JPH04162610A

JPH04162610A - マスク保持装置

Info

Publication number: JPH04162610A
Application number: JP2287290A
Authority: JP
Inventors: Yuji Chiba; 千葉　裕司
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1990-10-26
Filing date: 1990-10-26
Publication date: 1992-06-08
Also published as: US5161177A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［ａ集土の利用分野］本発明は磁気吸着によりマスクを吸着・保持するマスク
保持装置に関し、特にシンクロトロン放射光を光源とす
るＸ線露光装置に最適なマスク保持装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置、特に半導体メモリの大容量化に伴い、半導
体製造装置における微細化技術の向上が叫ばれている。

該微細化技術の向上の一手段として、シンクロトロン放
射光を光源とするＸ線露光装置があるが、該Ｘ線露光装
置は従来の遠紫外光などを光源とする露光装置と異なり
、ウェハおよびマスクを縦に保持して露光する構成とな
っている（たとえば、特開平２−１００３１１号公報）
。

マスクを吸着・保持するためのマスク保持装置としては
、真空吸着方式のものや磁気吸着方式のものなどがある
。しかし、前記Ｘ線露光装置のようにマスクを縦にして
露光する場合には、真空吸着方式のものでは、真空発生
源などに故障が生じたときにマスクが落下してしまうと
いう問題があるのに対して、磁気吸着方式のものでは永
久磁石の磁力によりマスクを吸着して保持するため、マ
スクの落下の防止が図れるという利点がある。

第７図は、磁気吸着方式によるマスク保持装置の従来例
の一つを示す一部破断図である。

このマスク保持装置は、周方向に連続した１本の矩形断
面の溝１３７によりチャック面（マスク１０１が吸着さ
れる面）が内周部と外周部とに分離されたドーナッツ形
状を有するマスクステージ１１５と、溝１３７に嵌合さ
れた磁気リング１１６とを具備する。

ここで、マスクステージ１１５の内周部は高精度に平面
加工（たとえば、平面度１μ以下、面粗度０．０８μ以
下）された高精度平面１３６となっており、吸着後のマ
スク１０１の千胆度を確保するようにしている。また、
磁気リング】】６には、８個の磁気ユニット１４０１〜
１４０ｓ　（Ｆ１１気ユニット］４０８は不図示）が周
方向等間隔に埋込まれており、マスク１０１に埋込まれ
ている磁性リング１３３を各磁気ユニット】４０１〜】
４０８で磁気吸着することによりマスク１０】を吸着・
保持する。

磁気ユニット１４０１は、第８図に示すように３本のヨ
ーク１４１１．１４１２．１４１ｓと、永久磁石１４２
と、ヨーク１４１．に巻かれたコイル１４３＋と、ヨー
ク１４１□に巻かれたコイル１４３２とを有し、２つの
コイル１４３＋、　１４３ａに電流を流さないときには
永久磁石１４２の磁力により吸着状態となり、一方、２
つのコイル１４３．、１４３２に電流を流すと各コイル
１４３．。

１４３□により発生される磁力が永久磁石１４２の磁力
を打消すことにより非吸着状態となる。他の磁気ユニッ
ト１４０２〜１４０．についても同様である。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来のマスク保持装置では、マスク
ハンドなどのマスク搬送手段からマスク１０１を受取る
際に行われるマスク１０１の位置決め動作期間中（たと
えば約２〜３ｓｅｃ）は、各コイル１４３＋、　１４３
ｇに電流を継続的に流して、各磁気ユニット１４０．〜
１４０８を非吸着状態にしておく必要があるため、前記
電流により発生する熱がマスク１０１に伝わってマスク
１０１の熱歪を生じさせ、露光精度を悪化させるという
問題がある。

本発明の目的は、マスクの位置決め動作期間中における
発熱を防止して、露光精度が確保できるマスク保持装置
を提供することにある。

［課題を解決するための手段］本発明のマスク保持装置は、チャック面を内周部と外周部とに分離する溝を有するマ
スクステージと、該マスクステージの溝に嵌合された、磁気ユニットが埋
込まれた磁気リングとを具備するマスク保持装置であっ
て、前記磁気リングを前記溝の深さ方向に移動させる手段を
具備する。

ここで、前記マスクステージの溝が、該溝のチャック面
側の幅よりも底部側の幅が大きくなった段部を有し、前記磁気リングが、前記溝のチャック面側の幅とほぼ等
しい幅をもつ上面部と、前記溝の底部側の幅とほぼ等し
い幅をもつとともに前記溝の底部との間に空間を形成す
る底面部を有し、前記磁気リングの上面部と底面部との
間に、前記空間を密閉する手段が設けられており、前記
磁気リングを前記溝の深さ方向に移動させる手段が、前
記空間に気体を注入・排出する手段であってもよい。

また、前記マスクステージの溝が周方向に連続して設け
られ、該溝の外周面のチャック面側にねじが切られてお
り、該ねじと螺合するねじが、磁気リングの上面部の外周に
切られているとともに、該磁気リングの底面部の外周に
縦溝が切られており、前記磁気リングを前記溝の深さ方向に移動させる手段が
、前記マスクステージの内部に設けられた、前記縦溝と
噛合する歯車および該歯車を回転させるモータであって
もよい。

［作用コ本発明のマスク保持装置では、マスクステージに設けら
れた溝の深さ方向に磁気リングを移動させる手段を具備
するため、前記磁気リングに埋込まれた磁気ユニットを
吸着状態にする場合には、前記磁気リングの上面が前記
マスクステージのチャック面とほぼ同一平面となる位置
まで該磁気リングを前記手段で上げ、一方、前記磁気ユ
ニットを非吸着状態にする場合には、該磁気ユニットの
永久磁石でマスクが磁気吸着できない位置まで前記磁気
リングを前記手段で下げることにより、マスクの位置決
め動作期間中に前記磁気ユニットを構成する各コイルに
継続的に電流を流す必要がなくなる。

ここで、マスクステージに設けられた溝と磁気リングの
底面部との間に密閉された空間を形成して、該空間に気
体を注入・排出する手段を設けることにより、前記磁気
リングを前記溝の深さ方向に移動させることができる。

このとき、前記溝に、該溝のチャック面側の幅よりも底
部側の幅が大きくなった段部を設けるとともに、前記磁
気リングの上面部および底面部の幅を前記溝のチャック
面側および底部側の幅とそれぞれほぼ等しくすることに
より、前記底面部が前記段部に当接した時点で、前記磁
気リングの移動を停止させることができるので、該磁気
リングの上面が前記チャック面よりも高くなることを防
ぐことができる。

また、周方向に連続して設けられたマスクステージの溝
の外周面のチャック面側に切られたねじと螺合するねじ
を前記磁気リングの上面部の外周に切り、該磁気リング
の底面部の外周に切られた縦溝と噛合する歯車を回転さ
せるモータを、前記マスクステージの内部に設けること
によっても、前記モータの回転運動を前記磁気リングの
上下運動に変換することができるので、前記磁気リング
を前記溝の深さ方向に移動させることができる。

［実施例］次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明のマスク保持装置の第１の実施例を示す
一部破断図である。

このマスク保持装置は、次に示す点について第７図に示
した従来のマスク保持装置と異なっている。

（イ）ドーナッツ形状を有するマスクステージ２０のチ
ャック面（マスク１０が吸着される面）を内周部と外周
部とに分離する溝２３が、Ｌ字形の断面形状を有する。

すなわち、第２図（Ａ）に示す第１の部材２０１と第２
の部材２０、とでマスクステージ２０を構成することに
より、溝２３に、溝２３のチャック面側の幅よりも底部
側の幅が大きくなった段部２３．を形成している。

（ロ）溝２３に嵌合された磁気リング２１が、溝２３の
チャック面側の幅とほぼ等しい幅をもつ上面部２１．と
、溝２３の底部側の幅とほぼ等しい幅をもつとともに溝
２３の底部との間に空間２５を形成する底面部２１□を
有する。

（ハ）磁気リング２１の上面部２１．と底面部２１２と
の間に、空間２５を密閉する手段として２本のＯリング
２４　＋　、　２４２が設けられている。

（ニ）磁気リング２１を溝２３の深さ方向に移動させる
手段である、空間２５にＨｅガスを注入・排出する手段
として、三方弁２８と、空間２５と三方弁２８とを接続
する配管２７と、三方弁２８と不図示の真空発生源とを
接続する第１の配管２９□と、三方弁２８と不図示のＨ
ｅガスボンベとを接続する第２の配管２９．とを有する
。ここで、マスクステージ２０の内側と外側との配管２
７の接続は、コネクタ２６を介してなされている。

なお、第１図に示すように、溝２３は周方向に連続した
１本のものであり、マスクステージ２０の内周部が、吸
着後のマスク１０の平坦度を確保するように高精度に平
面加工（たとえば、平面度１μ以下、面粗度０．０８μ
以下）された高精度平面２２となっており、８個の磁気
ユニット３０＋〜３ｏ８　（磁気ユニット３０ａは不図
示）が周方向等間隔に磁気リング２１に埋込まれている
点については、第７図に示した従来のマスク保持装置と
同じである。また、各磁気ユニット３０１〜３０８も第
８図に示した磁気ユニット１４０、と同じ構造をもつも
のである。

次に、本実施例のマスク保持装置において、各磁気ユニ
ット３０　＋〜３０ａを吸着状態および非吸着状態にさ
せるときの動作について説明する。

（イ）吸着状態にさせるとき各磁気ユニット３０．〜３０８の各コイルに電流を流し
て永久磁石の磁力を打消したのち、三方弁２８を第２の
配管２９２側へ切換えて、空間２５と前記Ｈｅガスボン
ベとを連通させる。すなわち、各磁気ユニット３０．〜
３０８を永久磁石の磁力を打消して非吸着状態とした状
態で、第２の配管２９□、三方弁２８および配管２７を
介して前記Ｈｅガスボンベから空間２５内にＨｅガスを
送込むことにより、第２図（Ｂ）に示すように、底面部
２１２が溝２３の段部２３−０に当接するまで（磁気リ
ング２１の上面がマスクステージ２０のチャック面とほ
ぼ同一平面となるまで）、磁気リング２１を上方に移動
する。その後、各磁気ユニット３０．〜３０８の各コイ
ルに流していた電流を切ることにより、各磁気ユニット
３０１〜３０ａを吸着状態として、マスク１０に埋込ま
れている磁性リング１１を磁気吸着する。

（ロ）非吸着状態にさせるとき各磁気ユニット３０１〜３０８の各コイルに電流を流し
て永久磁石の磁力を打消したのち、三方弁２８を第１の
配管２９□側へ切換えて、マスクステージ２０の溝２３
内に形成された空間２５と前記真空発生源とを連通させ
る。すなわち、配管２７．三方弁２８および第１の配管
２９、を介して前記真空発生源を用いて空間２５内のＨ
ｅガスを排出して、第２図（Ａ）に示すように、各磁気
ユニット３０．〜３０．の永久磁石による磁力ではマス
ク１０を吸着することができなくなる位置まで（磁気リ
ング２１の上面がマスクステージ２０のチャック面より
も約１ｍｍはど下となる位置まで）、磁気リング２１を
下方に移動することにより、各磁気ユニット３０．〜３
０８を非吸着状態にする。その後、各磁気ユニット３０
．〜３０．の各コイルに流していた電流を切っても、各
磁気ユニット３０１〜３０ｍの永久磁石による磁力では
マスク１０を吸着することができないので、このマスク
保持装置においては、各磁気ユニット３０、〜３０Ｍを
非吸着状態にするために前記電流を継続的に流す必要が
なくなる。

次に、本実施例のマスク保持装置が組込まれたシンクロ
トロン放射光を光源とするＸ線露光装置において便用さ
れるマスク搬送系の一例について、第３図を用いて説明
する。

このマスク搬送系は、マスク搬送装置と第１図に示した
マスク保持装置と位置決め用の■ブロック７０とから構
成されている。

マスク搬送装置は、不図示のＸ線露光装置本体基台上に
載置されたリニアガイド４１と、４個のプーリー４２．
〜４２４に張設された平ベルト４３を介して伝達される
モータ４４の動力によって図示Ｘ軸方向に摺動するよう
リニアガイド４１に係合されたトラバースユニット４５
と、図示Ｚ軸方向に突出するビン４６によってビン４６
の周りを回動するようトラバースユニット４５に中央部
が軸支された基部４７と、内部に駆動源を有して図示Ｚ
軸方向に変位可能なアームユニット４８を介して基部４
７の一端に取付けられた、被搬送物であるマスク１ｏを
把持するマスクハンド５０と、基部４７の他端に取付け
られたバランサ４９とを具備する。

また、第４図に示すように、マスクハンド５０のハンド
本体５１は平面視はぼコの字状に形成されており、その
両端には、把持されたマスク１ｏの面と平行方向に突出
する支持部５２Ｉ。

５２２がそれぞれ突設されている。各支持部５２１．５
２□の中央部付近にはビン５３１，５３２がそれぞれ突
設されており、各ビン５３１＋　５３□によってフィン
ガ一部５４１，５４．のほぼ中央部が回動自在にそれぞ
れ軸支されている。各フィンガ一部５４１．５４□の一
端には、マスク１０を把持するための爪５５１，５５２
がそれぞれ取付けられている。また、各フィンガ一部５
４．，５４２の他端側には、爪５５　ｒ　、　５５　ｚ
が取付けられた一端側を閉じる方向に常時付勢する圧縮
ばね５６．。

５６□　（圧縮ばね５６１のみ図示）と、圧縮ばね５６
１．５６．の弾発力に抗して各フィンガ一部５４１．５
４．の一端側を開く方向に駆動することにより各フィン
ガ一部５４□、５４□の開閉を行うソレノイド５７１．
５７□とが、各フィンガ一部５４、．５４！とハンド本
体５１との間にそれぞれ介在されている。

マスクハンド５０のハンド本体５１の内部空所部には、
マスク１ｏを磁気的に吸着するセンター吸着部５８を支
持するマグネット支持部材５９が、２つの平行板ばね６
０１，６０．によってハンド本体５１に可撓的に取付け
られている。また、マグネット支持部材５９の中央部に
は、軸受孔６１が形成されており、軸受孔６１には、セ
ンター吸着部５８に一体的に設けられた支持棒６２が、
すべり軸受けを介して軸方向に摺動自在に軸支され、所
定の微小距離だけ移動できるように配設されている。さ
らに、支持棒６２は、マグネット支持部材５９のセンタ
ー吸着部５８と反対側から突出しており、その先端には
、マグネット支持部材５９から立設された板ばね６３の
自由端側が当接されて、把持したマスク１０側へセンタ
ー吸着部５８を常時付勢するよう構成されている。これ
により、マスクハンド５０で把持したマスク１０が、マ
スクステージ２０（第３図参照）まで搬送されたのち、
マスクステージ２０のチャック面と平行に設けられたＶ
ブロック７０に位置決めのため当接されたとき、センタ
ー吸着部５８は押付力を受けてマスク１０と反対側に移
動するため、板ばね６３は支持棒６２の先端部により押
圧されて湾曲する。この板ばね６３の湾曲を、板ばね６
３に貼着した歪ゲージ６４で検出することにより、前記
押付力を検出することができる。

次に、このマスク搬送系の動作について、第５図のフロ
ーチャートを参照して説明する。

第３図図示左方向にあるマスクカセット（不図示）から
マスクハンド５０によって取出したマスク１０を、■ブ
ロック７０に向かせるため、アームユニット４８が取付
けられている基部４７の回転機構によりマスクハンド５
０の向きを１８０°回転したのち、トラバースユニット
４５をマスクステージ２０の方向へ移動させる（ステッ
プ１５１）。

このとき、マスクハンド５０で把持されているマスク１
０の面は、マスクステージ２ｏのチャック面に対して図
示Ｚ軸方向上方に位置しているため、マスク１０がＶブ
ロック７ｏに接する手前でトラバースユニット４５の移
動を停止させたのち、前述した手順で各磁気ユニット３
０．〜３０８　（第１図参照）を非吸着状態にしてから
（ステップ１５２）、アームユニット４８を図示Ｚ軸方
向下方に移動させて（ステップ１５３）、マスク１ｏを
前記チャック面に接触させる。その後、マスク１０の姿
勢を矯正するため、前述した手順で各磁気ユニット３ｏ
ｌ〜３０．を吸着状態にして（ステップ１５４）、マス
ク１０をマスクハンド５０から一旦解放する（ステップ
１５５）。

マスク１０の姿勢矯正が終了すると、マスクハンド５０
によりマスク１ｏをつかみ直しくステップ１５６）、各
磁気ユニット３０．〜３０８を非吸着状態にする（ステ
ップ１５７）、その後、トラバースユニット４５をＶブ
ロック７ｏ側に移動させて、マスク１０をＶブロック７
０に押付ける（ステップ１５８）、このとき、トラバー
スユニット４５の移動量が大きすぎて、マスク１０がＶ
ブロック７０に過度の押付力で押付けられることがない
ように、マスクハンド５０に設けられている歪ゲージ６
４によってマスク１０の押付力を検出し、該検出した押
付力が設定押付力の所定の範囲内（設定押付力±ａ）に
なるまで、トラバースユニット４５の微小量移動と前記
押付力の検出を繰返す（ステップ１５９．１６０）、前
記検出した押付力が前記所定の範囲内になると、トラバ
ースユニット４５の移動を停止させるとともに、各磁気
ユニット３０＋〜３０ｇを吸着状態にしくステップ１６
１）、マスク１０をマスクハンド５０から解放したのも
（ステップ１６２）、トラバースユニット４５を前記マ
スクカセット側に移動させて退避させる。その結果、マ
スク１０は、■ブロック７ｏと所定の接触状態を保った
まま各磁気ユニット３ｏｌ〜３０８によって吸着・保持
され、マスクステージ２０に対して位置決め固定される
。

したがって、このマスク搬送系では、本実施例のマスク
保持装置を用いてマスク１０を吸着・保持するため、ス
テップ１５９．ステップ１６０に示すマスク１０の位置
決めを行う間（たとえば、２〜３５ｅｃ）　、各磁気ユ
ニット３０．〜３０８の各コイルに電流を継続的に流す
必要がないため、該位置決め動作期間中におけるマスク
１０発熱を防止することができる。

なお、本実施例では、マスクステージ２０の形状をドー
ナッツ型としたが、マスクステージ２０の外周部の形状
は平面視矩形であってもよい。

また、マスクステージ２０のチャック面に形成される溝
２３は、周方向に連続した１本の溝である必要は必ずし
もなく、各磁気ユニット３０．〜３０ｇごとに分断され
ていてもよい。ただし、この場合には、前記分断された
各溝に形成される各空間と真空発生源とを接続するため
、配管２７をマスクステージ２ｏの内部で分岐させて、
前記各空間と三方弁２８とをそれぞれ接続させる必要が
ある。

さらに、本実施例においては、空間２５に注入する気体
としてＨｅガスを用いたが、空気などを用いてもよい。

第６図は本発明のマスク保持装置の第２の実施例を示す
断面図である。

このマスク保持装置は、次に示す点で第１図に示したマ
スク保持装置と異なる。

（イ）マスクステージ８０の溝８３が周方向に連続して
設けられ、溝８３の外周面のチャック面側にねじが切ら
れている。すなわち、第６図に示す第１の部材８０１と
第２の部材８０２とでマスクステージ８０を構成するこ
とにより溝８３を形成するとともに、第２の部材８０　
ｚの内周面のチャック面側にねじを切っている。

（ロ）溝８３の外周面に切られたねじと螺合するねじが
、磁気リング８１の上面部８１１の外周に切られている
とともに、磁気リング８１の底面部８１．の外周に縦溝
が切られている。

（ハ）磁気リング８１を溝８３の深さ方向に移動させる
手段として、前記縦溝と噛合する歯車９１および歯車９
１を回転させるモータ９２が、磁気ユニット９０　ｓが
配設されている部分のマスクステージ８０の内部に設け
られている。

次に、このマスク保持装置において、各磁気ユニット９
０　ｒ〜９０８　（第６図には２つの磁気ユニット９０
　ｒ　、　９０　ｓのみ図示）を吸着状態および非吸着
状態にさせるときの動作について説明する。

（イ）吸着状態にさせるとき各磁気ユニット９０＋〜９０８の各コイルに電流を流し
て各永久磁石による磁力を打消したのち、モータ９２で
歯車９１を時計方向に回して磁気リング８１を反時計方
向に回すことにより、溝８３の外周面に切られたねじと
磁気リング８１の上面部８１　ｒの外周に切られたねじ
との作用で、各磁気ユニット９０．〜９０８の上面がマ
スクステージ８０のチャック面とほぼ同一平面となるま
で磁気リング８１を上方に移動させる。その後、前記各
コイルに流していた電流を切る。

（ロ）非吸着状態にさせるとき各磁気ユニット９０　Ｉ〜９０８の各コイルに電流を流
して各永久磁石による磁力を打消したのち、モータ９２
で歯車９１を反時計方向に回して磁気リング８１を時計
方向に回すことにより、溝８３の外周面に切られたねじ
と磁気リング８１の上面部８１．の外周に切られたねじ
との作用で、各磁気ユニット９０．〜９０８の上面がマ
スクステージ８０のチャック面から約１ｍｍ程度下にな
るまで磁気リング８１を下方に移動させる。その後、前
記各コイルに流していた電流を切る。

したがって、このマスク保持装置においても、各磁気ユ
ニット９０．〜９０．を非吸着状態にするときに、前記
各コイルに電流を継続的に流す必要がないので、マスク
の熱歪を生じさせることなく、第５図のステップ１５９
およびステップ１６０に示すマスクの位置決め動作を行
わせることができる。

以上の説明においては、磁気ユニットの個数を８個とし
たが、それ以外の個数であってもよい。

［発明の効果］本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏する。

本発明のマスク保持装置では、マスクステージに設けら
れた溝の深さ方向に磁気リングを移動させる手段を具備
することにより、前記磁気リングに埋込まれた磁気ユニ
ットを吸着状態にする場合には、前記磁気リングの上面
が前記マスクステージのチャック面とほぼ同一平面とな
る位置まで該磁気リングを前記手段で上げ、一方、前記
磁気ユニットを非吸着状態にする場合には、該磁気ユニ
ットの永久磁石でマスクが磁気吸着できない位置まで前
記磁気リングを前記手段で下げればよいため、マスクの
位置決め動作期間中に前記磁気ユニットを構成する各コ
イルに継続的に電流を流す必要がなく、マスクの位置決
め動作期間中における発熱を防止することができるので
、露光精度が確保できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のマスク保持装置の第１の実施例を示す
一部破断図、第２図は第１図に示したマスク保持装置の
動作を示す断面図であり、（Ａ）は非吸着状態を示す図
、（Ｂ）は吸着状態を示す図、第３図は第１図に示した
マスク保持装置が組込まれたシンクロトロン放射光を光
源とすＳＸ線露光装置において使用されるマスク搬送系
の一例を示す概略構成図、第４図は第３図に示したマス
クハンドの構成図、第５図は第３図に示したマスク搬送
系の動作を示すフローチャート、第６図は本発明のマス
ク保持装置の第２の実施例を示す断面図、第７図は磁器
吸着方式によるマスク保持装置の従来例の一つを示す一
部破断図、第８図は第７図に示した磁気ユニットの概略
構成図である。１０・・・マスク、１１・・・磁性リング、２０．８０・・・マスクステージ、２０１．８０１・・・第１の部材、２０２．８０ｉ・・・第２の部材、２１．８１・・・磁気リング、２１　ｓ　、　８１　ｒ・・・上面部、２１！、８１２
・・・底面部、２２・・・高精度平面、２３．８３・・・溝、２３＋・・・段部、２４□、２４□・・・○リング、２５・・・空間、２６・・・コネクタ、２７・・・配管、２８・・・三方弁、２９、・・・第１の配管、２９□・・・第２の配管、３０１　〜３０フ　、９０１　．９０８・・・磁気ユニ
ット、４１・・・　リニアガイド、４２、〜４２４　・・・プーリー、４３・・・平ベルト、４４．９２・・・モータ、４５・・・　トラバースユニット、４６．５３＋　、５３ｚ・・・ビン、４７・・・基部、４８・・・アームユニット、４９・・・バランサ、５０・・・マスクハンド、５１・・・ハンド本体、５２１．５２２・・・支持部、５４１．５４□・・・フィンガ一部、５５１．５５．・・・爪、５６、・・・圧縮ばね、５７、．５７□・・・ソレノイド、５８・・・センター吸着部、５９・・・マグネット支持部材、６０□、６０２・・・平行板ばね、６１・・・軸受部、６２・・・支持棒、６３・・・板ばね、６４・・・歪ケージ、７０・・・Ｖブロック、９１・・・歯車、ｘ、ｙ、ｚ・・・軸。

Claims

【特許請求の範囲】１、チャック面を内周部と外周部とに分離する溝を有す
るマスクステージと、該マスクステージの溝に嵌合された、磁気ユニットが埋
込まれた磁気リングとを具備するマスク保持装置におい
て、前記磁気リングを前記溝の深さ方向に移動させる手段を
具備することを特徴とするマスク保持装置。２、マスクステージの溝が、該溝のチャック面側の幅よ
りも底部側の幅が大きくなった段部を有し、磁気リングが、前記溝のチャック面側の幅とほぼ等しい
幅をもつ上面部と、前記溝の底部側の幅とほぼ等しい幅
をもつとともに該溝の底部との間に空間を形成する底面
部とを有し、前記磁気リングの上面部と底面部との間に、前記空間を
密閉する手段が設けられており、前記磁気リングを前記
溝の深さ方向に移動させる手段が、前記空間に気体を注
入・排出する手段であることを特徴とする請求項第１項
記載のマスク保持装置。３、マスクステージの溝が周方向に連続して設けられ、
該溝の外周面のチャック面側にねじが切られており、該ねじと螺合するねじが、磁気リングの上面部の外周に
切られているとともに、該磁気リングの底面部の外周に
縦溝が切られており、前記磁気リングを前記溝の深さ方向に移動させる手段が
、前記マスクステージの内部に設けられた、前記縦溝と
噛合する歯車および該歯車を回転させるモータであるこ
とを特徴とする請求項第１項記載のマスク保持装置。