JPH04170336A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH04170336A JPH04170336A JP29926990A JP29926990A JPH04170336A JP H04170336 A JPH04170336 A JP H04170336A JP 29926990 A JP29926990 A JP 29926990A JP 29926990 A JP29926990 A JP 29926990A JP H04170336 A JPH04170336 A JP H04170336A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- combustion
- deposition
- burners
- combustion burners
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 42
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 21
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 12
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- -1 etc.) Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、一般に外付は法と呼ばれる光ファイバ母材の
製造方法のうち、複数本の燃焼バーナをターゲット部材
の軸方向に一方向から複数回トラバースさせて、ガラス
微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造方法に関する
ものである。
製造方法のうち、複数本の燃焼バーナをターゲット部材
の軸方向に一方向から複数回トラバースさせて、ガラス
微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造方法に関する
ものである。
このような燃焼バーナのトラバース方式による光ファイ
バ母材の製造にあたっては、ターゲット部材外周に燃焼
バーナ先端を対峙させ、ターゲット部材を回転させなが
ら、この燃焼バーナを当該ターゲット部材の軸方向に沿
って移動させつつガラス微粒子を堆積させる堆積工程と
、この堆積工程の終了後、堆積終了位置から堆積開始位
置に戻る間、すなわち帰還工程があり、通常、この帰還
工程では、燃焼ガス(Hzガス)や助燃ガス(02ガス
)の流量を減少させ、再度、堆積開始位置に達したとき
、所望流量にする制御方法が行われている。
バ母材の製造にあたっては、ターゲット部材外周に燃焼
バーナ先端を対峙させ、ターゲット部材を回転させなが
ら、この燃焼バーナを当該ターゲット部材の軸方向に沿
って移動させつつガラス微粒子を堆積させる堆積工程と
、この堆積工程の終了後、堆積終了位置から堆積開始位
置に戻る間、すなわち帰還工程があり、通常、この帰還
工程では、燃焼ガス(Hzガス)や助燃ガス(02ガス
)の流量を減少させ、再度、堆積開始位置に達したとき
、所望流量にする制御方法が行われている。
ところが、このような帰還工程時においては、供給流量
を減少させても、助燃ガス(Otガス)は僅かながら供
給され、その流速が遅いことによりバーナ先端部での燃
焼反応がかえって助長されてしまう傾向があり、この結
果、バーナ先端の赤熱化(高温化)は避けられず、バー
ナ寿命の短縮化を招いていた。 本発明は、このような実情に鑑みて行われたものである
。
を減少させても、助燃ガス(Otガス)は僅かながら供
給され、その流速が遅いことによりバーナ先端部での燃
焼反応がかえって助長されてしまう傾向があり、この結
果、バーナ先端の赤熱化(高温化)は避けられず、バー
ナ寿命の短縮化を招いていた。 本発明は、このような実情に鑑みて行われたものである
。
か−る本発明の特徴とする点は、混合ガスの燃焼により
ガラス微粒子を堆積させる燃焼バーナを回転するターゲ
ット部材の軸方向に一方向から複数回トラバースさせて
、該ターゲット部材の周囲にガラス微粒子堆積層を形成
してガラス微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造方
法であって、前記燃焼バーナが堆積終了位置から堆積開
始位置に移動する間、前記燃焼バーナの助燃ガスの供給
を停止させる光ファイバ母材の製造方法にある。
ガラス微粒子を堆積させる燃焼バーナを回転するターゲ
ット部材の軸方向に一方向から複数回トラバースさせて
、該ターゲット部材の周囲にガラス微粒子堆積層を形成
してガラス微粒子堆積体を得る光ファイバ母材の製造方
法であって、前記燃焼バーナが堆積終了位置から堆積開
始位置に移動する間、前記燃焼バーナの助燃ガスの供給
を停止させる光ファイバ母材の製造方法にある。
このように本発明では、燃焼バーナの帰還工程時におい
て、助燃ガス(02ガス)の供給が完全に停止されるた
め、バーナ火炎は外気中の酸素により燃焼そのものは維
持するものの、助燃ガスノズル先端部の火力が大幅に低
下し、燃焼バーナ先端の赤熱化(高温化)が効果的に防
止される。
て、助燃ガス(02ガス)の供給が完全に停止されるた
め、バーナ火炎は外気中の酸素により燃焼そのものは維
持するものの、助燃ガスノズル先端部の火力が大幅に低
下し、燃焼バーナ先端の赤熱化(高温化)が効果的に防
止される。
第1図〜第2図は本発明に係る光ファイバ母材の製造方
法を実施するための装置系の一例を示した各概略説明図
である。 図において、1はターゲット部材で、これはチャンバ2
内に収納され、その両端がガラス旋盤などで回転自在に
支持されている。なお、このターゲット部材1は、後の
工程で除去されたりあるいは光ファイバ母材のコアとな
る棒材からなる。 上記チャンバ2の一方(図中、右下側)には、内部のタ
ーゲット部材1の軸方向に沿って、開口部2aが設けて
あり、また、反対側の他方(図中、左上側)には、燃焼
ガスなどが排気される排気部2bが設けである。 このチャンバ2の開口部2aには、複数のガラス微粒子
合成用の燃焼バーナ3・・・ (例えば、2本を1組と
して、4組み(8本)のバーナ)が配置してあり、これ
らの燃焼バーナ3・・・は、外部のトラバース手段(図
示省略)により、図中の区間(A−+B−C−4D→A
)をトラバースして循環するようになっている。 そして、また、これらの各燃焼バーナ3・・・には、燃
焼ガス(Htガス)、助燃ガス(0□ガス)、不活性ガ
ス(Arガスなど)、原料ガス(SiCj!aなど)の
混合ガスが供給されるようになっている。 このような装置系を用いて、本発明方法を実施するには
、先ず、ターゲット部材1を回転させると共に、このタ
ーゲット部材1の外周に対峙した上記各燃焼バーナ3・
・・を燃焼させながら、図中A点の堆積開始位置から図
中B点の堆積終了位置にかけてトラバースさせる。 このA−Bの区間が、燃焼バーナ3の堆積工程Xで、こ
のとき、火炎4中で生じたガラス微粒子は、ターゲット
部材1の外周にガラス微粒子堆積層5として次第に堆積
されていく。 したがって、もちろん、この堆積工程Xには、第2図に
示したようにすべてのガス供給通路のバルブは開成状態
に置かれる。 この堆積工程Xが終了すると、上記外部のトラバース手
段の駆動により、燃焼バーナ3をターゲット部材1およ
びチャンバ2の開口部2aから退避させ、堆積終了位置
のB点から0点、D点を経由して堆積開始位置のA点に
至る帰還工程Yに入る。 この工程Y中には、ガラス微粒子の堆積がないため、原
料ガス(SiC14など)の供給を止めることはもちろ
んであるが、本発明方法では、第2図に示したようにこ
の原料ガスの供給通路と助燃ガス(02ガス)の供給通
路とのバルブを閉塞状態にしである。もちろん、燃焼ガ
ス(H2ガス)の供給量を大幅に減少させである。 したがって、この帰還工程時の燃焼バーナ3にあっては
、例えば外気中の酸素の取り込みにより種火的な燃焼は
維持されるものの、第2図に示したように火力(より詳
しくは助燃ガスノズルの先端部の火力)が大幅にダウン
した火炎4aとして維持される。 このため、燃焼バーナ3のノズル先端の赤熱化(高温化
)が効果的に防止される。 二の帰還工程Yから、堆積工程Xの堆積開始位置Aに至
ったとき、自動的に上記閉塞されている原料ガスと助燃
ガスの供給通路を開成させれば、燃焼バーナ3は、堆積
工程時の本来の火炎4に戻り、上述した堆積工程が開始
させれる。 このトラバースの循環を複数回繰り返すことにより、ガ
ラス微粒子堆積層5は、次第に堆積、成長して、所望径
のガラス微粒子堆積体6が得られる。 この多孔質体からなるガラス微粒子堆積体6をチャンバ
2中から取り出し、その後、高温の加熱炉中で熱処理す
れば、透明ガラス化して、目的とする光ファイバ母材が
得られる。 なお、上記実施例では、チャンバ2の開口部2aに複数
の燃焼バーナ3・・・を配置してトラバースさせる構成
であったが、チャンバ2の構造は、これに限定されず、
大きな開口部2aではなく、単に燃焼バーナ3の出入り
できるスリット(間隙)を有するチャンバなどであって
もよい。また、基本的に密閉構造としたチャンバであっ
てもよい。さらに、上記実施例では、帰還工程時の燃焼
バーナ3の火炎は、種火的な燃焼を維持して、堆積工程
に対応し易くした構成であったが、堆積工程Xの堆積開
始位置Aの直前に自動点火する手段を設けておけば、帰
還工程時において完全な燃焼停止状態としてトラバース
させることも可能である。
法を実施するための装置系の一例を示した各概略説明図
である。 図において、1はターゲット部材で、これはチャンバ2
内に収納され、その両端がガラス旋盤などで回転自在に
支持されている。なお、このターゲット部材1は、後の
工程で除去されたりあるいは光ファイバ母材のコアとな
る棒材からなる。 上記チャンバ2の一方(図中、右下側)には、内部のタ
ーゲット部材1の軸方向に沿って、開口部2aが設けて
あり、また、反対側の他方(図中、左上側)には、燃焼
ガスなどが排気される排気部2bが設けである。 このチャンバ2の開口部2aには、複数のガラス微粒子
合成用の燃焼バーナ3・・・ (例えば、2本を1組と
して、4組み(8本)のバーナ)が配置してあり、これ
らの燃焼バーナ3・・・は、外部のトラバース手段(図
示省略)により、図中の区間(A−+B−C−4D→A
)をトラバースして循環するようになっている。 そして、また、これらの各燃焼バーナ3・・・には、燃
焼ガス(Htガス)、助燃ガス(0□ガス)、不活性ガ
ス(Arガスなど)、原料ガス(SiCj!aなど)の
混合ガスが供給されるようになっている。 このような装置系を用いて、本発明方法を実施するには
、先ず、ターゲット部材1を回転させると共に、このタ
ーゲット部材1の外周に対峙した上記各燃焼バーナ3・
・・を燃焼させながら、図中A点の堆積開始位置から図
中B点の堆積終了位置にかけてトラバースさせる。 このA−Bの区間が、燃焼バーナ3の堆積工程Xで、こ
のとき、火炎4中で生じたガラス微粒子は、ターゲット
部材1の外周にガラス微粒子堆積層5として次第に堆積
されていく。 したがって、もちろん、この堆積工程Xには、第2図に
示したようにすべてのガス供給通路のバルブは開成状態
に置かれる。 この堆積工程Xが終了すると、上記外部のトラバース手
段の駆動により、燃焼バーナ3をターゲット部材1およ
びチャンバ2の開口部2aから退避させ、堆積終了位置
のB点から0点、D点を経由して堆積開始位置のA点に
至る帰還工程Yに入る。 この工程Y中には、ガラス微粒子の堆積がないため、原
料ガス(SiC14など)の供給を止めることはもちろ
んであるが、本発明方法では、第2図に示したようにこ
の原料ガスの供給通路と助燃ガス(02ガス)の供給通
路とのバルブを閉塞状態にしである。もちろん、燃焼ガ
ス(H2ガス)の供給量を大幅に減少させである。 したがって、この帰還工程時の燃焼バーナ3にあっては
、例えば外気中の酸素の取り込みにより種火的な燃焼は
維持されるものの、第2図に示したように火力(より詳
しくは助燃ガスノズルの先端部の火力)が大幅にダウン
した火炎4aとして維持される。 このため、燃焼バーナ3のノズル先端の赤熱化(高温化
)が効果的に防止される。 二の帰還工程Yから、堆積工程Xの堆積開始位置Aに至
ったとき、自動的に上記閉塞されている原料ガスと助燃
ガスの供給通路を開成させれば、燃焼バーナ3は、堆積
工程時の本来の火炎4に戻り、上述した堆積工程が開始
させれる。 このトラバースの循環を複数回繰り返すことにより、ガ
ラス微粒子堆積層5は、次第に堆積、成長して、所望径
のガラス微粒子堆積体6が得られる。 この多孔質体からなるガラス微粒子堆積体6をチャンバ
2中から取り出し、その後、高温の加熱炉中で熱処理す
れば、透明ガラス化して、目的とする光ファイバ母材が
得られる。 なお、上記実施例では、チャンバ2の開口部2aに複数
の燃焼バーナ3・・・を配置してトラバースさせる構成
であったが、チャンバ2の構造は、これに限定されず、
大きな開口部2aではなく、単に燃焼バーナ3の出入り
できるスリット(間隙)を有するチャンバなどであって
もよい。また、基本的に密閉構造としたチャンバであっ
てもよい。さらに、上記実施例では、帰還工程時の燃焼
バーナ3の火炎は、種火的な燃焼を維持して、堆積工程
に対応し易くした構成であったが、堆積工程Xの堆積開
始位置Aの直前に自動点火する手段を設けておけば、帰
還工程時において完全な燃焼停止状態としてトラバース
させることも可能である。
以上の説明から明らかなように本発明に係る光ファイバ
母材の製造方法によれば、帰還工程時において、燃焼ガ
スの供給量を下げる際、助燃ガスの供給を停止させるも
のであるため、バーナノズル先端での火力が大幅に低下
し、燃焼バーナ先端の赤熱化(高温化)が効果的に防止
される。したがって、燃焼バーナの寿命の大幅な向上を
達成することができる。
母材の製造方法によれば、帰還工程時において、燃焼ガ
スの供給量を下げる際、助燃ガスの供給を停止させるも
のであるため、バーナノズル先端での火力が大幅に低下
し、燃焼バーナ先端の赤熱化(高温化)が効果的に防止
される。したがって、燃焼バーナの寿命の大幅な向上を
達成することができる。
第1図は本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するための装置系の一例を示した概略斜視図、第2図は
第1図の縦断面図である。 図中、 1・・・・・ターゲット部材、 2・・・・・チャンバ、 3・・・・・燃焼バーナ、 4・・・・・火炎、 4a・・・・帰還工程時の火炎、 5・・・・・ガラス微粒子堆積層、 6・・・・・ガラス微粒子堆積体、 特許出願人 藤倉電線株式会社 第1図
するための装置系の一例を示した概略斜視図、第2図は
第1図の縦断面図である。 図中、 1・・・・・ターゲット部材、 2・・・・・チャンバ、 3・・・・・燃焼バーナ、 4・・・・・火炎、 4a・・・・帰還工程時の火炎、 5・・・・・ガラス微粒子堆積層、 6・・・・・ガラス微粒子堆積体、 特許出願人 藤倉電線株式会社 第1図
Claims (1)
- 混合ガスの燃焼によりガラス微粒子を堆積させる燃焼
バーナを回転するターゲット部材の軸方向に一方向から
複数回トラバースさせて、該ターゲット部材の周囲にガ
ラス微粒子堆積層を形成してガラス微粒子堆積体を得る
光ファイバ母材の製造方法であって、前記燃焼バーナが
堆積終了位置から堆積開始位置に移動する間、前記燃焼
バーナの助燃ガスの供給を停止させることを特徴とする
光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29926990A JP2881624B2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29926990A JP2881624B2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04170336A true JPH04170336A (ja) | 1992-06-18 |
JP2881624B2 JP2881624B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=17870358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29926990A Expired - Fee Related JP2881624B2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2881624B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
US20130074552A1 (en) * | 2010-05-27 | 2013-03-28 | Fujikura Ltd. | Apparatus and method for manufacturing optical fiber preform |
US8869565B2 (en) | 2011-05-02 | 2014-10-28 | Fujikura Ltd. | Method and apparatus of producing optical fiber preform |
-
1990
- 1990-11-05 JP JP29926990A patent/JP2881624B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
US20130074552A1 (en) * | 2010-05-27 | 2013-03-28 | Fujikura Ltd. | Apparatus and method for manufacturing optical fiber preform |
US8997527B2 (en) | 2010-05-27 | 2015-04-07 | Fujikura Ltd. | Apparatus and method for manufacturing optical fiber preform |
US8869565B2 (en) | 2011-05-02 | 2014-10-28 | Fujikura Ltd. | Method and apparatus of producing optical fiber preform |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2881624B2 (ja) | 1999-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH039047B2 (ja) | ||
US8997527B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing optical fiber preform | |
CA1233080A (en) | Method of fabricating optical fiber preforms | |
JPH0686300B2 (ja) | すす状シリカ体及びその製造方法 | |
JP5793338B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法及び製造装置 | |
JPH04170336A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
US4682994A (en) | Process and apparatus for forming optical fiber preform | |
JP2873080B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置 | |
GB2106631A (en) | Torch for heating | |
US7441417B2 (en) | Outside vapor deposition apparatus for making optical fiber preform | |
JPH1179774A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
JPS6168330A (ja) | 光学ガラス微粒子の生成方法 | |
JP2846048B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
JPS6259063B2 (ja) | ||
JPS6011241A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JPS62162646A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
KR860001979B1 (ko) | 광파이버 모재의 제조방법 | |
JPS62207734A (ja) | ガラス微粒子の堆積方法 | |
JPS60264336A (ja) | 光学系ガラス母材の製造方法 | |
JPH08104534A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH04160027A (ja) | 光ファイバ用バーナおよび光ファイバ母材の製造方法 | |
CN115893829A (zh) | 光纤预制棒的气相沉淀方法及装置 | |
JPH02172839A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH07267671A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPS60166243A (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090205 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |