JPH04110803A - 近赤外線透過フィルタ - Google Patents
近赤外線透過フィルタInfo
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、赤外線リモコンの受光部において用いられる
センサの近赤外線透過フィルタに関する。
センサの近赤外線透過フィルタに関する。
（従来の技術）
従来、近赤外線をセンスするフォトダイオードは、ＴＶ
、ＶＴＲ，ステレオ、エアコンなどのリモコンの受光用
センサとして広く用いられている。リモコン用としては
、１０ｍの距離で操作できる位の感度が必要であるが、
フォトダイオードの感知する光の波長域は広いので、リ
モコンから発せられる近赤外線以外の波長の光を感知し
て反応してしまう可能性が高く、そのままでは実用に向
かない。
、ＶＴＲ，ステレオ、エアコンなどのリモコンの受光用
センサとして広く用いられている。リモコン用としては
、１０ｍの距離で操作できる位の感度が必要であるが、
フォトダイオードの感知する光の波長域は広いので、リ
モコンから発せられる近赤外線以外の波長の光を感知し
て反応してしまう可能性が高く、そのままでは実用に向
かない。
そこで、現在、赤フィルタや有機フィルムにより必要な
波長の光を透過させ、余分な波長の光をカットするよう
にしている。
波長の光を透過させ、余分な波長の光をカットするよう
にしている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしなから、現在使用されている赤フィルタの分光透
過率特性は、第９図に示すように、リモコンにおいて必
要とされている波長域、例えば９５０ｎｍ〜１０５０ｒ
＋ｍ以外の波長の光も透過してしまうという問題かあり
、さらに狭い透過域を有するフィルタが要望されていた
。
過率特性は、第９図に示すように、リモコンにおいて必
要とされている波長域、例えば９５０ｎｍ〜１０５０ｒ
＋ｍ以外の波長の光も透過してしまうという問題かあり
、さらに狭い透過域を有するフィルタが要望されていた
。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、近赤外線
透過可視光吸収ガラスに薄膜をコートすることにより、
近赤外線波長域のうち、必要とする狭い部分の近赤外線
を透過する近赤外線透過フィルタを提供することを目的
とする。
透過可視光吸収ガラスに薄膜をコートすることにより、
近赤外線波長域のうち、必要とする狭い部分の近赤外線
を透過する近赤外線透過フィルタを提供することを目的
とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
本発明は、上記目的を達成するために、近赤外線透過可
視光吸収ガラスに誘電体多層膜および／またはネサ膜を
コートし、近赤外線の特定の波長域で８０％以上を透過
する構成としたので、必要とする波長域の近赤外線をと
らえ易くなり、受光部におけるセンサの誤動作を減少す
ることかできる。
視光吸収ガラスに誘電体多層膜および／またはネサ膜を
コートし、近赤外線の特定の波長域で８０％以上を透過
する構成としたので、必要とする波長域の近赤外線をと
らえ易くなり、受光部におけるセンサの誤動作を減少す
ることかできる。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明するＯ
第１図は本発明の一実施例の近赤外線透過フィルタの断
面図で、同図に示すように、近赤外線透過フィルタ１は
、近赤外線透過可視光吸収ガラス基板（以下、単にガラ
ス基板と称す）２の一方の面上に誘電体多層膜（以下、
単に多層膜と称す）３を蒸着したもので、ガラス基板２
は第２図に実線で示す分光透過率特性４を有している。
面図で、同図に示すように、近赤外線透過フィルタ１は
、近赤外線透過可視光吸収ガラス基板（以下、単にガラ
ス基板と称す）２の一方の面上に誘電体多層膜（以下、
単に多層膜と称す）３を蒸着したもので、ガラス基板２
は第２図に実線で示す分光透過率特性４を有している。
また、多層膜３は、高屈折率物質として膜厚１３６ｎｍ
のＴｉＯ２と低屈折率物質として膜厚２１４ｎｒＱの５
ＩＯ２の薄膜をガラス基板２上に交互に９層ずつ蒸着し
、さらに最上層、つまり１９層に上記膜厚の半分の膜厚
６８ｎｍのＴ ｒ Ｏ２の薄膜を蒸着した交互層であり
、以下の蒸着条件の下で成膜されたものである。
のＴｉＯ２と低屈折率物質として膜厚２１４ｎｒＱの５
ＩＯ２の薄膜をガラス基板２上に交互に９層ずつ蒸着し
、さらに最上層、つまり１９層に上記膜厚の半分の膜厚
６８ｎｍのＴ ｒ Ｏ２の薄膜を蒸着した交互層であり
、以下の蒸着条件の下で成膜されたものである。
■真空度 ： ２．６７Ｘ １０−’ 〜１．０７Ｘ
１０−”Ｐａ（２Ｘ １０’ 〜８ Ｘ １０−’Ｔｏ
ｒｒ）■活性ガス：酸素ガス ■散乱ガス：アルゴンガス ■基板温度＝３００℃ ■蒸発源 ： Ｔ Ｉ Ｏ２・・・抵抗加熱、ＳｉＯ２
・・・電子ビーム この蒸着条件で形成された多層膜３の中心波長は１２５
０ｎｍと設定したが、第２図に点線で示す分光透過率特
性５が得られた。
１０−”Ｐａ（２Ｘ １０’ 〜８ Ｘ １０−’Ｔｏ
ｒｒ）■活性ガス：酸素ガス ■散乱ガス：アルゴンガス ■基板温度＝３００℃ ■蒸発源 ： Ｔ Ｉ Ｏ２・・・抵抗加熱、ＳｉＯ２
・・・電子ビーム この蒸着条件で形成された多層膜３の中心波長は１２５
０ｎｍと設定したが、第２図に点線で示す分光透過率特
性５が得られた。
従って、分光透過率特性４のガラス基板２上に分光透過
率特性５の多層膜３を蒸着して得られる近赤外線透過フ
ィルタ１０分光透過率特性としては、第３図に示す特性
６が得られた。このようにして得られた近赤外線透過フ
ィルタ】の分光透過率特性６は、図から明らかなように
、リモコン操作における必要波長７、すなわち９５０か
ら１１０５０ｎの１１０００ｎ付近の前後の波長か鋭く
カットされているので、リモコン操作の必要波長７の近
赤外線をとらえ易い特性となっており、その上、１００
０ｎＩＩｌ付近の波長の近赤外線の透過を落とさないよ
う８０％以上の透過率か保たれている。
率特性５の多層膜３を蒸着して得られる近赤外線透過フ
ィルタ１０分光透過率特性としては、第３図に示す特性
６が得られた。このようにして得られた近赤外線透過フ
ィルタ】の分光透過率特性６は、図から明らかなように
、リモコン操作における必要波長７、すなわち９５０か
ら１１０５０ｎの１１０００ｎ付近の前後の波長か鋭く
カットされているので、リモコン操作の必要波長７の近
赤外線をとらえ易い特性となっており、その上、１００
０ｎＩＩｌ付近の波長の近赤外線の透過を落とさないよ
う８０％以上の透過率か保たれている。
また、基板として近赤外線透過可視光吸収ガラス基板２
を用いたことにより、必要とする立ち上がり波長をガラ
ス基板２の分光透過率特性４から得ることかでき、長波
長側の光のカットのみで済んだ。
を用いたことにより、必要とする立ち上がり波長をガラ
ス基板２の分光透過率特性４から得ることかでき、長波
長側の光のカットのみで済んだ。
第２の実施例として第４図乃至第６図を参照し説明する
。
。
第４図は本発明の第２の実施例の近赤外線透過フィルタ
の断面図で、同図に示すように、近赤外線透過フィルタ
８は、ガラス基板２の一方の面上にネサ膜９を蒸着した
もので、ネサ膜９は膜厚的８Ｏｒ＋ｍの単層膜で以下の
蒸着条件の下で成膜されたものである。
の断面図で、同図に示すように、近赤外線透過フィルタ
８は、ガラス基板２の一方の面上にネサ膜９を蒸着した
もので、ネサ膜９は膜厚的８Ｏｒ＋ｍの単層膜で以下の
蒸着条件の下で成膜されたものである。
■真空度 ： ２ＸｌＯ−３〜ｌＸｌ０ ”Ｔｏｒｒ
■活性ガス：酸素ガス ■散乱ガス、アルゴンガス ■基板温度＝３００℃ ■蒸発源 ： Ｓ ｎ Ｏ２・・・電子ビームこの蒸着
条件で形成されたネサ膜９の分光透過率特性は第５図に
点線で示す特性１０が得られ、また、ガラス基板２は上
記第１の実施例と同様の第５図に実線で示す分光透過率
特性４を有しているので、分光透過率特性４のガラス基
板２上に分光透過率特性１０のネサ膜９を蒸着して得ら
れる近赤外線透過フィルタ８の分光透過率特性としては
、第６図に示す特性１１が得られた。この様にして得ら
れた近赤外線透過フィルタ８は、上記第１の実施例の近
赤外線透過フィルタ１と同様の特性を有している。すな
わち、リモコン操作の必要波長７の近赤外線をとらえ易
い特性となっており、その上、１１０００ｎ付近の波長
の近赤外線の透過を落とさないよう８０％以上の透過率
が保たれている。
■活性ガス：酸素ガス ■散乱ガス、アルゴンガス ■基板温度＝３００℃ ■蒸発源 ： Ｓ ｎ Ｏ２・・・電子ビームこの蒸着
条件で形成されたネサ膜９の分光透過率特性は第５図に
点線で示す特性１０が得られ、また、ガラス基板２は上
記第１の実施例と同様の第５図に実線で示す分光透過率
特性４を有しているので、分光透過率特性４のガラス基
板２上に分光透過率特性１０のネサ膜９を蒸着して得ら
れる近赤外線透過フィルタ８の分光透過率特性としては
、第６図に示す特性１１が得られた。この様にして得ら
れた近赤外線透過フィルタ８は、上記第１の実施例の近
赤外線透過フィルタ１と同様の特性を有している。すな
わち、リモコン操作の必要波長７の近赤外線をとらえ易
い特性となっており、その上、１１０００ｎ付近の波長
の近赤外線の透過を落とさないよう８０％以上の透過率
が保たれている。
第３の実施例として第７図と第８図を参照し説明する。
第７図は本発明の第３の実施例の近赤外線透過フィルタ
の断面図で、同図に示すように、近赤外線透過フィルタ
１２は、ガラス基板２の一方の面上に上記第１の実施例
の多層膜３を、他方の面上に上記第２の実施例のネサ膜
９をそれぞれ蒸着したもので、多層膜３を蒸着した近赤
外線透過フィルタ１か第３図に示す分光透過率特性６を
有し、またネサ膜９を蒸着した近赤外線透過フィルタ８
が第６図に示す分光透過率特性１１を有していることに
より、多層膜３とネサ膜９の両方を蒸着した近赤外線透
過フィルタ１２の特性としては第８図に示す分光透過率
特性１３が得られた。この近赤外線透過フィルタ１２は
、上記第１、第２の実施例の近赤外線透過フィルタ１．
８と同様の特性を有して（する。
の断面図で、同図に示すように、近赤外線透過フィルタ
１２は、ガラス基板２の一方の面上に上記第１の実施例
の多層膜３を、他方の面上に上記第２の実施例のネサ膜
９をそれぞれ蒸着したもので、多層膜３を蒸着した近赤
外線透過フィルタ１か第３図に示す分光透過率特性６を
有し、またネサ膜９を蒸着した近赤外線透過フィルタ８
が第６図に示す分光透過率特性１１を有していることに
より、多層膜３とネサ膜９の両方を蒸着した近赤外線透
過フィルタ１２の特性としては第８図に示す分光透過率
特性１３が得られた。この近赤外線透過フィルタ１２は
、上記第１、第２の実施例の近赤外線透過フィルタ１．
８と同様の特性を有して（する。
なお、上記第１、第３の実施例では、多層膜３を蒸着法
に形成したが、デイ・ソピング法で多層膜３を形成して
もよく、以下デイ・ソピング法について説明する。
に形成したが、デイ・ソピング法で多層膜３を形成して
もよく、以下デイ・ソピング法について説明する。
ディッピング液として、テトラプロピルチタネートなど
のＴｉのアルコラードのモノマーまたはポリマーを、ア
ルコールと水の混合溶液で加水分解・重合させ、アルコ
ール、酢酸、酢酸エチル、酢酸メチルなどの混合溶液に
混合して用意する。
のＴｉのアルコラードのモノマーまたはポリマーを、ア
ルコールと水の混合溶液で加水分解・重合させ、アルコ
ール、酢酸、酢酸エチル、酢酸メチルなどの混合溶液に
混合して用意する。
また、テトラエトキシシランなどのＳｉのアルコラード
のモノマーまたはポリマーを同様に混合して用意する。
のモノマーまたはポリマーを同様に混合して用意する。
これらのディッピング液を用いて、以下の条件でガラス
基板２にコーティングする。
基板２にコーティングする。
■引き上げ速度＝Ｔｌ液・・・３５層口／ｍｉｎ。
Ｓｉ液−４０ｃｌ／ｍｉｎ
■膜構成 ：膜厚１３６ｎｍのＴ ＩＯ２層と膜厚
２１４ｒ＋ｍのＳ ｉＯ２ 層を９層ずつ交互層と、最 上層（１９層）に半分の膜 厚６８ｎｍのＴ ｉＯ２層の多 層膜（１９層目のみ引き上 げ速度は７０ｍ／ｒａｊｎ） ■乾燥条件 ：１５０℃、１０分 ■焼成条件 ・５５０℃、６０分 この条件で形成された多層膜は、蒸着法で形成された多
層膜３と同様の分光透過率特性を有する。
２１４ｒ＋ｍのＳ ｉＯ２ 層を９層ずつ交互層と、最 上層（１９層）に半分の膜 厚６８ｎｍのＴ ｉＯ２層の多 層膜（１９層目のみ引き上 げ速度は７０ｍ／ｒａｊｎ） ■乾燥条件 ：１５０℃、１０分 ■焼成条件 ・５５０℃、６０分 この条件で形成された多層膜は、蒸着法で形成された多
層膜３と同様の分光透過率特性を有する。
また、上記第２、第３の実施例では、ネサ膜９を蒸着法
に形成したか、ディッピング法でネサ膜を形成してもよ
く、以下ディッピング法について説明する。
に形成したか、ディッピング法でネサ膜を形成してもよ
く、以下ディッピング法について説明する。
ディッピング溶液として、テトラ−１−プロポキシ錫な
どのＳｎのアルコラードのモノマーまたはポリマーを上
記多層膜３のディッピング法と同様に混合して用意する
。さらに、上記ディッピング法と同し条件で成膜するこ
とにより、８０層ｍの膜厚のＳ ｎ Ｏ２膜が得られる
。このディッピング法で形成されたネサ膜は、蒸着法で
形成されたネサ膜９と同様の分光透過率特性を有する。
どのＳｎのアルコラードのモノマーまたはポリマーを上
記多層膜３のディッピング法と同様に混合して用意する
。さらに、上記ディッピング法と同し条件で成膜するこ
とにより、８０層ｍの膜厚のＳ ｎ Ｏ２膜が得られる
。このディッピング法で形成されたネサ膜は、蒸着法で
形成されたネサ膜９と同様の分光透過率特性を有する。
また、上記第３の実施例では、近赤外線透過フィルタ１
２をガラス基板２の両面に蒸着法により多層膜３とネサ
膜９を蒸着することにより得るようにしたか、以下の組
合わせによって得るようにしてもよく、この組合わせに
より得られる近赤外線透過フィルタは、第８図の近赤外
線透過フィルタ１２の分光透過率特性１３と同様の分光
透過率特性を有する。すなわち、 ■ディッピング法で形成された多層膜とネサ膜との組み
合わせ ■蒸着法で形成された多層膜３とディッピング法で形成
されたネサ膜との組合わせ ■ディッピング法で形成された多層膜と蒸着法で形成さ
れたネサ膜９との組合わせ の３通りの組合わせから、いずれかを選択してもよい。
２をガラス基板２の両面に蒸着法により多層膜３とネサ
膜９を蒸着することにより得るようにしたか、以下の組
合わせによって得るようにしてもよく、この組合わせに
より得られる近赤外線透過フィルタは、第８図の近赤外
線透過フィルタ１２の分光透過率特性１３と同様の分光
透過率特性を有する。すなわち、 ■ディッピング法で形成された多層膜とネサ膜との組み
合わせ ■蒸着法で形成された多層膜３とディッピング法で形成
されたネサ膜との組合わせ ■ディッピング法で形成された多層膜と蒸着法で形成さ
れたネサ膜９との組合わせ の３通りの組合わせから、いずれかを選択してもよい。
また、上記第３の実施例では、必要波長を１１０００ｎ
付近としたが、これに限定されることはなく、用途に応
じ必要波長を変更することは可能である。
付近としたが、これに限定されることはなく、用途に応
じ必要波長を変更することは可能である。
また、本発明は上記実施例に限定されることなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形可能なこ
とは勿論である。
明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形可能なこ
とは勿論である。
［発明の効果コ
以上詳述したように、本発明の近赤外線透過）ィルタに
よれば、近赤外線透過可視光吸収カラスに誘電体多層膜
および／またはネサ膜をコートすることにより、近赤外
線の特定の波長域で８０９６以上を透過するので、必要
とする波長域の近赤外線をとらえ易くなり、受光部にお
けるセンサの誤動作を減少することかできる。
よれば、近赤外線透過可視光吸収カラスに誘電体多層膜
および／またはネサ膜をコートすることにより、近赤外
線の特定の波長域で８０９６以上を透過するので、必要
とする波長域の近赤外線をとらえ易くなり、受光部にお
けるセンサの誤動作を減少することかできる。
また、必要とする波長域での透過率か高いので、センサ
か反応し易くなる。
か反応し易くなる。
また、基板として近赤外線透過可視光吸収ガラスを用い
ているので、長波長側の光のカットのみて済み、生産性
を向上することかできる。
ているので、長波長側の光のカットのみて済み、生産性
を向上することかできる。
第１図は本発明の一実施例の近赤外線透過フィルタの断
面図、第２図は近赤外線透過可視光吸収ガラスと誘電体
多層膜の分光透過率特性を示す曲線図、第３図は本発明
の一実施例の近赤外線透過フィルタの分光透過率特性を
示す曲線図、第４図は本発明の第２の実施例の近赤外線
透過フィルタの断面図、第５図は近赤外線透過可視光吸
収ガラスとネサ膜の分光透過率特性を示す曲線図、第６
図は本発明の第２の実施例の近赤外線透過フィルタの分
光透過率特性を示す曲線図、第７図は本発明の第３の実
施例の近赤外線透過フィルタの断面図、第８図は本発明
の第３の実施例の近赤外線透過フィルタの分光透過率特
性を示す曲線図、第９図は現在使用されている赤フィル
タの分光透過率特性を示す曲線図である。 １．８．１２・・・近赤外線透過フィルタ、２・・・近
赤外線透過可視光吸収ガラス基板（近赤外線透過可視光
吸収ガラス）、 ３ ・・誘電体多層膜、 ９・・・ネサ膜。 代理人 弁理士 大 胡 典 夫
面図、第２図は近赤外線透過可視光吸収ガラスと誘電体
多層膜の分光透過率特性を示す曲線図、第３図は本発明
の一実施例の近赤外線透過フィルタの分光透過率特性を
示す曲線図、第４図は本発明の第２の実施例の近赤外線
透過フィルタの断面図、第５図は近赤外線透過可視光吸
収ガラスとネサ膜の分光透過率特性を示す曲線図、第６
図は本発明の第２の実施例の近赤外線透過フィルタの分
光透過率特性を示す曲線図、第７図は本発明の第３の実
施例の近赤外線透過フィルタの断面図、第８図は本発明
の第３の実施例の近赤外線透過フィルタの分光透過率特
性を示す曲線図、第９図は現在使用されている赤フィル
タの分光透過率特性を示す曲線図である。 １．８．１２・・・近赤外線透過フィルタ、２・・・近
赤外線透過可視光吸収ガラス基板（近赤外線透過可視光
吸収ガラス）、 ３ ・・誘電体多層膜、 ９・・・ネサ膜。 代理人 弁理士 大 胡 典 夫
Claims (1)
- 近赤外線透過可視光吸収ガラスに誘電体多層膜および
／またはネサ膜をコートし、近赤外線の特定の波長域で
８０％以上を透過することを特徴とする近赤外線透過フ
ィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22961290A JPH04110803A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 近赤外線透過フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22961290A JPH04110803A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 近赤外線透過フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04110803A true JPH04110803A (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=16894909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22961290A Pending JPH04110803A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 近赤外線透過フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04110803A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013047097A1 (ja) | 2011-09-26 | 2013-04-04 | ソニー株式会社 | 撮像装置及びフィルター |
| KR20170106448A (ko) * | 2015-01-23 | 2017-09-20 | 마테리온 코포레이션 | 개선된 투과를 갖는 근적외선 광학 간섭 필터 |
| CN110109207A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-09 | 深圳市利丰达展贸科技有限公司 | 一种多色感光雷达镀膜结构及镀膜方法 |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP22961290A patent/JPH04110803A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013047097A1 (ja) | 2011-09-26 | 2013-04-04 | ソニー株式会社 | 撮像装置及びフィルター |
| KR20170106448A (ko) * | 2015-01-23 | 2017-09-20 | 마테리온 코포레이션 | 개선된 투과를 갖는 근적외선 광학 간섭 필터 |
| CN110109207A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-09 | 深圳市利丰达展贸科技有限公司 | 一种多色感光雷达镀膜结构及镀膜方法 |
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