JPH04115447A - イオンビーム装置 - Google Patents
イオンビーム装置Info
- Publication number
- JPH04115447A JPH04115447A JP2234264A JP23426490A JPH04115447A JP H04115447 A JPH04115447 A JP H04115447A JP 2234264 A JP2234264 A JP 2234264A JP 23426490 A JP23426490 A JP 23426490A JP H04115447 A JPH04115447 A JP H04115447A
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- Japan
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- blanking
- mass filter
- voltage
- ion beam
- ion
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- Pending
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 34
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、イオン源からの複数のイオン種を有したイオ
ンビームをE×Bマスフィルタに導き、このE×Bマス
フィルタによって所望の特定のイオン種を選別するよう
にしたイオンビーム装置に関する。
ンビームをE×Bマスフィルタに導き、このE×Bマス
フィルタによって所望の特定のイオン種を選別するよう
にしたイオンビーム装置に関する。
(従来の技術)
第2図は、従来のイオンビーム装置を示しており、1は
複数のイオン種を発生することかできるイオン源である
。イオン源1から発生したイオンビームは、集束レンズ
2と対物レンズ3によってターゲット4上に細く集束さ
れる。イオンビームは、偏向電極5に供給される偏向信
号に応じて偏向され、ターゲット4上のイオンビームの
照射位置は変えられる。集束レンズ2と対物レンズ3の
間には、電場発生用の一対の電極6.7と磁場発生用の
電磁石8,9より構成されたE×Bマスフィルタが設け
られている。E×Bマスフィルタの前後には、イオンビ
ームのブランキングのためのブランキング電極10,1
1,12.13が配置され、ブランキンク電極12.1
3の下部にはアパーチャ板14が設けられている。
複数のイオン種を発生することかできるイオン源である
。イオン源1から発生したイオンビームは、集束レンズ
2と対物レンズ3によってターゲット4上に細く集束さ
れる。イオンビームは、偏向電極5に供給される偏向信
号に応じて偏向され、ターゲット4上のイオンビームの
照射位置は変えられる。集束レンズ2と対物レンズ3の
間には、電場発生用の一対の電極6.7と磁場発生用の
電磁石8,9より構成されたE×Bマスフィルタが設け
られている。E×Bマスフィルタの前後には、イオンビ
ームのブランキングのためのブランキング電極10,1
1,12.13が配置され、ブランキンク電極12.1
3の下部にはアパーチャ板14が設けられている。
E×Bマスフィルタの電極6,7には、夫々電場発生用
高圧電源15.16から高電圧が印加される。また、ブ
ランキング電極10.11には、夫々電圧増幅器17.
18を介してプランキング電圧が印加され、ブランキン
ク電極1.2.13には、夫々電圧増幅器]、9.20
を介してブランキング電圧か印加される。各電圧増幅器
は、加速電圧連動信号に基づいて制御される直流可変制
御Il電源21からの電圧によって制御される。電圧増
幅器17,1.8は、ブランキンク信号の供給によって
ブランキング信号をブランキンク電極10.11に供給
し、また、電圧増幅器19.20は、遅延回路22によ
って一定時間遅延されたブランキング信号の供給によっ
てブランキンク電圧をブランキング電極12.13に供
給する。
高圧電源15.16から高電圧が印加される。また、ブ
ランキング電極10.11には、夫々電圧増幅器17.
18を介してプランキング電圧が印加され、ブランキン
ク電極1.2.13には、夫々電圧増幅器]、9.20
を介してブランキング電圧か印加される。各電圧増幅器
は、加速電圧連動信号に基づいて制御される直流可変制
御Il電源21からの電圧によって制御される。電圧増
幅器17,1.8は、ブランキンク信号の供給によって
ブランキング信号をブランキンク電極10.11に供給
し、また、電圧増幅器19.20は、遅延回路22によ
って一定時間遅延されたブランキング信号の供給によっ
てブランキンク電圧をブランキング電極12.13に供
給する。
上記した構成において、イオン源1からは、複数のイオ
ン種を有したイオンビームが発生する。
ン種を有したイオンビームが発生する。
このイオンビームは、集束レンズ2によって電極6、
7. 電磁石8,9から構成されるE×Bマスフィルタ
の中心部にクロスオーバー像を形成する。
7. 電磁石8,9から構成されるE×Bマスフィルタ
の中心部にクロスオーバー像を形成する。
この電極6,7には、電源15.16から選別すべきイ
オン種に応した電圧か印加されており、E×Bマスフィ
ルタに入射したイオンビームの内、特定のイオン種のみ
かこのフィルタを直進し他のイオン種は偏向を受ける。
オン種に応した電圧か印加されており、E×Bマスフィ
ルタに入射したイオンビームの内、特定のイオン種のみ
かこのフィルタを直進し他のイオン種は偏向を受ける。
フィルタを直進した特定のイオン種から成るイオンビー
ムは、アパーチャ板14の開口を通り、対物レンス3に
よってラケット4上に細く集束されて照射される。一方
、フィルタによって偏向を受けた他のイオン種は、アパ
ーチャ板14に衝突してターゲット4方向への進行を阻
止される。ターゲット4に照射される選別された特定イ
オン種のイオンビームは、偏向電極5へ印加される偏向
信号に応して偏向され、ターゲット4上への照射位置が
変えられることから、ターゲット4はイオンビームによ
って走査されたり、また、特定のパターンがイオンビー
ムによって描画される。
ムは、アパーチャ板14の開口を通り、対物レンス3に
よってラケット4上に細く集束されて照射される。一方
、フィルタによって偏向を受けた他のイオン種は、アパ
ーチャ板14に衝突してターゲット4方向への進行を阻
止される。ターゲット4に照射される選別された特定イ
オン種のイオンビームは、偏向電極5へ印加される偏向
信号に応して偏向され、ターゲット4上への照射位置が
変えられることから、ターゲット4はイオンビームによ
って走査されたり、また、特定のパターンがイオンビー
ムによって描画される。
ここて、イオンビーム描画においては、ターゲット4へ
のイオンビームの照射は、描画パターンに応して発生さ
れるブランキング信号に基づいてブランキングされる。
のイオンビームの照射は、描画パターンに応して発生さ
れるブランキング信号に基づいてブランキングされる。
ブランキング電極10,11.12.13に印加される
ブランキング電圧は、夫々電圧増幅器17.18,1.
9.20から供給されるか、このブランキング電圧は、
イオンビームの加速電圧に応して変化させる必要がある
ため、各電圧増幅器からの電圧は、加速電圧によって制
御される制御電源21によって決められる。各電圧増幅
器からのブランキング電圧の発生は、ブランキング信号
に基づいており、ブランキング信号がONの時、各電圧
増幅器17.18,19.20からブランキング電圧か
電極10,1.1.1213に印加される。その結果、
イオンビームはまずブランキング電極10.11によっ
て所定方向に偏向を受け、次にブランキング電極121
3によって更に偏向を受け、アパーチャ板に衝突するこ
とによってブランキングされる。ここで、イオンビーム
がブランキング電極10.11と12゜13とによって
2回偏向を受ける理由は、実質的にE×Bマスフィルタ
の中心部でブランキング用のイオンビームの偏向を行わ
せるためであり、アパーチャ板側から見て見掛上E×B
マスフィルタの中心部を基点としてイオンビームは偏向
される。
ブランキング電圧は、夫々電圧増幅器17.18,1.
9.20から供給されるか、このブランキング電圧は、
イオンビームの加速電圧に応して変化させる必要がある
ため、各電圧増幅器からの電圧は、加速電圧によって制
御される制御電源21によって決められる。各電圧増幅
器からのブランキング電圧の発生は、ブランキング信号
に基づいており、ブランキング信号がONの時、各電圧
増幅器17.18,19.20からブランキング電圧か
電極10,1.1.1213に印加される。その結果、
イオンビームはまずブランキング電極10.11によっ
て所定方向に偏向を受け、次にブランキング電極121
3によって更に偏向を受け、アパーチャ板に衝突するこ
とによってブランキングされる。ここで、イオンビーム
がブランキング電極10.11と12゜13とによって
2回偏向を受ける理由は、実質的にE×Bマスフィルタ
の中心部でブランキング用のイオンビームの偏向を行わ
せるためであり、アパーチャ板側から見て見掛上E×B
マスフィルタの中心部を基点としてイオンビームは偏向
される。
なお、ブランキング電極10.11でブランキング用の
偏向を受けたイオンビームがブランキング電極12.1
3の位置に到達するまである時間が掛かるため、ブラン
キング電極1213に供給されるブランキング信号は、
遅延回路22によって一定時間遅らされている。
偏向を受けたイオンビームがブランキング電極12.1
3の位置に到達するまである時間が掛かるため、ブラン
キング電極1213に供給されるブランキング信号は、
遅延回路22によって一定時間遅らされている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記したイオンビーム装置においては、
ブランキング用のイオンビームの偏向をイオンビームの
クロスオーバー点て行わねばならないため、ブランキン
グ電極をE×Bマスフィルタの前段と後段に配置しなけ
ればならず、構成が複雑となる。もちろん、ブランキン
グ電極の数が多くなるに従って、電圧増幅器の数も増や
さなければならない。また、後段のブランキング電極に
は、遅延回路22を通してブランキング信号を供給せね
ばならないが、この遅延時間は、加速電圧や選別するイ
オン種によって変えねばならず、操作か複雑となってし
まう。
ブランキング用のイオンビームの偏向をイオンビームの
クロスオーバー点て行わねばならないため、ブランキン
グ電極をE×Bマスフィルタの前段と後段に配置しなけ
ればならず、構成が複雑となる。もちろん、ブランキン
グ電極の数が多くなるに従って、電圧増幅器の数も増や
さなければならない。また、後段のブランキング電極に
は、遅延回路22を通してブランキング信号を供給せね
ばならないが、この遅延時間は、加速電圧や選別するイ
オン種によって変えねばならず、操作か複雑となってし
まう。
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、その目
的は、構成が簡単で操作も容易なイオンビーム装置を実
現するにある。
的は、構成が簡単で操作も容易なイオンビーム装置を実
現するにある。
(課題を解決するための手段)
本発明に基つくイオンビーム装置は、複数のイオン種を
発生するイオン源と、発生したイオンの内、特定のイオ
ン種を選別するためのE×Bマスフィルタと、E×Bマ
スフィルタによって選別されたイオン種のイオンビーム
をターゲット上に集束するための集束レンスとを備えた
イオンビーム装置において、前記E×Bマスフィルタの
電場発生用電極に、電場発生用電圧とビームブランキン
グ用信号とを重畳して供給するようにしたことを特徴と
している。
発生するイオン源と、発生したイオンの内、特定のイオ
ン種を選別するためのE×Bマスフィルタと、E×Bマ
スフィルタによって選別されたイオン種のイオンビーム
をターゲット上に集束するための集束レンスとを備えた
イオンビーム装置において、前記E×Bマスフィルタの
電場発生用電極に、電場発生用電圧とビームブランキン
グ用信号とを重畳して供給するようにしたことを特徴と
している。
(作用)
E×Bマスフィルタを構成する電場発生用の電極に、ブ
ランキング信号を重畳し、E×Bマスフィルタの前段と
後段のブランキング電極を不要とする。
ランキング信号を重畳し、E×Bマスフィルタの前段と
後段のブランキング電極を不要とする。
(実施例)
以下、第1図を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。第1図は本発明に基づくイオンビーム装置を示して
おり、第2図の従来装置と同一部分には同一番号か付さ
れている。この第1図の装置か第2図の従来装置と相違
する点は、電極6゜7と電磁石8,9より成るE×Bマ
スフィルタの前段と後段に配置されたブランキング電極
が除かれ、電極6.7には、加算器25.26からの電
圧か印加される点である。加算器25.26は、E×B
マスフィルタ用の高圧電源15.16からの電圧とブラ
ンキング信号とを加算している。なお、ブランキング信
号は、夫々フォトカプラーの如き高圧分離回路27.2
8を介して加算器25゜26に供給されている。
る。第1図は本発明に基づくイオンビーム装置を示して
おり、第2図の従来装置と同一部分には同一番号か付さ
れている。この第1図の装置か第2図の従来装置と相違
する点は、電極6゜7と電磁石8,9より成るE×Bマ
スフィルタの前段と後段に配置されたブランキング電極
が除かれ、電極6.7には、加算器25.26からの電
圧か印加される点である。加算器25.26は、E×B
マスフィルタ用の高圧電源15.16からの電圧とブラ
ンキング信号とを加算している。なお、ブランキング信
号は、夫々フォトカプラーの如き高圧分離回路27.2
8を介して加算器25゜26に供給されている。
このような構成で、電極6.7には、電源15゜16か
ら特定イオン種を選別するための高電圧と描画パターン
に応したブランキング信号とが重畳されて供給される。
ら特定イオン種を選別するための高電圧と描画パターン
に応したブランキング信号とが重畳されて供給される。
その結果、特定イオン種のみがE×Bマスフィルタを直
進することになるか、このイオン種もブランキング信号
がONの時電極6.7によって偏向を受け、アパーチャ
板14の通過が阻止される。
進することになるか、このイオン種もブランキング信号
がONの時電極6.7によって偏向を受け、アパーチャ
板14の通過が阻止される。
(発明の効果)
以上、詳細に説明したように、本発明では、E×Bマス
フィルタを構成する電場発生用の電極に、ブランキング
信号を重畳するように構成したので、E×Bマスフィル
タの前段と後段のブランキング電極を不要とすることが
でき、構成を簡単化することができる。また、加速電圧
や選別すべきイオン種を変えた場合にも、複雑な遅延時
間の設定を行う°必要がない。
フィルタを構成する電場発生用の電極に、ブランキング
信号を重畳するように構成したので、E×Bマスフィル
タの前段と後段のブランキング電極を不要とすることが
でき、構成を簡単化することができる。また、加速電圧
や選別すべきイオン種を変えた場合にも、複雑な遅延時
間の設定を行う°必要がない。
第1図は、本発明に基づくイオンビーム装置の要部を示
す図、第2図は、従来のイオンビーム装置を示す図であ
る。 1・・・イオン源 2・・・集束レンズ3・・
・対物レンズ 4・・・ターゲット5・・・偏向
電極 6,7・・・電極8.9・・・電磁石 10.11,12.13・・・ブランキング電極14・
・・アパーチャ板 15.16・・・電源17.1
8,19.20・・電圧増幅器21・・・直流可変制御
電源 22・・・遅延回路 25.26・・・加算器
27.28・・・高圧分離回路
す図、第2図は、従来のイオンビーム装置を示す図であ
る。 1・・・イオン源 2・・・集束レンズ3・・
・対物レンズ 4・・・ターゲット5・・・偏向
電極 6,7・・・電極8.9・・・電磁石 10.11,12.13・・・ブランキング電極14・
・・アパーチャ板 15.16・・・電源17.1
8,19.20・・電圧増幅器21・・・直流可変制御
電源 22・・・遅延回路 25.26・・・加算器
27.28・・・高圧分離回路
Claims (1)
- 複数のイオン種を発生するイオン源と、発生したイオン
の内、特定のイオン種を選別するためのE×Bマスフィ
ルタと、E×Bマスフィルタによって選別されたイオン
種のイオンビームをターゲット上に集束するための集束
レンズとを備えたイオンビーム装置において、前記E×
Bマスフィルタの電場発生用電極に、電場発生用電圧と
ビームブランキング用信号とを重畳して供給するように
したイオンビーム装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2234264A JPH04115447A (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | イオンビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2234264A JPH04115447A (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | イオンビーム装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04115447A true JPH04115447A (ja) | 1992-04-16 |
Family
ID=16968247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2234264A Pending JPH04115447A (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | イオンビーム装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04115447A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014528154A (ja) * | 2011-09-27 | 2014-10-23 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | 走査電子顕微鏡及びこれを用いた1次電子の電流量測定方法 |
-
1990
- 1990-09-04 JP JP2234264A patent/JPH04115447A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014528154A (ja) * | 2011-09-27 | 2014-10-23 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | 走査電子顕微鏡及びこれを用いた1次電子の電流量測定方法 |
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