JPH04193704A - 銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法 - Google Patents
銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法Info
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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- C01B15/037—Stabilisation by additives
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法に関
する。
する。
（従来の技術とその課題）
酸性過酸化水素水溶液は、銅および銅合金材料の化学的
な溶解剤として、すぐれた溶解力を有することが知られ
ており、銅及び銅合金のピックリング、エツチング、ケ
ミカルポリッシング等に広く利用されている。しかし過
酸化水素は分解しやすい化合物であり、特に銅イオンの
存在において触媒的に分解する。乙のため、酸性過酸化
水素水溶液を銅および銅合金の化学的な溶解処理に使用
する場合、銅が溶解し、液中に銅イオンが蓄積されると
、過酸化水素の分解が促進され、過酸化水素の有効利用
率が著しく低下し、不経済となる欠点がある。
な溶解剤として、すぐれた溶解力を有することが知られ
ており、銅及び銅合金のピックリング、エツチング、ケ
ミカルポリッシング等に広く利用されている。しかし過
酸化水素は分解しやすい化合物であり、特に銅イオンの
存在において触媒的に分解する。乙のため、酸性過酸化
水素水溶液を銅および銅合金の化学的な溶解処理に使用
する場合、銅が溶解し、液中に銅イオンが蓄積されると
、過酸化水素の分解が促進され、過酸化水素の有効利用
率が著しく低下し、不経済となる欠点がある。
かかる欠点を改良するために従来からフェノール、飽和
脂肪族アルコール等種々の化合物の添加が試みられてい
るが、使用目的等によっては、更に効果的な新しい安定
化法の開発が望まれている。
脂肪族アルコール等種々の化合物の添加が試みられてい
るが、使用目的等によっては、更に効果的な新しい安定
化法の開発が望まれている。
本発明の目的は少量の添加ですぐれた安定化効果を示す
新しい添加剤を用いることによる銅を含む酸性過酸化水
素水溶液の安定化法を提供することにある。
新しい添加剤を用いることによる銅を含む酸性過酸化水
素水溶液の安定化法を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、過酸化水素を触媒的に分解させろ銅イオンを
含有する酸性過酸化水素水溶液に式 但しＡｒは芳香族基を示す、で表わされる芳香族核をも
つアミノ酸を添加することを特徴とする銅を含む酸性過
酸化水素水溶液の安定化法にある。
含有する酸性過酸化水素水溶液に式 但しＡｒは芳香族基を示す、で表わされる芳香族核をも
つアミノ酸を添加することを特徴とする銅を含む酸性過
酸化水素水溶液の安定化法にある。
銅（銅合金を包含する）の化学的な溶解処理に用いる酸
性過酸化水素水溶液は通常過酸化水素を１０−１５０ｇ
／ｌ、酸を１０〜２００ ｇ／Ｊ程度含む。酸としては
硫酸が一般的だが、硝酸、リン酸等の鉱酸も有用である
。
性過酸化水素水溶液は通常過酸化水素を１０−１５０ｇ
／ｌ、酸を１０〜２００ ｇ／Ｊ程度含む。酸としては
硫酸が一般的だが、硝酸、リン酸等の鉱酸も有用である
。
本発明はかかる酸性過酸化水素水溶液に銅イオンが蓄積
される乙とによって過酸化水素が分解されるのを特定構
造のアミノ酸を添加することによって防止するものであ
る。
される乙とによって過酸化水素が分解されるのを特定構
造のアミノ酸を添加することによって防止するものであ
る。
添加するアミノ酸は前記した一般式をもつものであり、
−般式中、Ａｒの芳香族基としては、炭素芳香族基、異
部芳香族基のいずれでもよいが、フェニル基又はオキシ
フェニル基、アルキルフェニル基等の置換フェニル基、
インドール基等が好ましい。
−般式中、Ａｒの芳香族基としては、炭素芳香族基、異
部芳香族基のいずれでもよいが、フェニル基又はオキシ
フェニル基、アルキルフェニル基等の置換フェニル基、
インドール基等が好ましい。
本発明の添加剤は通常酸性過酸化水素水溶液に対し０．
０１ｇ／１以上添加する。上限には特に制限はないが通
常５０ｇ／ρ以下で十分であり、一般的には０１〜１０
ｇ／Ｎ程度用いられる。
０１ｇ／１以上添加する。上限には特に制限はないが通
常５０ｇ／ρ以下で十分であり、一般的には０１〜１０
ｇ／Ｎ程度用いられる。
かくして銅が溶解して銅イオンが蓄積した場合でも過酸
化水素の分解を効果的に抑制することができ、銅材料の
化学的溶解剤としての酸性過酸化水素水溶液の使用を一
層経済的にすることが可能となる。
化水素の分解を効果的に抑制することができ、銅材料の
化学的溶解剤としての酸性過酸化水素水溶液の使用を一
層経済的にすることが可能となる。
次に実施例及び比較例により本発明の効果を例証する。
実施例ｌ
Ｈ２Ｏ２１００ｇ／ｌ、Ｈ２Ｓｏ４１５０ｇ／ｊ’、Ｃ
ｕＳＯ４−５Ｈ２Ｏ１５９ｇ／ｌを含む５０℃の水溶液
に芳香族核をもつアミノ酸を添加して、過酸化水素の分
解量を測定した結果を表１に示す。
ｕＳＯ４−５Ｈ２Ｏ１５９ｇ／ｌを含む５０℃の水溶液
に芳香族核をもつアミノ酸を添加して、過酸化水素の分
解量を測定した結果を表１に示す。
表１
比較例１
実施例１と同様の条件下の水溶液に、その他下記に示す
物質を添加した場合の過酸化水素の分解量を測定した結
果を表２に示す。
物質を添加した場合の過酸化水素の分解量を測定した結
果を表２に示す。
上記から本発明の添加剤が他のアミノ酸又はその類似物
に比し顕著に優れた安定化効果を示すことがわかる。
に比し顕著に優れた安定化効果を示すことがわかる。
実施例２
Ｈ２Ｏ２７０ｇ／ｎ、ＨＮｏ、３０ ｇ／ｌ、ＣｕＳＯ
４−５Ｈ２０Ｌ５９ ｇ／ｌ 、チロシン１ｇ／Ｉ！を
含む水溶液の３０℃における過酸化水素の分解量は０．
２２ｇ ／ １−ｍ１ｎてあった。チロシン無添加で、
同一条件での過酸化水素の分解量は６．７ｇ／ １−ｍ
１ｎであった。故に過酸化水素の分解量は無添加の場合
の１／３０程度にすぎなかった。
４−５Ｈ２０Ｌ５９ ｇ／ｌ 、チロシン１ｇ／Ｉ！を
含む水溶液の３０℃における過酸化水素の分解量は０．
２２ｇ ／ １−ｍ１ｎてあった。チロシン無添加で、
同一条件での過酸化水素の分解量は６．７ｇ／ １−ｍ
１ｎであった。故に過酸化水素の分解量は無添加の場合
の１／３０程度にすぎなかった。
４一
実施例３
Ｈ２Ｏ２１００ｇ、７’ｌ！、 Ｈ２ＰＯ４５０ｇ／ｊ
！、 ＣＣｕＳＯ４−５ＨＯ１５９／Ｎ、フェニルアラ
ニンｌｏｇ／ｌを含む水溶液の６０℃における過酸化水
素の分解量は０．２５ｇ／Ｊ・ｍ１ｎであった。フェニ
ルアラニン無添加で、同一条件での過酸化水素の分解量
は５．８ｇ ／ ｊ！−ｍｉｎであツｔコ。故に過酸化
水素の分解量は無添加の場合の］／２３程度にすぎなか
った。
！、 ＣＣｕＳＯ４−５ＨＯ１５９／Ｎ、フェニルアラ
ニンｌｏｇ／ｌを含む水溶液の６０℃における過酸化水
素の分解量は０．２５ｇ／Ｊ・ｍ１ｎであった。フェニ
ルアラニン無添加で、同一条件での過酸化水素の分解量
は５．８ｇ ／ ｊ！−ｍｉｎであツｔコ。故に過酸化
水素の分解量は無添加の場合の］／２３程度にすぎなか
った。
、゛、
特許出願人 東海電化工業株式会社 ・。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 過酸化水素を触媒的に分解させる銅イオンを含有する酸
性過酸化水素水溶液に式 ▲数式、化学式、表等があります▼ 但しＡｒは芳香族基を示す、で表わされる芳香族核をも
つアミノ酸を添加することを特徴とする銅を含む酸性過
酸化水素水溶液の安定化法。
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|---|---|---|---|
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| KR1019910020751A KR920009692A (ko) | 1990-11-27 | 1991-11-20 | 동을 함유하고 있는 산성과 산화수소 수용액의 안정화법 |
| US07/798,591 US5211927A (en) | 1990-11-27 | 1991-11-26 | Method for stabilizing acidic aqueous hydrogen peroxide solution containing copper |
| CA002056242A CA2056242A1 (en) | 1990-11-27 | 1991-11-26 | Method for stabilizing acidic aqueous hydrogen peroxide solution containing copper |
| DE69105187T DE69105187T2 (de) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | Verfahren zum Stabilisieren einer Kupfer enthaltenden saurenwässrigen Wasserstoffperoxidlösung. |
| EP91310915A EP0488671B1 (en) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | Method for stabilizing acidic aqueous hydrogen peroxide solution containing copper |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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- 1991-11-20 KR KR1019910020751A patent/KR920009692A/ko active IP Right Grant
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1992
- 1992-02-17 TW TW081101125A patent/TW205540B/zh active
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| US5211927A (en) | 1993-05-18 |
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