JPH04138340A - 赤外スペクトル測定ヘッド及び測定装置 - Google Patents
赤外スペクトル測定ヘッド及び測定装置Info
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- JPH04138340A JPH04138340A JP26158090A JP26158090A JPH04138340A JP H04138340 A JPH04138340 A JP H04138340A JP 26158090 A JP26158090 A JP 26158090A JP 26158090 A JP26158090 A JP 26158090A JP H04138340 A JPH04138340 A JP H04138340A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 67
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- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M thallium(i) bromide Chemical compound [Tl]Br PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はATR法により赤外スペクトルを測定する測定
ヘッドと、その測定ヘッドを用いた赤外スペクトル測定
装置に関するものである。
ヘッドと、その測定ヘッドを用いた赤外スペクトル測定
装置に関するものである。
本発明の測定ヘッド及び測定装置は高分子材料などの有
機物を初め1種々の物質の定性分析や同定分析などに広
く利用することができる。
機物を初め1種々の物質の定性分析や同定分析などに広
く利用することができる。
(従来の技術)
赤外スペクトルを測定する方法の1つに全反射を利用す
るATR法がある。ATR法では高い屈折率をもつAT
Rプリズムを試料に密着させ、ATRプリズムを通して
赤外光を試料に照射し、ATRプリズムからの出射光を
分光測定する。ATRプリズムを試料に密着させて赤外
線をATRプリズムに入射させるとき、ATRプリズム
と試料の屈折率の関係からある角度以上で赤外光をプリ
ズムに入射させると、赤外光はATRプリズムから出す
、ATRプリズムと試料の接触面で全反射を起こす。赤
外光がATRプリズムと試料との接触面で全反射する際
、赤外光が僅かの距離だけ試料側にしみ出し、その際に
試料で赤外光の吸収があれば反射光が減衰し、試料の吸
収スペクトルを得ることができる。
るATR法がある。ATR法では高い屈折率をもつAT
Rプリズムを試料に密着させ、ATRプリズムを通して
赤外光を試料に照射し、ATRプリズムからの出射光を
分光測定する。ATRプリズムを試料に密着させて赤外
線をATRプリズムに入射させるとき、ATRプリズム
と試料の屈折率の関係からある角度以上で赤外光をプリ
ズムに入射させると、赤外光はATRプリズムから出す
、ATRプリズムと試料の接触面で全反射を起こす。赤
外光がATRプリズムと試料との接触面で全反射する際
、赤外光が僅かの距離だけ試料側にしみ出し、その際に
試料で赤外光の吸収があれば反射光が減衰し、試料の吸
収スペクトルを得ることができる。
ATR法はATRプリズムと接触したごく薄い試料部分
の吸収スペクトルを測定することができるため、厚い試
料や透過性の低い試料であってもATRプリズムと密着
させることができれば測定できるという利点を備えてい
る。
の吸収スペクトルを測定することができるため、厚い試
料や透過性の低い試料であってもATRプリズムと密着
させることができれば測定できるという利点を備えてい
る。
従来のATR法では、赤外分光光度計の試料室に設けら
れたATR測定用装置を用いて測定している。
れたATR測定用装置を用いて測定している。
(発明が解決しようとする課題)
ATR法で測定しようとすると、試料を赤外分光光度計
のATR測定用装置に入れることのできる適当な大きさ
に切断する必要がある。そのため、切断できない試料や
、赤外分光光度計まで運ぶことのできない試料などは測
定することができない。
のATR測定用装置に入れることのできる適当な大きさ
に切断する必要がある。そのため、切断できない試料や
、赤外分光光度計まで運ぶことのできない試料などは測
定することができない。
また、試料内部の空洞内の部分などはATRプリズムと
接触させることができず、そのような試料内部の部分の
ATR法による測定はできない。このように、測定対象
によっては制約を受けている。
接触させることができず、そのような試料内部の部分の
ATR法による測定はできない。このように、測定対象
によっては制約を受けている。
本発明は試料を切断したすせずにそのままの状態で、ま
た試料を移動させずに現場に置いたままでもATR法に
よる赤外スペク1−ルを測定することができ、目で見る
ことのできない例えば物体の空洞内の部分でもATR法
による赤外スペクトルを測定することのできる測定用ヘ
ッドと、その測定ヘッドを用いた測定装置を提供するこ
とを目的とするものである。
た試料を移動させずに現場に置いたままでもATR法に
よる赤外スペク1−ルを測定することができ、目で見る
ことのできない例えば物体の空洞内の部分でもATR法
による赤外スペクトルを測定することのできる測定用ヘ
ッドと、その測定ヘッドを用いた測定装置を提供するこ
とを目的とするものである。
本発明はまた、測定部位を目視又はモニタで確認しなが
ら測定部位のATR法による赤外スペクトルを測定する
ことのできる測定ヘッドと、その測定ヘッドを用いた測
定装置を提供することを目的とするものである。
ら測定部位のATR法による赤外スペクトルを測定する
ことのできる測定ヘッドと、その測定ヘッドを用いた測
定装置を提供することを目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明の測定ヘッドは測定試料に密着させるATRプリ
ズム、赤外分光光度計からの赤外線を前記ATRプリズ
ムに導く入射側赤外光ファイバ、及び前記ATRプリズ
ムからの出射光を赤外分光光度計に導く出射側赤外光フ
ァイバをホルダーにより一体化したものである。
ズム、赤外分光光度計からの赤外線を前記ATRプリズ
ムに導く入射側赤外光ファイバ、及び前記ATRプリズ
ムからの出射光を赤外分光光度計に導く出射側赤外光フ
ァイバをホルダーにより一体化したものである。
本発明で測定部位を目視又はモニタで確認しながら測定
部位のATR法による赤外スペクトルを測定することが
できるようにするためには、ATRプリズム、入射側赤
外光ファイバ及び出射側赤外光ファイバの他に、さらに
測定部位に可視光を照射しその部位からの反射光を受光
する可視光フ/イバも備え、これらの部材をホルダーに
より一体化する。
部位のATR法による赤外スペクトルを測定することが
できるようにするためには、ATRプリズム、入射側赤
外光ファイバ及び出射側赤外光ファイバの他に、さらに
測定部位に可視光を照射しその部位からの反射光を受光
する可視光フ/イバも備え、これらの部材をホルダーに
より一体化する。
本発明の測定ヘッドを赤外分光光度計に一体的に取りつ
け、又は着脱可能に取りつけることにより赤外スペクト
ル測定装置を構成する。
け、又は着脱可能に取りつけることにより赤外スペクト
ル測定装置を構成する。
(作用)
赤外光ファイバと一体化されたATRプリズムを赤外分
光光度計の外にある試料に密着させ、赤外分光光度計か
ら入射側光ファイバを通してATRプリズムに赤外光を
導く。ATRプリズムと試料の界面で反射した赤外光を
出射側赤外光ファイバで赤外分光光度計に導いて試料の
赤外吸収スペクトルを測定する。
光光度計の外にある試料に密着させ、赤外分光光度計か
ら入射側光ファイバを通してATRプリズムに赤外光を
導く。ATRプリズムと試料の界面で反射した赤外光を
出射側赤外光ファイバで赤外分光光度計に導いて試料の
赤外吸収スペクトルを測定する。
測定ヘッドが可視光を測定部位に照射し、その測定部位
からの反射光を受光する可視光ファイバを更に備えてい
るときは、その可視光ファイバを通して測定部位を目視
により又はモニタ上で確認する。
からの反射光を受光する可視光ファイバを更に備えてい
るときは、その可視光ファイバを通して測定部位を目視
により又はモニタ上で確認する。
(実施例)
第1図は一実施例の測定ヘッドを表わしたものである。
2はATRプリズムであり、赤外領域で透明で、屈折率
の高い材質で形成されている。ATRプリズム2の材質
としては、例えばKR8−5、Zn5e、ZnS、Ge
、Siなどを用いることができる。4は入射側赤外光フ
ァイバであり、赤外分光光度計からの赤外光をATRプ
リズム2に導く。
の高い材質で形成されている。ATRプリズム2の材質
としては、例えばKR8−5、Zn5e、ZnS、Ge
、Siなどを用いることができる。4は入射側赤外光フ
ァイバであり、赤外分光光度計からの赤外光をATRプ
リズム2に導く。
6は出射側赤外光ファイバであり、ATRプリズム2か
らの赤外出射光を赤外分光光度計に導く。
らの赤外出射光を赤外分光光度計に導く。
赤外光ファイバ4,6はKR8−5で形成されたものや
、AgCQとA g B rの混晶で形成されたものな
どを利用することができる。8はホルダーであり、AT
Rプリズム2と赤外光ファイバ4゜6を一体的に保持し
ている。
、AgCQとA g B rの混晶で形成されたものな
どを利用することができる。8はホルダーであり、AT
Rプリズム2と赤外光ファイバ4゜6を一体的に保持し
ている。
10は測定しようとする試料であり、ATRプリズム2
が試料10に密着されて測定が行なわれる。
が試料10に密着されて測定が行なわれる。
第2図は測定ヘットの他の例を表わしている。
第2図は赤外光ファイバ4,6の曲がり径が大きくて第
1図のようにホルダー8で保持できない場合の例であり
、ミラー12の反射を利用して入射側赤外光ファイバ4
の赤外光をATRブリスム2に専き、ATRプリズム2
からの出射光をミラー14の反射を利用して出射側赤外
光ファイハロに導くようにしたものである。
1図のようにホルダー8で保持できない場合の例であり
、ミラー12の反射を利用して入射側赤外光ファイバ4
の赤外光をATRブリスム2に専き、ATRプリズム2
からの出射光をミラー14の反射を利用して出射側赤外
光ファイハロに導くようにしたものである。
第3図は他の形状のATRプリズムを表わしている。
ATRプリズムは断面が三角形のものに限らない。第3
図(A)は断面が台形状をなすものであり、赤外線18
を試料10との接触面と対向面16との間で多重反射さ
せて光路を長くしたものである。第3図(B)は半球型
のATRプリズムである。
図(A)は断面が台形状をなすものであり、赤外線18
を試料10との接触面と対向面16との間で多重反射さ
せて光路を長くしたものである。第3図(B)は半球型
のATRプリズムである。
第4図は更に他の測定ヘッドの例を表わしたものである
。
。
第4図では赤外スペクトル測定部の近傍に更に可視像観
測用の光ファイバ22が設けられ、ホルダー8により赤
外光ファイバ4,6やATRTRブ リム2とともに一体化されている。可視光ファイバ22
はモニタ装置からの可視光線を試料1oの測定部位に照
射し、その測定部位からの反射光をモニタ装置に導く。
測用の光ファイバ22が設けられ、ホルダー8により赤
外光ファイバ4,6やATRTRブ リム2とともに一体化されている。可視光ファイバ22
はモニタ装置からの可視光線を試料1oの測定部位に照
射し、その測定部位からの反射光をモニタ装置に導く。
第5図は第4図の測定ヘッド24を用いた場合の赤外ス
ペクトル測定装置の例を表わしている。
ペクトル測定装置の例を表わしている。
26は赤外分光光度計であり、感度が高く、測定時間が
短かくてすむフーリエ変換型のものが望ましい。しかし
、赤外分光光度計26は分散型であってもよい。
短かくてすむフーリエ変換型のものが望ましい。しかし
、赤外分光光度計26は分散型であってもよい。
測定ヘッド24と赤外分光光度計26の間は赤外光ファ
イバ4,6で結ばれている。赤外分光光度計26からの
光はミラー又はレンズで入射側赤外光ファイバ4に集光
されて測定ヘッド24のATRプリズムの入射面へと導
かれる。測定ヘッド24は試料10の測定部位に押し当
てられており、ATRプリズムからの全反射光は出射側
赤外光ファイバ6を経て赤外分光光度計26に導かれ、
赤外吸収スペクトルが測定される。
イバ4,6で結ばれている。赤外分光光度計26からの
光はミラー又はレンズで入射側赤外光ファイバ4に集光
されて測定ヘッド24のATRプリズムの入射面へと導
かれる。測定ヘッド24は試料10の測定部位に押し当
てられており、ATRプリズムからの全反射光は出射側
赤外光ファイバ6を経て赤外分光光度計26に導かれ、
赤外吸収スペクトルが測定される。
測定ヘッド24には更に可視光ファイバ22も一体的に
取りつけられており、可視光ファイバ22は画像変換用
装置28からの可視光を試料10の測定部位に照射し、
測定部位からの反射光を画像変換用装置28に導く。測
定部位の像は画像変換用装置28を経てモニタ30へ映
し出される。
取りつけられており、可視光ファイバ22は画像変換用
装置28からの可視光を試料10の測定部位に照射し、
測定部位からの反射光を画像変換用装置28に導く。測
定部位の像は画像変換用装置28を経てモニタ30へ映
し出される。
第5図の測定装置によれば、モニタ30で測定部位を確
認しながら、その測定部位のATR法による赤外吸収ス
ペクトルを赤外分光光度計26により測定することがで
きる。
認しながら、その測定部位のATR法による赤外吸収ス
ペクトルを赤外分光光度計26により測定することがで
きる。
第5図の測定装置は可視光によるモニタ機構を備えてい
るが、第1図又は第2図のように可視光ファイバを備え
ず、赤外スペクトルのみを得ることのできる測定ヘッド
を用いた場合には、赤外分光光度計26に光ファイバ4
,6を経て測定ヘッド24が接続されたものとなる。
るが、第1図又は第2図のように可視光ファイバを備え
ず、赤外スペクトルのみを得ることのできる測定ヘッド
を用いた場合には、赤外分光光度計26に光ファイバ4
,6を経て測定ヘッド24が接続されたものとなる。
赤外分光光度計26はこのATR法の測定ヘッド24を
備えた専用の小型のものであってもよく、又は汎用の大
きな試料室を備えた赤外分光光度計に光学系を追加して
赤外光ファイバ4,6と測定ヘッド24を着脱可能に取
りつけるようにしだものであってもよい。
備えた専用の小型のものであってもよく、又は汎用の大
きな試料室を備えた赤外分光光度計に光学系を追加して
赤外光ファイバ4,6と測定ヘッド24を着脱可能に取
りつけるようにしだものであってもよい。
(発明の効果)
本発明の測定ヘッドを用いると、試料にその測定ヘッド
を持っていき測定部位に押しつけるだけでATR法によ
る赤外スペクトルを測定することができる。そのため、
試料を切断する必要がなく、そのままの状態で測定する
ことができる。また試料を赤外分光光度計の試料室に持
ってきて測定する必要もなく、現場で直接測定すること
もできる。
を持っていき測定部位に押しつけるだけでATR法によ
る赤外スペクトルを測定することができる。そのため、
試料を切断する必要がなく、そのままの状態で測定する
ことができる。また試料を赤外分光光度計の試料室に持
ってきて測定する必要もなく、現場で直接測定すること
もできる。
空洞を持つ試料の空洞内の部分の赤外吸収スペクトルを
測定するような場合、この測定ヘッドであれば空洞内に
挿入して測定部位に押しつけることにより、従来の方法
では測定できなかっが試料内部の赤外吸収スペクトルを
得ることもできる。
測定するような場合、この測定ヘッドであれば空洞内に
挿入して測定部位に押しつけることにより、従来の方法
では測定できなかっが試料内部の赤外吸収スペクトルを
得ることもできる。
可視光によるモニタ機能を合わせ持った測定ヘッドにす
れば、測定部位をモニタ上で確認しながら赤外吸収スペ
クトルを測定することができる。
れば、測定部位をモニタ上で確認しながら赤外吸収スペ
クトルを測定することができる。
第1図及び第2図はそれぞれ実施例の測定ヘッドを示す
断面図、第3図(A)、(B)はそれぞれ他のATRプ
リズムを示す断面図、第4図はモニタ用光ファイバを備
えた測定ヘットの例を示す断面図、第5図は第4図の測
定ヘッドを用いた測定装置を示す斜視図である。 2.2a、2b・・ ・A T Rプリズム、4・・・
・・入射側赤外光ファイバ、6・・ ・出射側赤外光フ
ァイバ、8・・・・ホルダー、1−O・・・・試料、1
2.14・・・・・ミラー、22・・・・・可視光ファ
イバ、24測定へyド、26・・・赤外分光光度計、2
8画像変換用装置、36・−・−・モニタ。 特許出願人 株式会社島津製作所
断面図、第3図(A)、(B)はそれぞれ他のATRプ
リズムを示す断面図、第4図はモニタ用光ファイバを備
えた測定ヘットの例を示す断面図、第5図は第4図の測
定ヘッドを用いた測定装置を示す斜視図である。 2.2a、2b・・ ・A T Rプリズム、4・・・
・・入射側赤外光ファイバ、6・・ ・出射側赤外光フ
ァイバ、8・・・・ホルダー、1−O・・・・試料、1
2.14・・・・・ミラー、22・・・・・可視光ファ
イバ、24測定へyド、26・・・赤外分光光度計、2
8画像変換用装置、36・−・−・モニタ。 特許出願人 株式会社島津製作所
Claims (4)
- (1)測定試料に密着させるATRプリズム、赤外分光
光度計からの赤外線を前記ATRプリズムに導く入射側
赤外光ファイバ、及び前記ATRプリズムからの出射光
を赤外分光光度計に導く出射側赤外光ファイバをホルダ
ーにより一体化した赤外スペクトル測定ヘッド。 - (2)測定試料に密着させるATRプリズム、赤外分光
光度計からの赤外線を前記ATRプリズムに導く入射側
赤外光ファイバ、前記ATRプリズムからの出射光を赤
外分光光度計に導く出射側赤外光ファイバ、及び測定部
位に可視光を照射しその部位からの反射光を受光する可
視光ファイバをホルダーにより一体化した赤外スペクト
ル測定ヘッド。 - (3)測定試料に密着させるATRプリズム、赤外分光
光度計からの赤外線を前記ATRプリズムに導く入射側
赤外光ファイバ、及び前記ATRプリズムからの出射光
を赤外分光光度計に導く出射側赤外光ファイバをホルダ
ーにより一体化した赤外スペクトル測定ヘッドと、赤外
分光光度計とを備えた赤外スペクトル測定装置。 - (4)測定試料に密着させるATRプリズム、赤外分光
光度計からの赤外線を前記ATRプリズムに導く入射側
赤外光ファイバ、前記ATRプリズムからの出射光を赤
外分光光度計に導く出射側赤外光ファイバ、及び測定部
位に可視光を照射しその部位からの反射光を受光する可
視光ファイバをホルダーにより一体化した赤外スペクト
ル測定ヘッドと、赤外分光光度計とを備えた赤外スペク
トル測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26158090A JPH04138340A (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 | 赤外スペクトル測定ヘッド及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26158090A JPH04138340A (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 | 赤外スペクトル測定ヘッド及び測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04138340A true JPH04138340A (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=17363895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26158090A Pending JPH04138340A (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 | 赤外スペクトル測定ヘッド及び測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04138340A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07294421A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Shimadzu Corp | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
US5569921A (en) * | 1992-10-07 | 1996-10-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Infrared optical part and measuring instrument |
JP2007047017A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Systems Engineering Inc | 多芯光ファイバプローブ |
WO2013124909A1 (ja) * | 2012-02-22 | 2013-08-29 | 株式会社エス・ティ・ジャパン | Atr測定用の対物光学系およびatr測定装置 |
-
1990
- 1990-09-29 JP JP26158090A patent/JPH04138340A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5569921A (en) * | 1992-10-07 | 1996-10-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Infrared optical part and measuring instrument |
JPH07294421A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Shimadzu Corp | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
JP2007047017A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Systems Engineering Inc | 多芯光ファイバプローブ |
JP4639366B2 (ja) * | 2005-08-10 | 2011-02-23 | 株式会社システムズエンジニアリング | 多芯光ファイバプローブ |
WO2013124909A1 (ja) * | 2012-02-22 | 2013-08-29 | 株式会社エス・ティ・ジャパン | Atr測定用の対物光学系およびatr測定装置 |
JPWO2013124909A1 (ja) * | 2012-02-22 | 2015-05-21 | 株式会社エス・テイ・ジャパン | Atr測定用の対物光学系およびatr測定装置 |
US9291556B2 (en) | 2012-02-22 | 2016-03-22 | S.T. Japan, Inc. | Objective optical system for ATR measurement, and ATR measurement device |
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