JPH04105377A

JPH04105377A - 炭酸ガスレーザ装置

Info

Publication number: JPH04105377A
Application number: JP22103790A
Authority: JP
Inventors: Sukeyuki Yasui; 祐之安井; Koichi Yasuoka; 康一安岡; Akira Ishii; 彰石井
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-08-24
Filing date: 1990-08-24
Publication date: 1992-04-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的コ（産業上の利用分野）本発明は、切断・溶接・表面処理等に用いられる大出力
の炭酸ガスレーザ装置に関するものである。

（従来の技術）一般に、大出力の炭酸ガスレーザ装置においては、Ｃ０
２（炭酸ガス）、Ｎ２（窒素ガス）、Ｈｅ（ヘリウムガ
ス）を混合させたレーザ媒質ガスを、送風機により放電
励起部に高速循環させて、陰極・陽極間にグロー放電を
発生させ、この放電によってＣＯ２を励起し、レーザ媒
質ガスのガス流と直交する方向に光軸を有する光共振器
の作用でレーザ出力を取り出している。

ところで、この様なグロー放電中では、一部のＣＯ２分
子が分解してＣＯと０２が発生するため、Ｃ０２分子の
励起強度が低下し、レーザ出力が低下する。また、この
０２分子の影響により、グロー放電が収縮してアーク放
電が発生しゃすくなることが知られている。この様なア
ーク放電は、高温度・高電流密度であ−るため、レーザ
発振を不能とするばかりでなく、ＣＯ２ガスの分解をま
すます加速し、炭酸ガスレーザ装置のガス寿命を著しく
短縮させていた。

そこで、従来より、上記の様なガス分解の対策として、
第３図に示した様な方法が用いられていた。即ち、ガス
容器１内にグロー放電電極２ａ。

２ｂが対向配置され、一方のクロー放電電極２ａは導体
３ａに固定されると同時に、電流端ｒ４に接続されてい
る。また、他方のクロー放電電極２ｂは導体３ｂに固定
され、リード線（図示せず）により接地電位に接続され
ている。なお、ガス容器１は絶縁物から構成されている
ので、ガス容器１と電流端子４とは電気的に絶縁されて
いる。また、前記導体３ｂにはコンデンサ５が接続され
、さらに、両溝体３ａ、３ｂ間にはギャップ６か形成さ
れている。このコンデンサ５及びギャップ６は、グロー
放電電極２ａ、２ｂ間のレーザガスを予備電離してグロ
ー放電を発生させるためのものである。さらに、前記ガ
ス容器１内には送風ファン７が設置され、グロー放電電
極２ａ、２ｂが形成するグロー放電部に、図中矢印８方
向にレーザガスを循環させるように構成されている。ま
た、グロー放電によって温度が上昇したレーザガスを冷
却するための熱交換器９ａ、９ｂが、前記送風ファン７
の前後に配設されている。さらに、前記ガス容器１には
、パイプ１０を介してレーザガス再生器１１か接続され
ている。このレーザガス再生器１１の内部には、レーザ
ガス再生物質１２、このレーザガス再生物質を最適な温
度条件で動作させるためのヒータコイル１３及び再生さ
れたレーザガスの温度を下げるための冷却送風機１４か
設置されている。

この様に構成された従来の炭酸カスレーザ装置において
は、ガス容器１中のレーザガスの一部を取り出してレー
ザガス再生器１１に導き、グロー放電により分解した０
０２分子を再生するようにしている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上述した様な従来の炭酸ガスレーザ装置
には、以下に述べる様な解決すべき課題があった。即ち
、グロー放電電極２ａ、２ｂにより形成される放電部に
おいて劣化したレーザガスは、前述した様にガス容器１
内を一巡して再び放電部に戻る。この時、放電部で発生
したＣ０１０２などは、レーザガス再生器１１の作用で
その一部がＣＯ２に再生されるが、残りのＣＯ，Ｏ２な
どはそのまま放電部に戻ってくる。そのため、放電部に
おけるＣ　０２分子の励起強度が低下し、放電が不安定
なものとなり、レーザ出力が低下する。

一方、レーザガス再生器１１に導入するレーザガス量を
増加させてレーザガス再生量を増加させれば、放電部に
循環されるＣ０１０２などの量を減少させることができ
るが、ガス容器１内を流れるレーザガス流量と同量のレ
ーザガスを再生するには、非常に大型なレーザガス再生
器が必要となり、また、レーザガス再生器１１に接続さ
れるパイプ１０の径も非常に大きくする必要がある。そ
の結果、ガス容器１内のレーザガス流速分布が乱れ、放
電が不安定なものとなるといった欠点があった。

さらに、レーザガス再生物質１２を最適な温度条件で動
作させるために、レーザガス再生物質１２をヒータコイ
ル１３を用いて加熱する必要があり、また、その結果温
度が上昇したレーザガスを冷却するために、冷却送風機
１４を用いて冷却し、一定の温度まで冷却した後、ガス
容器１内にレーザガスを戻すので、装置が非常に大型化
していた。

本発明は、−１−記の様な問題点を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、グロー放電によって分解
したＣＯ２ガス分子を容易に再生することができ、安定
したレーザ出力を得ることのできる、大出力の炭酸カス
レーザ装置を提供することにある。

［発明の構成コ（課題を解決するための手段）本発明は、放電電極を対向配置したガス容器内に、送風
ファン及び熱交換器を含むガス流路を形成し、前記放電
電極によって形成される放電部にレーザガスを供給し、
このレーザガスを励起してレーザを発生させる炭酸がス
レーザ装置において、前記対向配置された放電電極によ
って形成される放電部の下流側に、レーザガス再生物質
を配設したことを特徴とするものである。

（作用）以上の構成を有する本発明の炭酸ガスレーザ装置によれ
ば、放電で生じたＣ０１０２などの活性元素を、放電部
の下流側に配設したレーザガス再生物質に直接接触させ
ることができるため、レーザガスの再生反応の効率が大
幅に向にされる。また、ガス容器の外部にレーザガス再
生器を設ける必要がないので、装置の構成が大幅に簡略
化される。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
具体的に説明する。なお、第３図に示した従来型と同一
の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。

本実施例においては、第１図及び第２図に示した様に、
対向配置されたグロー放電電極２ａ、２ｂによって形成
される放電部の下流側に、表面を２種類のレーザガス再
生物質２０ａ、２０ｂでコーティングした格子状の枠体
２１が配設されている。その他の構成は第３図に示した
従来型と同様である。

なお、レーザガス再生物質２０ａ、２０ｂとしては、放
電によってＣＯ２分子が分解して得られる６０分子−及
び活性状態のＯ原ｒ、及び６０分子と０２分子のそれぞ
れの反応を効果的に促進し、Ｃ０２分子を再生する２種
類の物質（例えは、ＡＵ触媒とｐｔ系触媒等）が用いら
れる。また、この２種類のレーザガス再生物質が、前記
格子状の枠体２１の表面に交互にコーティングされてい
る。

この様に構成された本実施例の炭酸ガスレーザ装置にお
いては、第２図に示した様に、放電電極近傍で生じた活
性状態のｃｏ、ｏ、Ｃ２などが、送風ファン７によって
放電部下流側に流され、そこに配設された枠体２１の表
面にコーティングされたレーザガス再生物質２０ａ、２
０ｂに直接接触するため、レーザガスの再生反応が効率
良く行われる。また、レーザガス再生物質２０ａ、２０
ｂを加熱する必要がないため、レーザガスは加熱されず
、従来から用いられていた冷却送風機が不要となる。し
たがって、放電部から放出されたＣ０１０゜を含むレー
ザガスは、直ちにＣＯ２分子に再生されるので、ガス容
器１内を循環し、再び放電部に流入する時は、初期状態
と同じガス成分になっている。また、従来例の様に、ガ
ス容器１とレーザガス再生器１１とを接続するパイプが
不要となるため、レーザガス流速分布が乱れることもな
く、安定した放電を点弧することができる。

さらに、生成された０２分子がガス容器１内を移動する
空間が限定されて小さくなるため、ガス容器１及び容器
内の構造材料と０２分子との反応が抑制され、その結果
、炭酸ガスレーザ装置の長寿命化が実現される。

この様に、本実施例によれば、放電部で発生するＣ０１
０２を直ちにＣＯ２分子に再生することができ、しかも
、機器の構成が簡単で安定したガス流状態を実現できる
ため、安定した放電が得られ、炭酸ガスレーザ装置の長
寿命化、高出力化が可能となる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、対向配置された放電電極の下流側に配設される、表
面をレーザガス再生物質でコーティングした格子状の枠
体の大きさ、形状、格子の間隔は、その放電部の出力の
大きさによって適宜設定することができる。

「発明の効果」以上説明した様に、本発明によれば、対向配置された放
電電極によって形成される放電部の下流側に、レーザガ
ス再生物質を配設することによって、クロー放電によっ
て分解したＣ０２ガス分子を容易に再生することができ
、安定したレーザ出力を得ることのできる、大出力の炭
酸ガスレーザ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の炭酸ガスレーザ装置の一実施例を示す
断面図、第２図は第１図の要部拡大斜視図、第３図は従
来の炭酸ガスレーザ装置の一例を示す断面図である。１・・・ガス容器、２ａ、２ｂ・・・グロー放電電極、
３ａ、３ｂ・・・導体、４・・・電流端子、５・・・コ
ンデンサ、６・・・ギャップ、７・・・送風ファン、８
・・・ガス流方向、９ａ、９ｂ・・・熱交換器、１０・
・・パイプ、１１・・・レーザガス再生器、１２・・・
レーザガス再生物質、１３・・・ヒータコイル、１４・
・・冷却送風機、２０ａ。２０ｂ・・・レーザカス再生物質、２１・・・枠体。

Claims

【特許請求の範囲】放電電極を対向配置したガス容器内に、送風ファン及び
熱交換器を含むガス流路を形成し、前記放電電極によっ
て形成される放電部にレーザガスを供給し、このレーザ
ガスを励起してレーザを発生させる炭酸ガスレーザ装置
において、前記対向配置された放電電極によって形成される放電部
の下流側に、レーザガス再生物質を配設したことを特徴
とする炭酸ガスレーザ装置。