JPS63132492A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明はレーザ媒質である気体を放電エネルギで励起
してレーザ光を出力するガスレーザ装置に関する。

（従来の技術） 一般に、大気圧あるいは高気圧横放′１老励起形のガス
レーザ装置においては、たとえばＣＯ２ガスなどのレー
ザ媒質が収容された放電空間に陽極と陰極とからなる主
電極を設け、この主電極で発生する放電エネルギによっ
て上記レーザ媒質を励起してレーザ光を出力させるよう
にしている。

ところで、このようなガスレーザ装置においては、使用
にともないレーザ媒質であるレーザガスが分解して出力
の低下や放電の不安定化を招くということがある。

そこで、このような問題を避けるため、一定量のレーザ
ガスを流して捨てる、いわゆるガスフロ一方式が取られ
ていた。しかしながら、ガスフロ一方式はレーザガスの
消費量が多くなるため、ランニングコストの増大を招く
という欠点がある。

そこで、レーザガスの消費量を少なくするための手段と
して、分解したレーザガスを放電空間外で再生させる第
１の手段や内部触媒効果のあるＣＯやＨ２などをレーザ
ガスに混ぜる第２の手段などが取られている。

しかしながら、上記第１の手段によると、レーザガスを
再生させるだめのシステムによって装置全体の大形化や
コスト高を招くことになる。

一方、第２の手段においてはレーザガスにＣ０やＨ２を
混ぜることによってレーザガス（ＣＯ２）が放電によっ
て分解された結果に生じる０２ガス示される反応を生じ
、レーザガス中における０２の濃度増加を防ぐから、レ
ーザガスの寿命を伸ばすことが可能となる。しかしなが
ら、このような反応は上記主電極を触媒として行われる
ため、その電極の表面が早期に劣化し、放電が安定しな
くなったり、触媒効果か失われるなどのことが生じる。

そして、そのよな場合には上記主電極の表面を研磨した
り、場合によっては主電極を交換しなければならないか
ら、その作業に多大な手間が掛かるということがあった
。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、主電極を触媒として作用させてレー
ザガスの寿命の向上を計る場合に、上記主電極の保守を
容易に行なえるようにしたガスレーザ装置を提供するこ
とにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、レーザ媒質が封入された放
電空間に陰極と陽極とを対向させて配設し、これら陰極
と陽極との間で発生する放電エネルギで上記レーザ媒質
を励起するガスレーザ装置において、上記陰極と陽極と
の少なくとも触媒として作用する陽極の表面を導電性箔
によって被覆する。そして、導電性箔を交換するだけで
上記陽極の保守を行なえるようにした。

（実施例） 以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図に示すガスレーザ装置は内部を放電空間１とした
ケース２を有する。このケース２内は仕切り壁３によっ
て互いに連通ずる上部空間４と下部空間５とに区画され
ている。下部空間５にはブロアー６およびこのブロアー
６の吸込側と吐出側とにそれぞれ熱交換器７が配設され
ている。したがって、上記ブロアー６が作動すれば、放
電空間１内に収容されたレーザ媒質としてのレーザガス
、たとえばＣＯやＨ２などが混入されたＣＯ２ガスが図
中矢印で示すように循環するようになっている。

上記上部空間４には主電極を構成する陰極８と陽極９と
が上下方向に離間対向して配設されている。下方に配設
された陽極９の表面はＣｕ製の導電性箔１１によって覆
われている。この導゛電性箔１１の幅方向両端部は上記
仕切壁３に着脱自在に固定される押え部材１２によって
保持固定されている。したがって、一対の押え部材１２
を仕切壁３から取外せば、上記導電性箔１１を陽極９の
表面から除去することができるようになっている。

なお、上記陽極９の両側近傍には一対の下方予備電離電
極１３が立設され、上記陰極８の近傍には上記下方予備
電離電極１３の上端に下端・を対向させて一対の上方予
８電離電極１４が垂設されている。これら予備電離電極
１３．１４は上記陰極８と陽極９との間で放電が開始さ
れる前にスパーク放電をして上記放電空間１を予備電離
するためのものである。

このような構成のガスレーザ装置において、下方と−に
方の予備電離電極１１．１２間でスパーク放電を生じさ
せて放電空間１を予備電離したのち、陰極８と陽極９と
の間で主放電を発生させれば、その放電エネルギによっ
てレーザガスが励起されるから、レーザガスの流れ方向
に対して直交する方向にレーザ光が発振される。

このようなレーザ発振によってレーザガスであるＣＯ２
ガスが放電によって分解される結果、０２が発生すると
、その０２はレーザガス中のＨ２やＣＯ２と反応するか
ら、０２濃度の増加を押えることができる。その際、主
電極を構成する陽極９は触媒として作用する。そのため
、」：記陽極９の表面が腐蝕されて主放電の安定性が損
われたり、触媒効果が低下するなどの経時変化が生じる
。そのような場合には、陽極９の表面を被覆した導電性
箔１１を新しいものに交換するだけで主放電の安定性や
触媒作用を再生させることができる。

なお、この発明は上記一実施例に限定されず、たとえば
導電性箔はＣｕ製でなく、Ｃｕ合金製あるいは他の金属
製などであってもよい。また、導電性箔は陽極だけでな
く、陰極にも被覆してもよい。陰極に導電性箔を被覆す
ると、それが触媒として作用することはないものの、放
電の熱エネルギで導電性箔が溶融し、陰極が直接溶融す
るのが防げるから、導電性箔を交換するだけで上記陰極
の放電状態を復元できる。

［発明の効果コ 以上述べたようにこの発明は、ガスレーザ装置の主電極
を構成する陰極と陽極とのうちの少なくとも陽極の表面
を導電性箔によって被覆するようにした。したがって、
上記主電極の表面が劣化して放電が安定しな（なったり
、触媒゛効果が失われた場合などには導電性箔を交換す
るだけで再生することができるから、主電極を研磨した
り、交換しなけらばならなかった従来に比べて上記主電
極の保守を容易に行なうことができる。４

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はガスレーザ
装置の概略図、第２図は陽極の拡大側面図である。 １・・・放電空間、８・・・陽極、９・・・陰極、１１
・・・導電性箔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ媒質が封入された放電空間に陰極と陽極とを対向
   させて配設し、これら陰極と陽極との間で発生する放電
   エネルギで上記レーザ媒質を励起するガスレーザ装置に
   おいて、上記陰極と陽極との少なくとも陽極の表面を導
   電性箔によって被覆したことを特徴とするガスレーザ装
   置。