JPH04159603A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
- Publication number
- JPH04159603A JPH04159603A JP28747690A JP28747690A JPH04159603A JP H04159603 A JPH04159603 A JP H04159603A JP 28747690 A JP28747690 A JP 28747690A JP 28747690 A JP28747690 A JP 28747690A JP H04159603 A JPH04159603 A JP H04159603A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- gap
- magnetic core
- magnetic head
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 6
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 235000014653 Carica parviflora Nutrition 0.000 description 1
- 241000243321 Cnidaria Species 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 210000000936 intestine Anatomy 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、Ｖ Ｔ Ｒ等の磁気記録再生装置に使用され
る磁気ヘッドに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Field of Industrial Application The present invention relates to a magnetic head used in a magnetic recording/reproducing device such as a VTR.
（ロ）従来の技術
ＶＴＲ等の磁気記録再生システムにおいては、時間的な
記録密度の向上（周波数の高帯域化）及び空間的な記録
密度の向上（狭トラツク化、短波長化）が望まれている
。そのためには、短波長記録が可能な高抗磁力媒体に対
して、高飽和磁束密度の磁気コアを有し、且つ狭ギャッ
プの磁気ヘツドを高速で相対摺動運動させて、記録／再
生することが前提となる。(b) Conventional technology In magnetic recording and reproducing systems such as VTRs, it is desired to improve the temporal recording density (higher frequency band) and the spatial recording density (narrower track, shorter wavelength). ing. To achieve this, it is necessary to perform recording/reproduction by sliding a magnetic head with a narrow gap at high speed relative to a high coercive force medium capable of short wavelength recording, which has a magnetic core with a high saturation magnetic flux density. is the premise.
このような高密度磁気記録用の磁気ヘッドとしては、例
えば特開平１−３１２７１３号公報（Ｇ］ＩＢＳ／１４
７）に開示されているような磁性合金膜積層コア型ヘッ
ドが有力である（第６図参照）。As a magnetic head for such high-density magnetic recording, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-312713 (G) IBS/14
A magnetic alloy film laminated core type head as disclosed in 7) is promising (see FIG. 6).
第６図（ａ）は該当磁気ヘッドの外観斜視図、同図（ｂ
）はその媒体摺動面の拡大正面図を示す。FIG. 6(a) is an external perspective view of the magnetic head, and FIG. 6(b)
) shows an enlarged front view of the medium sliding surface.
同図において、磁気ヘッド（±）は主磁路としての積層
磁気コア部（１）が形成された磁気コア半体（２）、（
２’）を、例えばＳｉｎ、等の非磁性材（図示せず）を
介して接合形成されている。In the figure, the magnetic head (±) includes a magnetic core half (2) in which a laminated magnetic core part (1) as a main magnetic path is formed, (
2') are bonded together via a non-magnetic material (not shown) such as Sin.
この積層磁気コア部（五）は、高抗磁力の媒体に対応さ
せるために、高飽和磁束密度の磁性合金材で構成されて
いる。This laminated magnetic core part (5) is made of a magnetic alloy material with a high saturation magnetic flux density in order to be compatible with a medium with a high coercive force.
一般に厚い磁性舒金材は、その磁気特性が高周波におけ
る渦電流の影響により劣化する。これを防ぐために、第
６図（ｂ）に示すようにセラミック等の非磁性の基板（
２ａ）上に比較的薄い磁性合金膜（３ａ）、 （３ｂ）
、 （３ｃ）、 （３ｄ）と電気的絶縁膜（４ａ）、
（４ｂ）。In general, the magnetic properties of thick magnetic sheathing materials deteriorate due to the influence of eddy currents at high frequencies. To prevent this, as shown in Figure 6(b), a non-magnetic substrate such as ceramic (
2a) Relatively thin magnetic alloy film (3a), (3b) on top
, (3c), (3d) and electrical insulating film (4a),
(4b).
（４Ｃ）とを交互に積層して磁気コア部（５）を形成し
た後、接合用ガラス層（６）を介して補強用の基板（２
ａ’）を加熱圧着して一対の磁気コア半体（至）。(4C) are alternately laminated to form a magnetic core part (5), and then a reinforcing substrate (2C) is formed via a bonding glass layer (6).
A') is heat-pressed to form a pair of magnetic core halves (towards).
（ス゛）を得る。尚、（８）は磁気ギャップを示す。(S゛) is obtained. Note that (8) indicates a magnetic gap.
更に、第６図の積層型の磁気ヘッド（１）は、媒体との
高速摺動という問題に対しても、第７図（ａ）に示すよ
うなフェライト単体型やＪｌｔ７図（ｂ）に示すような
フェライト・磁性合金膜複合型の磁気ヘッドに比べて、
摺動ノイズが発生しやすいフェライト材（９）を含まな
い磁気コア構造を有するという点で有利である。尚、第
７図において、（１０）は接合用ガラス、（１１）は磁
性合金膜を示す。Furthermore, the laminated magnetic head (1) shown in Fig. 6 can solve the problem of high-speed sliding with the medium by using a single ferrite type as shown in Fig. 7 (a) or a magnetic head of the Jlt7 type shown in Fig. 7 (b). Compared to ferrite/magnetic alloy film composite magnetic heads such as
It is advantageous in that it has a magnetic core structure that does not include ferrite material (9) that tends to generate sliding noise. In FIG. 7, (10) indicates a bonding glass, and (11) indicates a magnetic alloy film.
（ハ）発明が解決しようとする課題
第６図の積層型ヘッド（１）は、媒体摺動面ギャップ（
８）直近部のトラック幅内に絶縁膜（４ａ）、 （４ｂ
）、 （４ｃ）等の断面が露出する構造であり、その絶
縁膜（４ａ）・・・がＳｉｎ、等で形成された非磁性絶
縁膜であると、第８図に示すように磁気ヘッド（土）に
よって媒体上に記録される磁化パターン中に線状の非磁
化部（４０１）、 （４０２）、 （４０３）が現れ、
トラック幅Ｗが積層数に応じて分断された磁化パターン
（３０１）、 （３０２）、 （３０３）、 （３０４
）となる。(c) Problems to be Solved by the Invention The laminated head (1) shown in FIG. 6 has a medium sliding surface gap (
8) Insulating film (4a), (4b) within the track width in the immediate vicinity
), (4c), etc., and the insulating film (4a) is a non-magnetic insulating film made of Sin, etc., as shown in FIG. linear non-magnetized parts (401), (402), (403) appear in the magnetization pattern recorded on the medium by
Magnetization patterns (301), (302), (303), (304) in which the track width W is divided according to the number of laminated layers
).
実際に厚さ０．１μｍの非磁性絶縁膜（Ｓｉｎ、膜）を
介して厚さ５ａｍの磁性合金膜（センダスト膜）を４層
積層した磁気コア構造を有し、ギャップ長が０，２５μ
ｍの第６図のような積層型磁気ヘッドを用いて、抗磁力
１．４ｋＯｅのＭＰテープ上に波ｉ１ａｍの信号を記録
し、該テープに磁性コロイドを塗布して磁化パターンを
観察したところ、前記第８図のような線状非磁化部（４
０１）、 （４０２）、 （４０３）の幅は約１ｇｍ（
前記非磁性絶縁膜の厚さの約１０倍）にも達していた。It actually has a magnetic core structure in which four layers of 5 am thick magnetic alloy film (Sendust film) are laminated through a 0.1 μm thick non-magnetic insulating film (Sin film), and the gap length is 0.25 μm.
Using a laminated magnetic head as shown in Fig. 6 of M, the wave i1am signal was recorded on an MP tape with a coercive force of 1.4 kOe, and the magnetic colloid was coated on the tape and the magnetization pattern was observed. A linear non-magnetized portion (4
The width of 01), (402), and (403) is approximately 1gm (
The thickness was approximately 10 times that of the nonmagnetic insulating film.
即ち、輻２０．３ａｍのトラック内に輻約１ｐｍの線状
非磁化部が３本観測されたということは、トラック幅に
対して僅か１．５％程度の厚さを有する非磁性絶縁膜に
よって、１５％程度もの出力損失がもたらされることを
意味する。In other words, the fact that three linear non-magnetized parts with a radius of about 1 pm were observed in a track with a radius of 20.3 am means that the non-magnetic insulating film having a thickness of only about 1.5% of the track width , which means that an output loss of about 15% is caused.
また、第６図（ｂ）に示す磁気ヘッド（１）の磁気ギャ
ップ（８）は、第９図（ａ）に示すような一対の磁気コ
ア半体部材（２０ａ）、 （２０ｂ）のギャップ形成面
（２１ａ）、 （２１ｂ）を鏡面研摩した後、５ｉｎｓ
等のギャップスペーサ膜を介して突き合わせ接合するこ
とによって形成される。The magnetic gap (8) of the magnetic head (1) shown in FIG. 6(b) is formed by forming a gap between the pair of magnetic core half members (20a) and (20b) as shown in FIG. 9(a). After mirror polishing surfaces (21a) and (21b), 5ins
It is formed by butt joining via a gap spacer film such as.
ここで、磁気コア半体部材（２０ａ）、 （２０ｂ）の
製法について簡単に説明すると、非磁性基板（２ａ）の
−面に前記積層磁気コア部（旦）を形成し、他面に接着
ガラス層（６）を形成したものを、複数個重ね合わせて
加熱圧着して第９図（ａ）の磁気コア半体部材（２０ａ
）を得る。Here, to briefly explain the manufacturing method of the magnetic core half members (20a) and (20b), the laminated magnetic core part (dan) is formed on the - side of the non-magnetic substrate (2a), and the adhesive glass is formed on the other side. A plurality of layers having layer (6) formed thereon are superimposed and heat-pressed to form the magnetic core half member (20a) shown in FIG. 9(a).
).
前記ギャップ形成面（２１ａ）、 （２１ｂ）の鏡面研
摩時には、非磁性基板（２ａ）、 （２ａ）と積層磁気
コア部（互）との境界部に、両者の硬度・研削性等の違
いによる第９図（ｂ）に示すような段差（δ）が生じる
。このような段差（δ）が存在する一対の磁気コア半体
部材（２０ａ）、 （２０ｂ）を、ギャップスペーサ（
２２）を介して突き合わせ接合すれば、磁気ギャップ内
に第９図（ｃ）に示すような中空部（２３）が生じ、接
合強度の点でも寸法精度の点でも不安定な磁気ギャップ
となる。During mirror polishing of the gap forming surfaces (21a), (21b), the boundary between the non-magnetic substrates (2a), (2a) and the laminated magnetic core part (mutual) is polished due to the difference in hardness, grindability, etc. between the two. A step difference (δ) as shown in FIG. 9(b) occurs. A pair of magnetic core half members (20a) and (20b) in which such a step (δ) exists is connected to a gap spacer (
22), a hollow part (23) as shown in FIG. 9(c) is created in the magnetic gap, resulting in a magnetic gap that is unstable both in terms of bonding strength and dimensional accuracy.
実際、上述の第８図の実験に供することを目的として第
６図のような磁気ヘッドを試作した際、前記ギャップ形
成面の鏡面研摩時に、非磁性基板（結晶化ガラス）と積
層磁気コア部（センダスト／５ｉＯ＝）との境界部に生
じた前記第９図（ｂ）の段差（δ）は約０．０５μｍに
も達し、ギャップスペーサとして厚さ０．１５μｍのＳ
ｉＯを膜を形成することによって、前記第９図（ｃ）
における中空部（２３）を含めたギャップ長を０．２５
ｕｍにすることをねらったが、このギャップ長の寸法精
度に関しては、信頼性が乏しく、高密度記録用狭ギヤツ
プ磁気ヘッドとしての記録再生特性が保証できない。In fact, when a magnetic head as shown in FIG. 6 was prototyped for the purpose of the experiment shown in FIG. (Sendust/5iO=) The step (δ) shown in FIG.
By forming a film of iO, the above-mentioned FIG. 9(c)
The gap length including the hollow part (23) at 0.25
However, the dimensional accuracy of this gap length is not reliable, and the recording and reproducing characteristics as a narrow gap magnetic head for high-density recording cannot be guaranteed.
（ニ）課題を解決するための手段
本発明による磁気ヘッドは、一対の磁気コア半体が非磁
性材を介してギャップ接合されてなる磁気ヘッドであっ
て、前記磁気コア半体の主磁路構成部は、電気的絶縁膜
を介して積層された第１の磁性合金膜が補強基板で挾持
された構造を有し、前記磁気コア半体の少なくとも一方
のギャップ突き合わせ部には、該ギャップ面に対向する
前記積層磁気コア部の幅量内に第２の磁性合金膜が付着
形成されていることを特徴とする。(d) Means for Solving the Problems The magnetic head according to the present invention is a magnetic head in which a pair of magnetic core halves are gap-jointed via a non-magnetic material, and the main magnetic path of the magnetic core halves is The component has a structure in which a first magnetic alloy film laminated via an electrically insulating film is sandwiched between reinforcing substrates, and the gap abutting portion of at least one of the magnetic core halves has the gap surface. It is characterized in that a second magnetic alloy film is adhered and formed within the width of the laminated magnetic core portion facing the magnetic core.
又、本発明の磁気ヘッドは、一対の磁気コア半体を非磁
性材を介してギャップ接合された磁気ヘッドであって、
前記磁気コア半体の主磁路構成部は、電気的絶縁膜を介
して積層された第１の磁性合金膜が前記ギャップ形成面
に対して斜交して形成され、前記磁気コア半体の少なく
とも一方のギャップ突き合わせ部には、該ギャップ面に
対向する前記積層磁気コア部の幅量内に第２の磁性合金
膜が、付着形成されていることを特徴とする。Further, the magnetic head of the present invention is a magnetic head in which a pair of magnetic core halves are gap-jointed via a non-magnetic material,
The main magnetic path forming portion of the magnetic core half is formed by forming a first magnetic alloy film laminated with an electrical insulating film interposed therebetween obliquely with respect to the gap forming surface. A second magnetic alloy film is formed on at least one of the gap abutting portions within the width of the laminated magnetic core portion facing the gap surface.
更に好ましくは、前記第２の磁性合金膜の形状及び寸法
によってトラック幅が規制されていることを特徴とする
。More preferably, the track width is regulated by the shape and dimensions of the second magnetic alloy film.
（ホ）作 用
本発明の磁気ヘッドによれば、少なくとも一方の積層形
成された磁気コア半体のギャップ突き合わせ部に第２の
磁性合金膜が延在するため、媒体摺動面ギャップ直近部
のトラック幅内に非磁性絶縁膜の断面が露出することが
なくなＩ２、上述した第７図のような磁化パターンの乱
れは発生せず、トラック幅に相応した出力を確保するこ
とができる。(E) Function According to the magnetic head of the present invention, since the second magnetic alloy film extends in the gap abutting portion of at least one of the laminated magnetic core halves, the area immediately adjacent to the medium sliding surface gap is Since the cross section of the nonmagnetic insulating film is not exposed within the track width I2, the disturbance of the magnetization pattern as shown in FIG. 7 described above does not occur, and an output commensurate with the track width can be ensured.
また、本発明の磁気ヘッドでは、少なくとも一方のコア
半体のギャップ突き合わせ部に前記第２の磁性合金膜が
延在するるため、一方のコア半体の第２の磁性合金膜と
他方のコア半体の第１の磁性合金膜が、あるいは両方の
コア半体の第２の磁性合金膜同志が、前記第９図（ｂ）
、（ｃ）のような非磁性基板と積層膜境界部の段差の影
響を受けることなく、ギャップスペーサに密着して突き
合わされることになり、ギャップ部の接合強度及び寸法
精度が向上する。Further, in the magnetic head of the present invention, since the second magnetic alloy film extends to the gap abutting portion of at least one core half, the second magnetic alloy film of one core half and the second magnetic alloy film of the other core half The first magnetic alloy film of the half body or the second magnetic alloy film of both core halves are as shown in FIG. 9(b).
, (c), the nonmagnetic substrate and the laminated film boundary are not affected by the difference in level and are brought into close contact with the gap spacer, thereby improving the bonding strength and dimensional accuracy of the gap.
（へ）実施例
以下、図面を参照しながら本発明の具体的な一実施例に
ついて詳細に説明する。尚、従来例と同一部分に対して
は同一符号を付し、その説明を一部省略する。(F) Example Hereinafter, a specific example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the same parts as in the conventional example are given the same reference numerals, and some explanations thereof will be omitted.
第１図は、本発明を適用した磁気ヘッドの媒体摺動面要
部拡大図を示す。図において、磁気ヘッド（珊）は一対
の磁気コア半体（２００）、 （２００’）が、厚さ０
．２ＦＪ＋ｍの５ｉｆｔ膜の非磁性材（７）を介してギ
ャップ接合されている。FIG. 1 shows an enlarged view of the main part of the medium sliding surface of a magnetic head to which the present invention is applied. In the figure, the magnetic head (coral) has a pair of magnetic core halves (200) and (200') with a thickness of 0.
．． Gap bonding is performed via a nonmagnetic material (7) of 5ift film of 2FJ+m.
前記磁気コア半体（２００）、 （２００’ ）の主要
部は、非磁性基板（結晶化ガラス板）（２ａ）に電気的
絶縁膜（厚さ０．１ｐｍの５ｉｆｔ膜）（３ａ）、 （
３ｂ）、 （３ｃ）を介して積層された第１の磁性合金
膜（厚さ５μｍＸ４層のセンダスト系合金膜）（３ａ）
、 （３ｂ）、 （３ｃ）、 （３ｄ）で形成された積
層磁気コア部（互）、更に接着用ガラス層（６）を介し
て補強用の基板（結晶化ガラス板）（２ａ’）が加熱圧
着された構造を備えた従来のものに、更に前記磁気コア
半体（２００）、 （２００’）の少なくとも一方のギ
ャップ突き合わせ部には、ギャップ面に平行に延在する
第２の磁性合金膜（厚さ５μｍのセンダスト系合金膜）
（２４）、 （２４）が、付着形成されている。The main parts of the magnetic core halves (200) and (200') are a nonmagnetic substrate (crystalline glass plate) (2a) and an electrically insulating film (5ift film with a thickness of 0.1 pm) (3a).
3b), (3c) First magnetic alloy film (5 μm thick x 4 layers Sendust alloy film) (3a)
, (3b), (3c), and (3d), and a reinforcing substrate (crystallized glass plate) (2a') via an adhesive glass layer (6). In addition to the conventional structure having a heat-pressed structure, a second magnetic alloy extending parallel to the gap plane is further provided at the gap abutting portion of at least one of the magnetic core halves (200) and (200'). Membrane (Sendust alloy membrane with a thickness of 5 μm)
(24), (24) are deposited and formed.
ここで重要なことは、この第２の磁性合金膜（２４）が
、前記積層磁気コア部（互）のギャップ面に対向する幅
量内の範囲で形成されている点である。What is important here is that this second magnetic alloy film (24) is formed within a width range that faces the gap planes of the laminated magnetic core parts (each other).
磁気ヘッド（１００）には、両方の磁気コア半体（２！
２！１２）、 （２００’）のギャップ突き合わせ部に
、前記第２の磁性合金膜（２４）が延在し、媒体摺動面
ギャップ直近部のトラック幅内に非磁性絶縁膜（４ａ）
、 （４ｂ）。The magnetic head (100) includes both magnetic core halves (2!
2!12), the second magnetic alloy film (24) extends to the gap abutting portion of (200'), and the non-magnetic insulating film (4a) extends within the track width in the vicinity of the medium sliding surface gap.
, (4b).
（４ｃ）等の断面が露出することがない。(4c) etc. are not exposed.
従って、前記第８図のような磁化パターンの乱れは生じ
ず、トラック幅に相応した出力が確保できる。Therefore, the disturbance of the magnetization pattern as shown in FIG. 8 does not occur, and an output commensurate with the track width can be ensured.
また、磁気ヘッド（囮）は、両方の磁気コア半体ｑ匹）
、（跋二）の第２の磁性合金膜（２４）、（２４）が、
前記従来例第９図（ｂ）、（Ｃ）のような非磁性基板（
２ａ）と積層磁気コア部（且）との境界部の段差（δ）
の影響を受けることなく、ギャップスペーサ（７）に密
着して突き合わされることになるため、ギャップ部の接
合強度及び寸法精度が向上する。In addition, the magnetic head (decoy) consists of q pieces of both magnetic core halves)
, (2) second magnetic alloy films (24), (24),
A non-magnetic substrate (
Step (δ) at the boundary between 2a) and the laminated magnetic core (and)
Since it is brought into close contact with the gap spacer (7) without being affected by this, the bonding strength and dimensional accuracy of the gap portion are improved.
ここで、第１及び第２の磁性合金膜の材質としては、前
記センダスト系合金の他、ＦｅまたはＣｏをベースにし
て数％〜数十％の添加元素を含有する結晶質または非晶
質の高飽和磁束密度軟磁性合金が適している。第１及び
第２の磁性合金膜は同一の材料で構成してもよいが、磁
気コアのギャップ直近部が磁気飽和し易いという周知事
実を考慮すれば、第２の磁性合金膜（２４）の方により
高飽和磁束密度の材料を採用することが望ましい。Here, the materials for the first and second magnetic alloy films include, in addition to the above-mentioned sendust alloy, crystalline or amorphous materials based on Fe or Co and containing several percent to several tens of percent of additive elements. High saturation magnetic flux density soft magnetic alloys are suitable. The first and second magnetic alloy films may be made of the same material, but considering the well-known fact that the area immediately adjacent to the gap in the magnetic core is susceptible to magnetic saturation, the second magnetic alloy film (24) may be made of the same material. It is more desirable to use a material with a higher saturation magnetic flux density.
又、第２の磁性合金膜（２４）の膜厚は、薄すぎると前
述のような本発明特有の効果が得られず、厚すぎると渦
電流の悪影響が出るため、１〜１０μｍ程度とするのが
適切である。Further, the thickness of the second magnetic alloy film (24) is set to about 1 to 10 μm, because if it is too thin, the effects unique to the present invention as described above cannot be obtained, and if it is too thick, the adverse effects of eddy current will occur. is appropriate.
一方、従来の磁気ヘッド（１）（第６図参照）では、巻
線式先端部以外ではトラック部から遠く離れた部分のみ
にギャップ接合用ガラス（１０）が充填されているが、
本発明の磁気ヘッド（１００）では巻線式先端部以外の
トラック部両サイド部、即ち前記第２の磁性合金膜（２
４）が介在することによって生じた磁気コア半体（２０
０）、 （２００”）間の隙間にも、ギャップ接合用ガ
ラス（１０）が充填されており、ギャップ接合がより強
固となっている。On the other hand, in the conventional magnetic head (1) (see Fig. 6), the gap bonding glass (10) is filled only in the part far away from the track part other than the wire-wound tip part.
In the magnetic head (100) of the present invention, both side parts of the track part other than the wire-wound tip part, that is, the second magnetic alloy film (2
4), the magnetic core half body (20
0) and (200'') is also filled with gap bonding glass (10), making the gap bonding stronger.
更に、従来の磁気ヘッド（士）のトラック幅Ｗは積層磁
気コア部（旦）の総厚によって規制され、大量生産を行
う際に該膜厚の均一性を確保するのは容易でないが、本
発明の磁気ヘッド（泗）のトラック部Ｗは、前記第２の
磁性合金膜（２４）の形状及び寸法によって規制される
（その整形法については後でも述べるが、イオンビーム
エツチング法等による）ため、大量生産を行う際にもト
ラック幅の均一性を確保し易い。Furthermore, the track width W of a conventional magnetic head is regulated by the total thickness of the laminated magnetic core, and it is not easy to ensure the uniformity of the film thickness during mass production. The track portion W of the magnetic head (C) of the invention is regulated by the shape and dimensions of the second magnetic alloy film (24) (the shaping method will be described later, but by an ion beam etching method, etc.). , it is easy to ensure uniformity of track width even during mass production.
次に、前記第２の磁性合金膜（２４）の形成方法につい
て、第２図（ａ ）、（ｂ ）、（Ｃ）を参照しながら
説明する。即ち、第２の磁性合金膜（２４）は、従来の
磁気ヘッド（±）（＊６図参ＰｆＡ）を製造する際に前
記第９図（ｂ）の状態にまで加工された磁気コア半体部
材（２０ａ）のギャップ形成面（２１ａ）全面に、セン
ダスト等の磁性合金膜（２５）をスパッタリング法によ
って付着形成した後（第２図（ａ）参照）、フォトリソ
グラフィー技術によって形成された所定のレジストパタ
ーン（２６）に従って（第２図（ｂ）参照）、イオンビ
ームエツチング加工を施すことによって形成される（第
２図（ｃ）参照）。Next, a method for forming the second magnetic alloy film (24) will be explained with reference to FIGS. 2(a), (b), and (C). That is, the second magnetic alloy film (24) is a magnetic core half that has been processed to the state shown in FIG. After a magnetic alloy film (25) such as sendust is deposited on the entire gap forming surface (21a) of the member (20a) by sputtering (see FIG. 2(a)), a predetermined film formed by photolithography is formed. It is formed by performing ion beam etching according to the resist pattern (26) (see FIG. 2(b)) (see FIG. 2(c)).
ここで、本発明の磁気ヘッド（１００）ように、両方の
磁気コア半体（２００）、 （２００’）の第２の磁性
合金膜（２４）、 （２４）が、従来の第９図（ｂ）、
（ｃ）のような非磁性基板（２ａ）と積層磁気コア部（
且）との段差δの影響を受けることなく、ギャップスペ
ーサ（７）に密着して突き合わされるという本発明の特
徴を実現するためには、第２図（ｂ）のように積層磁気
コア部（且）の総厚を所望のトラック幅Ｗより若干大き
く設定しておき、第２の磁性合金膜（２４）のトラック
幅規制部が積層磁気コア部（臣）の厚み寸法以内に収ま
るようにレジストパターン（２６）を配置してイオンビ
ームエツチングを行えばよい。Here, as in the magnetic head (100) of the present invention, the second magnetic alloy films (24), (24) of both magnetic core halves (200), (200') are different from those shown in FIG. b),
A non-magnetic substrate (2a) as shown in (c) and a laminated magnetic core part (
In order to realize the feature of the present invention that the gap spacer (7) is closely butted against the gap spacer (7) without being affected by the step difference δ between the two layers, it is necessary to The total thickness of (and) is set slightly larger than the desired track width W, so that the track width regulating portion of the second magnetic alloy film (24) is within the thickness dimension of the laminated magnetic core portion (minister). Ion beam etching may be performed after arranging the resist pattern (26).
また、このような製造方法を採用すると第３図に示すよ
うに磁気コア半体（２００）、 （２００’）の第１の
磁性合金膜（３ａ）、 （３ｄ）の端部（３ａ ’ ）
、 （３ａ ’ ）及び（３ｄ’）、（３ｄ’）が、接
合ガラス（１０）を介して互いに平行状態で対向し、疑
似的なギャップを構成して隣接トラックの長波長信号を
検出する問題がある。Furthermore, when such a manufacturing method is adopted, the ends (3a') of the first magnetic alloy films (3a), (3d) of the magnetic core halves (200), (200') as shown in FIG.
, (3a'), (3d'), and (3d') face each other in parallel through the bonding glass (10), forming a pseudo gap to detect long wavelength signals of adjacent tracks. There is.
この問題に対しては、イオンビームエツチング時に第２
の磁性合金膜（２５）の不要部を除去した後も、更にオ
ーバーエツチングを行えば、前記第２図（ｃ）のように
、第２の磁性合金膜（２４）から第１の磁性合金積層＠
（３ａ）、 （３ｄ）に至るパターンエッチの裾野が
なだらかになり、上述のような問題は回避できる。To solve this problem, the second
Even after removing unnecessary parts of the magnetic alloy film (25), if over-etching is performed further, the second magnetic alloy film (24) is separated from the first magnetic alloy layer as shown in FIG. 2(c). @
The base of the pattern etch leading to (3a) and (3d) becomes gentle, and the above-mentioned problems can be avoided.
このように、フロントギャップ部の第２の磁性合金膜（
２４）は、所望の形状及び寸法に高精度で成形すること
が重要であるが、パックギャップ部（図示せず）の第２
の磁性合金膜（図示せず）の形状及び寸法に関する制約
は少ない。しかし、パックギャップ部近傍の磁気抵抗を
少しで６小さくするには、バンクギャップ部のトランク
幅をフロントギャップ部のトランク幅Ｗや積層磁性コア
部（工）の総厚Ｚに比べて幅広にすることが望ましい。In this way, the second magnetic alloy film (
24), it is important to form the desired shape and dimensions with high precision, but the second
There are few restrictions regarding the shape and dimensions of the magnetic alloy film (not shown). However, in order to reduce the magnetic resistance near the pack gap by just 6, the trunk width of the bank gap should be made wider than the trunk width W of the front gap and the total thickness Z of the laminated magnetic core. This is desirable.
そのためには、第２図（ｂ）の工程でパックギャップ部
に幅広のレジストパターンを形成しておけばよい。For this purpose, a wide resist pattern may be formed in the pack gap portion in the step shown in FIG. 2(b).
尚、本発明の実施例は第１図のような磁気ヘッドに限ら
れるものではなく、例えば第４図（ａ）〜（ｅ）に示す
ような媒体摺動面の構造を有する磁気ヘッドも本発明の
実施例に含まれる。Note that the embodiments of the present invention are not limited to the magnetic head as shown in FIG. 1, but also include magnetic heads having the structure of the medium sliding surface as shown in FIGS. 4(a) to (e), for example. Included in the embodiments of the invention.
ここで、第４図（ａ）は一方の磁気コア半体（匹Ｑ ”
） Ｉ：第２の磁性合金膜（２４）を形成した磁気ヘッ
ド（１）の実施例、同図（ｂ）は磁気ギャップ（８）が
媒体摺動方向Ｐに対して傾斜した、いわゆるアジマス記
録用の磁気ヘッド（１０２）の実施例を示したものであ
る。Here, FIG. 4(a) shows one magnetic core half (piece Q"
) I: Example of the magnetic head (1) on which the second magnetic alloy film (24) is formed, FIG. This figure shows an example of a magnetic head (102) for use in the present invention.
第４図（ｂ）の磁気ヘッド（襄）は、第１の磁性合金膜
（３ａ）〜（３ｄ）が積層された積層磁気コア部（互）
の形成面が、磁気ギャップ（８）に対して垂直で、且つ
媒体摺動方向Ｐに対して傾斜した実施例、同図（ｃ）の
磁気ヘッド（獲）は、積層磁気コア部（工）の形成面が
媒体摺動方向Ｐに対して平行で、且つ磁気ギャップ（８
）に対して傾斜した実施例に相当する。前者の磁気ヘッ
ド（１０２）は、前述の第２図（ｃ）の状態まで加工し
た磁気コア半体部材（２０ａ）、 （２ｏｂ）をギャッ
プ接合して得られる第５図（ａ）のブロックを同図の一
点鎖線に沿って切断することによって作製される。The magnetic head (sleeve) in FIG. 4(b) has a laminated magnetic core portion (alternate) on which the first magnetic alloy films (3a) to (3d) are laminated.
The magnetic head (c) shown in FIG. is parallel to the medium sliding direction P, and the magnetic gap (8
) corresponds to an embodiment inclined with respect to The former magnetic head (102) is made of the block shown in FIG. 5(a) obtained by gap welding the magnetic core half members (20a) and (2ob) processed to the state shown in FIG. 2(c) described above. It is produced by cutting along the dashed line in the figure.
又、第４図（Ｃ）の磁気ヘッド（腸）は、第５図（ｂ）
に示すように磁気コア半体部材（２０ａ）を同図−点鎖
線に沿って斜めに切断して所定の処理を施した後、一対
の磁気コア半体部材（２０ａ）、 （２０ｂ）をギャッ
プ接合して得られる第５図（ｃ）のブロックを一点鎖線
に沿って切断することによって作製される。Also, the magnetic head (intestine) in Fig. 4(C) is as shown in Fig. 5(b).
As shown in the figure, after cutting the magnetic core half member (20a) diagonally along the dotted chain line in the same figure and subjecting it to a prescribed treatment, the pair of magnetic core half members (20a) and (20b) are cut into a gap. It is produced by cutting the blocks of FIG. 5(c) obtained by joining along the dashed line.
又、第４図（ｄ）の磁気ヘッド（出）は、積層磁気コア
部（互）が媒体摺動方向Ｐに対して傾斜して形成された
、換言すれば磁気ギャップ面（８）に対して積層磁気コ
ア部（且）が傾斜して形成された磁気ヘッドの実施例、
同（ｅ）の磁気ヘッド（±）は、積層磁気コア部（盈）
が媒体摺動方向Ｐに対して斜めで、かつ２方向に分かれ
て形成された磁気ヘッドの実施例を示している。（１０
’）は磁気コア半体（２０１）、 （２０１’）形成時
に充填されるガラスであり、接合ガラス（１０）と同じ
ものでもよい。In addition, in the magnetic head (outer) of FIG. 4(d), the laminated magnetic core portions (mutually) are formed to be inclined with respect to the medium sliding direction P, in other words, with respect to the magnetic gap surface (8). Example of a magnetic head in which the laminated magnetic core portion (and) is formed with an inclination,
The magnetic head (±) in the same figure (e) has a laminated magnetic core part (en).
This figure shows an example of a magnetic head formed obliquely to the medium sliding direction P and divided into two directions. (10
') is a glass filled when forming the magnetic core halves (201) and (201'), and may be the same as the bonding glass (10).
（ト）発明の効果
本発明によれば、接合強度の点、成るいは寸法精度の点
で安定したギャップ部を有し、トランク幅に相応した出
力が確保できる磁性合金積層コア型ヘッドを提供するこ
とができる。(G) Effects of the Invention According to the present invention, a magnetic alloy laminated core type head is provided which has a stable gap portion in terms of bonding strength or dimensional accuracy and can secure an output commensurate with the trunk width. can do.
第１図は本発明実施例磁気ヘッドの媒体摺動面要部拡大
図、第２図（ａ）〜（ｃ）は本発明の磁気ヘッド製造工
程を説明するための主要部拡大図、第３図は本発明の磁
気ヘッドの改良前の正面図、第４図（ａ）〜（ｃ）は本
発明の具体的な磁気ヘッドの正面図、第４図（ｄ）、（
ｅ）は本発明の他の磁気ヘッドの正面図、第５図（ａ）
〜（Ｃ）は本発明の磁気ヘッドの製造途中の説明図、第
６図（ａ）は従来の磁気ヘッドの外観斜視図、第６図（
ｂ）はその正面図、第７図（ａ）、（ｂ）は他の従来の
磁気ヘッドの正面図、第８図は従来の磁気ヘッドによっ
て媒体上に記録された磁化パターン図、第９図（ａ）〜
（ｃ）は従来の磁気ヘッドの製造工程を説明するための
図である。
（１００）・・・磁気ヘッド、（２００）（２四゛）・
・・磁気コア半体、（３ａ）−（３ｄ）−・−第１の磁
性合金膜、（４ａ）−（４ｃ）・・・電気的絶縁膜、（
旦）・・・積層磁気コア部、（８）・・・磁気ギャップ
、（２４）・・・第２の磁性合金膜。FIG. 1 is an enlarged view of the main part of the medium sliding surface of the magnetic head according to the embodiment of the invention, FIGS. 2(a) to (c) are enlarged views of the main part for explaining the manufacturing process of the magnetic head of the invention, and FIG. The figure is a front view of the magnetic head of the present invention before improvement, FIGS. 4(a) to (c) are front views of a specific magnetic head of the present invention, and FIGS. 4(d), (
e) is a front view of another magnetic head of the present invention, FIG. 5(a)
-(C) are explanatory views of the magnetic head of the present invention in the middle of manufacturing, FIG. 6(a) is an external perspective view of a conventional magnetic head, and FIG.
b) is its front view, FIGS. 7(a) and (b) are front views of other conventional magnetic heads, FIG. 8 is a diagram of the magnetization pattern recorded on the medium by the conventional magnetic head, and FIG. 9 (a)～
(c) is a diagram for explaining the manufacturing process of a conventional magnetic head. (100)...Magnetic head, (200)(24゛)・
...Magnetic core half, (3a)-(3d)--first magnetic alloy film, (4a)-(4c)...electrical insulating film, (
dan)...Laminated magnetic core portion, (8)...Magnetic gap, (24)...Second magnetic alloy film.
Claims (3)
互に積層して主磁路として形成された積層磁気コア部と
、該積層磁気コア部に固着された補強基板とからなる一
対の磁気コア半体を、非磁性材を介してギャップ接合し
てなる磁気ヘッドであって、 前記一対の磁気コア半体のうち少なくとも一方の磁気コ
ア半体のギャップ突き合わせ部に、該ギャップに対向す
る前記積層磁気コア部の幅以内に第２の磁性合金膜が付
着形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。(1) A laminated magnetic core portion formed as a main magnetic path by alternately laminating first magnetic alloy films and electrical insulating films on a substrate, and a reinforcing substrate fixed to the laminated magnetic core portion. A magnetic head formed by gap-joining a pair of magnetic core halves with a non-magnetic material interposed therebetween, wherein the gap abutting portion of at least one magnetic core half of the pair of magnetic core halves is provided. A magnetic head characterized in that a second magnetic alloy film is adhered and formed within a width of the laminated magnetic core portion facing the magnetic head.
互に積層して、ギャップ形成面に対して斜交して形成さ
れた主磁路としての積層磁気コア部を備える一対の磁気
コア半体を、非磁性材を介してギャップ接合してなる磁
気ヘッドであって、前記一方の磁気コア半体のうち、少
なくとも一方の磁気コア半体のギャップ突き合わせ部に
、該ギャップ面に対向する前記積層磁気コア部の幅以内
に第２の磁性合金膜が付着形成されていることを特徴と
する磁気ヘッド。(2) A pair comprising a laminated magnetic core portion as a main magnetic path formed by alternately laminating a first magnetic alloy film and an electrical insulating film on a substrate and being formed obliquely to the gap forming surface. A magnetic head formed by gap-joining two magnetic core halves through a non-magnetic material, wherein the gap abutting portion of at least one of the one magnetic core halves has the gap surface. A magnetic head characterized in that a second magnetic alloy film is adhered and formed within a width of the laminated magnetic core portion facing the magnetic head.
合金膜の形状及び寸法によって規制されていることを特
徴とする請求項（１）又は（２）記載の磁気ヘッド。(3) The magnetic head according to claim 1 or 2, wherein the track width of the magnetic head is regulated by the shape and dimensions of the second magnetic alloy film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28747690A JPH04159603A (en) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28747690A JPH04159603A (en) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04159603A true JPH04159603A (en) | 1992-06-02 |
Family
ID=17717835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28747690A Pending JPH04159603A (en) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04159603A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8879545B2 (en) | 2007-12-31 | 2014-11-04 | At&T Intelletual Property I, L.P. | Methods and apparatus to route a communication session directly to a voicemail mailbox |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP28747690A patent/JPH04159603A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8879545B2 (en) | 2007-12-31 | 2014-11-04 | At&T Intelletual Property I, L.P. | Methods and apparatus to route a communication session directly to a voicemail mailbox |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60163214A (en) | Magnetic head and its manufacturing method | |
| JPH04159603A (en) | Magnetic head | |
| KR930000067B1 (en) | Magnetic head | |
| JPS598120A (en) | Production of magnetic head | |
| JPH04188416A (en) | Manufacture of magnetic head | |
| JP3011846B2 (en) | Magnetic head | |
| JP2618860B2 (en) | Magnetic head and method of manufacturing the same | |
| JPS59203210A (en) | Magnetic core and its production | |
| JP2801678B2 (en) | Manufacturing method of magnetic head | |
| JPH03113812A (en) | Composite type magnetic head | |
| JPS60185214A (en) | Magnetic head | |
| JPH0817017A (en) | Thin film laminated magnetic head | |
| JPS63279406A (en) | Magnetic head | |
| JPH0156445B2 (en) | ||
| JPS632109A (en) | Magnetic head | |
| JPS6218617A (en) | Magnetic head | |
| JPS63188805A (en) | Perpendicular magnetic recording and reproducing head and its manufacture | |
| JPH03685B2 (en) | ||
| JPH04125805A (en) | Magnetic head | |
| JPH05143917A (en) | Magnetic head | |
| JPS628318A (en) | Composite magnetic head | |
| JPH01224906A (en) | Complex-type magnetic head | |
| JPH0438606A (en) | Laminated magnetic head and production thereof | |
| JPH03687B2 (en) | ||
| JPH07302408A (en) | Magnetic head and its production |