JPH04169415A - 磁気浮上式搬送装置 - Google Patents
磁気浮上式搬送装置Info
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- JPH04169415A JPH04169415A JP29339590A JP29339590A JPH04169415A JP H04169415 A JPH04169415 A JP H04169415A JP 29339590 A JP29339590 A JP 29339590A JP 29339590 A JP29339590 A JP 29339590A JP H04169415 A JPH04169415 A JP H04169415A
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、台車が搬送路に沿って浮上した状態で走行
して、物品等の搬送を行う磁気浮上式搬送装置に関する
。
して、物品等の搬送を行う磁気浮上式搬送装置に関する
。
「従来の技術」
近年、半導体集積回路の高集積化、極微細化逸こ伴い、
それを製造するクリーンルームζこζよ高り1ノ一ン度
が要求されている。このようなりI)−ンル−ム内にお
いて、ンリコンウエ/%等を搬送する搬送装置には、塵
埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上し
た状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送装
置が理想的であるとして、注目を集めている。
それを製造するクリーンルームζこζよ高り1ノ一ン度
が要求されている。このようなりI)−ンル−ム内にお
いて、ンリコンウエ/%等を搬送する搬送装置には、塵
埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上し
た状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送装
置が理想的であるとして、注目を集めている。
第3図〜第6図は、従来の磁気浮上式搬送装置の一例を
示す図である。これらの図におL)て、1は搬送路に沿
って設けられた箱状のフレームであり、その上面には、
搬送路に沿って延びる開口部laが形成されている。こ
のフレームlの天井面には、鋼材によって構成された1
対の浮上用レール2L、2Rが搬送路に沿って各々架設
されており、また、同様にフレームlの左右の内側面ζ
こも、鋼材によって構成された1対の案内用レール3L
。
示す図である。これらの図におL)て、1は搬送路に沿
って設けられた箱状のフレームであり、その上面には、
搬送路に沿って延びる開口部laが形成されている。こ
のフレームlの天井面には、鋼材によって構成された1
対の浮上用レール2L、2Rが搬送路に沿って各々架設
されており、また、同様にフレームlの左右の内側面ζ
こも、鋼材によって構成された1対の案内用レール3L
。
3Rが各々架設されている。5は搬送路上を走行する台
車であり、この台車5には、浮上用レール2L、2Hの
各下面と各々対向する4個の浮上/案内用14磁石7a
〜7dと、案内用レール3L、3Rの各側面と各々対向
する4個の案内用電磁石8a〜8dとが設けられている
。さらに、図示しないが、充電式のバッテリと、浮上/
案内用電磁石711〜7dと浮上用レール2L、2Rの
各下面との間の垂直ギャップGy、および案内用電磁石
88〜8dと案内用レール3L、3Rの各側面との間の
水平ギャップGhを各々検出するギャップセンサと、こ
れらのギャップセンサの検出信号に基づいて、バッテリ
ーから浮上/案内用電磁石78〜7dおよび案内用電磁
石88〜8dに各々供給される励磁電流を制御し、垂直
ギャップGvおよび水平ギャップGhを常に一定とする
電流制御回路とが設けられている。
車であり、この台車5には、浮上用レール2L、2Hの
各下面と各々対向する4個の浮上/案内用14磁石7a
〜7dと、案内用レール3L、3Rの各側面と各々対向
する4個の案内用電磁石8a〜8dとが設けられている
。さらに、図示しないが、充電式のバッテリと、浮上/
案内用電磁石711〜7dと浮上用レール2L、2Rの
各下面との間の垂直ギャップGy、および案内用電磁石
88〜8dと案内用レール3L、3Rの各側面との間の
水平ギャップGhを各々検出するギャップセンサと、こ
れらのギャップセンサの検出信号に基づいて、バッテリ
ーから浮上/案内用電磁石78〜7dおよび案内用電磁
石88〜8dに各々供給される励磁電流を制御し、垂直
ギャップGvおよび水平ギャップGhを常に一定とする
電流制御回路とが設けられている。
ここで、浮上/案内用電磁石7aは、第6図に示すよう
に、コ字状の一次側コア7Aと、このコア7Aに巻回さ
れたコイル7B、7Cとによって構成され、コア7Aの
一対の磁極を台車5の幅方向に一致させた状態で配設さ
れている。また、その他の浮上/案内用電磁石7b〜7
dも同様に構成されている。このような浮上/案内用電
磁石7a〜7dが浮上用レール2L、2Hの下面を磁気
的に吸引することにより、台車5が浮上し、さらに、浮
上用レール2L、2Rの幅寸法の範囲内で、その幅方向
への移動が規制される。さらに、案内用電磁石88〜8
dが、案内用レール3L、3Rの各側面を磁気的に吸引
することにより台車5の幅方向の移動が、強固に規制さ
れる。
に、コ字状の一次側コア7Aと、このコア7Aに巻回さ
れたコイル7B、7Cとによって構成され、コア7Aの
一対の磁極を台車5の幅方向に一致させた状態で配設さ
れている。また、その他の浮上/案内用電磁石7b〜7
dも同様に構成されている。このような浮上/案内用電
磁石7a〜7dが浮上用レール2L、2Hの下面を磁気
的に吸引することにより、台車5が浮上し、さらに、浮
上用レール2L、2Rの幅寸法の範囲内で、その幅方向
への移動が規制される。さらに、案内用電磁石88〜8
dが、案内用レール3L、3Rの各側面を磁気的に吸引
することにより台車5の幅方向の移動が、強固に規制さ
れる。
また、フレームlの内底面にはリニアインダクノヨンモ
ータの一次側コイル15.15・が所定間隔を隔てて取
り付けられており、台車5には一次側コイル15と所定
のギャップを隔てて上下に対向する二次側導体16が取
り付けられている。
ータの一次側コイル15.15・が所定間隔を隔てて取
り付けられており、台車5には一次側コイル15と所定
のギャップを隔てて上下に対向する二次側導体16が取
り付けられている。
この場合、二次側導体16としては鉄心を有する場合と
有しない場合がある。さらに、台車5の上面には、支柱
17を介して荷台18が取り付けられ、この荷台17上
に荷物19が積載される。
有しない場合がある。さらに、台車5の上面には、支柱
17を介して荷台18が取り付けられ、この荷台17上
に荷物19が積載される。
このような構成において、浮上/案内用電磁石78〜7
dおよび案内用i!@石88〜8dに対して励磁電流が
供給されると、台車5が浮上し、一方、リニアインダク
ンヨンモータの一次側コイル15に交流電流か供給され
ると、この−次側コイル15上に図に示す矢印F方向の
進行磁界が発生し、これにより、台車5が一次側コイル
15の上方を通過する毎に矢印F方向に加速され、その
他の区間においては惰性により走行する。この結果、台
車5は浮上した状態で加速と惰性走行を交互に繰り返し
ながら連続的に走行する。また、台車5をステーシヨン
で位置決め停止させる場合は、そのステーションの手前
の一次側コイル15を逆相て励磁して矢印Fと逆方向の
進行磁界を発生させ、これにより台車5を充分に減速さ
せた後、位置決め用電磁石などによって、台車5を停止
させる。
dおよび案内用i!@石88〜8dに対して励磁電流が
供給されると、台車5が浮上し、一方、リニアインダク
ンヨンモータの一次側コイル15に交流電流か供給され
ると、この−次側コイル15上に図に示す矢印F方向の
進行磁界が発生し、これにより、台車5が一次側コイル
15の上方を通過する毎に矢印F方向に加速され、その
他の区間においては惰性により走行する。この結果、台
車5は浮上した状態で加速と惰性走行を交互に繰り返し
ながら連続的に走行する。また、台車5をステーシヨン
で位置決め停止させる場合は、そのステーションの手前
の一次側コイル15を逆相て励磁して矢印Fと逆方向の
進行磁界を発生させ、これにより台車5を充分に減速さ
せた後、位置決め用電磁石などによって、台車5を停止
させる。
さらに、バッテリの電力が消費され、台車5を浮上させ
得るだけの電力が生じなくなった場合においては、自動
充電装置を接続してバッテリの充電が行なわれるように
なっている。
得るだけの電力が生じなくなった場合においては、自動
充電装置を接続してバッテリの充電が行なわれるように
なっている。
このように、磁気浮上式搬送装置は、台車5が搬送路に
対して浮上し、非接触の状態で走行するため、台車5に
設けられた電流制御回路が故障した場合や、バッテリの
容量か低下した場合、案内浮上制御に障害が生じる。例
えば、浮上制御が正常に行なわれなくなった場合、台車
5が浮上用レール2L、2Rから落下したり、また案内
制御か正常に行なわれなくなった場合(特に曲線区間に
おいて)、案内用レール3L、3Rに台車5の側面が接
触するなどの事故が生じる。このような台車5の接触は
、台車5自身や案内レール3L、3Rに損傷を及ぼすば
かりか、ンリコンウェハ等の高価な被搬送物に損傷を与
えたり、また周囲に摩擦により発生する塵埃をまき散ら
す等の被害を与えることになる。そこで、これらの事故
を未然に防止するために、落下を防止するための着地ロ
ーラと、第7図に示すように、台車5の幅方向の移動を
ギャップGの2倍の範囲内で規制する4個のガイドロー
ラ22.22.・・が設けられている。この場合、ガイ
ドローラ22.22.・・・は台車5の側面から左右方
向に突出して設けられているが、図示するように搬送路
の曲率半径Rの曲線区間において、上方から見て方形状
の台車5の四隅が案内用レール3L、3Rに接触しない
ように、台車5の側面から左右方向に十分な距離を隔て
て配置されている。このようなガイドローラ22.22
.・・・を設けることにより、上述した案内浮上制御に
障害が生じた場合や、異常な速度で曲線区間に進入した
場合などにおいて、ガイドローラ22,22.・・・が
案内レール3L、3Rに当接することにより、台車5が
保護される。
対して浮上し、非接触の状態で走行するため、台車5に
設けられた電流制御回路が故障した場合や、バッテリの
容量か低下した場合、案内浮上制御に障害が生じる。例
えば、浮上制御が正常に行なわれなくなった場合、台車
5が浮上用レール2L、2Rから落下したり、また案内
制御か正常に行なわれなくなった場合(特に曲線区間に
おいて)、案内用レール3L、3Rに台車5の側面が接
触するなどの事故が生じる。このような台車5の接触は
、台車5自身や案内レール3L、3Rに損傷を及ぼすば
かりか、ンリコンウェハ等の高価な被搬送物に損傷を与
えたり、また周囲に摩擦により発生する塵埃をまき散ら
す等の被害を与えることになる。そこで、これらの事故
を未然に防止するために、落下を防止するための着地ロ
ーラと、第7図に示すように、台車5の幅方向の移動を
ギャップGの2倍の範囲内で規制する4個のガイドロー
ラ22.22.・・が設けられている。この場合、ガイ
ドローラ22.22.・・・は台車5の側面から左右方
向に突出して設けられているが、図示するように搬送路
の曲率半径Rの曲線区間において、上方から見て方形状
の台車5の四隅が案内用レール3L、3Rに接触しない
ように、台車5の側面から左右方向に十分な距離を隔て
て配置されている。このようなガイドローラ22.22
.・・・を設けることにより、上述した案内浮上制御に
障害が生じた場合や、異常な速度で曲線区間に進入した
場合などにおいて、ガイドローラ22,22.・・・が
案内レール3L、3Rに当接することにより、台車5が
保護される。
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、上述した従来の磁気浮上式搬送装置に適用さ
れたガイドローラ22,22.・・・は、第7図に示す
ように、台車5の四隅が案内用レール3L、3Rに接触
しないように、台車5の側面から左右方向に十分な距離
を隔てて配置しなければならず、これにより、曲率半径
Rの曲線区間におL)では、案内用レール3Lと3Rの
間に左右のギャップGを見込んで距離Acを確保しなけ
ればならず、また直線区間においては距離Asを確保し
なげればならない。したがって、台車5の幅寸法に比べ
て、搬送路の幅寸法が極めて広くなってしまうという問
題があった。
れたガイドローラ22,22.・・・は、第7図に示す
ように、台車5の四隅が案内用レール3L、3Rに接触
しないように、台車5の側面から左右方向に十分な距離
を隔てて配置しなければならず、これにより、曲率半径
Rの曲線区間におL)では、案内用レール3Lと3Rの
間に左右のギャップGを見込んで距離Acを確保しなけ
ればならず、また直線区間においては距離Asを確保し
なげればならない。したがって、台車5の幅寸法に比べ
て、搬送路の幅寸法が極めて広くなってしまうという問
題があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、台車
の幅方向の移動を規制するガイドローラを設けた場合に
おいても搬送路の幅寸法を最小限に抑えることができる
磁気浮上式搬送装置を提供することを目的としている。
の幅方向の移動を規制するガイドローラを設けた場合に
おいても搬送路の幅寸法を最小限に抑えることができる
磁気浮上式搬送装置を提供することを目的としている。
「問題点を解決するための手段」
この発明は、左右がガイドレールで囲われた搬送路に沿
って、台車が磁気浮上力によって浮上した状態で走行す
る磁気浮上式搬送装置において、前記台車の左右両側面
の前後端近傍に設けられ、前記搬送路の曲線区間におい
て、外周側のガイドレールに接近する外周用ガイドロー
ラと、前記台車の左右両側面の中央部近傍に設けられ、
前記搬送路の曲線区間において、内周側のガイドレール
に接近する内周用ガイドローラとを具備することを特徴
としている。
って、台車が磁気浮上力によって浮上した状態で走行す
る磁気浮上式搬送装置において、前記台車の左右両側面
の前後端近傍に設けられ、前記搬送路の曲線区間におい
て、外周側のガイドレールに接近する外周用ガイドロー
ラと、前記台車の左右両側面の中央部近傍に設けられ、
前記搬送路の曲線区間において、内周側のガイドレール
に接近する内周用ガイドローラとを具備することを特徴
としている。
「作用」
上述した構成によれば、搬送路の曲線区間において、外
周側のガイドレールに、台車の左右両側面の前後端近傍
に設けられた外周用ガイドローラか接近し、内周側のガ
イドレールに、台車の左右両側面の中央部近傍に設けら
れた内周用ガイドローラが接近するようにしたので、す
べてのガイドローラを台車の側面に可能な限り近接して
配置することが可能となり、これにより、搬送路の曲線
区間における左右のガイドレール間の距離を従来と比較
して大幅に狭めることができると共に、直線区間におけ
るガイドレール間の距離を台車の幅寸法により近付ける
ことができる。
周側のガイドレールに、台車の左右両側面の前後端近傍
に設けられた外周用ガイドローラか接近し、内周側のガ
イドレールに、台車の左右両側面の中央部近傍に設けら
れた内周用ガイドローラが接近するようにしたので、す
べてのガイドローラを台車の側面に可能な限り近接して
配置することが可能となり、これにより、搬送路の曲線
区間における左右のガイドレール間の距離を従来と比較
して大幅に狭めることができると共に、直線区間におけ
るガイドレール間の距離を台車の幅寸法により近付ける
ことができる。
「実施例」
以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。
る。
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す平面図である
。
。
この図に示すように、台車5の左右両側面の前後端近傍
には、搬送路の曲線区間において、外周側の案内用レー
ル3Rに接近する外周用ガイドローラ24.24 、・
・が各々設けられている。また、台車5の左右両側面の
中央部近傍には、搬送路の曲線区間において、内周側の
案内用レール3Lに接近する内周用ガイドローラ25,
25.・が各々設けられている。これらのガイドローラ
24,24、・・および25.25.・・は、いずれも
台車5の側面に可能な限り近接して配置され、保持部材
によって垂直に支持されたシャフトにベアリングを介し
て回転自在に取り付けられている。特に、内周用ガイド
ローラ25.25.・は外周用ガイドローラ24,24
.・・よりも若干内側に配設されている。
には、搬送路の曲線区間において、外周側の案内用レー
ル3Rに接近する外周用ガイドローラ24.24 、・
・が各々設けられている。また、台車5の左右両側面の
中央部近傍には、搬送路の曲線区間において、内周側の
案内用レール3Lに接近する内周用ガイドローラ25,
25.・が各々設けられている。これらのガイドローラ
24,24、・・および25.25.・・は、いずれも
台車5の側面に可能な限り近接して配置され、保持部材
によって垂直に支持されたシャフトにベアリングを介し
て回転自在に取り付けられている。特に、内周用ガイド
ローラ25.25.・は外周用ガイドローラ24,24
.・・よりも若干内側に配設されている。
このような構成によれば、第1図に示すように、曲率半
径Rの曲線区間においては、案内用レール3Lと3Rの
間に左右のギャップGを見込んで距離Bcを確保すれば
よく、また直線区間においては距離B8を確保すればよ
い。
径Rの曲線区間においては、案内用レール3Lと3Rの
間に左右のギャップGを見込んで距離Bcを確保すれば
よく、また直線区間においては距離B8を確保すればよ
い。
ここで、第2図を参照して、第7図に示した従来例と比
較すると、本実施例おいて曲線区間に要求される所要幅
寸法Bc、(距離Bcから左右のギヤップGを差し引い
た寸法)および直線区間に要求される所要幅寸法Bs、
は、従来例の所要幅寸法Ac+およびAs、よりら大幅
に狭くて済むことがわかる。
較すると、本実施例おいて曲線区間に要求される所要幅
寸法Bc、(距離Bcから左右のギヤップGを差し引い
た寸法)および直線区間に要求される所要幅寸法Bs、
は、従来例の所要幅寸法Ac+およびAs、よりら大幅
に狭くて済むことがわかる。
特に、本実施例においては、すべてのガイドローラ24
.24 、・・および25.25.・を台車5の側面に
可能な限り近接して配置したので、直線区間における所
要幅寸法Bs+を台車5の幅寸法により近付けることが
できる。
.24 、・・および25.25.・を台車5の側面に
可能な限り近接して配置したので、直線区間における所
要幅寸法Bs+を台車5の幅寸法により近付けることが
できる。
なお、上述した一実施例においては、案内用レール3R
が外周側、案内用レール3Lが内周側の曲線区間を例に
説明したが、案内用レール3Rが内周側、案内用レール
3Lが外周側の曲線区間であっても同様の作用効果が得
られる。
が外周側、案内用レール3Lが内周側の曲線区間を例に
説明したが、案内用レール3Rが内周側、案内用レール
3Lが外周側の曲線区間であっても同様の作用効果が得
られる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば、搬送路の曲線
区間において、外周側のガイドレールに、台車の左右両
側面の前後端近傍に設けられた外周用ガイドローラが接
近し、内周側のガイドレールに、台車の左右両側面の中
央部近傍に設けられた内周用ガイドローラが接近するよ
うにしたので、すべてのガイドローラを台車の側面に可
能な限り近接して配置することが可能となり、これによ
り、搬送路の曲線区間における左右のガイドレール間の
距離を従来と比較して大幅に狭めることができると共に
、直線区間におけるガイドレール間の距離を台車の幅寸
法により近付けることができ、したがって、搬送路の設
置スペースが少なくて済み、その重量も低く抑えること
ができ、設置工事の簡素化および工事費用の削減を図る
ことができるという効果が得られる。
区間において、外周側のガイドレールに、台車の左右両
側面の前後端近傍に設けられた外周用ガイドローラが接
近し、内周側のガイドレールに、台車の左右両側面の中
央部近傍に設けられた内周用ガイドローラが接近するよ
うにしたので、すべてのガイドローラを台車の側面に可
能な限り近接して配置することが可能となり、これによ
り、搬送路の曲線区間における左右のガイドレール間の
距離を従来と比較して大幅に狭めることができると共に
、直線区間におけるガイドレール間の距離を台車の幅寸
法により近付けることができ、したがって、搬送路の設
置スペースが少なくて済み、その重量も低く抑えること
ができ、設置工事の簡素化および工事費用の削減を図る
ことができるという効果が得られる。
第1図はこの発明の一実施例の構成を示す平面図、第2
図は同実施例と従来例とを比較するための平面図、第3
図は従来の磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す一部切
欠側面図、第4図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成を
示す平面図、第5図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成
を示す正断面図、第6図は同磁気浮上式搬送装置の浮上
/案内用電磁石の構成を示す正断面図、第7図は同磁気
浮上式搬送装置のガイドローラと搬送路との関係を示す
平面図である。 5・ 台車、 3L、3R・・・・案内用レール(ガイドレール)、2
4−・ 外周用ガイドローラ、 25・・・内周用ガイドローラ。
図は同実施例と従来例とを比較するための平面図、第3
図は従来の磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す一部切
欠側面図、第4図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成を
示す平面図、第5図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成
を示す正断面図、第6図は同磁気浮上式搬送装置の浮上
/案内用電磁石の構成を示す正断面図、第7図は同磁気
浮上式搬送装置のガイドローラと搬送路との関係を示す
平面図である。 5・ 台車、 3L、3R・・・・案内用レール(ガイドレール)、2
4−・ 外周用ガイドローラ、 25・・・内周用ガイドローラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 左右がガイドレールで囲われた搬送路に沿って、台車が
磁気浮上力によって浮上した状態で走行する磁気浮上式
搬送装置において、 前記台車の左右両側面の前後端近傍に設けられ、前記搬
送路の曲線区間において、外周側のガイドレールに接近
する外周用ガイドローラと、 前記台車の左右両側面の中央部近傍に設けられ、前記搬
送路の曲線区間において、内周側のガイドレールに接近
する内周用ガイドローラと、 を具備することを特徴とする磁気浮上式搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29339590A JP2890800B2 (ja) | 1990-10-30 | 1990-10-30 | 磁気浮上式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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KR100654815B1 (ko) * | 2005-11-30 | 2006-12-08 | 삼성전자주식회사 | 전자기기 이송장비 |
CN111338234A (zh) * | 2020-03-12 | 2020-06-26 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 一种磁悬浮控制算法验证***、方法及装置 |
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1990
- 1990-10-30 JP JP29339590A patent/JP2890800B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100654815B1 (ko) * | 2005-11-30 | 2006-12-08 | 삼성전자주식회사 | 전자기기 이송장비 |
CN111338234A (zh) * | 2020-03-12 | 2020-06-26 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 一种磁悬浮控制算法验证***、方法及装置 |
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