、
Co−Pt−Ta合金、Co−Pt−W合金、Co−P
t−Re合金、Co−Pt−Os合金、Co−Pt−I
r合金、Co−Pt−Au合金、Co−Pt−Hg合金
、Co−Pt−Gd合金、Co−Pt−Tb合金、Co
−Pt−Dy合金、Co−Pt−Ho合金、Co−Pt
−Er合金、Co−Pt−Yb合金、Co−Pt−Lu
合金、Co−Pt−La合金、Co−Pt−Ce合金、
Co−Pt−Pr合金、Co−Pt−Nd合金、Co−
Pt−Pm合金、Co−Pt−Sm合金、Co−Pt−
Eu合金、Co−Pt−B合金、Co−Pt−Al合金
、Co−Pt−Ga合金、Co−Pt−In合金、Co
−Pt−Tl合金、Co−Pt−C合金、Co−Pt−
Si合金、Co−Pt−Ge合金、Co−Pt−Sn合
金、Co−Pt−Pb合金、Co−Pt−N合金、Co
−Pt−P合金、Co−Pt−As合金、Co−Pt−
Sb合金、Co−Pt−Bi合金、Co−Pt−S合金
、Co−Pt−Se合金、Co−Pt−Te合金、Co
−Pt−Po合金等をあげることができる。
【0073】本発明に係る第5の光磁気記録媒体の光磁
気記録層を構成する第1薄膜および第2薄膜は、上記の
ような合金からなり、かつ互いにその組成が異なってい
る。このような光磁気記録層のうち、特に好ましい第1
薄膜と第2薄膜との組み合わせとしては、第1薄膜がC
o−Pt−Ti合金からなり、第2薄膜がCo−Pt−
Tb合金からなる光磁気記録層;第1薄膜がCo−Pt
−Cr合金からなり、第2薄膜がCo−Pt−Tb合金
からなる光磁気記録層;第1薄膜がCo−Pt−Zr合
金からなり、第2薄膜がCo−Pt−Tb合金からなる
光磁気記録層;第1薄膜がCo−Pt−Hf合金からな
り、第2薄膜がCo−Pt−Tb合金からなる光磁気記
録層;第1薄膜がCo−Pt−Gd合金からなり、第2
薄膜がCo−Pt−Cr合金からなる光磁気記録層;第
1薄膜がCo−Pt−Gd合金からなり、第2薄膜がC
o−Pt−Ti合金からなる光磁気記録層;第1薄膜が
Co−Pt−Dy合金からなり、第2薄膜がCo−Pt
−Ti合金からなる光磁気記録層;第1薄膜がCo−P
t−Nd合金からなり、第2薄膜がCo−Pt−Ti合
金からなる光磁気記録層等をあげることができる。
気記録層を構成する第1薄膜および第2薄膜は、上記の
ような合金からなり、かつ互いにその組成が異なってい
る。このような光磁気記録層のうち、特に好ましい第1
薄膜と第2薄膜との組み合わせとしては、第1薄膜がC
o−Pt−Ti合金からなり、第2薄膜がCo−Pt−
Tb合金からなる光磁気記録層;第1薄膜がCo−Pt
−Cr合金からなり、第2薄膜がCo−Pt−Tb合金
からなる光磁気記録層;第1薄膜がCo−Pt−Zr合
金からなり、第2薄膜がCo−Pt−Tb合金からなる
光磁気記録層;第1薄膜がCo−Pt−Hf合金からな
り、第2薄膜がCo−Pt−Tb合金からなる光磁気記
録層;第1薄膜がCo−Pt−Gd合金からなり、第2
薄膜がCo−Pt−Cr合金からなる光磁気記録層;第
1薄膜がCo−Pt−Gd合金からなり、第2薄膜がC
o−Pt−Ti合金からなる光磁気記録層;第1薄膜が
Co−Pt−Dy合金からなり、第2薄膜がCo−Pt
−Ti合金からなる光磁気記録層;第1薄膜がCo−P
t−Nd合金からなり、第2薄膜がCo−Pt−Ti合
金からなる光磁気記録層等をあげることができる。
【0074】本発明に係る第6の光磁気記録媒体におい
ては、第1薄膜が、PtM9合金(ただし、M9は、下
記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも一
種の元素からなり、第2薄膜がCoからなる。 (a)3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co
、Ni、Cu、Znが用いられる。
ては、第1薄膜が、PtM9合金(ただし、M9は、下
記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも一
種の元素からなり、第2薄膜がCoからなる。 (a)3d遷移元素 具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co
、Ni、Cu、Znが用いられる。
【0075】これらのうち、Ti、Fe、Ni、Cu、
Znなどが好ましく用いられる。 (b)4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Pd、Ag、Cdが用いられる。
Znなどが好ましく用いられる。 (b)4d遷移元素 具体的には、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh
、Pd、Ag、Cdが用いられる。
【0076】このうちZrまたはNbが好ましく用いら
れる。 (c)Pt以外の5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Au
、Hgが用いられる。
れる。 (c)Pt以外の5d遷移元素 具体的には、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Au
、Hgが用いられる。
【0077】このうちTaが好ましく用いられる。
(d)希土類元素
具体的には、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb、L
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
u、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Euが用い
られる。
【0078】このうちGd、Tb、Dy、Ho、Nd、
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
Sm、Prが好ましく用いられる。 (e)IIIB族元素 具体的には、B、Al、Ga、In、Tlが用いられる
。
【0079】このうちB、Al、Gaが好ましく用いら
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
れる。 (f)IVB族元素 具体的には、C、Si、Ge、Sn、Pbが用いられる
。
【0080】このうち、Si、Ge、Sn、Pbが好ま
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
しく用いられる。 (g)VB族元素 具体的には、N、P、As、Sb、Biが用いられる。
【0081】このうちSbが好ましく用いられる。
(h)VIB族元素
具体的には、S、Se、Te、Poが用いられる。
【0082】このうちTeが好ましく用いられる。本発
明に係る第6の光磁気記録媒体を構成する第1薄膜の組
成比は、式:PtxM9100−xにおいて、x(原子
%)が70〜99.9原子%、好ましくは80〜98原
子%であることが望ましい。
明に係る第6の光磁気記録媒体を構成する第1薄膜の組
成比は、式:PtxM9100−xにおいて、x(原子
%)が70〜99.9原子%、好ましくは80〜98原
子%であることが望ましい。
【0083】上記本発明に係る第6の光磁気記録媒体の
第1薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Pt−Sc合金、Pt−Ti合金、Pt−V合金、Pt
−Cr合金、Pt−Mn合金、Pt−Fe合金、Pt−
Co合金、Pt−Ni合金、Pt−Cu合金、Pt−Z
n合金、Pt−Y合金、Pt−Zr合金、Pt−Nb合
金、Pt−Mo合金、Pt−Tc合金、Pt−Ru合金
、Pt−Rh合金、Pt−Pd合金、Pt−Ag合金、
Pt−Cd合金、Pt−Hf合金、Pt−Ta合金、P
t−W合金、Pt−Re合金、Pt−Os合金、Pt−
Ir合金、Pt−Pt合金、Pt−Au合金、Pt−H
g合金、Pt−Gd合金、Pt−Tb合金、Pt−Dy
合金、Pt−Ho合金、Pt−Er合金、Pt−Yb合
金、Pt−Lu合金、Pt−La合金、Pt−Ce合金
、Pt−Pr合金、Pt−Nd合金、Pt−Pm合金、
Pt−Sm合金、Pt−Eu合金、Pt−B合金、Pt
−Al合金、Pt−Ga合金、Pt−In合金、Pt−
Tl合金、Pt−C合金、Pt−Si合金、Pt−Ge
合金、Pt−Sn合金、Pt−Pb合金、Pt−N合金
、Pt−P合金、Pt−As合金、Pt−Sb合金、P
t−Bi合金、Pt−S合金、Pt−Se合金、Pt−
Te合金、Pt−Po合金等をあげることができる。
第1薄膜を構成する合金のさらに具体的な例としては、
Pt−Sc合金、Pt−Ti合金、Pt−V合金、Pt
−Cr合金、Pt−Mn合金、Pt−Fe合金、Pt−
Co合金、Pt−Ni合金、Pt−Cu合金、Pt−Z
n合金、Pt−Y合金、Pt−Zr合金、Pt−Nb合
金、Pt−Mo合金、Pt−Tc合金、Pt−Ru合金
、Pt−Rh合金、Pt−Pd合金、Pt−Ag合金、
Pt−Cd合金、Pt−Hf合金、Pt−Ta合金、P
t−W合金、Pt−Re合金、Pt−Os合金、Pt−
Ir合金、Pt−Pt合金、Pt−Au合金、Pt−H
g合金、Pt−Gd合金、Pt−Tb合金、Pt−Dy
合金、Pt−Ho合金、Pt−Er合金、Pt−Yb合
金、Pt−Lu合金、Pt−La合金、Pt−Ce合金
、Pt−Pr合金、Pt−Nd合金、Pt−Pm合金、
Pt−Sm合金、Pt−Eu合金、Pt−B合金、Pt
−Al合金、Pt−Ga合金、Pt−In合金、Pt−
Tl合金、Pt−C合金、Pt−Si合金、Pt−Ge
合金、Pt−Sn合金、Pt−Pb合金、Pt−N合金
、Pt−P合金、Pt−As合金、Pt−Sb合金、P
t−Bi合金、Pt−S合金、Pt−Se合金、Pt−
Te合金、Pt−Po合金等をあげることができる。
【0084】本発明に係る第1〜第6の光磁気記録媒体
の光磁気記録層は上記のような組成を有した第1薄膜お
よび第2薄膜が交互に積層されてなる薄膜積層体として
構成されている。
の光磁気記録層は上記のような組成を有した第1薄膜お
よび第2薄膜が交互に積層されてなる薄膜積層体として
構成されている。
【0085】なお、本発明に係る光磁気記録媒体の光磁
気記録層としては、上記第1〜第6の多層光磁気記録層
以外にも、たとえば第1薄膜がAu系合金、Pt系合金
、Pd系合金、Au−Pt系合金、Au−Pd系合金、
Au−Pt−Pd系合金、金属Au、金属Pt、金属P
dからなり、第2薄膜がFe系合金、Fe−Co系合金
等のFe含有合金または金属Feからなる光磁気記録層
も用いることができる。
気記録層としては、上記第1〜第6の多層光磁気記録層
以外にも、たとえば第1薄膜がAu系合金、Pt系合金
、Pd系合金、Au−Pt系合金、Au−Pd系合金、
Au−Pt−Pd系合金、金属Au、金属Pt、金属P
dからなり、第2薄膜がFe系合金、Fe−Co系合金
等のFe含有合金または金属Feからなる光磁気記録層
も用いることができる。
【0086】Fe−Co系合金についてはFe/Co+
Fe(原子比)は0.3以上、特に0.5以上が好まし
い。上記第1薄膜にはAu、Pd、Pt以外にも少量に
他の金属が含有されていてもよい。このような他の金属
としては、具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、
Fe、Co、Ni、Cu、Zn等の3d遷移元素;Y、
Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Ag、Cd等の
4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、H
g等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、Ho、Er、
Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、E
u等の希土類元素;B、Al、Ga、In、Tl等のI
IIB族元素;C、Si、Ge、Sn、Pb等のIVB
族元素;N、P、As、Sb、Bi等のVB族元素;S
、Se、Te、Po等のVIB族元素が用いられる。
Fe(原子比)は0.3以上、特に0.5以上が好まし
い。上記第1薄膜にはAu、Pd、Pt以外にも少量に
他の金属が含有されていてもよい。このような他の金属
としては、具体的には、Sc、Ti、V、Cr、Mn、
Fe、Co、Ni、Cu、Zn等の3d遷移元素;Y、
Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Ag、Cd等の
4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、H
g等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、Ho、Er、
Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、E
u等の希土類元素;B、Al、Ga、In、Tl等のI
IIB族元素;C、Si、Ge、Sn、Pb等のIVB
族元素;N、P、As、Sb、Bi等のVB族元素;S
、Se、Te、Po等のVIB族元素が用いられる。
【0087】このような他の金属は第1薄膜中に20原
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。このような第1薄膜のさらに具体的な例
としては、金属Au、金属Pt、金属Pd、Au−Pt
合金、Au−Pd合金、Au−Pt−Pd合金、Au−
Sc合金、Au−Ti合金、Au−V合金、Au−Cr
合金、Au−Mn合金、Au−Fe合金、Au−Co合
金、Au−Ni合金、Au−Cu合金、Au−Zn合金
、Au−Y合金、Au−Zr合金、Au−Nb合金、A
u−Mo合金、Au−Tc合金、Au−Ru合金、Au
−Rh合金、Au−Ag合金、Au−Cd合金、Au−
Hf合金、Au−Ta合金、Au−W合金、Au−Re
合金、Au−Os合金、Au−Ir合金、Au−Hg合
金、Au−Gd合金、Au−Tb合金、Au−Dy合金
、Au−Ho合金、Au−Er合金、Au−Yb合金、
Au−Lu合金、Au−La合金、Au−Ce合金、A
u−Pr合金、Au−Nd合金、Au−Pm合金、Au
−Sm合金、Au−Eu合金、Au−B合金、Au−A
l合金、Au−Ga合金、Au−In合金、Au−Tl
合金、Au−C合金、Au−Si合金、Au−Ge合金
、Au−Sn合金、Au−Pb合金、Au−N合金、A
u−P合金、Au−As合金、Au−Sb合金、Au−
Bi合金、Au−S合金、Au−Se合金、Au−Te
合金、Au−Po合金、Pt−Sc合金、Pt−Ti合
金、Pt−V合金、Pt−Cr合金、Pt−Mn合金、
Pt−Fe合金、Pt−Co合金、Pt−Ni合金、P
t−Cu合金、Pt−Zn合金、Pt−Y合金、Pt−
Zr合金、Pt−Nb合金、Pt−Mo合金、Pt−T
c合金、Pt−Ru合金、Pt−Rh合金、Pt−Ag
合金、Pt−Cd合金、Pt−Hf合金、Pt−Ta合
金、Pt−W合金、Pt−Re合金、Pt−Os合金、
Pt−Ir合金、Pt−Hg合金、Pt−Gd合金、P
t−Tb合金、Pt−Dy合金、Pt−Ho合金、Pt
−Er合金、Pt−Yb合金、Pt−Lu合金、Pt−
La合金、Pt−Ce合金、Pt−Pr合金、Pt−N
d合金、Pt−Pm合金、Pt−Sm合金、Pt−Eu
合金、Pt−B合金、Pt−Al合金、Pt−Ga合金
、Pt−In合金、Pt−Tl合金、Pt−C合金、P
t−Si合金、Pt−Ge合金、Pt−Sn合金、Pt
−Pb合金、Pt−N合金、Pt−P合金、Pt−As
合金、Pt−Sb合金、Pt−Bi合金、Pt−S合金
、Pt−Se合金、Pt−Te合金、Pt−Po合金、
Pd−Sc合金、Pd−Ti合金、Pd−V合金、Pd
−Cr合金、Pd−Mn合金、Pd−Fe合金、Pd−
Co合金、Pd−Ni合金、Pd−Cu合金、Pd−Z
n合金、Pd−Y合金、Pd−Zr合金、Pd−Nb合
金、Pd−Mo合金、Pd−Tc合金、Pd−Ru合金
、Pd−Rh合金、Pd−Ag合金、Pd−Cd合金、
Pd−Hf合金、Pd−Ta合金、Pd−W合金、Pd
−Re合金、Pd−Os合金、Pd−Ir合金、Pd−
Hg合金、Pd−Gd合金、Pd−Tb合金、Pd−D
y合金、Pd−Ho合金、Pd−Er合金、Pd−Yb
合金、Pd−Lu合金、Pd−La合金、Pd−Ce合
金、Pd−Pr合金、Pd−Nd合金、Pd−Pm合金
、Pd−Sm合金、Pd−Eu合金、Pd−B合金、P
d−Al合金、Pd−Ga合金、Pd−In合金、Pd
−Tl合金、Pd−C合金、Pd−Si合金、Pd−G
e合金、Pd−Sn合金、Pd−Pb合金、Pd−N合
金、Pd−P合金、Pd−As合金、Pd−Sb合金、
Pd−Bi合金、Pd−S合金、Pd−Se合金、Pd
−Te合金、Pd−Po合金、Au−Pt−Sc合金、
Au−Pt−Ti合金、Au−Pt−V合金、Au−P
t−Cr合金、Au−Pt−Mn合金、Au−Pt−F
e合金、Au−Pt−Co合金、Au−Pt−Ni合金
、Au−Pt−Cu合金、Au−Pt−Zn合金、Au
−Pt−Y合金、Au−Pt−Zr合金、Au−Pt−
Nb合金、Au−Pt−Mo合金、Au−Pt−Tc合
金、Au−Pt−Ru合金、Au−Pt−Rh合金、A
u−Pt−Ag合金、Au−Pt−Cd合金、Au−P
t−Hf合金、Au−Pt−Ta合金、Au−Pt−W
合金、Au−Pt−Re合金、Au−Pt−Os合金、
Au−Pt−Ir合金、Au−Pt−Hg合金、Au−
Pt−Gd合金、Au−Pt−Tb合金、Au−Pt−
Dy合金、Au−Pt−Ho合金、Au−Pt−Er合
金、Au−Pt−Yb合金、Au−Pt−Lu合金、A
u−Pt−La合金、Au−Pt−Ce合金、Au−P
t−Pr合金、Au−Pt−Nd合金、Au−Pt−P
m合金、Au−Pt−Sm合金、Au−Pt−Eu合金
、Au−Pt−B合金、Au−Pt−Al合金、Au−
Pt−Ga合金、Au−Pt−In合金、Au−Pt−
Tl合金、Au−Pt−C合金、Au−Pt−Si合金
、Au−Pt−Ge合金、Au−Pt−Sn合金、Au
−Pt−Pb合金、Au−Pt−N合金、Au−Pt−
P合金、Au−Pt−As合金、Au−Pt−Sb合金
、Au−Pt−Bi合金、Au−Pt−S合金、Au−
Pt−Se合金、Au−Pt−Te合金、Au−Pt−
Po合金、Au−Pd−Sc合金、Au−Pd−Ti合
金、Au−Pd−V合金、Au−Pd−Cr合金、Au
−Pd−Mn合金、Au−Pd−Fe合金、Au−Pd
−Co合金、Au−Pd−Ni合金、Au−Pd−Cu
合金、Au−Pd−Zn合金、Au−Pd−Y合金、A
u−Pd−Zr合金、Au−Pd−Nb合金、Au−P
d−Mo合金、Au−Pd−Tc合金、Au−Pd−R
u合金、Au−Pd−Rh合金、Au−Pd−Ag合金
、Au−Pd−Cd合金、Au−Pd−Hf合金、Au
−Pd−Ta合金、Au−Pd−W合金、Au−Pd−
Re合金、Au−Pd−Os合金、Au−Pd−Ir合
金、Au−Pd−Hg合金、Au−Pd−Gd合金、A
u−Pd−Tb合金、Au−Pd−Dy合金、Au−P
d−Ho合金、Au−Pd−Er合金、Au−Pd−Y
b合金、Au−Pd−Lu合金、Au−Pd−La合金
、Au−Pd−Ce合金、Au−Pd−Pr合金、Au
−Pd−Nd合金、Au−Pd−Pm合金、Au−Pd
−Sm合金、Au−Pd−Eu合金、Au−Pd−B合
金、Au−Pd−Al合金、Au−Pd−Ga合金、A
u−Pd−In合金、Au−Pd−Tl合金、Au−P
d−C合金、Au−Pd−Si合金、Au−Pd−Ge
合金、Au−Pd−Sn合金、Au−Pd−Pb合金、
Au−Pd−N合金、Au−Pd−P合金、Au−Pd
−As合金、Au−Pd−Sb合金、Au−Pd−Bi
合金、Au−Pd−S合金、Au−Pd−Se合金、A
u−Pd−Te合金、Au−Pd−Po合金、Au−P
t−Pd−Sc合金、Au−Pt−Pd−Ti合金、A
u−Pt−Pd−V合金、Au−Pt−Pd−Cr合金
、Au−Pt−Pd−Mn合金、Au−Pt−Pd−F
e合金、Au−Pt−Pd−Co合金、Au−Pt−P
d−Ni合金、Au−Pt−Pd−Cu合金、Au−P
t−Pd−Zn合金、Au−Pt−Pd−Y合金、Au
−Pt−Pd−Zr合金、Au−Pt−Pd−Nb合金
、Au−Pt−Pd−Mo合金、Au−Pt−Pd−T
c合金、Au−Pt−Pd−Ru合金、Au−Pt−P
d−Rh合金、Au−Pt−Pd−Ag合金、Au−P
t−Pd−Cd合金、Au−Pt−Pd−Hf合金、A
u−Pt−Pd−Ta合金、Au−Pt−Pd−W合金
、Au−Pt−Pd−Re合金、Au−Pt−Pd−O
s合金、Au−Pt−Pd−Ir合金、Au−Pt−P
d−Hg合金、Au−Pt−Pd−Gd合金、Au−P
t−Pd−Tb合金、Au−Pt−Pd−Dy合金、A
u−Pt−Pd−Ho合金、Au−Pt−Pd−Er合
金、Au−Pt−Pd−Yb合金、Au−Pt−Pd−
Lu合金、Au−Pt−Pd−La合金、Au−Pt−
Pd−Ce合金、Au−Pt−Pd−Pr合金、Au−
Pt−Pd−Nd合金、Au−Pt−Pd−Pm合金、
Au−Pt−Pd−Sm合金、Au−Pt−Pd−Eu
合金、Au−Pt−Pd−B合金、Au−Pt−Pd−
Al合金、Au−Pt−Pd−Ga合金、Au−Pt−
Pd−In合金、Au−Pt−Pd−Tl合金、Au−
Pt−Pd−C合金、Au−Pt−Pd−Si合金、A
u−Pt−Pd−Ge合金、Au−Pt−Pd−Sn合
金、Au−Pt−Pd−Pb合金、Au−Pt−Pd−
N合金、Au−Pt−Pd−P合金、Au−Pt−Pd
−As合金、Au−Pt−Pd−Sb合金、Au−Pt
−Pd−Bi合金、Au−Pt−Pd−S合金、Au−
Pt−Pd−Se合金、Au−Pt−Pd−Te合金、
Au−Pt−Pd−Po合金、Au−Sc−Tb合金、
Au−Ti−Tb合金、Au−V−Tb合金、Au−C
r−Tb合金、Au−Mn−Tb合金、Au−Fe−T
b合金、Au−Co−Tb合金、Au−Ni−Tb合金
、Au−Cu−Tb合金、Au−Zn−Tb合金、Au
−Y−Tb合金、Au−Zr−Tb合金、Au−Nb−
Tb合金、Au−Mo−Tb合金、Au−Tc−Tb合
金、Au−Ru−Tb合金、Au−Rh−Tb合金、A
u−Ag−Tb合金、Au−Cd−Tb合金、Au−H
f−Tb合金、Au−Ta−Tb合金、Au−W−Tb
合金、Au−Re−Tb合金、Au−Os−Tb合金、
Au−Ir−Tb合金、Au−Hg−Tb合金、Au−
Gd−Tb合金、Au−Dy−Tb合金、Au−Ho−
Tb合金、Au−Er−Tb合金、Au−Yb−Tb合
金、Au−Lu−Tb合金、Au−La−Tb合金、A
u−Ce−Tb合金、Au−Pr−Tb合金、Au−N
d−Tb合金、Au−Pm−Tb合金、Au−Sm−T
b合金、Au−Eu−Tb合金、Au−B−Tb合金、
Au−Al−Tb合金、Au−Ga−Tb合金、Au−
In−Tb合金、Au−Tl−Tb合金、Au−C−T
b合金、Au−Si−Tb合金、Au−Ge−Tb合金
、Au−Sn−Tb合金、Au−Pb−Tb合金、Au
−N−Tb合金、Au−P−Tb合金、Au−As−T
b合金、Au−Sb−Tb合金、Au−Bi−Tb合金
、Au−S−Tb合金、Au−Se−Tb合金、Au−
Te−Tb合金、Au−Po−Tb合金、Pt−Sc−
Tb合金、Pt−Ti−Tb合金、Pt−V−Tb合金
、Pt−Cr−Tb合金、Pt−Mn−Tb合金、Pt
−Fe−Tb合金、Pt−Co−Tb合金、Pt−Ni
−Tb合金、Pt−Cu−Tb合金、Pt−Zn−Tb
合金、Pt−Y−Tb合金、Pt−Zr−Tb合金、P
t−Nb−Tb合金、Pt−Mo−Tb合金、Pt−T
c−Tb合金、Pt−Ru−Tb合金、Pt−Rh−T
b合金、Pt−Ag−Tb合金、Pt−Cd−Tb合金
、Pt−Hf−Tb合金、Pt−Ta−Tb合金、Pt
−W−Tb合金、Pt−Re−Tb合金、Pt−Os−
Tb合金、Pt−Ir−Tb合金、Pt−Hg−Tb合
金、Pt−Gd−Tb合金、Pt−Dy−Tb合金、P
t−Ho−Tb合金、Pt−Er−Tb合金、Pt−Y
b−Tb合金、Pt−Lu−Tb合金、Pt−La−T
b合金、Pt−Ce−Tb合金、Pt−Pr−Tb合金
、Pt−Nd−Tb合金、Pt−Pm−Tb合金、Pt
−Sm−Tb合金、Pt−Eu−Tb合金、Pt−B−
Tb合金、Pt−Al−Tb合金、Pt−Ga−Tb合
金、Pt−In−Tb合金、Pt−Tl−Tb合金、P
t−C−Tb合金、Pt−Si−Tb合金、Pt−Ge
−Tb合金、Pt−Sn−Tb合金、Pt−Pb−Tb
合金、Pt−N−Tb合金、Pt−P−Tb合金、Pt
−As−Tb合金、Pt−Sb−Tb合金、Pt−Bi
−Tb合金、Pt−S−Tb合金、Pt−Se−Tb合
金、Pt−Te−Tb合金、Pt−Po−Tb合金、P
d−Sc−Tb合金、Pd−Ti−Tb合金、Pd−V
−Tb合金、Pd−Cr−Tb合金、Pd−Mn−Tb
合金、Pd−Fe−Tb合金、Pd−Co−Tb合金、
Pd−Ni−Tb合金、Pd−Cu−Tb合金、Pd−
Zn−Tb合金、Pd−Y−Tb合金、Pd−Zr−T
b合金、Pd−Nb−Tb合金、Pd−Mo−Tb合金
、Pd−Tc−Tb合金、Pd−Ru−Tb合金、Pd
−Rh−Tb合金、Pd−Ag−Tb合金、Pd−Cd
−Tb合金、Pd−Hf−Tb合金、Pd−Ta−Tb
合金、Pd−W−Tb合金、Pd−Re−Tb合金、P
d−Os−Tb合金、Pd−Ir−Tb合金、Pd−H
g−Tb合金、Pd−Gd−Tb合金、Pd−Dy−T
b合金、Pd−Ho−Tb合金、Pd−Er−Tb合金
、Pd−Yb−Tb合金、Pd−Lu−Tb合金、Pd
−La−Tb合金、Pd−Ce−Tb合金、Pd−Pr
−Tb合金、Pd−Nd−Tb合金、Pd−Pm−Tb
合金、Pd−Sm−Tb合金、Pd−Eu−Tb合金、
Pd−B−Tb合金、Pd−Al−Tb合金、Pd−G
a−Tb合金、Pd−In−Tb合金、Pd−Tl−T
b合金、Pd−C−Tb合金、Pd−Si−Tb合金、
Pd−Ge−Tb合金、Pd−Sn−Tb合金、Pd−
Pb−Tb合金、Pd−N−Tb合金、Pd−P−Tb
合金、Pd−As−Tb合金、Pd−Sb−Tb合金、
Pd−Bi−Tb合金、Pd−S−Tb合金、Pd−S
e−Tb合金、Pd−Te−Tb合金、Pd−Po−T
b合金、Au−Pt−Sc−Tb合金、Au−Pt−T
i−Tb合金、Au−Pt−V−Tb合金、Au−Pt
−Cr−Tb合金、Au−Pt−Mn−Tb合金、Au
−Pt−Fe−Tb合金、Au−Pt−Co−Tb合金
、Au−Pt−Ni−Tb合金、Au−Pt−Cu−T
b合金、Au−Pt−Zn−Tb合金、Au−Pt−Y
−Tb合金、Au−Pt−Zr−Tb合金、Au−Pt
−Nb−Tb合金、Au−Pt−Mo−Tb合金、Au
−Pt−Tc−Tb合金、Au−Pt−Ru−Tb合金
、Au−Pt−Rh−Tb合金、Au−Pt−Ag−T
b合金、Au−Pt−Cd−Tb合金、Au−Pt−H
f−Tb合金、Au−Pt−Ta−Tb合金、Au−P
t−W−Tb合金、Au−Pt−Re−Tb合金、Au
−Pt−Os−Tb合金、Au−Pt−Ir−Tb合金
、Au−Pt−Hg−Tb合金、Au−Pt−Gd−T
b合金、Au−Pt−Dy−Tb合金、Au−Pt−H
o−Tb合金、Au−Pt−Er−Tb合金、Au−P
t−Yb−Tb合金、Au−Pt−Lu−Tb合金、A
u−Pt−La−Tb合金、Au−Pt−Ce−Tb合
金、Au−Pt−Pr−Tb合金、Au−Pt−Nd−
Tb合金、Au−Pt−Pm−Tb合金、Au−Pt−
Sm−Tb合金、Au−Pt−Eu−Tb合金、Au−
Pt−B−Tb合金、Au−Pt−Al−Tb合金、A
u−Pt−Ga−Tb合金、Au−Pt−In−Tb合
金、Au−Pt−Tl−Tb合金、Au−Pt−C−T
b合金、Au−Pt−Si−Tb合金、Au−Pt−G
e−Tb合金、Au−Pt−Sn−Tb合金、Au−P
t−Pb−Tb合金、Au−Pt−N−Tb合金、Au
−Pt−P−Tb合金、Au−Pt−As−Tb合金、
Au−Pt−Sb−Tb合金、Au−Pt−Bi−Tb
合金、Au−Pt−S−Tb合金、Au−Pt−Se−
Tb合金、Au−Pt−Te−Tb合金、Au−Pt−
Po−Tb合金、Au−Pd−Sc−Tb合金、Au−
Pd−Ti−Tb合金、Au−Pd−V−Tb合金、A
u−Pd−Cr−Tb合金、Au−Pd−Mn−Tb合
金、Au−Pd−Fe−Tb合金、Au−Pd−Co−
Tb合金、Au−Pd−Ni−Tb合金、Au−Pd−
Cu−Tb合金、Au−Pd−Zn−Tb合金、Au−
Pd−Y−Tb合金、Au−Pd−Zr−Tb合金、A
u−Pd−Nb−Tb合金、Au−Pd−Mo−Tb合
金、Au−Pd−Tc−Tb合金、Au−Pd−Ru−
Tb合金、Au−Pd−Rh−Tb合金、Au−Pd−
Ag−Tb合金、Au−Pd−Cd−Tb合金、Au−
Pd−Hf−Tb合金、Au−Pd−Ta−Tb合金、
Au−Pd−W−Tb合金、Au−Pd−Re−Tb合
金、Au−Pd−Os−Tb合金、Au−Pd−Ir−
Tb合金、Au−Pd−Hg−Tb合金、Au−Pd−
Gd−Tb合金、Au−Pd−Dy−Tb合金、Au−
Pd−Ho−Tb合金、Au−Pd−Er−Tb合金、
Au−Pd−Yb−Tb合金、Au−Pd−Lu−Tb
合金、Au−Pd−La−Tb合金、Au−Pd−Ce
−Tb合金、Au−Pd−Pr−Tb合金、Au−Pd
−Nd−Tb合金、Au−Pd−Pm−Tb合金、Au
−Pd−Sm−Tb合金、Au−Pd−Eu−Tb合金
、Au−Pd−B−Tb合金、Au−Pd−Al−Tb
合金、Au−Pd−Ga−Tb合金、Au−Pd−In
−Tb合金、Au−Pd−Tl−Tb合金、Au−Pd
−C−Tb合金、Au−Pd−Si−Tb合金、Au−
Pd−Ge−Tb合金、Au−Pd−Sn−Tb合金、
Au−Pd−Pb−Tb合金、Au−Pd−N−Tb合
金、Au−Pd−P−Tb合金、Au−Pd−As−T
b合金、Au−Pd−Sb−Tb合金、Au−Pd−B
i−Tb合金、Au−Pd−S−Tb合金、Au−Pd
−Se−Tb合金、Au−Pd−Te−Tb合金、Au
−Pd−Po−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sc−T
b合金、Au−Pt−Pd−Ti−Tb合金、Au−P
t−Pd−V−Tb合金、Au−Pt−Pd−Cr−T
b合金、Au−Pt−Pd−Mn−Tb合金、Au−P
t−Pd−Fe−Tb合金、Au−Pt−Pd−Co−
Tb合金、Au−Pt−Pd−Ni−Tb合金、Au−
Pt−Pd−Cu−Tb合金、Au−Pt−Pd−Zn
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Y−Tb合金、Au−
Pt−Pd−Zr−Tb合金、Au−Pt−Pd−Nb
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Mo−Tb合金、Au
−Pt−Pd−Tc−Tb合金、Au−Pt−Pd−R
u−Tb合金、Au−Pt−Pd−Rh−Tb合金、A
u−Pt−Pd−Ag−Tb合金、Au−Pt−Pd−
Cd−Tb合金、Au−Pt−Pd−Hf−Tb合金、
Au−Pt−Pd−Ta−Tb合金、Au−Pt−Pd
−W−Tb合金、Au−Pt−Pd−Re−Tb合金、
Au−Pt−Pd−Os−Tb合金、Au−Pt−Pd
−Ir−Tb合金、Au−Pt−Pd−Hg−Tb合金
、Au−Pt−Pd−Gd−Tb合金、Au−Pt−P
d−Dy−Tb合金、Au−Pt−Pd−Ho−Tb合
金、Au−Pt−Pd−Er−Tb合金、Au−Pt−
Pd−Yb−Tb合金、Au−Pt−Pd−Lu−Tb
合金、Au−Pt−Pd−La−Tb合金、Au−Pt
−Pd−Ce−Tb合金、Au−Pt−Pd−Pr−T
b合金、Au−Pt−Pd−Nd−Tb合金、Au−P
t−Pd−Pm−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sm−
Tb合金、Au−Pt−Pd−Eu−Tb合金、Au−
Pt−Pd−B−Tb合金、Au−Pt−Pd−Al−
Tb合金、Au−Pt−Pd−Ga−Tb合金、Au−
Pt−Pd−In−Tb合金、Au−Pt−Pd−Tl
−Tb合金、Au−Pt−Pd−C−Tb合金、Au−
Pt−Pd−Si−Tb合金、Au−Pt−Pd−Ge
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sn−Tb合金、Au
−Pt−Pd−Pb−Tb合金、Au−Pt−Pd−N
−Tb合金、Au−Pt−Pd−P−Tb合金、Au−
Pt−Pd−As−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sb
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Bi−Tb合金、Au
−Pt−Pd−S−Tb合金、Au−Pt−Pd−Se
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Te−Tb合金、Au
−Pt−Pd−Po−Tb合金等をあげることができる
。
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。このような第1薄膜のさらに具体的な例
としては、金属Au、金属Pt、金属Pd、Au−Pt
合金、Au−Pd合金、Au−Pt−Pd合金、Au−
Sc合金、Au−Ti合金、Au−V合金、Au−Cr
合金、Au−Mn合金、Au−Fe合金、Au−Co合
金、Au−Ni合金、Au−Cu合金、Au−Zn合金
、Au−Y合金、Au−Zr合金、Au−Nb合金、A
u−Mo合金、Au−Tc合金、Au−Ru合金、Au
−Rh合金、Au−Ag合金、Au−Cd合金、Au−
Hf合金、Au−Ta合金、Au−W合金、Au−Re
合金、Au−Os合金、Au−Ir合金、Au−Hg合
金、Au−Gd合金、Au−Tb合金、Au−Dy合金
、Au−Ho合金、Au−Er合金、Au−Yb合金、
Au−Lu合金、Au−La合金、Au−Ce合金、A
u−Pr合金、Au−Nd合金、Au−Pm合金、Au
−Sm合金、Au−Eu合金、Au−B合金、Au−A
l合金、Au−Ga合金、Au−In合金、Au−Tl
合金、Au−C合金、Au−Si合金、Au−Ge合金
、Au−Sn合金、Au−Pb合金、Au−N合金、A
u−P合金、Au−As合金、Au−Sb合金、Au−
Bi合金、Au−S合金、Au−Se合金、Au−Te
合金、Au−Po合金、Pt−Sc合金、Pt−Ti合
金、Pt−V合金、Pt−Cr合金、Pt−Mn合金、
Pt−Fe合金、Pt−Co合金、Pt−Ni合金、P
t−Cu合金、Pt−Zn合金、Pt−Y合金、Pt−
Zr合金、Pt−Nb合金、Pt−Mo合金、Pt−T
c合金、Pt−Ru合金、Pt−Rh合金、Pt−Ag
合金、Pt−Cd合金、Pt−Hf合金、Pt−Ta合
金、Pt−W合金、Pt−Re合金、Pt−Os合金、
Pt−Ir合金、Pt−Hg合金、Pt−Gd合金、P
t−Tb合金、Pt−Dy合金、Pt−Ho合金、Pt
−Er合金、Pt−Yb合金、Pt−Lu合金、Pt−
La合金、Pt−Ce合金、Pt−Pr合金、Pt−N
d合金、Pt−Pm合金、Pt−Sm合金、Pt−Eu
合金、Pt−B合金、Pt−Al合金、Pt−Ga合金
、Pt−In合金、Pt−Tl合金、Pt−C合金、P
t−Si合金、Pt−Ge合金、Pt−Sn合金、Pt
−Pb合金、Pt−N合金、Pt−P合金、Pt−As
合金、Pt−Sb合金、Pt−Bi合金、Pt−S合金
、Pt−Se合金、Pt−Te合金、Pt−Po合金、
Pd−Sc合金、Pd−Ti合金、Pd−V合金、Pd
−Cr合金、Pd−Mn合金、Pd−Fe合金、Pd−
Co合金、Pd−Ni合金、Pd−Cu合金、Pd−Z
n合金、Pd−Y合金、Pd−Zr合金、Pd−Nb合
金、Pd−Mo合金、Pd−Tc合金、Pd−Ru合金
、Pd−Rh合金、Pd−Ag合金、Pd−Cd合金、
Pd−Hf合金、Pd−Ta合金、Pd−W合金、Pd
−Re合金、Pd−Os合金、Pd−Ir合金、Pd−
Hg合金、Pd−Gd合金、Pd−Tb合金、Pd−D
y合金、Pd−Ho合金、Pd−Er合金、Pd−Yb
合金、Pd−Lu合金、Pd−La合金、Pd−Ce合
金、Pd−Pr合金、Pd−Nd合金、Pd−Pm合金
、Pd−Sm合金、Pd−Eu合金、Pd−B合金、P
d−Al合金、Pd−Ga合金、Pd−In合金、Pd
−Tl合金、Pd−C合金、Pd−Si合金、Pd−G
e合金、Pd−Sn合金、Pd−Pb合金、Pd−N合
金、Pd−P合金、Pd−As合金、Pd−Sb合金、
Pd−Bi合金、Pd−S合金、Pd−Se合金、Pd
−Te合金、Pd−Po合金、Au−Pt−Sc合金、
Au−Pt−Ti合金、Au−Pt−V合金、Au−P
t−Cr合金、Au−Pt−Mn合金、Au−Pt−F
e合金、Au−Pt−Co合金、Au−Pt−Ni合金
、Au−Pt−Cu合金、Au−Pt−Zn合金、Au
−Pt−Y合金、Au−Pt−Zr合金、Au−Pt−
Nb合金、Au−Pt−Mo合金、Au−Pt−Tc合
金、Au−Pt−Ru合金、Au−Pt−Rh合金、A
u−Pt−Ag合金、Au−Pt−Cd合金、Au−P
t−Hf合金、Au−Pt−Ta合金、Au−Pt−W
合金、Au−Pt−Re合金、Au−Pt−Os合金、
Au−Pt−Ir合金、Au−Pt−Hg合金、Au−
Pt−Gd合金、Au−Pt−Tb合金、Au−Pt−
Dy合金、Au−Pt−Ho合金、Au−Pt−Er合
金、Au−Pt−Yb合金、Au−Pt−Lu合金、A
u−Pt−La合金、Au−Pt−Ce合金、Au−P
t−Pr合金、Au−Pt−Nd合金、Au−Pt−P
m合金、Au−Pt−Sm合金、Au−Pt−Eu合金
、Au−Pt−B合金、Au−Pt−Al合金、Au−
Pt−Ga合金、Au−Pt−In合金、Au−Pt−
Tl合金、Au−Pt−C合金、Au−Pt−Si合金
、Au−Pt−Ge合金、Au−Pt−Sn合金、Au
−Pt−Pb合金、Au−Pt−N合金、Au−Pt−
P合金、Au−Pt−As合金、Au−Pt−Sb合金
、Au−Pt−Bi合金、Au−Pt−S合金、Au−
Pt−Se合金、Au−Pt−Te合金、Au−Pt−
Po合金、Au−Pd−Sc合金、Au−Pd−Ti合
金、Au−Pd−V合金、Au−Pd−Cr合金、Au
−Pd−Mn合金、Au−Pd−Fe合金、Au−Pd
−Co合金、Au−Pd−Ni合金、Au−Pd−Cu
合金、Au−Pd−Zn合金、Au−Pd−Y合金、A
u−Pd−Zr合金、Au−Pd−Nb合金、Au−P
d−Mo合金、Au−Pd−Tc合金、Au−Pd−R
u合金、Au−Pd−Rh合金、Au−Pd−Ag合金
、Au−Pd−Cd合金、Au−Pd−Hf合金、Au
−Pd−Ta合金、Au−Pd−W合金、Au−Pd−
Re合金、Au−Pd−Os合金、Au−Pd−Ir合
金、Au−Pd−Hg合金、Au−Pd−Gd合金、A
u−Pd−Tb合金、Au−Pd−Dy合金、Au−P
d−Ho合金、Au−Pd−Er合金、Au−Pd−Y
b合金、Au−Pd−Lu合金、Au−Pd−La合金
、Au−Pd−Ce合金、Au−Pd−Pr合金、Au
−Pd−Nd合金、Au−Pd−Pm合金、Au−Pd
−Sm合金、Au−Pd−Eu合金、Au−Pd−B合
金、Au−Pd−Al合金、Au−Pd−Ga合金、A
u−Pd−In合金、Au−Pd−Tl合金、Au−P
d−C合金、Au−Pd−Si合金、Au−Pd−Ge
合金、Au−Pd−Sn合金、Au−Pd−Pb合金、
Au−Pd−N合金、Au−Pd−P合金、Au−Pd
−As合金、Au−Pd−Sb合金、Au−Pd−Bi
合金、Au−Pd−S合金、Au−Pd−Se合金、A
u−Pd−Te合金、Au−Pd−Po合金、Au−P
t−Pd−Sc合金、Au−Pt−Pd−Ti合金、A
u−Pt−Pd−V合金、Au−Pt−Pd−Cr合金
、Au−Pt−Pd−Mn合金、Au−Pt−Pd−F
e合金、Au−Pt−Pd−Co合金、Au−Pt−P
d−Ni合金、Au−Pt−Pd−Cu合金、Au−P
t−Pd−Zn合金、Au−Pt−Pd−Y合金、Au
−Pt−Pd−Zr合金、Au−Pt−Pd−Nb合金
、Au−Pt−Pd−Mo合金、Au−Pt−Pd−T
c合金、Au−Pt−Pd−Ru合金、Au−Pt−P
d−Rh合金、Au−Pt−Pd−Ag合金、Au−P
t−Pd−Cd合金、Au−Pt−Pd−Hf合金、A
u−Pt−Pd−Ta合金、Au−Pt−Pd−W合金
、Au−Pt−Pd−Re合金、Au−Pt−Pd−O
s合金、Au−Pt−Pd−Ir合金、Au−Pt−P
d−Hg合金、Au−Pt−Pd−Gd合金、Au−P
t−Pd−Tb合金、Au−Pt−Pd−Dy合金、A
u−Pt−Pd−Ho合金、Au−Pt−Pd−Er合
金、Au−Pt−Pd−Yb合金、Au−Pt−Pd−
Lu合金、Au−Pt−Pd−La合金、Au−Pt−
Pd−Ce合金、Au−Pt−Pd−Pr合金、Au−
Pt−Pd−Nd合金、Au−Pt−Pd−Pm合金、
Au−Pt−Pd−Sm合金、Au−Pt−Pd−Eu
合金、Au−Pt−Pd−B合金、Au−Pt−Pd−
Al合金、Au−Pt−Pd−Ga合金、Au−Pt−
Pd−In合金、Au−Pt−Pd−Tl合金、Au−
Pt−Pd−C合金、Au−Pt−Pd−Si合金、A
u−Pt−Pd−Ge合金、Au−Pt−Pd−Sn合
金、Au−Pt−Pd−Pb合金、Au−Pt−Pd−
N合金、Au−Pt−Pd−P合金、Au−Pt−Pd
−As合金、Au−Pt−Pd−Sb合金、Au−Pt
−Pd−Bi合金、Au−Pt−Pd−S合金、Au−
Pt−Pd−Se合金、Au−Pt−Pd−Te合金、
Au−Pt−Pd−Po合金、Au−Sc−Tb合金、
Au−Ti−Tb合金、Au−V−Tb合金、Au−C
r−Tb合金、Au−Mn−Tb合金、Au−Fe−T
b合金、Au−Co−Tb合金、Au−Ni−Tb合金
、Au−Cu−Tb合金、Au−Zn−Tb合金、Au
−Y−Tb合金、Au−Zr−Tb合金、Au−Nb−
Tb合金、Au−Mo−Tb合金、Au−Tc−Tb合
金、Au−Ru−Tb合金、Au−Rh−Tb合金、A
u−Ag−Tb合金、Au−Cd−Tb合金、Au−H
f−Tb合金、Au−Ta−Tb合金、Au−W−Tb
合金、Au−Re−Tb合金、Au−Os−Tb合金、
Au−Ir−Tb合金、Au−Hg−Tb合金、Au−
Gd−Tb合金、Au−Dy−Tb合金、Au−Ho−
Tb合金、Au−Er−Tb合金、Au−Yb−Tb合
金、Au−Lu−Tb合金、Au−La−Tb合金、A
u−Ce−Tb合金、Au−Pr−Tb合金、Au−N
d−Tb合金、Au−Pm−Tb合金、Au−Sm−T
b合金、Au−Eu−Tb合金、Au−B−Tb合金、
Au−Al−Tb合金、Au−Ga−Tb合金、Au−
In−Tb合金、Au−Tl−Tb合金、Au−C−T
b合金、Au−Si−Tb合金、Au−Ge−Tb合金
、Au−Sn−Tb合金、Au−Pb−Tb合金、Au
−N−Tb合金、Au−P−Tb合金、Au−As−T
b合金、Au−Sb−Tb合金、Au−Bi−Tb合金
、Au−S−Tb合金、Au−Se−Tb合金、Au−
Te−Tb合金、Au−Po−Tb合金、Pt−Sc−
Tb合金、Pt−Ti−Tb合金、Pt−V−Tb合金
、Pt−Cr−Tb合金、Pt−Mn−Tb合金、Pt
−Fe−Tb合金、Pt−Co−Tb合金、Pt−Ni
−Tb合金、Pt−Cu−Tb合金、Pt−Zn−Tb
合金、Pt−Y−Tb合金、Pt−Zr−Tb合金、P
t−Nb−Tb合金、Pt−Mo−Tb合金、Pt−T
c−Tb合金、Pt−Ru−Tb合金、Pt−Rh−T
b合金、Pt−Ag−Tb合金、Pt−Cd−Tb合金
、Pt−Hf−Tb合金、Pt−Ta−Tb合金、Pt
−W−Tb合金、Pt−Re−Tb合金、Pt−Os−
Tb合金、Pt−Ir−Tb合金、Pt−Hg−Tb合
金、Pt−Gd−Tb合金、Pt−Dy−Tb合金、P
t−Ho−Tb合金、Pt−Er−Tb合金、Pt−Y
b−Tb合金、Pt−Lu−Tb合金、Pt−La−T
b合金、Pt−Ce−Tb合金、Pt−Pr−Tb合金
、Pt−Nd−Tb合金、Pt−Pm−Tb合金、Pt
−Sm−Tb合金、Pt−Eu−Tb合金、Pt−B−
Tb合金、Pt−Al−Tb合金、Pt−Ga−Tb合
金、Pt−In−Tb合金、Pt−Tl−Tb合金、P
t−C−Tb合金、Pt−Si−Tb合金、Pt−Ge
−Tb合金、Pt−Sn−Tb合金、Pt−Pb−Tb
合金、Pt−N−Tb合金、Pt−P−Tb合金、Pt
−As−Tb合金、Pt−Sb−Tb合金、Pt−Bi
−Tb合金、Pt−S−Tb合金、Pt−Se−Tb合
金、Pt−Te−Tb合金、Pt−Po−Tb合金、P
d−Sc−Tb合金、Pd−Ti−Tb合金、Pd−V
−Tb合金、Pd−Cr−Tb合金、Pd−Mn−Tb
合金、Pd−Fe−Tb合金、Pd−Co−Tb合金、
Pd−Ni−Tb合金、Pd−Cu−Tb合金、Pd−
Zn−Tb合金、Pd−Y−Tb合金、Pd−Zr−T
b合金、Pd−Nb−Tb合金、Pd−Mo−Tb合金
、Pd−Tc−Tb合金、Pd−Ru−Tb合金、Pd
−Rh−Tb合金、Pd−Ag−Tb合金、Pd−Cd
−Tb合金、Pd−Hf−Tb合金、Pd−Ta−Tb
合金、Pd−W−Tb合金、Pd−Re−Tb合金、P
d−Os−Tb合金、Pd−Ir−Tb合金、Pd−H
g−Tb合金、Pd−Gd−Tb合金、Pd−Dy−T
b合金、Pd−Ho−Tb合金、Pd−Er−Tb合金
、Pd−Yb−Tb合金、Pd−Lu−Tb合金、Pd
−La−Tb合金、Pd−Ce−Tb合金、Pd−Pr
−Tb合金、Pd−Nd−Tb合金、Pd−Pm−Tb
合金、Pd−Sm−Tb合金、Pd−Eu−Tb合金、
Pd−B−Tb合金、Pd−Al−Tb合金、Pd−G
a−Tb合金、Pd−In−Tb合金、Pd−Tl−T
b合金、Pd−C−Tb合金、Pd−Si−Tb合金、
Pd−Ge−Tb合金、Pd−Sn−Tb合金、Pd−
Pb−Tb合金、Pd−N−Tb合金、Pd−P−Tb
合金、Pd−As−Tb合金、Pd−Sb−Tb合金、
Pd−Bi−Tb合金、Pd−S−Tb合金、Pd−S
e−Tb合金、Pd−Te−Tb合金、Pd−Po−T
b合金、Au−Pt−Sc−Tb合金、Au−Pt−T
i−Tb合金、Au−Pt−V−Tb合金、Au−Pt
−Cr−Tb合金、Au−Pt−Mn−Tb合金、Au
−Pt−Fe−Tb合金、Au−Pt−Co−Tb合金
、Au−Pt−Ni−Tb合金、Au−Pt−Cu−T
b合金、Au−Pt−Zn−Tb合金、Au−Pt−Y
−Tb合金、Au−Pt−Zr−Tb合金、Au−Pt
−Nb−Tb合金、Au−Pt−Mo−Tb合金、Au
−Pt−Tc−Tb合金、Au−Pt−Ru−Tb合金
、Au−Pt−Rh−Tb合金、Au−Pt−Ag−T
b合金、Au−Pt−Cd−Tb合金、Au−Pt−H
f−Tb合金、Au−Pt−Ta−Tb合金、Au−P
t−W−Tb合金、Au−Pt−Re−Tb合金、Au
−Pt−Os−Tb合金、Au−Pt−Ir−Tb合金
、Au−Pt−Hg−Tb合金、Au−Pt−Gd−T
b合金、Au−Pt−Dy−Tb合金、Au−Pt−H
o−Tb合金、Au−Pt−Er−Tb合金、Au−P
t−Yb−Tb合金、Au−Pt−Lu−Tb合金、A
u−Pt−La−Tb合金、Au−Pt−Ce−Tb合
金、Au−Pt−Pr−Tb合金、Au−Pt−Nd−
Tb合金、Au−Pt−Pm−Tb合金、Au−Pt−
Sm−Tb合金、Au−Pt−Eu−Tb合金、Au−
Pt−B−Tb合金、Au−Pt−Al−Tb合金、A
u−Pt−Ga−Tb合金、Au−Pt−In−Tb合
金、Au−Pt−Tl−Tb合金、Au−Pt−C−T
b合金、Au−Pt−Si−Tb合金、Au−Pt−G
e−Tb合金、Au−Pt−Sn−Tb合金、Au−P
t−Pb−Tb合金、Au−Pt−N−Tb合金、Au
−Pt−P−Tb合金、Au−Pt−As−Tb合金、
Au−Pt−Sb−Tb合金、Au−Pt−Bi−Tb
合金、Au−Pt−S−Tb合金、Au−Pt−Se−
Tb合金、Au−Pt−Te−Tb合金、Au−Pt−
Po−Tb合金、Au−Pd−Sc−Tb合金、Au−
Pd−Ti−Tb合金、Au−Pd−V−Tb合金、A
u−Pd−Cr−Tb合金、Au−Pd−Mn−Tb合
金、Au−Pd−Fe−Tb合金、Au−Pd−Co−
Tb合金、Au−Pd−Ni−Tb合金、Au−Pd−
Cu−Tb合金、Au−Pd−Zn−Tb合金、Au−
Pd−Y−Tb合金、Au−Pd−Zr−Tb合金、A
u−Pd−Nb−Tb合金、Au−Pd−Mo−Tb合
金、Au−Pd−Tc−Tb合金、Au−Pd−Ru−
Tb合金、Au−Pd−Rh−Tb合金、Au−Pd−
Ag−Tb合金、Au−Pd−Cd−Tb合金、Au−
Pd−Hf−Tb合金、Au−Pd−Ta−Tb合金、
Au−Pd−W−Tb合金、Au−Pd−Re−Tb合
金、Au−Pd−Os−Tb合金、Au−Pd−Ir−
Tb合金、Au−Pd−Hg−Tb合金、Au−Pd−
Gd−Tb合金、Au−Pd−Dy−Tb合金、Au−
Pd−Ho−Tb合金、Au−Pd−Er−Tb合金、
Au−Pd−Yb−Tb合金、Au−Pd−Lu−Tb
合金、Au−Pd−La−Tb合金、Au−Pd−Ce
−Tb合金、Au−Pd−Pr−Tb合金、Au−Pd
−Nd−Tb合金、Au−Pd−Pm−Tb合金、Au
−Pd−Sm−Tb合金、Au−Pd−Eu−Tb合金
、Au−Pd−B−Tb合金、Au−Pd−Al−Tb
合金、Au−Pd−Ga−Tb合金、Au−Pd−In
−Tb合金、Au−Pd−Tl−Tb合金、Au−Pd
−C−Tb合金、Au−Pd−Si−Tb合金、Au−
Pd−Ge−Tb合金、Au−Pd−Sn−Tb合金、
Au−Pd−Pb−Tb合金、Au−Pd−N−Tb合
金、Au−Pd−P−Tb合金、Au−Pd−As−T
b合金、Au−Pd−Sb−Tb合金、Au−Pd−B
i−Tb合金、Au−Pd−S−Tb合金、Au−Pd
−Se−Tb合金、Au−Pd−Te−Tb合金、Au
−Pd−Po−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sc−T
b合金、Au−Pt−Pd−Ti−Tb合金、Au−P
t−Pd−V−Tb合金、Au−Pt−Pd−Cr−T
b合金、Au−Pt−Pd−Mn−Tb合金、Au−P
t−Pd−Fe−Tb合金、Au−Pt−Pd−Co−
Tb合金、Au−Pt−Pd−Ni−Tb合金、Au−
Pt−Pd−Cu−Tb合金、Au−Pt−Pd−Zn
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Y−Tb合金、Au−
Pt−Pd−Zr−Tb合金、Au−Pt−Pd−Nb
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Mo−Tb合金、Au
−Pt−Pd−Tc−Tb合金、Au−Pt−Pd−R
u−Tb合金、Au−Pt−Pd−Rh−Tb合金、A
u−Pt−Pd−Ag−Tb合金、Au−Pt−Pd−
Cd−Tb合金、Au−Pt−Pd−Hf−Tb合金、
Au−Pt−Pd−Ta−Tb合金、Au−Pt−Pd
−W−Tb合金、Au−Pt−Pd−Re−Tb合金、
Au−Pt−Pd−Os−Tb合金、Au−Pt−Pd
−Ir−Tb合金、Au−Pt−Pd−Hg−Tb合金
、Au−Pt−Pd−Gd−Tb合金、Au−Pt−P
d−Dy−Tb合金、Au−Pt−Pd−Ho−Tb合
金、Au−Pt−Pd−Er−Tb合金、Au−Pt−
Pd−Yb−Tb合金、Au−Pt−Pd−Lu−Tb
合金、Au−Pt−Pd−La−Tb合金、Au−Pt
−Pd−Ce−Tb合金、Au−Pt−Pd−Pr−T
b合金、Au−Pt−Pd−Nd−Tb合金、Au−P
t−Pd−Pm−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sm−
Tb合金、Au−Pt−Pd−Eu−Tb合金、Au−
Pt−Pd−B−Tb合金、Au−Pt−Pd−Al−
Tb合金、Au−Pt−Pd−Ga−Tb合金、Au−
Pt−Pd−In−Tb合金、Au−Pt−Pd−Tl
−Tb合金、Au−Pt−Pd−C−Tb合金、Au−
Pt−Pd−Si−Tb合金、Au−Pt−Pd−Ge
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sn−Tb合金、Au
−Pt−Pd−Pb−Tb合金、Au−Pt−Pd−N
−Tb合金、Au−Pt−Pd−P−Tb合金、Au−
Pt−Pd−As−Tb合金、Au−Pt−Pd−Sb
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Bi−Tb合金、Au
−Pt−Pd−S−Tb合金、Au−Pt−Pd−Se
−Tb合金、Au−Pt−Pd−Te−Tb合金、Au
−Pt−Pd−Po−Tb合金等をあげることができる
。
【0088】また上記第2薄膜にはFe、Co以外にも
少量に他の金属が含有されていてもよい。このような他
の金属としては、具体的には、Sc、Ti、V、Cr、
Mn、Ni、Cu、Zn等の3d遷移元素;Y、Zr、
Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd等の
4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、P
t、Au、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、
Ho、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、P
m、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga、In
、Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、Sn、P
b等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi等のV
B族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元素が用
いられる。
少量に他の金属が含有されていてもよい。このような他
の金属としては、具体的には、Sc、Ti、V、Cr、
Mn、Ni、Cu、Zn等の3d遷移元素;Y、Zr、
Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd等の
4d遷移元素;Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、P
t、Au、Hg等の5d遷移元素;Gd、Tb、Dy、
Ho、Er、Yb、Lu、La、Ce、Pr、Nd、P
m、Sm、Eu等の希土類元素;B、Al、Ga、In
、Tl等のIIIB族元素;C、Si、Ge、Sn、P
b等のIVB族元素;N、P、As、Sb、Bi等のV
B族元素;S、Se、Te、Po等のVIB族元素が用
いられる。
【0089】このような他の金属は第2薄膜中に20原
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。このような第1薄膜のさらに具体的な例
としては、金属Fe、Fe−Co合金、Fe−Sc合金
、Fe−Ti合金、Fe−V合金、Fe−Cr合金、F
e−Mn合金、Fe−Ni合金、Fe−Cu合金、Fe
−Zn合金、Fe−Y合金、Fe−Zr合金、Fe−N
b合金、Fe−Mo合金、Fe−Tc合金、Fe−Ru
合金、Fe−Rh合金、Fe−Pd合金、Fe−Ag合
金、Fe−Cd合金、Fe−Hf合金、Fe−Ta合金
、Fe−W合金、Fe−Re合金、Fe−Os合金、F
e−Ir合金、Fe−Pt合金、Fe−Au合金、Fe
−Hg合金、Fe−Gd合金、Fe−Tb合金、Fe−
Dy合金、Fe−Ho合金、Fe−Er合金、Fe−Y
b合金、Fe−Lu合金、Fe−La合金、Fe−Ce
合金、Fe−Pr合金、Fe−Nd合金、Fe−Pm合
金、Fe−Sm合金、Fe−Eu合金、Fe−B合金、
Fe−Al合金、Fe−Ga合金、Fe−In合金、F
e−Tl合金、Fe−C合金、Fe−Si合金、Fe−
Ge合金、Fe−Sn合金、Fe−Pb合金、Fe−N
合金、Fe−P合金、Fe−As合金、Fe−Sb合金
、Fe−Bi合金、Fe−S合金、Fe−Se合金、F
e−Te合金、Fe−Po合金、Fe−Co−Sc合金
、Fe−Co−Ti合金、Fe−Co−V合金、Fe−
Co−Cr合金、Fe−Co−Mn合金、Fe−Co−
Ni合金、Fe−Co−Cu合金、Fe−Co−Zn合
金、Fe−Co−Y合金、Fe−Co−Zr合金、Fe
−Co−Nb合金、Fe−Co−Mo合金、Fe−Co
−Tc合金、Fe−Co−Ru合金、Fe−Co−Rh
合金、Fe−Co−Pd合金、Fe−Co−Ag合金、
Fe−Co−Cd合金、Fe−Co−Hf合金、Fe−
Co−Ta合金、Fe−Co−W合金、Fe−Co−R
e合金、Fe−Co−Os合金、Fe−Co−Ir合金
、Fe−Co−Pt合金、Fe−Co−Au合金、Fe
−Co−Hg合金、Fe−Co−Gd合金、Fe−Co
−Tb合金、Fe−Co−Dy合金、Fe−Co−Ho
合金、Fe−Co−Er合金、Fe−Co−Yb合金、
Fe−Co−Lu合金、Fe−Co−La合金、Fe−
Co−Ce合金、Fe−Co−Pr合金、Fe−Co−
Nd合金、Fe−Co−Pm合金、Fe−Co−Sm合
金、Fe−Co−Eu合金、Fe−Co−B合金、Fe
−Co−Al合金、Fe−Co−Ga合金、Fe−Co
−In合金、Fe−Co−Tl合金、Fe−Co−C合
金、Fe−Co−Si合金、Fe−Co−Ge合金、F
e−Co−Sn合金、Fe−Co−Pb合金、Fe−C
o−N合金、Fe−Co−P合金、Fe−Co−As合
金、Fe−Co−Sb合金、Fe−Co−Bi合金、F
e−Co−S合金、Fe−Co−Se合金、Fe−Co
−Te合金、Fe−Co−Po合金、Fe−Sc−Tb
合金、Fe−Ti−Tb合金、Fe−V−Tb合金、F
e−Cr−Tb合金、Fe−Mn−Tb合金、Fe−N
i−Tb合金、Fe−Cu−Tb合金、Fe−Zn−T
b合金、Fe−Y−Tb合金、Fe−Zr−Tb合金、
Fe−Nb−Tb合金、Fe−Mo−Tb合金、Fe−
Tc−Tb合金、Fe−Ru−Tb合金、Fe−Rh−
Tb合金、Fe−Pd−Tb合金、Fe−Ag−Tb合
金、Fe−Cd−Tb合金、Fe−Hf−Tb合金、F
e−Ta−Tb合金、Fe−W−Tb合金、Fe−Re
−Tb合金、Fe−Os−Tb合金、Fe−Ir−Tb
合金、Fe−Pt−Tb合金、Fe−Au−Tb合金、
Fe−Hg−Tb合金、Fe−Gd−Tb合金、Fe−
Dy−Tb合金、Fe−Ho−Tb合金、Fe−Er−
Tb合金、Fe−Yb−Tb合金、Fe−Lu−Tb合
金、Fe−La−Tb合金、Fe−Ce−Tb合金、F
e−Pr−Tb合金、Fe−Nd−Tb合金、Fe−P
m−Tb合金、Fe−Sm−Tb合金、Fe−Eu−T
b合金、Fe−B−Tb合金、Fe−Al−Tb合金、
Fe−Ga−Tb合金、Fe−In−Tb合金、Fe−
Tl−Tb合金、Fe−C−Tb合金、Fe−Si−T
b合金、Fe−Ge−Tb合金、Fe−Sn−Tb合金
、Fe−Pb−Tb合金、Fe−N−Tb合金、Fe−
P−Tb合金、Fe−As−Tb合金、Fe−Sb−T
b合金、Fe−Bi−Tb合金、Fe−S−Tb合金、
Fe−Se−Tb合金、Fe−Te−Tb合金、Fe−
Po−Tb合金、Fe−Co−Sc−Tb合金、Fe−
Co−Ti−Tb合金、Fe−Co−V−Tb合金、F
e−Co−Cr−Tb合金、Fe−Co−Mn−Tb合
金、Fe−Co−Ni−Tb合金、Fe−Co−Cu−
Tb合金、Fe−Co−Zn−Tb合金、Fe−Co−
Y−Tb合金、Fe−Co−Zr−Tb合金、Fe−C
o−Nb−Tb合金、Fe−Co−Mo−Tb合金、F
e−Co−Tc−Tb合金、Fe−Co−Ru−Tb合
金、Fe−Co−Rh−Tb合金、Fe−Co−Pd−
Tb合金、Fe−Co−Ag−Tb合金、Fe−Co−
Cd−Tb合金、Fe−Co−Hf−Tb合金、Fe−
Co−Ta−Tb合金、Fe−Co−W−Tb合金、F
e−Co−Re−Tb合金、Fe−Co−Os−Tb合
金、Fe−Co−Ir−Tb合金、Fe−Co−Pt−
Tb合金、Fe−Co−Au−Tb合金、Fe−Co−
Hg−Tb合金、Fe−Co−Gd−Tb合金、Fe−
Co−Dy−Tb合金、Fe−Co−Ho−Tb合金、
Fe−Co−Er−Tb合金、Fe−Co−Yb−Tb
合金、Fe−Co−Lu−Tb合金、Fe−Co−La
−Tb合金、Fe−Co−Ce−Tb合金、Fe−Co
−Pr−Tb合金、Fe−Co−Nd−Tb合金、Fe
−Co−Pm−Tb合金、Fe−Co−Sm−Tb合金
、Fe−Co−Eu−Tb合金、Fe−Co−B−Tb
合金、Fe−Co−Al−Tb合金、Fe−Co−Ga
−Tb合金、Fe−Co−In−Tb合金、Fe−Co
−Tl−Tb合金、Fe−Co−C−Tb合金、Fe−
Co−Si−Tb合金、Fe−Co−Ge−Tb合金、
Fe−Co−Sn−Tb合金、Fe−Co−Pb−Tb
合金、Fe−Co−N−Tb合金、Fe−Co−P−T
b合金、Fe−Co−As−Tb合金、Fe−Co−S
b−Tb合金、Fe−Co−Bi−Tb合金、Fe−C
o−S−Tb合金、Fe−Co−Se−Tb合金、Fe
−Co−Te−Tb合金、Fe−Co−Po−Tb合金
等をあげることができる。
子%以下、好ましくは10原子%以下の割合で含有され
ていてもよい。このような第1薄膜のさらに具体的な例
としては、金属Fe、Fe−Co合金、Fe−Sc合金
、Fe−Ti合金、Fe−V合金、Fe−Cr合金、F
e−Mn合金、Fe−Ni合金、Fe−Cu合金、Fe
−Zn合金、Fe−Y合金、Fe−Zr合金、Fe−N
b合金、Fe−Mo合金、Fe−Tc合金、Fe−Ru
合金、Fe−Rh合金、Fe−Pd合金、Fe−Ag合
金、Fe−Cd合金、Fe−Hf合金、Fe−Ta合金
、Fe−W合金、Fe−Re合金、Fe−Os合金、F
e−Ir合金、Fe−Pt合金、Fe−Au合金、Fe
−Hg合金、Fe−Gd合金、Fe−Tb合金、Fe−
Dy合金、Fe−Ho合金、Fe−Er合金、Fe−Y
b合金、Fe−Lu合金、Fe−La合金、Fe−Ce
合金、Fe−Pr合金、Fe−Nd合金、Fe−Pm合
金、Fe−Sm合金、Fe−Eu合金、Fe−B合金、
Fe−Al合金、Fe−Ga合金、Fe−In合金、F
e−Tl合金、Fe−C合金、Fe−Si合金、Fe−
Ge合金、Fe−Sn合金、Fe−Pb合金、Fe−N
合金、Fe−P合金、Fe−As合金、Fe−Sb合金
、Fe−Bi合金、Fe−S合金、Fe−Se合金、F
e−Te合金、Fe−Po合金、Fe−Co−Sc合金
、Fe−Co−Ti合金、Fe−Co−V合金、Fe−
Co−Cr合金、Fe−Co−Mn合金、Fe−Co−
Ni合金、Fe−Co−Cu合金、Fe−Co−Zn合
金、Fe−Co−Y合金、Fe−Co−Zr合金、Fe
−Co−Nb合金、Fe−Co−Mo合金、Fe−Co
−Tc合金、Fe−Co−Ru合金、Fe−Co−Rh
合金、Fe−Co−Pd合金、Fe−Co−Ag合金、
Fe−Co−Cd合金、Fe−Co−Hf合金、Fe−
Co−Ta合金、Fe−Co−W合金、Fe−Co−R
e合金、Fe−Co−Os合金、Fe−Co−Ir合金
、Fe−Co−Pt合金、Fe−Co−Au合金、Fe
−Co−Hg合金、Fe−Co−Gd合金、Fe−Co
−Tb合金、Fe−Co−Dy合金、Fe−Co−Ho
合金、Fe−Co−Er合金、Fe−Co−Yb合金、
Fe−Co−Lu合金、Fe−Co−La合金、Fe−
Co−Ce合金、Fe−Co−Pr合金、Fe−Co−
Nd合金、Fe−Co−Pm合金、Fe−Co−Sm合
金、Fe−Co−Eu合金、Fe−Co−B合金、Fe
−Co−Al合金、Fe−Co−Ga合金、Fe−Co
−In合金、Fe−Co−Tl合金、Fe−Co−C合
金、Fe−Co−Si合金、Fe−Co−Ge合金、F
e−Co−Sn合金、Fe−Co−Pb合金、Fe−C
o−N合金、Fe−Co−P合金、Fe−Co−As合
金、Fe−Co−Sb合金、Fe−Co−Bi合金、F
e−Co−S合金、Fe−Co−Se合金、Fe−Co
−Te合金、Fe−Co−Po合金、Fe−Sc−Tb
合金、Fe−Ti−Tb合金、Fe−V−Tb合金、F
e−Cr−Tb合金、Fe−Mn−Tb合金、Fe−N
i−Tb合金、Fe−Cu−Tb合金、Fe−Zn−T
b合金、Fe−Y−Tb合金、Fe−Zr−Tb合金、
Fe−Nb−Tb合金、Fe−Mo−Tb合金、Fe−
Tc−Tb合金、Fe−Ru−Tb合金、Fe−Rh−
Tb合金、Fe−Pd−Tb合金、Fe−Ag−Tb合
金、Fe−Cd−Tb合金、Fe−Hf−Tb合金、F
e−Ta−Tb合金、Fe−W−Tb合金、Fe−Re
−Tb合金、Fe−Os−Tb合金、Fe−Ir−Tb
合金、Fe−Pt−Tb合金、Fe−Au−Tb合金、
Fe−Hg−Tb合金、Fe−Gd−Tb合金、Fe−
Dy−Tb合金、Fe−Ho−Tb合金、Fe−Er−
Tb合金、Fe−Yb−Tb合金、Fe−Lu−Tb合
金、Fe−La−Tb合金、Fe−Ce−Tb合金、F
e−Pr−Tb合金、Fe−Nd−Tb合金、Fe−P
m−Tb合金、Fe−Sm−Tb合金、Fe−Eu−T
b合金、Fe−B−Tb合金、Fe−Al−Tb合金、
Fe−Ga−Tb合金、Fe−In−Tb合金、Fe−
Tl−Tb合金、Fe−C−Tb合金、Fe−Si−T
b合金、Fe−Ge−Tb合金、Fe−Sn−Tb合金
、Fe−Pb−Tb合金、Fe−N−Tb合金、Fe−
P−Tb合金、Fe−As−Tb合金、Fe−Sb−T
b合金、Fe−Bi−Tb合金、Fe−S−Tb合金、
Fe−Se−Tb合金、Fe−Te−Tb合金、Fe−
Po−Tb合金、Fe−Co−Sc−Tb合金、Fe−
Co−Ti−Tb合金、Fe−Co−V−Tb合金、F
e−Co−Cr−Tb合金、Fe−Co−Mn−Tb合
金、Fe−Co−Ni−Tb合金、Fe−Co−Cu−
Tb合金、Fe−Co−Zn−Tb合金、Fe−Co−
Y−Tb合金、Fe−Co−Zr−Tb合金、Fe−C
o−Nb−Tb合金、Fe−Co−Mo−Tb合金、F
e−Co−Tc−Tb合金、Fe−Co−Ru−Tb合
金、Fe−Co−Rh−Tb合金、Fe−Co−Pd−
Tb合金、Fe−Co−Ag−Tb合金、Fe−Co−
Cd−Tb合金、Fe−Co−Hf−Tb合金、Fe−
Co−Ta−Tb合金、Fe−Co−W−Tb合金、F
e−Co−Re−Tb合金、Fe−Co−Os−Tb合
金、Fe−Co−Ir−Tb合金、Fe−Co−Pt−
Tb合金、Fe−Co−Au−Tb合金、Fe−Co−
Hg−Tb合金、Fe−Co−Gd−Tb合金、Fe−
Co−Dy−Tb合金、Fe−Co−Ho−Tb合金、
Fe−Co−Er−Tb合金、Fe−Co−Yb−Tb
合金、Fe−Co−Lu−Tb合金、Fe−Co−La
−Tb合金、Fe−Co−Ce−Tb合金、Fe−Co
−Pr−Tb合金、Fe−Co−Nd−Tb合金、Fe
−Co−Pm−Tb合金、Fe−Co−Sm−Tb合金
、Fe−Co−Eu−Tb合金、Fe−Co−B−Tb
合金、Fe−Co−Al−Tb合金、Fe−Co−Ga
−Tb合金、Fe−Co−In−Tb合金、Fe−Co
−Tl−Tb合金、Fe−Co−C−Tb合金、Fe−
Co−Si−Tb合金、Fe−Co−Ge−Tb合金、
Fe−Co−Sn−Tb合金、Fe−Co−Pb−Tb
合金、Fe−Co−N−Tb合金、Fe−Co−P−T
b合金、Fe−Co−As−Tb合金、Fe−Co−S
b−Tb合金、Fe−Co−Bi−Tb合金、Fe−C
o−S−Tb合金、Fe−Co−Se−Tb合金、Fe
−Co−Te−Tb合金、Fe−Co−Po−Tb合金
等をあげることができる。
【0090】このような本発明に係る光磁気記録層にお
いて、第1薄膜1層あたりの膜厚は5〜25Å、好まし
くは10〜20Åであることが望ましい。また第2薄膜
1層あたりの膜厚は3〜15Å、好ましくは3〜10Å
であることが望ましい。そして、このような膜厚の第1
薄膜および第2薄膜が交互に積層されてなる磁気記録層
は、その全厚が50〜1200Å、好ましくは50〜1
000Å、さらに好ましくは100〜700Å、特に好
ましくは100〜500Åであることが望ましい。
いて、第1薄膜1層あたりの膜厚は5〜25Å、好まし
くは10〜20Åであることが望ましい。また第2薄膜
1層あたりの膜厚は3〜15Å、好ましくは3〜10Å
であることが望ましい。そして、このような膜厚の第1
薄膜および第2薄膜が交互に積層されてなる磁気記録層
は、その全厚が50〜1200Å、好ましくは50〜1
000Å、さらに好ましくは100〜700Å、特に好
ましくは100〜500Åであることが望ましい。
【0091】上記のような組成および膜厚を有する第1
薄膜および第2薄膜が交互に積層された周期構造を有す
る光磁気記録層は、膜面に垂直な磁化容易軸を有し、カ
―・ヒステリシスが良好な角形ル―プを示す垂直磁気記
録可能なことが確かめられた。
薄膜および第2薄膜が交互に積層された周期構造を有す
る光磁気記録層は、膜面に垂直な磁化容易軸を有し、カ
―・ヒステリシスが良好な角形ル―プを示す垂直磁気記
録可能なことが確かめられた。
【0092】なお本明細書において、カ―・ヒステリシ
スが良好な角形ル―プを示すとは、最大外部磁場におけ
るカ―回転角である飽和カ―回転角(θk1)と外部磁
場ゼロにおけるカ―回転角である残留カ―回転角(θk
2)との比θk2/θk1が0.8以上であることを意
味している。
スが良好な角形ル―プを示すとは、最大外部磁場におけ
るカ―回転角である飽和カ―回転角(θk1)と外部磁
場ゼロにおけるカ―回転角である残留カ―回転角(θk
2)との比θk2/θk1が0.8以上であることを意
味している。
【0093】また本発明の場合、15原子%以上のPt
、Pdおよび/またはAuを含有する系は、Pt、Pd
および/またはAuを含有しないものに比べて反射率R
が大きいという特長を有する。一般に、この場合、
、Pdおよび/またはAuを含有する系は、Pt、Pd
および/またはAuを含有しないものに比べて反射率R
が大きいという特長を有する。一般に、この場合、
【0
094】
094】
【数1】
【0095】(Rは反射率、θkはカー回転角を示す。
)の関係を有することからC/Nを向上させるにはRま
たはθkの少なくともいずれか一方の値を向上させれば
よい。
たはθkの少なくともいずれか一方の値を向上させれば
よい。
【0096】したがって、本発明の光磁気記録層のRが
大きいということは、光磁気記録におけるC/Nを向上
せしめる利点を有する。本発明においては、その他に種
々の元素を第1あるいは第2薄膜に添加して、キュリ―
温度や補償温度あるいは保磁力Hcやθkの改善あるい
は低コスト化を計ってもよい。
大きいということは、光磁気記録におけるC/Nを向上
せしめる利点を有する。本発明においては、その他に種
々の元素を第1あるいは第2薄膜に添加して、キュリ―
温度や補償温度あるいは保磁力Hcやθkの改善あるい
は低コスト化を計ってもよい。
【0097】本発明において光磁気記録層を構成する各
薄膜の界面は、異種金属原子が互いに入り乱れずに平坦
に形成され、いわゆる超格子構造とされていることが理
想的であるが、界面にやや乱れを生じながらも全体とし
ては一定の周期を保って組成が変動する、いわゆる変調
構造(組成変調構造)を有するものであっても良い。
薄膜の界面は、異種金属原子が互いに入り乱れずに平坦
に形成され、いわゆる超格子構造とされていることが理
想的であるが、界面にやや乱れを生じながらも全体とし
ては一定の周期を保って組成が変動する、いわゆる変調
構造(組成変調構造)を有するものであっても良い。
【0098】次に、本発明に係る光磁気記録媒体の光磁
気記録層の製造方法について説明する。基板温度を室温
程度に保ち、本発明に係る光磁気記録媒体の光磁気記録
層を構成する第1薄膜及び第2薄膜を構成する各元素か
らなるチップを所定割合で配置した複合ターゲットまた
は所定割合の組成からなる合金ターゲットを所定の位置
に配置して、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法ある
いは真空同時蒸着法などの従来公知の成膜条件を採用し
て自公転している基板(基板は固定していてもよいが、
この場合は各ターゲット上のシャッタを交互に開閉する
)上に所定組成の薄膜を順次被着させることにより、本
発明に係る光磁気記録媒体の光磁気記録層を形成するこ
とができる。
気記録層の製造方法について説明する。基板温度を室温
程度に保ち、本発明に係る光磁気記録媒体の光磁気記録
層を構成する第1薄膜及び第2薄膜を構成する各元素か
らなるチップを所定割合で配置した複合ターゲットまた
は所定割合の組成からなる合金ターゲットを所定の位置
に配置して、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法ある
いは真空同時蒸着法などの従来公知の成膜条件を採用し
て自公転している基板(基板は固定していてもよいが、
この場合は各ターゲット上のシャッタを交互に開閉する
)上に所定組成の薄膜を順次被着させることにより、本
発明に係る光磁気記録媒体の光磁気記録層を形成するこ
とができる。
【0099】このような本発明に係る光磁気記録媒体は
、常温での記録層成膜が可能であり、膜面に垂直な磁化
容易軸を持たせるために成膜後にアニール処理などの熱
処理をする必要がない。
、常温での記録層成膜が可能であり、膜面に垂直な磁化
容易軸を持たせるために成膜後にアニール処理などの熱
処理をする必要がない。
【0100】なお必要に応じては、基板温度を50〜6
00℃に加熱しながらまたは−50℃まで冷却しながら
、基板上に光磁気記録層を成膜することもできる。また
スパッタリング時に、基板を負電位になるようにバイア
スすることもできる。このようにすると、電界で加速さ
れたアルゴンなどの不活性ガスイオンはターゲット物質
ばかりでなく成膜されつつある光磁気記録層をもたたく
ことになり、優れた特性を有する光磁気記録媒体が得ら
れることがある。
00℃に加熱しながらまたは−50℃まで冷却しながら
、基板上に光磁気記録層を成膜することもできる。また
スパッタリング時に、基板を負電位になるようにバイア
スすることもできる。このようにすると、電界で加速さ
れたアルゴンなどの不活性ガスイオンはターゲット物質
ばかりでなく成膜されつつある光磁気記録層をもたたく
ことになり、優れた特性を有する光磁気記録媒体が得ら
れることがある。
【0101】なお本発明においては、基板に最も近い層
として第1薄膜を設け、次いで第2薄膜と第1薄膜とを
交互に積層してもよく、逆に基板に最も近い層として第
2薄膜を設け、次いで第1薄膜と第2薄膜とを交互に積
層してもよい。
として第1薄膜を設け、次いで第2薄膜と第1薄膜とを
交互に積層してもよく、逆に基板に最も近い層として第
2薄膜を設け、次いで第1薄膜と第2薄膜とを交互に積
層してもよい。
【0102】上記のように本発明の光磁気記録媒体の光
磁気記録層は、耐食性が良好であり、膜面に垂直な磁化
容易軸を有し、しかも、短波長の再生光でも良好なカー
回転角を示す第1薄膜と第2薄膜とが交互に積層されて
構成されている。この結果、本発明に係る光磁気記録媒
体によって、従来よりもカー・ヒステリシス・ループの
角形比が高く、耐食性が向上し、しかも短波長の再生光
であっても良好なカー回転角を示すといった特性を有す
る光磁気記録媒体を提供することが可能になる。
磁気記録層は、耐食性が良好であり、膜面に垂直な磁化
容易軸を有し、しかも、短波長の再生光でも良好なカー
回転角を示す第1薄膜と第2薄膜とが交互に積層されて
構成されている。この結果、本発明に係る光磁気記録媒
体によって、従来よりもカー・ヒステリシス・ループの
角形比が高く、耐食性が向上し、しかも短波長の再生光
であっても良好なカー回転角を示すといった特性を有す
る光磁気記録媒体を提供することが可能になる。
【0103】このような光磁気記録媒体の構造としては
、 (A)基板/光磁気記録層 (B)基板/エンハンス膜(保護膜)/光磁気記録層(
C)基板/光磁気記録層/金属層 (D)基板/エンハンス膜(保護膜)/光磁気記録層/
金属層 (E)基板/エンハンス膜(保護膜)/光磁気記録層/
エンハンス膜(保護膜)/金属層 あるいはこれらの光磁気記録層側の最外層に耐傷性のみ
を付与するための保護コートや保護ラベルを形成したよ
うな構造のものが可能となる。
、 (A)基板/光磁気記録層 (B)基板/エンハンス膜(保護膜)/光磁気記録層(
C)基板/光磁気記録層/金属層 (D)基板/エンハンス膜(保護膜)/光磁気記録層/
金属層 (E)基板/エンハンス膜(保護膜)/光磁気記録層/
エンハンス膜(保護膜)/金属層 あるいはこれらの光磁気記録層側の最外層に耐傷性のみ
を付与するための保護コートや保護ラベルを形成したよ
うな構造のものが可能となる。
【0104】そして、ここでエンハンス膜(保護膜)と
してはその屈折率が基板の屈折率よりも大きいものであ
ればよく、有機あるいは無機のいずれの材料であっても
よい。エンハンス膜の具体例としては、TiO2、Si
O、TiO、ZnO、ZrO2、Ta2O5、Nb2O
5、CeO2 、SnO2 、TeO2 等の酸化物、
Si3N4、SiNx(0<x≦4/3)AlN、BN
等の窒化物、ZnS、CdS等の硫化物、ZnSe、S
iC、Siなどがある。また、コバルトフェライトに代
表されるフェライト類、Bi置換ガーネットに代表され
るガーネット類等のファラデー効果を有する透明材料を
エンハンス膜として使用してもよい。
してはその屈折率が基板の屈折率よりも大きいものであ
ればよく、有機あるいは無機のいずれの材料であっても
よい。エンハンス膜の具体例としては、TiO2、Si
O、TiO、ZnO、ZrO2、Ta2O5、Nb2O
5、CeO2 、SnO2 、TeO2 等の酸化物、
Si3N4、SiNx(0<x≦4/3)AlN、BN
等の窒化物、ZnS、CdS等の硫化物、ZnSe、S
iC、Siなどがある。また、コバルトフェライトに代
表されるフェライト類、Bi置換ガーネットに代表され
るガーネット類等のファラデー効果を有する透明材料を
エンハンス膜として使用してもよい。
【0105】基板もガラスやアルミニウム等の無機材料
の他に、ポリメチルメタアクリレート、ポリアクリレー
トのようなアクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリカー
ボネートとポリスチレンのポリマーアロイ、米国特許第
4614778号明細書に示されるようなエチレン−環
状オレフィン共重合体たとえばエチレンと1,4,5,
8−ジメタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8a−
オクタヒドロナフタレン(テトラシクロドデセン)との
共重合体、エチレンと2−メチル−1,4,5,8−ジ
メタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8a−オクタ
ヒドロナフタレン(メチルテトラシクロドデセン)との
共重合体、エチレンと2−エチル−1,4,5,8−ジ
メタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8a−オクタ
ヒドロナフタレンとの共重合体など、ポリ4−メチル−
1−ペンテン、エポキシ樹脂、ポリエーテルサルフォン
、ポリサルフォン、ポリエーテルイミドあるいは特開昭
60−26024号公報に示されるようなテトラシクロ
ドデセン類の単独開環重合体やノルボルネン類との開環
共重合体を水添したもの等の有機材料等を使用できる。 基板の厚さは、特に限定されないが、好ましくは0.5
mm〜5mm、特に好ましくは1mm〜2mmである。
の他に、ポリメチルメタアクリレート、ポリアクリレー
トのようなアクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリカー
ボネートとポリスチレンのポリマーアロイ、米国特許第
4614778号明細書に示されるようなエチレン−環
状オレフィン共重合体たとえばエチレンと1,4,5,
8−ジメタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8a−
オクタヒドロナフタレン(テトラシクロドデセン)との
共重合体、エチレンと2−メチル−1,4,5,8−ジ
メタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8a−オクタ
ヒドロナフタレン(メチルテトラシクロドデセン)との
共重合体、エチレンと2−エチル−1,4,5,8−ジ
メタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8a−オクタ
ヒドロナフタレンとの共重合体など、ポリ4−メチル−
1−ペンテン、エポキシ樹脂、ポリエーテルサルフォン
、ポリサルフォン、ポリエーテルイミドあるいは特開昭
60−26024号公報に示されるようなテトラシクロ
ドデセン類の単独開環重合体やノルボルネン類との開環
共重合体を水添したもの等の有機材料等を使用できる。 基板の厚さは、特に限定されないが、好ましくは0.5
mm〜5mm、特に好ましくは1mm〜2mmである。
【0106】さらに、光磁気ディスクの構成は、前述の
(A)〜(E)の構成にのみ限定されるものではなく、
必要に応じて下地層あるいは高透磁率軟磁性膜の積層な
どを行ってもよく、単板のほか貼合せて使用することも
可能である。
(A)〜(E)の構成にのみ限定されるものではなく、
必要に応じて下地層あるいは高透磁率軟磁性膜の積層な
どを行ってもよく、単板のほか貼合せて使用することも
可能である。
【0107】上述のような光磁気記録媒体の光磁気記録
層への書き込み方法は、光ビームのほか、針型磁気ヘッ
ド、熱ペン、電子ビームなど、磁化反転を生じさせるの
に必要なエネルギーを供給できるものであればいかなる
ものであっても良いことは言うまでもない。
層への書き込み方法は、光ビームのほか、針型磁気ヘッ
ド、熱ペン、電子ビームなど、磁化反転を生じさせるの
に必要なエネルギーを供給できるものであればいかなる
ものであっても良いことは言うまでもない。
【0108】なお本発明の光磁気記録媒体を構成する光
磁気記録層は、膜面に垂直な磁化容易軸を有しているの
で、光磁気記録媒体としての用途の他にも、垂直磁気記
録膜、磁気バブルメモリーといった磁気記録材料分野、
磁気光学効果を利用した光変調器といった各種の分野に
応用できる。
磁気記録層は、膜面に垂直な磁化容易軸を有しているの
で、光磁気記録媒体としての用途の他にも、垂直磁気記
録膜、磁気バブルメモリーといった磁気記録材料分野、
磁気光学効果を利用した光変調器といった各種の分野に
応用できる。
【0109】たとえば垂直磁気記録分野では、垂直フレ
キシブルディスクの記録膜、リジット磁気ディスク用の
記録膜への利用が期待できるし、また、外部磁場のコン
トロールによりカー回転角やファラデー回転角を制御し
、反射光や透過光の光量変化によって光電池を作動させ
る光変調器への利用も期待できる。
キシブルディスクの記録膜、リジット磁気ディスク用の
記録膜への利用が期待できるし、また、外部磁場のコン
トロールによりカー回転角やファラデー回転角を制御し
、反射光や透過光の光量変化によって光電池を作動させ
る光変調器への利用も期待できる。
【0110】
【発明の効果】本発明に係る光磁気記録媒体は、その光
磁気記録層が、Pt層、Pd層または特定のPt系合金
層からなる第1薄膜と、Coまたは特定のCo系合金層
からなる第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有す
る積層体であるので、全体として、保磁力、残留磁化、
飽和磁化などの磁化特性に優れ、しかも短波長の再生光
を照射しても大きなカー回転角を示し、垂直磁気記録が
可能な多層磁気記録層を備えた光磁気記録媒体が得られ
る。また本発明の光磁気記録膜は従来のものよりも耐蝕
性に優れ、かつ熱安定性にも優れる。またCoあるいは
Ptに添加する元素の種類によってはキュリーが低下し
、また飽和磁化も下げるという利点を有する。
磁気記録層が、Pt層、Pd層または特定のPt系合金
層からなる第1薄膜と、Coまたは特定のCo系合金層
からなる第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有す
る積層体であるので、全体として、保磁力、残留磁化、
飽和磁化などの磁化特性に優れ、しかも短波長の再生光
を照射しても大きなカー回転角を示し、垂直磁気記録が
可能な多層磁気記録層を備えた光磁気記録媒体が得られ
る。また本発明の光磁気記録膜は従来のものよりも耐蝕
性に優れ、かつ熱安定性にも優れる。またCoあるいは
Ptに添加する元素の種類によってはキュリーが低下し
、また飽和磁化も下げるという利点を有する。
【0111】本願発明と同じ組成物を単一層として形成
した場合、飽和磁化が残留磁化よりも大きく、垂直磁化
膜にはならない。本願の様に多層にした時にはじめて達
成されるものである。
した場合、飽和磁化が残留磁化よりも大きく、垂直磁化
膜にはならない。本願の様に多層にした時にはじめて達
成されるものである。
【0112】
【実施例】以下本発明を実施例により説明するが、本発
明はこれら実施例に限定されるものではない。
明はこれら実施例に限定されるものではない。
【0113】
【実施例1】ガラス基板上に、ターゲットとしてPtお
よびCo95Cr5(原子%)合金を用い、同時スパッ
タリング法により、Pt層10Å、Co95Cr5(原
子%)層5Åを交互に積層した。この時ガラス基板は一
定速度で回転しており、2つのターゲット上を交互に通
過するように設定してある。各層の膜厚は、基板回転数
と2つのカソードに投入するパワーを調整することによ
り制御した。得られたCo95Cr5(原子%)/Pt
多層膜の全厚は約1000Åであった。得られた光磁気
記録媒体に波長400nmの光を基板側から入射し、カ
ー回転角(θk(400)deg)を測定したところ0
.3degであった。その際の反射率は0.65であっ
た。この光磁気記録媒体を温度80℃、相対湿度80%
の環境下に100時間放置の後、再度カー回転角を測定
したところ0.3degであった。
よびCo95Cr5(原子%)合金を用い、同時スパッ
タリング法により、Pt層10Å、Co95Cr5(原
子%)層5Åを交互に積層した。この時ガラス基板は一
定速度で回転しており、2つのターゲット上を交互に通
過するように設定してある。各層の膜厚は、基板回転数
と2つのカソードに投入するパワーを調整することによ
り制御した。得られたCo95Cr5(原子%)/Pt
多層膜の全厚は約1000Åであった。得られた光磁気
記録媒体に波長400nmの光を基板側から入射し、カ
ー回転角(θk(400)deg)を測定したところ0
.3degであった。その際の反射率は0.65であっ
た。この光磁気記録媒体を温度80℃、相対湿度80%
の環境下に100時間放置の後、再度カー回転角を測定
したところ0.3degであった。
【0114】
【実施例2】ガラス基板上に、ターゲットとしてPdお
よびCo95Cr5(原子%)合金を用い、同時スパッ
タリング法により、Pd層10Å、Co95Cr5(原
子%)層5Åを交互に積層した。得られたCo95Cr
5(原子%)/Pd多層膜の全厚は約1000Åであっ
た。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同様に
測定した。
よびCo95Cr5(原子%)合金を用い、同時スパッ
タリング法により、Pd層10Å、Co95Cr5(原
子%)層5Åを交互に積層した。得られたCo95Cr
5(原子%)/Pd多層膜の全厚は約1000Åであっ
た。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同様に
測定した。
【0115】結果を表1に示す。
【0116】
【実施例3】ガラス基板上に、ターゲットとしてCoと
Pt90Nd10(原子%)合金を用い、同時スパッタ
リング法により、Co層5Å、Pt90Nd10(原子
%)層10Åを交互に積層した。得られたCo/Pt9
0Nd10(原子%)多層膜の全厚は約1000Åであ
った。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同様
に測定した。
Pt90Nd10(原子%)合金を用い、同時スパッタ
リング法により、Co層5Å、Pt90Nd10(原子
%)層10Åを交互に積層した。得られたCo/Pt9
0Nd10(原子%)多層膜の全厚は約1000Åであ
った。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同様
に測定した。
【0117】結果を表1に示す。
【0118】
【実施例4】ガラス基板上に、ターゲットとしてPtお
よびCo70Pt30(原子%)合金を用い、同時スパ
ッタリング法により、Pt層8Å、Co70Pt30(
原子%)層5Åを交互に積層した。得られたCo70P
t30(原子%)/Pt多層膜の全厚は約1000Åで
あった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
よびCo70Pt30(原子%)合金を用い、同時スパ
ッタリング法により、Pt層8Å、Co70Pt30(
原子%)層5Åを交互に積層した。得られたCo70P
t30(原子%)/Pt多層膜の全厚は約1000Åで
あった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
【0119】結果を表1に示す。
【0120】
【実施例5】ガラス基板上に、ターゲットとしてCo1
0Pt90(原子%)合金およびCo95Cr5(原子
%)合金を用い、同時スパッタリング法により、Co1
0Pt90(原子%)層10Å、Co95Cr5(原子
%)層5Åを交互に積層した。得られたCo95Cr5
(原子%)/Co10Pt90(原子%)多層膜の全厚
は約1000Åであった。得られた光磁気記録媒体の特
性を実施例1と同様に測定した。
0Pt90(原子%)合金およびCo95Cr5(原子
%)合金を用い、同時スパッタリング法により、Co1
0Pt90(原子%)層10Å、Co95Cr5(原子
%)層5Åを交互に積層した。得られたCo95Cr5
(原子%)/Co10Pt90(原子%)多層膜の全厚
は約1000Åであった。得られた光磁気記録媒体の特
性を実施例1と同様に測定した。
【0121】結果を表1に示す。
【0122】
【実施例6】ガラス基板上に、ターゲットとしてPtお
よびCo70Pd30(原子%)合金を用い、同時スパ
ッタリング法により、Pt層11Å、Co70Pd30
(原子%)層5Åを交互に積層した。得られたPt/C
o70Pd30(原子%)多層膜の全厚は約500Åで
あった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
よびCo70Pd30(原子%)合金を用い、同時スパ
ッタリング法により、Pt層11Å、Co70Pd30
(原子%)層5Åを交互に積層した。得られたPt/C
o70Pd30(原子%)多層膜の全厚は約500Åで
あった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
【0123】結果を表1に示す。
【0124】
【実施例7】ガラス基板上に、ターゲットとしてPtお
よびCo70Pt20Pd10(原子%)合金を用い、
同時スパッタリング法により、Pt層11Å、Co70
Pt20Pd10(原子%)層5Åを交互に積層した。 得られたPt/Co70Pt20Pd10(原子%)多
層膜の全厚は約1000Åであった。得られた光磁気記
録媒体の特性を実施例1と同様に測定した。
よびCo70Pt20Pd10(原子%)合金を用い、
同時スパッタリング法により、Pt層11Å、Co70
Pt20Pd10(原子%)層5Åを交互に積層した。 得られたPt/Co70Pt20Pd10(原子%)多
層膜の全厚は約1000Åであった。得られた光磁気記
録媒体の特性を実施例1と同様に測定した。
【0125】結果を表1に示す。
【0126】
【実施例8】ガラス基板上に、ターゲットとしてPtお
よびCo95Hf5(原子%)合金を用い、同時スパッ
タリング法により、Pt層11Å、Co95Hf5(原
子%)層5Åを交互に積層した。得られたPt/Co9
5Hf5(原子%)多層膜の全厚は約1000Åであっ
た。 得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同様に測定
した。
よびCo95Hf5(原子%)合金を用い、同時スパッ
タリング法により、Pt層11Å、Co95Hf5(原
子%)層5Åを交互に積層した。得られたPt/Co9
5Hf5(原子%)多層膜の全厚は約1000Åであっ
た。 得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同様に測定
した。
【0127】結果を表1に示す。
【0128】
【実施例9】ガラス基板上に、ターゲットとしてPdお
よびCo90Tb10(原子%)合金を用い、同時スパ
ッタリング法により、Pd層11Å、Co90Tb10
(原子%)層5Åを交互に積層した。得られたPd/C
o90Tb10(原子%)多層膜の全厚は約500Åで
あった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
よびCo90Tb10(原子%)合金を用い、同時スパ
ッタリング法により、Pd層11Å、Co90Tb10
(原子%)層5Åを交互に積層した。得られたPd/C
o90Tb10(原子%)多層膜の全厚は約500Åで
あった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
【0129】結果を表1に示す。
【0130】
【実施例10】ガラス基板上に、ターゲットとしてPd
およびCo90Gd10(原子%)合金を用い、同時ス
パッタリング法により、Pd層11Å、Co90Gd1
0(原子%)層5Åを交互に積層した。得られたPd/
Co90Gd10(原子%)多層膜の全厚は約500Å
であった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と
同様に測定した。
およびCo90Gd10(原子%)合金を用い、同時ス
パッタリング法により、Pd層11Å、Co90Gd1
0(原子%)層5Åを交互に積層した。得られたPd/
Co90Gd10(原子%)多層膜の全厚は約500Å
であった。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と
同様に測定した。
【0131】結果を表1に示す。
【0132】
【実施例11】ガラス基板上に、ターゲットとしてCo
70Pt25Ti5(原子%)合金およびCo70Pt
20Tb10(原子%)合金を用い、同時スパッタリン
グ法により、Co70Pt25Ti5(原子%)層11
Å、Co70Pt20Tb10(原子%)層5Åを交互
に積層した。得られたCo70Pt25Ti5(原子%
)/Co70Pt20Tb10(原子%)多層膜の全厚
は約500Åであった。得られた光磁気記録媒体の特性
を実施例1と同様に測定した。
70Pt25Ti5(原子%)合金およびCo70Pt
20Tb10(原子%)合金を用い、同時スパッタリン
グ法により、Co70Pt25Ti5(原子%)層11
Å、Co70Pt20Tb10(原子%)層5Åを交互
に積層した。得られたCo70Pt25Ti5(原子%
)/Co70Pt20Tb10(原子%)多層膜の全厚
は約500Åであった。得られた光磁気記録媒体の特性
を実施例1と同様に測定した。
【0133】結果を表1に示す。
【0134】
【実施例12】ガラス基板上に、ターゲットとしてPt
およびCo80Pt15Cr5(原子%)合金を用い、
同時スパッタリング法により、Pt層11Å、Co80
Pt15Cr5(原子%)層5Åを交互に積層した。得
られたPt/Co80Pt15Cr5(原子%)多層膜
の全厚は約500Åであった。得られた光磁気記録媒体
の特性を実施例1と同様に測定した。
およびCo80Pt15Cr5(原子%)合金を用い、
同時スパッタリング法により、Pt層11Å、Co80
Pt15Cr5(原子%)層5Åを交互に積層した。得
られたPt/Co80Pt15Cr5(原子%)多層膜
の全厚は約500Åであった。得られた光磁気記録媒体
の特性を実施例1と同様に測定した。
【0135】結果を表1に示す。
【0136】
【実施例13】ガラス基板上に、ターゲットとしてPt
70Pd30(原子%)合金およびCo95Cr5(原
子%)合金を用い、同時スパッタリング法により、Pt
70Pd30(原子%)層11Å、Co95Cr5(原
子%)層5Åを交互に積層した。得られたCo95Cr
5(原子%)/Co95Cr5(原子%)多層膜の全厚
は約500Åであった。得られた光磁気記録媒体の特性
を実施例1と同様に測定した。
70Pd30(原子%)合金およびCo95Cr5(原
子%)合金を用い、同時スパッタリング法により、Pt
70Pd30(原子%)層11Å、Co95Cr5(原
子%)層5Åを交互に積層した。得られたCo95Cr
5(原子%)/Co95Cr5(原子%)多層膜の全厚
は約500Åであった。得られた光磁気記録媒体の特性
を実施例1と同様に測定した。
【0137】結果を表1に示す。
【0138】
【比較例1】ガラス基板上に、スパッタリング法により
、ターゲットとしてTb20Fe80(原子%)を用い
、厚さ2000ÅのTb20Fe80(原子%)層を被
着した。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
、ターゲットとしてTb20Fe80(原子%)を用い
、厚さ2000ÅのTb20Fe80(原子%)層を被
着した。得られた光磁気記録媒体の特性を実施例1と同
様に測定した。
【0139】結果を表1に示す。
【0140】
【比較例2】ガラス基板上に、スパッタリング法により
、ターゲットとしてTb20Fe65Co15(原子%
)を用い、厚さ2000ÅのTb19Fe65Co16
(原子%)層を被着した。得られた光磁気記録媒体の特
性を実施例1と同様に測定した。
、ターゲットとしてTb20Fe65Co15(原子%
)を用い、厚さ2000ÅのTb19Fe65Co16
(原子%)層を被着した。得られた光磁気記録媒体の特
性を実施例1と同様に測定した。
【0141】結果を表1に示す。
【0142】
【表1】
Claims (7)
- 【請求項1】光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体にお
いて、該光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜
と第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層
体であり、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM
1(ただし、M1はPd、Pt、CrまたはHfを表す
。)からなることを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項2】光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体にお
いて、該光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜
と第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層
体であり、第1薄膜がPtからなり、第2薄膜がCoM
2M3(ただし、M2はPtおよびPdから選ばれる少
なくとも1種の元素を表し、M3は下記(a)〜(h)
よりなる群から選ばれる少なくとも1種の元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): Pd以外の4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項3】光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体にお
いて、該光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜
と第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層
体であり、第1薄膜がPtM4(ただし、M4はPdお
よびAuから選ばれる少なくとも1種の元素を表す。)
からなり、第2薄膜がCoM5(ただし、M5は下記(
a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の
元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): 5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項4】光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体にお
いて、該光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜
と第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層
体であり、第1薄膜がPdからなり、第2薄膜がCoM
6(ただし、M6はGd、Dy、Tb、Nd、Cr、Z
r、Hf、TaおよびAlから選ばれる少なくとも1種
の元素を表す。)からなることを特徴とする光磁気記録
媒体。 - 【請求項5】光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体にお
いて、該光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜
と第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層
体であり、第1薄膜がCoPtM7(ただし、M7は下
記(a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1
種の元素を表す。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素)からなり、第2薄膜がCo
PtM8(ただし、M8は下記(a)〜(h)よりなる
群から選ばれる少なくとも1種の元素を表し、かつ前記
M7とは異なる。 (a): Co以外の3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなる
ことを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項6】光磁気記録層を備えた光磁気記録媒体にお
いて、該光磁気記録層が、互いに組成の異なる第1薄膜
と第2薄膜とが交互に積層された周期構造を有する積層
体であり、第1薄膜がPtM9(ただし、M9は下記(
a)〜(h)よりなる群から選ばれる少なくとも1種の
元素を表す。 (a): 3d遷移元素 (b): 4d遷移元素 (c): Pt以外の5d遷移元素 (d): 希土類元素 (e): IIIB族元素 (f): IVB族元素 (g): VB族元素 (h): VIB族元素 )からなり
、第2薄膜がCoからなることを特徴とする光磁気記録
媒体。 - 【請求項7】前記第1薄膜の膜厚が5〜25Åであり、
前記第2薄膜の膜厚が3〜15Åであり、前記磁気記録
層の全厚が50〜1200Åであることを特徴とする請
求項1〜請求項6のいずれかに記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9284491A JPH04218906A (ja) | 1990-03-29 | 1991-03-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8234290 | 1990-03-29 | ||
JP2-82342 | 1990-03-29 | ||
JP9284491A JPH04218906A (ja) | 1990-03-29 | 1991-03-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04218906A true JPH04218906A (ja) | 1992-08-10 |
Family
ID=26423374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9284491A Pending JPH04218906A (ja) | 1990-03-29 | 1991-03-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04218906A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11939663B2 (en) * | 2018-08-09 | 2024-03-26 | Jx Metals Corporation | Magnetic film and perpendicular magnetic recording medium |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP9284491A patent/JPH04218906A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11939663B2 (en) * | 2018-08-09 | 2024-03-26 | Jx Metals Corporation | Magnetic film and perpendicular magnetic recording medium |
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