JPH037574B2 - - Google Patents
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- JPH037574B2 JPH037574B2 JP61066639A JP6663986A JPH037574B2 JP H037574 B2 JPH037574 B2 JP H037574B2 JP 61066639 A JP61066639 A JP 61066639A JP 6663986 A JP6663986 A JP 6663986A JP H037574 B2 JPH037574 B2 JP H037574B2
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- connecting arm
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、ウエーハ搬送機構に関し、特に、
ウエーハの製造検査あるいは、ICの製作段階に
おける表面検査等においてウエーハの搬送に適す
る搬送機構に関する。
ウエーハの製造検査あるいは、ICの製作段階に
おける表面検査等においてウエーハの搬送に適す
る搬送機構に関する。
[従来の技術]
ICの基本材料であるシリコンウエーハにはIC
の性能を劣化させる種々の欠陥ないしは塵埃の付
着があり、ウエーハの製造検査あるいは、ICの
製作段階において、光学的その他の方法による表
面検査がおこなわれている。最近ではICの集積
度がますます高まり、製造環境として高度の清浄
性をもつスーパークリーンルームにおいて作業が
おこなわれている。しかし作業、検査工程に従つ
て、ウエーハのワークを逐次搬送するための搬送
機構が必要であり、これが機械的動作の際、塵埃
を発生する場合があり、大きい問題である。
の性能を劣化させる種々の欠陥ないしは塵埃の付
着があり、ウエーハの製造検査あるいは、ICの
製作段階において、光学的その他の方法による表
面検査がおこなわれている。最近ではICの集積
度がますます高まり、製造環境として高度の清浄
性をもつスーパークリーンルームにおいて作業が
おこなわれている。しかし作業、検査工程に従つ
て、ウエーハのワークを逐次搬送するための搬送
機構が必要であり、これが機械的動作の際、塵埃
を発生する場合があり、大きい問題である。
従来、ウエーハの表面検査装置においては搬送
のための機構として、ベルトを用いる方法がおこ
なわれている。第5図a,bにこれを示す。
のための機構として、ベルトを用いる方法がおこ
なわれている。第5図a,bにこれを示す。
図において、ウエーハ8は適当な枚数、例えば
25枚がカセツト10に上下に一定の間隔で収容さ
れている。このウエーハ8を取り出すには、ベル
ト21が使われるもので、上下方向(Z軸)移動
機構18によりカセツト10が下降して、ウエー
ハ8のうち最下位にあるものがベルト21に接触
してカセツトは停止する。このあとベルト21が
ウエーハ8を載置して矢印Eの方向に移動して搬
送される。ウエーハ8の収納の場合には、ベルト
21が反対の矢印Fの方向に移動してカセツト1
0に押し入れるものである。この場合、ベルト2
1はプーリー22−1,22−2の間を回つてお
り、これらの回転、移動の動作により前述した塵
埃の発生があり、特にウエーハにベルトが接触し
て塵埃が付着することが最も危険である。
25枚がカセツト10に上下に一定の間隔で収容さ
れている。このウエーハ8を取り出すには、ベル
ト21が使われるもので、上下方向(Z軸)移動
機構18によりカセツト10が下降して、ウエー
ハ8のうち最下位にあるものがベルト21に接触
してカセツトは停止する。このあとベルト21が
ウエーハ8を載置して矢印Eの方向に移動して搬
送される。ウエーハ8の収納の場合には、ベルト
21が反対の矢印Fの方向に移動してカセツト1
0に押し入れるものである。この場合、ベルト2
1はプーリー22−1,22−2の間を回つてお
り、これらの回転、移動の動作により前述した塵
埃の発生があり、特にウエーハにベルトが接触し
て塵埃が付着することが最も危険である。
さらに、ベルト搬送方式には他の欠点がある。
すなわち、ベルト、プーリーの機構上ウエーハワ
ークの取り出しは下にあるものから順次上のもの
へとおこなうように限定される。また収納は逆に
上から下へとおこなう以外になく、要するにベル
ト方式にはワークの取り出し、収納の順序に、自
由度がないのである。しかしながら、最近におい
てはウエーハの製造技術の進歩、IC製造環境の
向上があり、また検査時間の短縮のためなどによ
り、ウエーハの全数検査を廃止して抜取検査の方
向にある。この場合は明らかに、ベルト方式は適
用できない。なおこのほかの欠点としては、ベル
トの移動速度が速いときウエーハが揺れて不安定
となるため高速な搬送ができないこと、大きさの
異なるウエーハに対しては、ベルト機構の段取り
替えを必要とし機構が複雑であることなど、多く
の点について根本的な改善が求められている。
すなわち、ベルト、プーリーの機構上ウエーハワ
ークの取り出しは下にあるものから順次上のもの
へとおこなうように限定される。また収納は逆に
上から下へとおこなう以外になく、要するにベル
ト方式にはワークの取り出し、収納の順序に、自
由度がないのである。しかしながら、最近におい
てはウエーハの製造技術の進歩、IC製造環境の
向上があり、また検査時間の短縮のためなどによ
り、ウエーハの全数検査を廃止して抜取検査の方
向にある。この場合は明らかに、ベルト方式は適
用できない。なおこのほかの欠点としては、ベル
トの移動速度が速いときウエーハが揺れて不安定
となるため高速な搬送ができないこと、大きさの
異なるウエーハに対しては、ベルト機構の段取り
替えを必要とし機構が複雑であることなど、多く
の点について根本的な改善が求められている。
[発明の目的]
この発明は上記した従来のベルトによるウエー
ハの搬送方式の欠点を排除して、発塵が極小に押
さえられ、カセツトよりの取り出し、収納の順序
に自由度があり、サイズの異なるウエーハに対し
てもある程度の範囲では段取り替えを必要とせ
ず、高速で安定に搬送できる、ウエーハ搬送機構
を提供することを目的とするものである。
ハの搬送方式の欠点を排除して、発塵が極小に押
さえられ、カセツトよりの取り出し、収納の順序
に自由度があり、サイズの異なるウエーハに対し
てもある程度の範囲では段取り替えを必要とせ
ず、高速で安定に搬送できる、ウエーハ搬送機構
を提供することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
この発明においては、ベルトに代わつて連結構
造のアーム把手を使い、その先端でワークを吸着
してカセツトからの取り出しおよび収納をおこな
うものである。第1図a,bによりこの発明によ
る連結アーム把手の原理と構造を説明する。
造のアーム把手を使い、その先端でワークを吸着
してカセツトからの取り出しおよび収納をおこな
うものである。第1図a,bによりこの発明によ
る連結アーム把手の原理と構造を説明する。
同図aにおいて、第1アーム1の1端のc点に
第1プーリー2を軸支し、他端のd点に第2プー
リー3を軸支する。第2プーリー3の直径は第1
プーリー2の直径の2分の1とする。いま第1プ
ーリー2を固定しておき、第1アーム1を矢印R
の方向に回転するときは、両者のプーリー2,3
にかけられたベルト4により、第2プーリー3が
回転する。たとえば第1アーム1が実線の位置か
ら点線の位置に動くとき、第2プーリー3の点p
は点p′に移り、この場合、第2プーリー3の回転
角度は第1プーリー2の2倍である。
第1プーリー2を軸支し、他端のd点に第2プー
リー3を軸支する。第2プーリー3の直径は第1
プーリー2の直径の2分の1とする。いま第1プ
ーリー2を固定しておき、第1アーム1を矢印R
の方向に回転するときは、両者のプーリー2,3
にかけられたベルト4により、第2プーリー3が
回転する。たとえば第1アーム1が実線の位置か
ら点線の位置に動くとき、第2プーリー3の点p
は点p′に移り、この場合、第2プーリー3の回転
角度は第1プーリー2の2倍である。
次にこの機構において、第2プーリー3に第1
アーム1と等長lの第2アーム5を固着する。第
1アーム1を角度θだけ回転すると第2アーム5
は2θ回転することは明らかであるが、このとき第
2アーム5の先端部の点qは、第1プーリー2の
中心cと点qを結ぶ直線上を移動し、角度θが直
角となつたとき点Qで停止する。図示の一点鎖線
はこの移動の途中を示し、点q′は直線cQ上にあ
る。
アーム1と等長lの第2アーム5を固着する。第
1アーム1を角度θだけ回転すると第2アーム5
は2θ回転することは明らかであるが、このとき第
2アーム5の先端部の点qは、第1プーリー2の
中心cと点qを結ぶ直線上を移動し、角度θが直
角となつたとき点Qで停止する。図示の一点鎖線
はこの移動の途中を示し、点q′は直線cQ上にあ
る。
この発明においては、このような連結アーム把
手を使用してカセツトに収容されたウエーハの間
のギヤツプに挿入し、ウエーハをエア吸着して引
き出しまたは押し入れるものである。
手を使用してカセツトに収容されたウエーハの間
のギヤツプに挿入し、ウエーハをエア吸着して引
き出しまたは押し入れるものである。
第2図はこの発明の連結アーム把手6を示すも
ので、図において6−1を第1アームとし、6−
2を第2アームとする。第2アーム6−2に円弧
状のエア孔6−3を設けウエーハを吸着する。ま
た円弧状の切欠き部6−4は、後述する機構の中
心軸および検査装置の試料台の中心軸に触れない
ように切り欠いたものである。
ので、図において6−1を第1アームとし、6−
2を第2アームとする。第2アーム6−2に円弧
状のエア孔6−3を設けウエーハを吸着する。ま
た円弧状の切欠き部6−4は、後述する機構の中
心軸および検査装置の試料台の中心軸に触れない
ように切り欠いたものである。
この発明においては、上記の連結アーム把手を
ターンテーブルの上におき、その周囲に検査装
置、ウエーハを収容したカセツトを配置し、連結
アーム把手の方向変更と先端の伸縮により目的と
するウエーハを吸着把持し、カセツトと検査装置
の間を搬送するものである。なお任意のウエーハ
を搬送するため、カセツトに対して、ターンテー
ブルを上下に移動することにより、連結アーム把
手を任意のウエーハの位置に停止できる機構を持
つものである。
ターンテーブルの上におき、その周囲に検査装
置、ウエーハを収容したカセツトを配置し、連結
アーム把手の方向変更と先端の伸縮により目的と
するウエーハを吸着把持し、カセツトと検査装置
の間を搬送するものである。なお任意のウエーハ
を搬送するため、カセツトに対して、ターンテー
ブルを上下に移動することにより、連結アーム把
手を任意のウエーハの位置に停止できる機構を持
つものである。
[作用]
以上の説明により明らかなように、この発明に
よるウエーハ搬送機構においては、ウエーハの搬
送のために効率的な連結アーム把手を使用するも
のであつて、この連結アーム把手は第1アームを
回転するとプーリーにより第2アームが2倍の角
度回転し、その結果第2アームの先端が直線上を
移動してカセツト内のウエーハの間のギヤツプに
挿入され、エア孔によりウエーハが吸着される。
このような連結アーム把手をターンテーブルの中
心軸に取り付け、その周囲に検査装置、カセツト
を配置して、それらの間をウエーハを搬送するも
のであり、カセツト内の任意のウエーハを搬送す
るために、カセツトに対して連結アーム把手は上
下方向に移動できるものである。
よるウエーハ搬送機構においては、ウエーハの搬
送のために効率的な連結アーム把手を使用するも
のであつて、この連結アーム把手は第1アームを
回転するとプーリーにより第2アームが2倍の角
度回転し、その結果第2アームの先端が直線上を
移動してカセツト内のウエーハの間のギヤツプに
挿入され、エア孔によりウエーハが吸着される。
このような連結アーム把手をターンテーブルの中
心軸に取り付け、その周囲に検査装置、カセツト
を配置して、それらの間をウエーハを搬送するも
のであり、カセツト内の任意のウエーハを搬送す
るために、カセツトに対して連結アーム把手は上
下方向に移動できるものである。
[実施例]
第3図は、第1図及び第2図で説明した連結ア
ーム把手6を使用したこの発明によるウエーハ搬
送機構の実施例における平面図を示す。
ーム把手6を使用したこの発明によるウエーハ搬
送機構の実施例における平面図を示す。
図において点Aはウエーハ表面検査装置におけ
る、被検ウエーハ8aをを載置する試料台11の
回転中心で、点B,CおよびDは点Aとともに正
方形の頂点の位置で、カセツト10b,10cお
よび10dに収容されているウエーハの中心であ
る。
る、被検ウエーハ8aをを載置する試料台11の
回転中心で、点B,CおよびDは点Aとともに正
方形の頂点の位置で、カセツト10b,10cお
よび10dに収容されているウエーハの中心であ
る。
さて、全体の中心点Oに設けられた回転自由な
中心軸12−1に、連結アーム把手6が取り付け
られ、第1アーム6−1が矢印Sの方向に回転す
ると、第2アーム6−2は、先端部の仮想中心点
が直線OAに沿つて移動し、点Aにあるウエーハ
8aを吸着する。ついで第1アーム6−1が逆方
向に回転するとウエーハ8aを中心点Oまで持ち
来つて停止する。この連結アーム把手6は第4図
に示すターンテーブル15の上にあつて点B,C
またはDのいずれの方向にも回転することができ
るので、必要な方向に向きを変え、その方向たと
えば点Cに第2アーム6−2を伸ばしてウエーハ
8aをカセツト10cに収納する。カセツト10
cよりウエーハ8cを取り出す方法は点Aにおけ
ると同様である。またカセツト10b,10dに
おけるウエーハ8b,8dの出し入れも同様に1
個の連結アーム把手6でおこなうことができる。
中心軸12−1に、連結アーム把手6が取り付け
られ、第1アーム6−1が矢印Sの方向に回転す
ると、第2アーム6−2は、先端部の仮想中心点
が直線OAに沿つて移動し、点Aにあるウエーハ
8aを吸着する。ついで第1アーム6−1が逆方
向に回転するとウエーハ8aを中心点Oまで持ち
来つて停止する。この連結アーム把手6は第4図
に示すターンテーブル15の上にあつて点B,C
またはDのいずれの方向にも回転することができ
るので、必要な方向に向きを変え、その方向たと
えば点Cに第2アーム6−2を伸ばしてウエーハ
8aをカセツト10cに収納する。カセツト10
cよりウエーハ8cを取り出す方法は点Aにおけ
ると同様である。またカセツト10b,10dに
おけるウエーハ8b,8dの出し入れも同様に1
個の連結アーム把手6でおこなうことができる。
しかしながら、この実施例においては、4箇所
の点A,B,CおよびDの相互間を短時間で効率
的にウエーハを搬送するため、さらに別の第2の
連結アーム把手6′を設けたものである。この第
2の連結アーム把手6′は第1のものと同一のタ
ーンテーブルの上にあるので方向変更は同時的と
なるが、先端の伸縮はおこなわれるものである。
たとえば一方で第1連結アーム把手6が点Aでウ
エーハ8aを把持し、他方で第2連結アーム把手
6′が点Bでウエーハ8bを把持する。ターンテ
ーブルの回転により、同時に第1連結アーム把手
6が点Cの方向を、また第2連結アーム把手6′
が点Aの方向を向き、それぞれのウエーハをカセ
ツト10cに収納し、また試料台11に載置する
ことができ、搬送の所要時間が大幅に短縮され
る。
の点A,B,CおよびDの相互間を短時間で効率
的にウエーハを搬送するため、さらに別の第2の
連結アーム把手6′を設けたものである。この第
2の連結アーム把手6′は第1のものと同一のタ
ーンテーブルの上にあるので方向変更は同時的と
なるが、先端の伸縮はおこなわれるものである。
たとえば一方で第1連結アーム把手6が点Aでウ
エーハ8aを把持し、他方で第2連結アーム把手
6′が点Bでウエーハ8bを把持する。ターンテ
ーブルの回転により、同時に第1連結アーム把手
6が点Cの方向を、また第2連結アーム把手6′
が点Aの方向を向き、それぞれのウエーハをカセ
ツト10cに収納し、また試料台11に載置する
ことができ、搬送の所要時間が大幅に短縮され
る。
第4図は第3図の点B,C方向の垂直断面図
で、軸構造12の第1連結アーム把手6がまたそ
の下部に第2連結アーム把手6′が設けられ、そ
れぞれモータ13,14により駆動されて回転
し、先端部が伸縮する。ターンテーブル15も同
様にモータ16により駆動されて回転し、第1お
よび第2連結アーム把手6,6′の方向を変更す
る。以上の各部の機構はZ軸移動台17に取り付
けられており、Z軸移動機構18により、上下方
向に動いて既充の連結アーム把手の高さ位置の設
定を行うものである。ベベルギヤ19、モータ2
0はこのための駆動機構である。なお、図示の9
は第2図に示したエア孔6−3よりのエアを排気
するために設けられたエアパイプである。
で、軸構造12の第1連結アーム把手6がまたそ
の下部に第2連結アーム把手6′が設けられ、そ
れぞれモータ13,14により駆動されて回転
し、先端部が伸縮する。ターンテーブル15も同
様にモータ16により駆動されて回転し、第1お
よび第2連結アーム把手6,6′の方向を変更す
る。以上の各部の機構はZ軸移動台17に取り付
けられており、Z軸移動機構18により、上下方
向に動いて既充の連結アーム把手の高さ位置の設
定を行うものである。ベベルギヤ19、モータ2
0はこのための駆動機構である。なお、図示の9
は第2図に示したエア孔6−3よりのエアを排気
するために設けられたエアパイプである。
第5図a、は第4図の軸機構12および各駆
動、回転機構の詳細図で、図bは軸機構12の断
面である。図において、円筒軸12−2はターン
テーブル15に固定され、その中心部に回転自在
な中心軸12−1を挿入する。中心軸はギヤ13
−1を介してモータ13により駆動される。
動、回転機構の詳細図で、図bは軸機構12の断
面である。図において、円筒軸12−2はターン
テーブル15に固定され、その中心部に回転自在
な中心軸12−1を挿入する。中心軸はギヤ13
−1を介してモータ13により駆動される。
中心軸12−1の上端には第1連結アーム把手
6が取り付けられており、第1プーリー2−1は
図示のように、第1アーム6−1に内包されてア
ームとともに一体として回転する機構である。こ
れに対する第2プーリー3−1はその直径を第1
プーリー2−1の2分の1とし、第2アーム6−
2に固定されている。第1および第2プーリーの
間にはベルト4が装着されている。ベルト4の材
質はポリウレタンのもので、タイミングベルトと
よばれる歯付きのものがスリツプすることがなく
適している。これに対して、第1プーリー2−1
および第2プーリー3−1は歯付きのものが必要
である。第2連結アーム把手6′は、円筒軸12
−2の周囲をギヤ14−1を介してモータ14に
より駆動され回転するもので、その第1プーリー
2−2、第2プーリー3−2は第1連結アーム把
手6の場合と同様な構造である。
6が取り付けられており、第1プーリー2−1は
図示のように、第1アーム6−1に内包されてア
ームとともに一体として回転する機構である。こ
れに対する第2プーリー3−1はその直径を第1
プーリー2−1の2分の1とし、第2アーム6−
2に固定されている。第1および第2プーリーの
間にはベルト4が装着されている。ベルト4の材
質はポリウレタンのもので、タイミングベルトと
よばれる歯付きのものがスリツプすることがなく
適している。これに対して、第1プーリー2−1
および第2プーリー3−1は歯付きのものが必要
である。第2連結アーム把手6′は、円筒軸12
−2の周囲をギヤ14−1を介してモータ14に
より駆動され回転するもので、その第1プーリー
2−2、第2プーリー3−2は第1連結アーム把
手6の場合と同様な構造である。
ターンテーブル15は周囲の下部をベアリング
15−1でZ軸移動機構17に支持されており、
ギヤ16−1を介してモータ16により駆動回転
するものである。
15−1でZ軸移動機構17に支持されており、
ギヤ16−1を介してモータ16により駆動回転
するものである。
なお、この実施例はカセツトを点B,C,Dの
3箇所に設けたものであるが、点B,Cの2箇所
でも勿論差し支えない。
3箇所に設けたものであるが、点B,Cの2箇所
でも勿論差し支えない。
以上における各モータの駆動制御はマイクロコ
ンピユータにより別途おこなわれる。
ンピユータにより別途おこなわれる。
[発明の効果]
以上述べたところにより、この発明によるウエ
ーハ搬送機構は従来のベルト搬送方式に比してそ
の欠点が解消されていることが明白である。
ーハ搬送機構は従来のベルト搬送方式に比してそ
の欠点が解消されていることが明白である。
すなわち、等長の2個のアームを連結した連結
アームは、プーリーにより回転運動が直線運動に
変換されることに着眼し、これをカセツト内に挿
入してウエーハを吸着把持して出入れをおこなう
ことが、この発明の大きい特徴である。これによ
り、ベルト方式の欠点である、塵埃の発生と付着
が極めて少なくなるとともに、カセツト内の任意
の位置のウエーハに自由にアクセスできるので、
抜取検査が可能となる。また連結アーム把手は各
種のサイズのウエーハに共通して使用できるので
サイズの変更に対して段取り替えの必要性を殆ど
なくなる。さらに連結アーム把手を最小必要限度
まで短いストロークとして、試料台と各カセツト
との間をベルト方式より短くできるので、機構全
体が小型、コンパクトとなる。
アームは、プーリーにより回転運動が直線運動に
変換されることに着眼し、これをカセツト内に挿
入してウエーハを吸着把持して出入れをおこなう
ことが、この発明の大きい特徴である。これによ
り、ベルト方式の欠点である、塵埃の発生と付着
が極めて少なくなるとともに、カセツト内の任意
の位置のウエーハに自由にアクセスできるので、
抜取検査が可能となる。また連結アーム把手は各
種のサイズのウエーハに共通して使用できるので
サイズの変更に対して段取り替えの必要性を殆ど
なくなる。さらに連結アーム把手を最小必要限度
まで短いストロークとして、試料台と各カセツト
との間をベルト方式より短くできるので、機構全
体が小型、コンパクトとなる。
これらの多くの長所により、この発明によるウ
エーハ搬送機構は、カセツトと検査装置との間の
高速、安定なウエーハの搬送を可能とし、よつて
スループツト時間の短い効率的な検査をおこなう
ことができる効果は優れたものである。
エーハ搬送機構は、カセツトと検査装置との間の
高速、安定なウエーハの搬送を可能とし、よつて
スループツト時間の短い効率的な検査をおこなう
ことができる効果は優れたものである。
第1図a,bは、それぞれこの発明によるウエ
ーハ搬送機構における連結アーム把手の原理を説
明する図、第2図はこの発明によるウエーハ搬送
機構に使用する連結アーム把手の構造を示す平面
図、第3図はこの発明によるウエーハ搬送機構の
実施例における平面図、第4図は第3図に対する
垂直断面図、第5図a,bは、それぞれ第4図の
一部断面詳細図、第6図a,bは、それぞれ従来
のベルト搬送方式の説明図である。 1,6−1…第1アーム、5,6−2…第2ア
ーム、2,2−1,2−2…第1プーリー、3,
3−1,3−2…第2プーリー、4,21…ベル
ト、6,6′…連結アーム把手、6−3…エア孔、
6−4…円弧状切欠き、8…ウエーハ、9…排気
パイプ、10…カセツト、11…試料台、12…
軸構造、12−1…中心軸、12−2…円筒軸、
13,14,16,20…モータ、13−1,1
4−1,16−1,19…ギヤ、15…ターンテ
ーブル、17…Z軸移動台、18…Z軸移動機
構、22…プーリー。
ーハ搬送機構における連結アーム把手の原理を説
明する図、第2図はこの発明によるウエーハ搬送
機構に使用する連結アーム把手の構造を示す平面
図、第3図はこの発明によるウエーハ搬送機構の
実施例における平面図、第4図は第3図に対する
垂直断面図、第5図a,bは、それぞれ第4図の
一部断面詳細図、第6図a,bは、それぞれ従来
のベルト搬送方式の説明図である。 1,6−1…第1アーム、5,6−2…第2ア
ーム、2,2−1,2−2…第1プーリー、3,
3−1,3−2…第2プーリー、4,21…ベル
ト、6,6′…連結アーム把手、6−3…エア孔、
6−4…円弧状切欠き、8…ウエーハ、9…排気
パイプ、10…カセツト、11…試料台、12…
軸構造、12−1…中心軸、12−2…円筒軸、
13,14,16,20…モータ、13−1,1
4−1,16−1,19…ギヤ、15…ターンテ
ーブル、17…Z軸移動台、18…Z軸移動機
構、22…プーリー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 Z軸移動台に周囲をベアリングで回転自在に
支持されたターンテーブルを設け、該ターンテー
ブルの回転中心を共軸として中空の円筒軸を該タ
ーンテーブルに固定して取り付け、該円筒軸の中
心部に挿入され、該ターンテーブルに対して回転
自由な中心軸の上端に、該中心軸の回転により先
端部が該ターンテーブルの半径方向に直線移動
し、かつ該先端部でウエーハを吸着できる第1連
結アーム把手を取り付け、また上記円筒軸の外周
に接して設けられた上記円筒軸に対して回転自由
な回転軸に、該回転軸の回転により先端部が上記
ターンテーブルの半径方向に直線移動し、かつ該
先端部でウエーハを吸着できる第2連結アーム把
手を取り付けて構成されたことを特徴とするウエ
ーハ搬送機構。 2 第1および第2連結アーム把手は、連結節点
で互いに回動自由に連結された、第1アームと第
2アームよりなる連結アームであつて、該第1ア
ームの1端は第1プーリーとともに上記中心軸ま
たは上記回転軸に固着され、該第2アームには該
連結節点において、該第1プーリーの直径の2分
の1の直径を有する第2プーリーが固着され、か
つ該第1プーリーの回転を該第2プーリーに伝動
することにより、上記第2アームの先端部が、上
記ターンテーブルの半径方向に直線移動すること
を特徴とする、特許請求の範囲第1項記載のウエ
ーハ搬送機構。 3 第1および第2連結アーム把手は、上記第2
アームの先端部に、上記ウエーハをエアにより吸
着する孔を有することを特徴とする、特許請求の
範囲第2項記載のウエーハ搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6663986A JPS62222906A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | ウエ−ハ搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6663986A JPS62222906A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | ウエ−ハ搬送機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62222906A JPS62222906A (ja) | 1987-09-30 |
JPH037574B2 true JPH037574B2 (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=13321669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6663986A Granted JPS62222906A (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 | ウエ−ハ搬送機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62222906A (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0639452Y2 (ja) * | 1987-08-06 | 1994-10-12 | 東京エレクトロン株式会社 | ウェハ搬送用のハンドリングアーム装置 |
JP2926593B2 (ja) * | 1988-02-12 | 1999-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及びレジスト処理装置及び基板処理方法及びレジスト処理方法 |
JP2519096B2 (ja) * | 1988-02-12 | 1996-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及びレジスト処理装置及び処理方法及びレジスト処理方法 |
JP2607923B2 (ja) * | 1988-07-29 | 1997-05-07 | 日立電子エンジニアリング 株式会社 | ウェハ・ハンドリングチャック構造 |
JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
JP2808826B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
JPH0536809A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板処理装置に於ける半導体基板搬送アーム |
JPH05190643A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JPH05226453A (ja) * | 1992-02-17 | 1993-09-03 | Hitachi Ltd | 真空処理装置 |
JPH05294410A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Daifuku Co Ltd | 荷保管設備 |
JP2739413B2 (ja) * | 1993-05-26 | 1998-04-15 | ローツェ株式会社 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
KR0129582B1 (ko) * | 1994-06-23 | 1998-04-06 | 김주용 | 다중 기판 전달 장치 |
JP2859173B2 (ja) * | 1995-08-31 | 1999-02-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ロ−デイング装置 |
DE19549045C1 (de) * | 1995-12-28 | 1997-06-05 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten |
JP3249395B2 (ja) | 1996-06-21 | 2002-01-21 | 東京応化工業株式会社 | 処理ユニット構築体 |
DE102006020922B4 (de) | 2006-05-05 | 2009-05-28 | Thyssenkrupp Drauz Nothelfer Gmbh | Vorrichtung zum Bearbeiten von Bauteilen einer Kraftfahrzeugkarosserie |
DE102006020924B4 (de) * | 2006-05-05 | 2009-03-19 | Thyssenkrupp Drauz Nothelfer Gmbh | Vorrichtung zum Bearbeiten von Bauteilen, insbesondere einer Kraftfahrzeugkarosserie |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5917258A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-28 | Toshiba Corp | 自動ウエハ試験装置 |
JPS6094286A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-27 | 株式会社日立製作所 | ウエハ搬送装置 |
JPS60135192A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-18 | 名古屋機工株式会社 | 搬送装置 |
JPS60204506A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-16 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板の搬出・搬入装置 |
JPS6138882A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | ぺんてる株式会社 | ダブルア−ム型ロボツト |
-
1986
- 1986-03-25 JP JP6663986A patent/JPS62222906A/ja active Granted
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5917258A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-28 | Toshiba Corp | 自動ウエハ試験装置 |
JPS6094286A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-27 | 株式会社日立製作所 | ウエハ搬送装置 |
JPS60135192A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-18 | 名古屋機工株式会社 | 搬送装置 |
JPS60204506A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-16 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板の搬出・搬入装置 |
JPS6138882A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | ぺんてる株式会社 | ダブルア−ム型ロボツト |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62222906A (ja) | 1987-09-30 |
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