JPH04143606A - 形状検出装置 - Google Patents
形状検出装置Info
- Publication number
- JPH04143606A JPH04143606A JP26819190A JP26819190A JPH04143606A JP H04143606 A JPH04143606 A JP H04143606A JP 26819190 A JP26819190 A JP 26819190A JP 26819190 A JP26819190 A JP 26819190A JP H04143606 A JPH04143606 A JP H04143606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- base material
- image
- shape
- scraped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 41
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 11
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、鏡面削り取り加工により露出された金属加工
物等の母材の削り取り露出部の形状を検出する形状検出
装置に関する。
物等の母材の削り取り露出部の形状を検出する形状検出
装置に関する。
第8図は、金属加工物等の母材及びその表面に生じたひ
び割れ等の部分的な欠陥部の一例を示している。
び割れ等の部分的な欠陥部の一例を示している。
上記母材51の欠陥部52は、第9図に示すようにグラ
インダ53等によって削り取られる。
インダ53等によって削り取られる。
通常、上記母材51の他の部分は、光を紅反射するが、
上記削り取り加工された部分の表面は。
上記削り取り加工された部分の表面は。
上記グラインダ53等により研磨されて鏡面のようにな
る。
る。
そして、上記のように削り取られて露出されたこの母材
51の削り取り露出部54には、溶接作業者等によって
第10図に示すように溶接等の補修が施される。
51の削り取り露出部54には、溶接作業者等によって
第10図に示すように溶接等の補修が施される。
通常、上記削り取り加工と上記溶接作業とは別工程で行
われ、特に、上記溶接作業は他の作業と異なり比較的長
時間を要する。
われ、特に、上記溶接作業は他の作業と異なり比較的長
時間を要する。
また、一般に、上記溶接作業においては、溶接部からの
スパーク等によって比較的口が疲労し易く、同作業は他
の作業と比べると苛酷である。
スパーク等によって比較的口が疲労し易く、同作業は他
の作業と比べると苛酷である。
それゆえに、上記溶接作業をロボット等を用いて自動化
することが望まれるが、同溶接作業は。
することが望まれるが、同溶接作業は。
作業者が上記削り取り露出部54の形状を目で確認しな
がら、同削り取り露出部54の隅から隅までをきれいに
溶接修復するといった緻密で高度の技術を要する作業で
あり、上記削り取り露出部54の形状を検出する機能技
術をセンサ等を用いて自動化するのは、従来は、到底不
可能であろうと考えられていた。
がら、同削り取り露出部54の隅から隅までをきれいに
溶接修復するといった緻密で高度の技術を要する作業で
あり、上記削り取り露出部54の形状を検出する機能技
術をセンサ等を用いて自動化するのは、従来は、到底不
可能であろうと考えられていた。
従って5本発明は母材の削り取り露出部の形状を、母材
の他の部分と区別して正確に検出し得るようにした形状
検出装置を提供することを目的としてなされたものであ
る。
の他の部分と区別して正確に検出し得るようにした形状
検出装置を提供することを目的としてなされたものであ
る。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために本発明は、鏡面削り取り加工
により露出された母材の削り取り露出部の形状を、光を
乱反射する上記母材の他の部分と区別して検出する形状
検出装置において、上記削り取り露出部に光を照射する
ための光源と、上記削り取り露出部からの上記光源光の
鏡面反射光を撮像するための撮像手段と、上記光源及び
/又は上記撮像手段を、上記削り取り露出部を中心とし
て相互に移動させる移動手段と、上記移動手段を作動さ
せつつ上記撮像手段からの撮像画像を積分処理し、上記
削り取り露出部の形状を検出する形状検出手段とを具備
してなることを特徴とする形状検出装置として構成され
ている。
により露出された母材の削り取り露出部の形状を、光を
乱反射する上記母材の他の部分と区別して検出する形状
検出装置において、上記削り取り露出部に光を照射する
ための光源と、上記削り取り露出部からの上記光源光の
鏡面反射光を撮像するための撮像手段と、上記光源及び
/又は上記撮像手段を、上記削り取り露出部を中心とし
て相互に移動させる移動手段と、上記移動手段を作動さ
せつつ上記撮像手段からの撮像画像を積分処理し、上記
削り取り露出部の形状を検出する形状検出手段とを具備
してなることを特徴とする形状検出装置として構成され
ている。
この形状検出袋!では、移動手段により、削り取り露出
部に光を照射する光源及び/又は該削り取り露出部から
の光源光の鏡面反射光を撮像する撮像手段が、該削り取
り露出部を中心として相互に移動されつつ、形状検出手
段により上記撮像手段からの撮像画像が積分処理されて
上記削り取り露出部の形状が検出される。
部に光を照射する光源及び/又は該削り取り露出部から
の光源光の鏡面反射光を撮像する撮像手段が、該削り取
り露出部を中心として相互に移動されつつ、形状検出手
段により上記撮像手段からの撮像画像が積分処理されて
上記削り取り露出部の形状が検出される。
即ち、この形状検出装置を用いれば1人手によらず削り
取り露出部の形状を、母材の他の部分と区別して正確に
検出することができる。
取り露出部の形状を、母材の他の部分と区別して正確に
検出することができる。
〔実施例]
以下、添付図面を参照して1本発明を具体化した実施例
につき説明し2本発明の理解に供する。
につき説明し2本発明の理解に供する。
尚、以下の実施例は本発明を具体化した一例であって1
本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
第1図は本発明の一実施例に係る形状検出装置を示すブ
ロック図、第2図は同形状検出装置の画面上に表示され
た撮像画像の一例を示す模式図第3図は同形状検出装置
のTVカメラと光源との位置関係の一例を示す模式図、
第4図(a)は同形状検出装置のTVカメラと光源との
位置関係の変化による撮像画像の変化の一例を示す模式
図、第4図ら)は同撮像画像を積分したところの一例を
示す模式図、第5図は本発明の他の実施例に係る形状検
出装置を示すブロック図、第6図(a)及び(b)はそ
れぞれ同形状検出装置の画面上に表示された撮像画像の
一例を示す模式図、第7図は同形状検出装置のTVカメ
ラの撮像面と削り取り露出部の鏡面反射部との位置関係
の一例を示す模式図である。
ロック図、第2図は同形状検出装置の画面上に表示され
た撮像画像の一例を示す模式図第3図は同形状検出装置
のTVカメラと光源との位置関係の一例を示す模式図、
第4図(a)は同形状検出装置のTVカメラと光源との
位置関係の変化による撮像画像の変化の一例を示す模式
図、第4図ら)は同撮像画像を積分したところの一例を
示す模式図、第5図は本発明の他の実施例に係る形状検
出装置を示すブロック図、第6図(a)及び(b)はそ
れぞれ同形状検出装置の画面上に表示された撮像画像の
一例を示す模式図、第7図は同形状検出装置のTVカメ
ラの撮像面と削り取り露出部の鏡面反射部との位置関係
の一例を示す模式図である。
この形状検出装置1は、第1図に示すように母材51の
削り取り露出部54に散乱光を照射するハロゲンランプ
等からなる光源2を具備している。
削り取り露出部54に散乱光を照射するハロゲンランプ
等からなる光源2を具備している。
この形状検出装置1は、マイクロコンピュータCPU等
からなる画像処理部3を中心として構成され、この画像
処理部3に、上記削り取り露出部54からの上記光源光
の鏡面反射光を撮像するための撮像手段の一例であるT
Vカメラ4.該TVカメラ4により撮像された撮像画像
を画面5上に表示するCRT等からなる表示部6等が接
続されている。
からなる画像処理部3を中心として構成され、この画像
処理部3に、上記削り取り露出部54からの上記光源光
の鏡面反射光を撮像するための撮像手段の一例であるT
Vカメラ4.該TVカメラ4により撮像された撮像画像
を画面5上に表示するCRT等からなる表示部6等が接
続されている。
この形状検出装置1では、上記光源2及び/又は上記T
Vカメラ4が上記削り取り露出部54を中心として不図
示のロボットアーム等により相互に移動される。
Vカメラ4が上記削り取り露出部54を中心として不図
示のロボットアーム等により相互に移動される。
例えば、第3図に示すように上記TVカメラ4は、上記
ロボットアームにより上記削り取り露H部54の略直上
に位置決めされると共に、上記】源2は上記ロボットア
ームにより母材51の表角51、(XY平面)に対して
直角方向の上記削乞取り露出部54を含むYZ平面上を
同削り取り4出部54を中心とする角度θ(矢印A)が
例えねθ〜180’に変化されて回転移動される。
ロボットアームにより上記削り取り露H部54の略直上
に位置決めされると共に、上記】源2は上記ロボットア
ームにより母材51の表角51、(XY平面)に対して
直角方向の上記削乞取り露出部54を含むYZ平面上を
同削り取り4出部54を中心とする角度θ(矢印A)が
例えねθ〜180’に変化されて回転移動される。
上記例では、TVカメラ4が削り取り露出部54の略直
上に位置決めされて光i12が回転移動されたが、その
逆に、光源2を削り取り露出部54の略直上に位置決め
してTVカメラ4を回転移りするようにしてもよい。
上に位置決めされて光i12が回転移動されたが、その
逆に、光源2を削り取り露出部54の略直上に位置決め
してTVカメラ4を回転移りするようにしてもよい。
又は、上記TVカメラ4と光源2とを共に相互に回転移
動させるようにしてもよい。
動させるようにしてもよい。
或いは、上記削り取り露出部54の削り取り角度等に応
じて上記TVカメラ4又は光源2を同削り取り露出部5
4の直上でなく、上記削り取り角度だけずらして位置決
めするようにしてもよい。
じて上記TVカメラ4又は光源2を同削り取り露出部5
4の直上でなく、上記削り取り角度だけずらして位置決
めするようにしてもよい。
このような場合、上記光源2又はTVカメラ4の回転移
動面は、上記ずれた角度に応じた角度だけ修正された角
度をもった面とされる。
動面は、上記ずれた角度に応じた角度だけ修正された角
度をもった面とされる。
以下、上記第3図の例についてのみ説明する。
上述した光源2及び/又はTVカメラ4を削り取り露出
部54を中心として相互に移動させる機能を実現する手
段が移動手段の一例である。
部54を中心として相互に移動させる機能を実現する手
段が移動手段の一例である。
第2図は、上記光源2がある角度θ1に回転移動されて
位置決めされたときの画面5上に表示された上記TVカ
メラ4の母材51等の撮像画像の一例を示している。
位置決めされたときの画面5上に表示された上記TVカ
メラ4の母材51等の撮像画像の一例を示している。
この図に示すように、上記削り取り露出部54からの光
源光の鏡面反射光は、他の部分と異なり光った明光画像
54.(白い画像)となって、同画面5上にあられれる
。
源光の鏡面反射光は、他の部分と異なり光った明光画像
54.(白い画像)となって、同画面5上にあられれる
。
第4図(a)は、上記光源2が上記のように回転移動さ
れたときの上記明光画像54.の変化の一例を示してい
る。
れたときの上記明光画像54.の変化の一例を示してい
る。
この図に示すように上記明光画像54.は、上記角度θ
の変化に伴って上記削り取り露出部54の一端部から他
端部まで移動する。
の変化に伴って上記削り取り露出部54の一端部から他
端部まで移動する。
二の形状検出装置1では、上記光源2が、その角度θが
上記のように0〜180°に変化されて回転移動されつ
つ、上記TVカメラ4からの撮像画像(即ち、上記明光
画像541等)が積分処理され、上記画面5上に表示さ
れる。
上記のように0〜180°に変化されて回転移動されつ
つ、上記TVカメラ4からの撮像画像(即ち、上記明光
画像541等)が積分処理され、上記画面5上に表示さ
れる。
第4図(bJは、上記積分処理されて画面5上に表示さ
れた撮像画像の一例を示している。
れた撮像画像の一例を示している。
この形状検出装置1では、この図に示すように上記積分
処理により上記削り取り露出部54の形状が、明光部5
4.として明瞭且つ正確に画面5上に表示される。
処理により上記削り取り露出部54の形状が、明光部5
4.として明瞭且つ正確に画面5上に表示される。
上記例では、上記TVカメラ4からの撮像画像をそのま
ま積分処理したが、同TVカメラ4からの撮像画像を所
定閾値を用いて2値化した後、上記積分処理を行うよう
にしてもよい。
ま積分処理したが、同TVカメラ4からの撮像画像を所
定閾値を用いて2値化した後、上記積分処理を行うよう
にしてもよい。
このようにすれば、上記明光部541と他の撮像画像部
分とを、より一層明瞭に区別することができる。
分とを、より一層明瞭に区別することができる。
上記した光源2を回転移動させつつTVカメラ4からの
撮像画像を積分処理し、削り取り露出部54の形状を明
光部54.として検出表示する機能を実現する手段が形
状検出手段の一例である。
撮像画像を積分処理し、削り取り露出部54の形状を明
光部54.として検出表示する機能を実現する手段が形
状検出手段の一例である。
そして、この形状検出装置1を備えた溶接装置では、他
の装置3例えば後述するようにTVカメラを2台装備し
た装置等により、上記削り取り露出部54の正確な位置
及びその深さ等が検出され。
の装置3例えば後述するようにTVカメラを2台装備し
た装置等により、上記削り取り露出部54の正確な位置
及びその深さ等が検出され。
不図示のロボットアーム等が作動されて同削り取り露出
部54の溶接修復処理がなされる。
部54の溶接修復処理がなされる。
第5図は、上記したTVカメラを2台装備してなる形状
検出装置1.を示している。
検出装置1.を示している。
尚、この形状検出装置1.は2表示部も2台(6、,6
i備えている。 この形状検出装置1゜では、この図に
示すように削り取り露出部54の略直上にTVカメラ4
.及び4.が並設されている。
i備えている。 この形状検出装置1゜では、この図に
示すように削り取り露出部54の略直上にTVカメラ4
.及び4.が並設されている。
即ち、この形状検出装置1.では、光源2の前述した回
転移動により、上記形状検出装置lと同様に、削り取り
露出部54の形状がTVカメラ4゜及び41等によって
それぞれ検出され、第6図(に)及びら)に示すように
画面5.及び5.上にそれぞれ表示される。
転移動により、上記形状検出装置lと同様に、削り取り
露出部54の形状がTVカメラ4゜及び41等によって
それぞれ検出され、第6図(に)及びら)に示すように
画面5.及び5.上にそれぞれ表示される。
そして9次式による演算処理がなされて削り取り露出部
54の鏡面反射部Pの位置及びその深さ[即ち、TVカ
メラ4.の中心軸B(光軸の中心)からの距離m(第7
図参照)及び同TVカメラ41の結像中心点Cからの距
離!(同第7図参照)]が求められる。
54の鏡面反射部Pの位置及びその深さ[即ち、TVカ
メラ4.の中心軸B(光軸の中心)からの距離m(第7
図参照)及び同TVカメラ41の結像中心点Cからの距
離!(同第7図参照)]が求められる。
m−L t、l / (j!+ +1z )
・・(1)j2=L+ Ll / (j!+ +j!
z )・・・(2)但し =TVTVカメラ4中心軸Bから同 TVカメラ4.の撮像面7(第7 図)上の明光画像541の端部ま での距離。
・・(1)j2=L+ Ll / (j!+ +j!
z )・・・(2)但し =TVTVカメラ4中心軸Bから同 TVカメラ4.の撮像面7(第7 図)上の明光画像541の端部ま での距離。
1、:TVカメラ4.の中心軸りから同TVカメラ41
の撮像面8(第7 図)上の明光画像54.の端部ま での距離。
の撮像面8(第7 図)上の明光画像54.の端部ま での距離。
L、:TVカメラ4.と4b間の距離。
!
t
:T■カメラ41及び4゜
の焦点路
離。
尚、上記(1)、 (2)の関係式は、第7図に示す幾
何図形から簡単に導かれる次式を解くことにより求めら
れる。
何図形から簡単に導かれる次式を解くことにより求めら
れる。
11/ L t = m/ j! ・=(
3)It /Lx = (Ll m)/j”=(4
)〔発明の効果] 本発明により鏡面削り取り加工により露出された母材の
削り取り露出部の形状を、光を乱反射する上記母材の他
の部分と区別して検出する形状検出装置において、上記
削り取り露出部に光を照射するための光源と、上記削り
取り露出部からの上記光源光の鏡面反射光を撮像するた
めの撮像手段と、上記光源及び/又は上記撮像手段を、
上記削り取り露出部を中心として相互に移動させる移動
手段と、上記移動手段を作動させつつ上記撮像手段から
の撮像画像を積分処理し、上記削り取り露出部の形状を
検出する形状検出手段とを具備してなることを特徴とす
る形状検出装置が提供される。
3)It /Lx = (Ll m)/j”=(4
)〔発明の効果] 本発明により鏡面削り取り加工により露出された母材の
削り取り露出部の形状を、光を乱反射する上記母材の他
の部分と区別して検出する形状検出装置において、上記
削り取り露出部に光を照射するための光源と、上記削り
取り露出部からの上記光源光の鏡面反射光を撮像するた
めの撮像手段と、上記光源及び/又は上記撮像手段を、
上記削り取り露出部を中心として相互に移動させる移動
手段と、上記移動手段を作動させつつ上記撮像手段から
の撮像画像を積分処理し、上記削り取り露出部の形状を
検出する形状検出手段とを具備してなることを特徴とす
る形状検出装置が提供される。
従って、この形状検出装置を用いれば、母材の削り取り
露出部の形状を、母材の他の部分と区別して正確に検出
することができる。
露出部の形状を、母材の他の部分と区別して正確に検出
することができる。
第1図は本発明の一実施例に係る形状検出装置を示すブ
ロック図、第2図は同形状検出装置の画面上に表示され
た撮像画像の一例を示す模式図第3図は同形状検出装置
のTVカメラと光源との位置関係の一例を示す模式図、
第4図(a)は同形状検出装置のTVカメラと光源との
位置関係の変化による撮像画像の変化の一例を示す模式
図、第4図(ロ)は同撮像画像を積分したところの一例
を示す模式図、第5図は本発明の他の実施例に係る形状
検出装置を示すブロック図、第6図(6)及び(b)は
それぞれ同形状検出装置の画面上に表示された撮像画像
の一例を示す模式図、第7図は同形状検出装置のTVカ
メラの撮像面と削り取り露出部の鏡面反射部との位置関
係の一例を示す模式図、第8図は母材及びその表面の欠
陥部の一例を示す斜視図。 第9図は母材及びその削り取り露出部等の一例を示す斜
視図、第10図は同削り取り露出部等が溶接等の補修が
なされているところを示す斜視図である。 [符号の説明] L、 1.・・・形状検出装置 2・・・光源 3・・・画像処理部 4.4−.4b・・・TVカメラ(撮像手段)5.5.
.5.・・・画面 6.6−.6b・・・表示部 51・・・母材 54・・・削り取り露出部
ロック図、第2図は同形状検出装置の画面上に表示され
た撮像画像の一例を示す模式図第3図は同形状検出装置
のTVカメラと光源との位置関係の一例を示す模式図、
第4図(a)は同形状検出装置のTVカメラと光源との
位置関係の変化による撮像画像の変化の一例を示す模式
図、第4図(ロ)は同撮像画像を積分したところの一例
を示す模式図、第5図は本発明の他の実施例に係る形状
検出装置を示すブロック図、第6図(6)及び(b)は
それぞれ同形状検出装置の画面上に表示された撮像画像
の一例を示す模式図、第7図は同形状検出装置のTVカ
メラの撮像面と削り取り露出部の鏡面反射部との位置関
係の一例を示す模式図、第8図は母材及びその表面の欠
陥部の一例を示す斜視図。 第9図は母材及びその削り取り露出部等の一例を示す斜
視図、第10図は同削り取り露出部等が溶接等の補修が
なされているところを示す斜視図である。 [符号の説明] L、 1.・・・形状検出装置 2・・・光源 3・・・画像処理部 4.4−.4b・・・TVカメラ(撮像手段)5.5.
.5.・・・画面 6.6−.6b・・・表示部 51・・・母材 54・・・削り取り露出部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、鏡面削り取り加工により露出された母材の削り取り
露出部の形状を、光を乱反射する上記母材の他の部分と
区別して検出する形状検出装置において、 上記削り取り露出部に光を照射するための光源と、 上記削り取り露出部からの上記光源光の鏡面反射光を撮
像するための撮像手段と、 上記光源及び/又は上記撮像手段を、上記削り取り露出
部を中心として相互に移動させる移動手段と、 上記移動手段を作動させつつ上記撮像手段からの撮像画
像を積分処理し、上記削り取り露出部の形状を検出する
形状検出手段とを具備してなることを特徴とする形状検
出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26819190A JPH04143606A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 形状検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26819190A JPH04143606A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 形状検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04143606A true JPH04143606A (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=17455187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26819190A Pending JPH04143606A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | 形状検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04143606A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010032792A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | オムロン株式会社 | 3次元計測装置およびその方法 |
-
1990
- 1990-10-04 JP JP26819190A patent/JPH04143606A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010032792A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | オムロン株式会社 | 3次元計測装置およびその方法 |
JP2010071782A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Omron Corp | 3次元計測装置およびその方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI697970B (zh) | 位置精度檢查方法、位置精度檢查裝置及位置檢查單元 | |
JP3855733B2 (ja) | 電子部品の外観検査装置および外観検査方法 | |
JP2904069B2 (ja) | 球状物の外観検査方法及びその検査装置 | |
JP2002529698A (ja) | ガラス検査装置 | |
JP3205511B2 (ja) | シール検査装置 | |
WO2018034051A1 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP6936995B2 (ja) | 立体物の外観検査装置 | |
JP2002267416A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
CN114088738A (zh) | 一种环状焊缝的高精度缺陷检测方法和装置 | |
JP3875236B2 (ja) | 脆性材料基板端面部の検査方法およびその装置 | |
JP2007240207A (ja) | 工具検査装置と工具検査方法 | |
JP2786070B2 (ja) | 透明板状体の検査方法およびその装置 | |
WO2020008838A1 (ja) | ダイシングチップ検査装置 | |
JP2004077425A (ja) | 駆動伝達ベルトの検査装置 | |
JP2009069131A (ja) | 欠点検査装置 | |
JPH04143606A (ja) | 形状検出装置 | |
CN111198190A (zh) | 光学检测*** | |
CN112730421A (zh) | 外观瑕疵检测装置 | |
US20070090310A1 (en) | Methods and apparatus for inspecting an object | |
KR102237593B1 (ko) | 글라스 표면 검사용 광학 장치 | |
JPH06148093A (ja) | 衛生陶器の自動検査方法 | |
JP4981703B2 (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
US20240035986A1 (en) | Visual inspection apparatus and visual inspection method | |
CN114384086B (zh) | 一种焊缝的倾斜穿孔实时检测装置及方法 | |
JPH10202477A (ja) | スローアウェイチップの検査方法および検査装置 |