JP3828970B2 - オゾン発生器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、オゾン発生器に係り、とりわけ効率良くオゾンを発生することができるオゾン発生器に関する。
【0002】
一般のオゾン発生器においては、金属電極と誘電体電極、もしくは誘電体電極同士が一対となって放電電極を構成し、その間にスペーサを挿入することにより微小な放電ギャップを形成している。両電極間の放電ギャップにオゾン原料ガスを流し、両電極間に高電圧を印加することにより放電ギャップ(空間)に無声放電が発生する。この無声放電によりオゾン化ガスが生成される。
【0003】
ところで、原料ガスとして酸素を用いたオゾン発生器は無声放電により金属電極が酸化することがある。このようなオゾン発生器について図11および図12により説明する。
【0004】
図11および図12は、従来のオゾン発生器の放電部の構成の一例を示す図である。図11および図12に示すように、オゾン発生器に誘電体電極5と金属電極6とを備え、誘電体電極5と金属電極6との間には放電ギャップを形成するためのスペーサ13aが挿入されている。なお、誘電体電極5の内面には導電膜4が設けられている。
【0005】
図11および図12において、オゾン原料ガスがガス入口11から気密容器14内に流入し、その後原料ガスは誘電体電極5と金属電極6との間に形成された放電ギャップ7を流れ、ガス出口12から流出される。この間誘電体電極5と金属電極6との間に高電圧電源1から交流の高電圧をヒューズ2および高圧給電端子3を介して印加すると、放電ギャップ7に無声放電が形成され、オゾンが発生する。無声放電で発生する熱は、金属電極6内に供給される冷却水8により冷却される。これにより、放電ギャップ7のガス温度上昇を抑制し、高濃度・高収率のオゾンが得られる。
【0006】
また、図12に示すように、金属電極6内に両側から一対の誘電体電極5を挿入し、金属電極6の中央部にスペーサ13aをそれぞれ配置したオゾン発生器も知られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述したような従来のオゾン発生器は、以下に述べる様な問題がある。
【0008】
すなわち図11および図12に示すオゾン発生器では、誘電体電極5と金属電極6との間のスペーサ13aが不安定であるため、均一な放電ギャップ7が維持できず、均一な放電の点弧を形成することが困難である。この場合は放電が一部に集中し、部分的な温度の上昇によるオゾンの分解、冷却の不均一性により、オゾン発生器の濃度・収率に限界がある。
【0009】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、誘電体電極と金属電極との間の放電ギャップを所定値に定めることにより均一な放電を生成することができるオゾン発生器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、円筒状の一方の電極と、一方の電極の外側に、一方の電極を囲んで設けられた他方の電極と、一方の電極と他方の電極との間に高電圧を印加する高圧電源とを備え、他方の電極は冷却されるとともに、一方の電極と他方の電極との間の放電ギャップは、0.3〜0.6mmの隙間を有し、一方の電極と他方の電極との間にスペーサが介在され、このスペーサは帯材をリング状に形成し、端部同志を溶接して構成され、スペーサに半径方向の同一方向に突出する複数の半球状突起を設けたことを特徴とするオゾン発生器である。
【0012】
【発明の実施の形態】
第1の実施の形態
図1乃至図3により本発明の第1の実施の形態について説明する。図1に示すように、オゾン発生器はガス入口11とガス出口12とを有する気密容器14と、気密容器14内に設けられた円筒状の誘電体電極5と、誘電体電極5の外側に配置された金属電極6とを備えている。
【0013】
このうち誘電体電極5は、その内面に導電膜4が設けられており、導電膜4には高圧給電子3およびヒューズ2を介して高電圧電源1が接続されている。また誘電体電極5と金属電極6との間にはスペーサ13aが介在されており、このスペーサ13aによって誘電体電極5と金属電極6との間の放電ギャップ7は0.38〜0.62mmの隙間を有している。
【0014】
また金属電極6内には、冷却水入口9から冷却水が供給され、金属電極6内の冷却水は冷却水出口10から流出するようになっている。
【0015】
次に図2および図3によりスペーサ13aについて説明する。図2(a)(b)(c)に示すように、スペーサ13aは帯材をリング状に構成し、端部同志を溶接することにより得られる。このようにスペーサ13aをリング状に構成し、端部同志を溶接することにより、スペーサ13aを堅固に構成することができ、これによって放電ギャップ7の隙間を均一に保つことができる。
【0016】
また図2(a)(b)(c)に示すように、スペーサ13aは半径方向内方へ突出するとともに、スペーサ13aの幅方向に延びる複数の突起17を有している。このようにスペーサ13aに半径方向内方へ突出する突起を設けることにより、放電ギャップ7の隙間の長さが安定化する。
【0017】
なお、図3(a)(b)(c)に示すように、スペーサ13aに半球状突起18を設けてもよい。
【0018】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。まず、オゾン原料ガスがガス入り口11から気密容器14内に流入し、誘電体電極5と金属電極6の間の放電ギャップ7を通って、ガス出口12から流出される。このとき気密容器14の外から高電圧電源1によりヒューズ2および高圧給電子3を介して、導電膜4に対して高電圧が印加され、誘電体電極5と金属電極6との間で放電形成回路が形成される。この場合、放電ギャップ7において、無声放電が形成され原料ガスがオゾン化ガスを発生する。放電ギャップ7のガス温度が低い方がオゾン濃度、オゾン収率が向上するため、金属電極6内は冷却水により冷却され、放電ギャップ7のガス温度上昇が抑制される。
【0019】
本実施の形態によれば放電ギャップ7の間隙は0.3mm〜0.6mmとなっているのでオゾン濃度・オゾン収率が向上する。すなわち、放電ギャップ7の精度は±0.15mm以下となっており、放電ギャップ7の間隙が小さい方が高収率・高濃度が得られるが、上記ギャップ精度では、誘電体電極5と金属電極6の両方から考えた場合、放電ギャップ7を0.3mm以下にすることは不可能である。また、金属電極6内の冷却水8により、放電ギャップ7を冷却する必要があり、この場合は放電ギャップ7を短縮しなればならず、放電ギャップ7の間隙は0.6mm以下にする必要がある。
【0020】
次に図10により、原料ガスを種々変えた場合における放電電力とオゾン濃度との関係を示す。
【0021】
図10に示すように、原料ガスの酸素濃度が100%に近い時は、放電電力が低いところからオゾン濃度が飽和するが、酸素濃度が90〜97%にすることでオゾン濃度がさらに上昇することが可能となる。また、数%の窒素によりNOxを形成し、そのNOxと微量のH2 Oが反応し、硝酸(HNO3 )が生成され、金属電極6の保護膜となる。このため金属電極6の酸化防止となる。
【0022】
第2の実施の形態
次に図4(a)(b)により本発明の第2の実施の形態について説明する。
【0023】
図4(a)(b)に示す第2の実施の形態は、金属電極6内に一対の誘電体電極5,5を装着したものであり、他は図1乃至図3に示す第1の実施の形態と略同一である。
【0024】
図4(a)に示すように各誘電体電極5と金属電極6との間には図2および図3に示すスペーサ13aが挿入されている。また、一対の誘電体電極5,5と金属電極6との間には、図4(b)に示すように一対の誘電体電極5,5にまたがるスペーサ13bが設けられている。
【0025】
図4(b)に示すように、スペーサ13bは帯材をリング状に構成し、両端部を溶接して溶接部16を形成することにより得られる。またスペーサ13bには、半径方向内方へ突出する突起19が設けられている。
【0026】
本実施の形態によれば、スペーサ13bを一対の誘電体電極5,5間にまたがらせることにより、スペーサ13bを効果的に利用することができる。
【0027】
第3の実施の形態
次に図5により本発明の第3の実施の形態について説明する。図5に示す第3の実施の形態は、高電圧電源1と高圧給電子3との間にヒューズ2の他にインダクタンス15を直列に挿入したものであり、他は図1乃至図3に示す第1の実施の形態と略同一である。図5に示すように高電圧電源1と高圧給電子3との間にインダクタンス15を設けることにより、放電部にかかる印加電圧が変化し、このため放電ギャップ7の電荷容量と誘電体電極5の電荷容量が変化し、力率の良いオゾン発生器が実現できる。ここで放電部とは導電膜4−誘電体電極5−放電ギャップ7−金属電極6から構成される部分をいう。
【0028】
第4の実施の形態
次に図6により本発明の第4の実施の形態について説明する。図6に示す第4の実施の形態は、導電膜4−誘電体電極5−放電ギャップ7−金属電極6から構成されている放電部と並列に、ヒューズ2に対してインダクタンス15を接続したものであり、他は図1乃至図3に示す第1の実施の形態と略同一である。放電部と並列にインダクタンス15を接続したことにより、放電部にかかる電圧が変化し、放電ギャップ7の短ギャップ化による力率低下を防止することが可能となる。
【0029】
第5の実施の形態
次に図7により本発明の第5の実施の形態について説明する。図7に示す第5の実施の形態は、誘電体電極5の内面に設けられている導電膜4の誘電体電極5開放端側の端部4aを金属電極6端部の位置より外側に配置したものであり、他は図1乃至図3に示す第1の実施の形態と略同一である。図7において、電界が緩和され放電ギャップ7の異常放電を防止し、均一に無声放電が発生し、高効率のオゾン発生器が可能となる。
【0030】
第6の実施の形態
図8に示す第6の実施の形態は、誘電体電極5の内面に設けられた導電膜4の位置を、金属電極6の端部より内側に設定したものである。図8において、電界が緩和され、異常放電がとまり、均一な無声放電により高効率のオゾン発生器となる。
【0031】
第7の実施の形態
図9に示す第7の実施の形態は、誘電体電極5内部に設けられた導電膜4の端部に高電圧給電子3が接触しており、この高電圧給電子3は金属性不織布製となっている。このため、導電膜4端部の電界が緩和され、異常放電・沿面放電を止め、放電ギャップ7に均一な無声放電が発生し、高効率のオゾン発生器が可能となる。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、一方の電極と他方の電極との間を均一に保つことができる。また、他方の電極を冷却することにより、この他方の電極によって放電ギャップを効果的に冷却することができる。このことにより高収率・高濃度のオゾンを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるオゾン発生器の第1の実施の形態を示す図。
【図2】本発明によるオゾン発生器の第1の実施の形態におけるスペーサを示す図。
【図3】本発明によるオゾン発生器の第1の実施の形態における他のスペーサを示す図。
【図4】本発明によるオゾン発生器の第2の実施の形態を示す図。
【図5】本発明によるオゾン発生器の第3の実施の形態を示す図。
【図6】本発明によるオゾン発生器の第4の実施の形態を示す図。
【図7】本発明によるオゾン発生器の第5の実施の形態を示す図。
【図8】本発明によるオゾン発生器の第6の実施の形態を示す図。
【図9】本発明によるオゾン発生器の第7の実施の形態を示す図。
【図10】原料ガスを種々変化させた場合の放電電力とオゾン濃度を示す図。
【図11】従来のオゾン発生器を示す図。
【図12】従来のオゾン発生器を示す図。
【符号の説明】
1 高電圧電源
2 ヒューズ
3 高圧給電子
4 導電膜
5 誘電体電極
6 金属電極
7 放電ギャップ
9 冷却水入口
10 冷却水出口
13a スペーサ
13b スペーサ
14 気密容器
Claims (1)
- 円筒状の一方の電極と、
一方の電極の外側に、一方の電極を囲んで設けられた他方の電極と、
一方の電極と他方の電極との間に高電圧を印加する高圧電源とを備え、
他方の電極は冷却されるとともに、
一方の電極と他方の電極との間の放電ギャップは、0.3〜0.6mmの隙間を有し、
一方の電極と他方の電極との間にスペーサが介在され、このスペーサは帯材をリング状に形成し、端部同志を溶接して構成され、スペーサに半径方向の同一方向に突出する複数の半球状突起を設けたことを特徴とするオゾン発生器。
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