JPH038660A - 薄膜剥離方法 - Google Patents
薄膜剥離方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
離された薄膜を排出する薄膜剥離技術に適用して有効な
技術に関するものである。
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の両面(又
は片面)に形成されたものである。
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂(フォトレジスト)層とそれを保護する透光性樹
脂製カバーフィルム(以下、カバーフィルムという)と
からなる積層体を熱圧着ラミネートする。この後、配線
パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及
び前記カバーフィルムを通して、感光性樹脂層を所定時
間露光する。そして、カバーフィルムを剥離した後、露
光された感光性樹脂層を現像してエツチングマスクパタ
ーンを形成する。この後、前記導電層の不必要部分をエ
ツチングにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層を
除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線板を
形成する。
脂層を露光した後現像するに際して、カバーフィルムを
剥離する工程が必要とされている。
ィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂
層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用
さ及び非常な熟練を要する。
膜剥離装置が開発されている。
−101909号に記載されるように。
れた一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離された薄
膜を排出する薄膜剥離装置において、前記剥離された薄
膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共に、挟
持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送する第
1薄膜搬送手段と、該第1薄膜搬送手段で搬送された薄
膜に流体(空気)を吹き付けて剥離薄膜収容部まで搬送
する第2薄m搬送手段とを備えた薄膜剥離装置が提案さ
れている。
搬送手段で搬送された薄膜に空気を吹き付けて剥離薄膜
収容部まで搬送するためのエアーダクトの壁に薄膜が吸
着してつまるという問題があった。
がら搬送しかつ排出する薄膜剥離方法において、剥離さ
れた薄膜の搬送不良を低減することが可能な技術を提供
することにある。
メンテナンス作業を簡単に行うことが可能な技術を提供
することにある。
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。
れた薄膜の一部を剥離し、この剥離された一部分から薄
膜を剥離すると共にこの剥離された薄膜を排出する薄膜
剥離方法において、前記剥離された薄膜の一部を挟持し
て基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜
を基板の表面側の上方向に搬送する第1薄膜搬送段階と
、該第1薄膜搬送段階で搬送された薄膜に、除電雰囲気
中で剥離の都度流体を吹き付けて剥離薄膜収容部まで搬
送する第2薄膜搬送段階とを備えたことを最も主要な特
徴とする。
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
2薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けることを特徴と
する。
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
薄膜にイオンを含む流体を吹き付け、その吹き付け中の
所定時間後さらに搬送路の中心部にイオンを含む水平流
体を当該薄膜に吹き付けると共に、前記流体中にイオン
流を混込したことを特徴とする。
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部において、流体圧を減圧することを
特徴とする。
てほぼ零にすることを特徴とする。
の水平流体を流すエアーダクトであって、該エアーダク
トを透明材で構成したことを特徴とする。
成し、蝶番で本体部に開閉自在に取付けたことを特徴と
する。
ける流体吹付手段を主体にする第2薄膜搬送方法を備え
たので、基板に張り付けられた薄膜を剥離しながら搬送
しかつ排出する薄膜剥離方法において、剥離された薄膜
の搬送不良を低減することができる。
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
2薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けるようにし、前
記第2薄1IIlI!送手段の水平流体の終端部におい
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部では流体圧を減圧し、前記剥離薄膜
収容部で流体圧を急速に低減してほぼ博するようにした
ので、剥離された薄膜の搬送不良を低減することができ
、かつ薄膜剥離装置の構造を簡単にすることができる。
付ける流体中にイオン流を混込したことにより、剥離薄
膜やエアーダクトの内壁の帯電を防止することができる
ので、剥離された薄膜の搬送不良をさらに低減すること
ができる。
クトを透明材で構成し、かつ、前記エアーダクトの上面
部と一側面部を一体に形成し、蝶番で本体部に開閉自在
に取付けたので、メンテナンス作業を簡単に行うことが
できる。
保護膜)剥離装置に適用した一実施例にっいて図面を用
いて説明する。
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
剥離装置の外観概略構成を示す斜視図、第2図は第1図
のエアー搬送ボックスを開いた状態を示す図である。
搬送機構は、第1図及び第2図に示すように、装置本体
100に基板搬送ローラ101.102が設けられてい
る。前記基板搬送ローラ102の上にエアーダクト載置
台103が設けられている。
るエアーダクト104が載置されており、該エアーダク
ト104には、多数の減圧孔を有する剥離フィルム排出
ダクト105が連結されている。
成して蓋部104Aとし、蝶番104Bで本体部104
Cに開閉自在に取付けられている。
設けられている。本体部104Cの通気孔104Dに対
向した位置にイオン挿入用の送風用ファン109A、1
09Bが設けられている。
ィルムを収容する剥離フィルム収容器106に誘導され
ている。剥離フィルム収容器106は、多数の減圧孔を
有する孔収容台部材106A、ネット部材106B及び
キャスタ106Cからなっている。
けられ、装置本体100の最上端には、警報灯108が
設けられている。
に示すように、薄膜浮上装置の浮上部材3、流体吹付装
置のノズル4、剥離方向設定板(剥離補助板)5及び薄
膜搬送装置(薄膜排出袋W1)6が設けられている。
片面)に銅等の導電層が形成されたものである。このプ
リント配線用基板1の導電層上には、感光性樹脂層(フ
ォトレジスト層)とカバーフィルム(保護用薄膜)とか
らなる積層体が熱圧着ラミネートされている。感光性樹
脂層は所定の配線パターンフィルムが重ねられ露光され
た後の状態にある。プリント配線用基板1は、第3図に
示す矢印入方向に基板搬送ローラ101.102の搬送
用駆動ローラ2で搬送されるように構成されている。2
Aは基板押えローラ(ピンチローラ)である。
る。
夫々、少なくとも1個の浮上部材3が設けられている。
上部材3は、空気式振動装置によって、振動するように
構成されている。空気式振動装置は、例えば1分間に2
000〜3000ストロークの振動を浮上部材3に与え
るように構成されている。
ルムからなる積層体フィルムの端部を振動押圧すなわち
エネルギを与えるように構成されている。エネルギが与
えられた積層体の端部は、感光性樹脂層からカバーフィ
ルムが浮上(剥m>するようになっている、エネルギが
与えられた積層体の端部において、カバーフィルムのみ
が剥離されるのは、カバーフィルムは感光性樹脂層に比
べで腰があることと感光性樹脂層と導電層とは、前記感
光性樹脂層とカバーフィルムとの接着力に比べて強いた
めによるものと推定される。
ら圧力を加えた流体、例えば、空気、不活性ガス等の気
体、水等の液体が吹出すように構成されている。本実施
例は流体として空気を使用している。この流体吹付装置
は、プリント配線用基板1の端部において、前記薄膜浮
上部材3によって感光性樹脂層からカバーフィルムを浮
上させた両者間の隙間部分に流体を直接吹き付けるよう
に構成されている。流体吹付装置のノズル4は、前記隙
間部分に即座に流体を吹き付けられるように、前記浮上
部材3に近接した位置に位置するように構成されている
。ノズル4は、浮上部材3の先端部に1両側(2方向)
から流体を吹き付けるように一対の噴射孔4Aを有して
いる。ノズル4には、1つの流体供給管から流体が供給
されるように構成されている。
を確実に行うためである。
及び剥離させる動作についての説明は、特願昭63−1
01909号明細書に記載しているものと同じであるの
で、ここでは省略する。
剥離フィルム(カバーフィルム)は、流体吹付装置のノ
ズル4からの流体圧で剥離方向設定板(剥離補助板)5
に付着するようになっている。
ウトを第4図に示す、第4図において、薄い基板用ガイ
ド部材10及び薄い基板用ガイドローラ11は、薄い基
板のカバーフィルムを剥離する場合に、薄膜浮上装置の
部分に浮上部材3やノズル4が設置されるため搬送ロー
ラを組入れることができないから、薄い基板の先端が垂
れ下がらないようにガイドするためのものである。特に
薄い基板用ガイド部材10は、幅が広いものに対して有
効に作用する。
リント配線用基板1の搬送経路A−Aの上側に設けられ
た上部薄膜搬送装置と下側に設けられた下部薄膜搬送装
置とで構成されている。上部薄膜搬送装置は、第1薄膜
搬送装置(6A、6B)。
(6D)で構成されている。
、剥離フィルムガイド部材(6C)で矢印M方向に誘動
され、第2薄膜搬送装置6Dに搬送される。
送方向を垂直方向から水平方向に変える(搬送経路A−
Aと平行で基板搬送方向Aと反対方向に変える)ように
構成されている。剥離フィルムガイド部材(6C)は、
剥離フィルムとの接触面積をできる限り小さくできるよ
うに棒状部材によって構成され、プリント配線用基板1
の搬送経路A−Aと交差する方向において複数個設けら
れている。剥離フィルムガイド部材(6c)は、例えば
ステンレス鋼等の導電性材料で構成する。
)は、剥離時や搬送時に剥離フィルムに発生した静電気
を放電できるように構成されている。
送装置(6A及び6B)から第2薄膜搬送装置6Dに剥
離フィルムを搬送する際に、固定搬送ベルト6Aのロー
ラや可動搬送ベルト6Bのローラ6Aa、6Baに剥離
フィルムが巻き込まれることを防止するように構成され
ている。
装置12及びイオン発生袋W(除電装置)15が設けら
れている。流体噴出装置12は矢印N方向に流体を噴出
するように構成されている。また、イオン発生装置(除
電装置)15は、第1薄膜搬送装置(6A及び6B)か
ら第2薄sm送装置6Dに剥離フィルムを搬送する際に
、剥離フィルムが静電気を帯び、固定搬送ベルト6Aの
ローラや可動搬送ベルト6Bのローラに剥離フィルムが
巻き込まれることを防止するために静電気の除去を行う
ためのものである。
ブレーキをかける押え板、3Bは浮上部材支持回転軸で
あって、このものは、その両端においてクランク機構に
結合されている。7は固定支持部材、8は薄膜端部検出
部材、9は流体の作用により剥離されたフィルムが、確
実に剥離方向設定板に立ち上がっているかどうかを確認
するための検出部材である。6Ba’、6Ab、6Bb
、6Bcは、それぞれローラである。
Bは歯付ゴムベルトで構成され、6Bc以外のローラは
、各々歯付プーリで構成されている。ベルトの走行を確
実なものとするためである。
3の上に配置されている。
に、エアーダクト104からなり、前述のように、エア
ーダクト104には、カバーフィルム排出ダクト105
が連結されている。
成して蓋部104Aとし、蝶番104Bで本体部104
Cに開閉自在に取付けられている。
設けられている。本体部104Cの通気孔104Dに対
向した位置にイオン挿入用の送風用ファン109A、1
09Bが設けられている。
第6図(エアーダクト104の内側から見た正面図)及
び第7図(第6図のA−Amで切った断面図)に示すよ
うに、送風用ファン109A、109Bの前面には、イ
オン発生装置110が設けられている。
板搬送面に対して垂直方向にジェットエアー吹出ノズル
111A、 IIIB 、 llICが設けられている
。
ィルムを剥離フィルム収容器106まで搬送するための
ものである。
ガイド部材(6C)で搬送された剥離フィルムが、第2
薄膜搬送装置6Dで剥離フィルム収容器106まで搬送
される動作について説明する。
において基板の搬送方向と略直交する方向すなわち矢印
0方向に、ジェットエアー吹出ノズル111A及びll
ICにより剥離フィルムに流体(イオンを含むエアー)
を吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路
の中心部に水平流体(イオンを含むエアー)をジェット
エアー吹出ノズル111Bにより当該剥離フィルムに吹
き付け、エアーダクト104の終端部を通って剥離フィ
ルム排出ダクト105の入口まで剥離フィルムを搬送す
る。この時、剥離フィルム排出ダクト105のエアーダ
クト104の前記水平流体よりも下部において、流体圧
は剥離フィルム排出ダクト105に多数の貫通孔が設け
られているため減圧される。そして、剥離フィルムが剥
離フィルム収容器10Bに収納される時点では、剥離フ
ィルム排出ダクト105に多数の貫通孔が設けられ、か
つ剥離フィルム収容器106がネット状であるため流体
圧が急速に低減してほぼ零になり、剥離フィルムが自然
降下で剥離フィルム収容器106に収納される。
バーフィルムの一部を剥離し、この剥離された一部分か
らカバーフィルムを剥離すると共にこの剥離さ九たフィ
ルムを排出する薄膜剥離装置において、前記剥離された
カバーフィルムの一部を挟持してプリント配線用基板l
からカバーフィルムを剥離すると共に、挟持した状態で
カバーフィルムをプリント配線用基板の表面側の上方向
に搬送する第1薄膜搬送装置(6A及び6B)を設け、
該第1薄膜搬送装置で搬送された剥離フィルムを載置し
、この状態でカバーフィルムをプリント配線用基板1の
搬送経路A−Aと交差する方向に流体の吹き付けで搬送
する第2薄膜搬送装置6Dを設けたことにより、剥離フ
ィルムを挟持した状庵で搬送する長さ(第1薄膜搬送装
置の搬送長さ)を第2薄膜搬送装置16Dに相当する全
短縮することができるので、剥離フィルムの排出経路に
おける剥離フィルムの搬送不良(ジャム)を低減するこ
とができる。また、前記剥離フィルムに流体を吹き付け
るジェットエアー吹出ノーズルIIIA乃至111 G
を主体に前記第2薄膜搬送装置6Dを構成し、ローラ、
ベルト等の多数の部品を排除して部品点数そのものを低
減することができるので、第2薄lIm送装置!!6D
を簡単な構造で構成することができる。この結果、薄膜
剥離装置の製造コストを低減することができ、又薄膜剥
離装置のメンテナンス作業を簡単にすることができる。
バーフィルムを剥離する位置よりも前段側の前記プリン
ト配線用基板1の搬送経路A−Aの上部に設けた構成を
加えることにより、前記の効果を有すると共に、剥離さ
れたフィルムに付着する異物や第2薄膜搬送装置6Dか
らの異物がカバーフィルムを剥離したプリント配線用基
板1の感光性樹脂層の表面に付着することを低減するこ
とができるので、プリント配線用基板1の製造上の歩留
りを向上することができる。
れた剥離フィルムを収納する剥離フィルム収容器106
を前記プリント配線用基板1の搬送経路A−Aの側部に
設けた構成を加えることにより、前記効果を有すると共
に、前記剥離フィルム収容器106をプリント配線用基
板1の搬送経路A−Aの側部の低い位置に設けたので、
排出された剥離フィルムの廃棄処理作業等、剥離フィル
ム収容器106の取扱いの作業性を向上することができ
る。
線用基板1の上側のカバーフィルムを排出する剥離フィ
ルム収容器と下側のカバーフィルムを排出する剥離フィ
ルム収容器とを一体化して構成することにより、サイズ
を縮小することができるので、薄膜剥離装置の小型化を
図ることができる。
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
剥離フィルムに流体を吹き付け、その吹き付け中の所定
時間後さらに搬送路の中心部に水平流を当該剥離フィル
ムに吹き付けるようにし、前記第2薄膜搬送手段の水平
流体の終端部において、薄膜排出垂直路を形成し、該薄
膜排出垂直路の前記水平流体よりも下部では流体圧を減
圧し、前記剥離フィルム収容部で流体圧を急速に低減し
てほぼ零するようにしたので、剥離された剥離フィルム
の搬送不良を低減することができ。
105を透明にしたこと及びエアーダクト104の一部
開閉自在にするにより、剥離フィルムがつまった場合に
直に目視することができ、かつ取り除が容易にできるの
で、保守管理が容易にできる。
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは勿
論である。
保護膜の剥離装置に適用することができる。
果を得ることができる。
において基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体
を吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路
の中心部に水平流を当該薄膜に吹き付けるようにし、前
記第2薄膜搬送手段の水平流体の終端部において、薄膜
排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記水平流体
よりも下部では流体圧を減圧し、前記剥離薄膜収容部で
流体圧を急速に低減してほぼ零するようにしたので、剥
離された薄膜の搬送不良を低減することができ、かつ薄
膜剥離の収納を良好にすることができる。
送不良を低減することができる。
にしたこと及びエアーダクトの一部開閉自在にするによ
り、剥離フィルムがつまった場合に直に目視することが
でき、かつ取り除が容易にできるので、保守管理が容易
にできる。
収納客層の取扱いの作業性を向上することができる。
膜剥離装置の外観概略構成を示す斜視図、第2図は、第
1図のエアー搬送ボックスを開いた状態を示す図、 第3図は、第1図に示す′a膜剥離装置の要部概略構成
を説明するための図、 第4図は、第3図に示すav!l!浮上装置の部分の各
部品のレイアウトを示す図、 第5図は、イオン発生装置の設置部分の斜視図、第6図
は、エアーダクトの内側から見た正面図。 第7図は、第6図のA−A線で切って断面図、第8図は
、第3図に示す第2薄膜搬送装置の動作を説明するため
の図である。 図中、1・・・プリント配線用基板、2・・・搬送用駆
動ローラ、3・・・浮上部材、4・・・ノズル、5・・
・剥離方向設定板、6・・・薄膜搬送装置、6A及び6
B・・・第1薄膜搬送装置、6C・・・ガイド部材、6
D・・・第2薄膜搬送装置、104・・・エアーダクト
、104A・・・蓋部、104C・・・本体部、10B
・・・剥離フィルム収容器、110・・・イオン発生装
置、IIIA、 IIIB、llIC・・・ジェットエ
アー吹出しノズル。
Claims (7)
- (1)基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離さ
れた薄膜を排出する薄膜剥離方法において、前記剥離さ
れた薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共
に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送
する第1薄膜搬送段階と、該第1薄膜搬送段階で搬送さ
れた薄膜に、除電雰囲気中で剥離の都度流体を吹き付け
て剥離薄膜収容部まで搬送する第2薄膜搬送段階とを備
えたことを特徴とする薄膜剥離方法。 - (2)前記第1薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
2薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けることを特徴と
する請求項第1項に記載の薄膜剥離方法。 - (3)前記第2薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
薄膜にイオンを含む流体を吹き付け、その吹き付け中の
所定時間後さらに搬送路の中心部にイオンを含む水平流
体を当該薄膜に吹き付けることを特徴とする請求項第1
項又は第2項に記載の薄膜剥離方法。 - (4)前記第2薄膜搬送段階の水平流体の終端部におい
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部において、流体圧を減圧することを
特徴とする請求項第1項乃至第3項に記載の薄膜剥離方
法。 - (5)前記剥離薄膜収容部においては、流体圧を急速に
低減してほぼ零にすることを特徴とする請求項第1項乃
至第4項に記載の夫々の薄膜剥離方法。 - (6)請求項第1項乃至第3項に記載の夫々の薄膜剥離
方法における前記第2薄膜搬送段階の水平流体を流すエ
アーダクトであって、該エアーダクトを透明材で構成し
たことを特徴とする薄膜剥離用エアーダクト。 - (7)請求項第6項に記載のエアーダクトの上面部と一
側面部を一体に形成し、蝶番で本体部に開閉自在に取付
けたことを特徴とする薄膜剥離用エアーダクト。
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