JPH04130625A - 気相結晶成長装置 - Google Patents
気相結晶成長装置Info
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- JPH04130625A JPH04130625A JP25257090A JP25257090A JPH04130625A JP H04130625 A JPH04130625 A JP H04130625A JP 25257090 A JP25257090 A JP 25257090A JP 25257090 A JP25257090 A JP 25257090A JP H04130625 A JPH04130625 A JP H04130625A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は1反応管内の不純物気体を取り除くことので
きる気相結晶成長装置に関するものである。
きる気相結晶成長装置に関するものである。
第3図は従来の気相結晶成長装置を示す断面図である。
図において、(1)は反応ガス導入口、(2)は反応管
、(8)はサセプター、(4)は排気口である。また図
中の矢印は反応ガスの流れを表している。
、(8)はサセプター、(4)は排気口である。また図
中の矢印は反応ガスの流れを表している。
次に動作について説明する。反応ガス導入口(1)より
反応管(2)に導入された反応ガス、たとえばトリメチ
ルアルミニウムやトリメチルインジウムといつ念有機金
属化合物とアルシンやホスフィンといった水素化合物は
サセプタ(8)の上部で加熱されサセプタ(8)上にの
せられたガリウム砒素、インジ9ムリン等の基板上へ堆
積する。未反応分の反応ガスは排気口t、4)よシ排気
される。
反応管(2)に導入された反応ガス、たとえばトリメチ
ルアルミニウムやトリメチルインジウムといつ念有機金
属化合物とアルシンやホスフィンといった水素化合物は
サセプタ(8)の上部で加熱されサセプタ(8)上にの
せられたガリウム砒素、インジ9ムリン等の基板上へ堆
積する。未反応分の反応ガスは排気口t、4)よシ排気
される。
従来の気相結晶成長装置は以上のように構成されている
ので、エピタキシャル層中にアルミニウムを含む半導体
レーザー装置、例えばA/InGaPの活性層をもつ可
視光用レーザー装置をこの気相結晶成長装置で製作する
場合、反応管中に存在する微量の酸素がエピタキシャル
層中にとりこまれ、半導体レーザ装置の特性を著しく低
下させているという問題があった。
ので、エピタキシャル層中にアルミニウムを含む半導体
レーザー装置、例えばA/InGaPの活性層をもつ可
視光用レーザー装置をこの気相結晶成長装置で製作する
場合、反応管中に存在する微量の酸素がエピタキシャル
層中にとりこまれ、半導体レーザ装置の特性を著しく低
下させているという問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消する九めになされ
たもので、反応管中に存在する酸素等の不純物を取り除
くことのできる気相結晶成長装置を得ることを目的とす
る。
たもので、反応管中に存在する酸素等の不純物を取り除
くことのできる気相結晶成長装置を得ることを目的とす
る。
この発明に係る気相結晶成長装置は、結晶成長を始める
前、あるいは成長中にアルミニウムやチタンなどの物質
を導入する機構を備えたものである。
前、あるいは成長中にアルミニウムやチタンなどの物質
を導入する機構を備えたものである。
この発明における気相結晶成長装置は、結晶成長を始め
る前、あるいは成長中にアルミニウムやチタンなどの物
質を反応管内へ導入、加熱することにより反応管中に存
在する酸素等の不純物ガスを取り除くことができる。
これにより酸素等に汚染されないエピタキシャル層を得
、特性の良いレーザー素子を得る。
る前、あるいは成長中にアルミニウムやチタンなどの物
質を反応管内へ導入、加熱することにより反応管中に存
在する酸素等の不純物ガスを取り除くことができる。
これにより酸素等に汚染されないエピタキシャル層を得
、特性の良いレーザー素子を得る。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。なお
、従来の技術の説明と重複する部分は、適宜その説明を
省略する。
、従来の技術の説明と重複する部分は、適宜その説明を
省略する。
第1図において%(1)〜(4)は従来のものと同じも
、(5)はアルミニウムやチタンの入った容器、(6)
はこの容器(5)を搬入するために設けられた前室であ
る。また、第2図はこの容器(6)を反応管中へ搬入し
た後の状態を示す図である。
、(5)はアルミニウムやチタンの入った容器、(6)
はこの容器(5)を搬入するために設けられた前室であ
る。また、第2図はこの容器(6)を反応管中へ搬入し
た後の状態を示す図である。
第1図において、キャリアガスが反応管(2)に流れて
いる状態のときに前室(6)よりアルミニウムやチタン
等の物質の入った容器(6)を反応管(2)内サセプタ
ー(8)上に搬入する。サセプター(8)は高周波加熱
により60 cfo以上の温度に加熱され、容器(5)
内の物質を活性化する。これにより反応管(2)の残留
酸素等の不純物が除去されるため、そののち再び容器(
5!を前室(6)へ搬出したのち1反応管(2)に反応
ガスを流して成長工程を開始する。
いる状態のときに前室(6)よりアルミニウムやチタン
等の物質の入った容器(6)を反応管(2)内サセプタ
ー(8)上に搬入する。サセプター(8)は高周波加熱
により60 cfo以上の温度に加熱され、容器(5)
内の物質を活性化する。これにより反応管(2)の残留
酸素等の不純物が除去されるため、そののち再び容器(
5!を前室(6)へ搬出したのち1反応管(2)に反応
ガスを流して成長工程を開始する。
なお、上記実施例では結晶成長を始める前にアルミニウ
ムやチタンでのゲッタリングを行なうものを示したが、
ゲッタリングする物質を選べば結晶成長中に反応管内で
ゲッタリングを行なうこともできる。
ムやチタンでのゲッタリングを行なうものを示したが、
ゲッタリングする物質を選べば結晶成長中に反応管内で
ゲッタリングを行なうこともできる。
また、上記実施例では横型反応管をもつ有機金属気相結
晶成長(M D OV D)装置の場合について説明し
たが、縦型反応管をもつ装置であってもよく、またMB
tC装置や他のどんな気相成長装置を用いる場合であっ
ても同様の効果が得られる。
晶成長(M D OV D)装置の場合について説明し
たが、縦型反応管をもつ装置であってもよく、またMB
tC装置や他のどんな気相成長装置を用いる場合であっ
ても同様の効果が得られる。
以上のように、この発明では反応管内へA/−?Ti等
の物質を搬入できる機構を設けたので、反応管中の酸素
等の不純物が除去され、良い特性をもったエピタキシャ
ル層が得られるという効果がある。
の物質を搬入できる機構を設けたので、反応管中の酸素
等の不純物が除去され、良い特性をもったエピタキシャ
ル層が得られるという効果がある。
第1図、第2図はこの発明における気相結晶成長装置の
反応管周辺の断面図、第3図は従来の気相結晶成長装置
の反応管周辺の断面図である。 図において、(2)は反応管、(6)はアルミニウム。 チタン等の物質が入った容器、c6)は前室である。 なお、図中、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
反応管周辺の断面図、第3図は従来の気相結晶成長装置
の反応管周辺の断面図である。 図において、(2)は反応管、(6)はアルミニウム。 チタン等の物質が入った容器、c6)は前室である。 なお、図中、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 結晶成長前、あるいは成長中にアルミニウムやチタンと
いつた物質を反応管内へ導入できる機構を備えた気相結
晶成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25257090A JPH04130625A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 気相結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25257090A JPH04130625A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 気相結晶成長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04130625A true JPH04130625A (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=17239218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25257090A Pending JPH04130625A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 気相結晶成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04130625A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007042854A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | アルミニウム系iii族窒化物結晶の製造方法および結晶積層基板 |
JP2011114283A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 化合物半導体基板とその製造方法 |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP25257090A patent/JPH04130625A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007042854A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | アルミニウム系iii族窒化物結晶の製造方法および結晶積層基板 |
JP4749792B2 (ja) * | 2005-08-03 | 2011-08-17 | 国立大学法人東京農工大学 | アルミニウム系iii族窒化物結晶の製造方法および結晶積層基板 |
JP2011114283A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 化合物半導体基板とその製造方法 |
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