JPH10581A - ワーク搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワーク入替え時にアームの無駄な動作をなく
して所要時間を短縮する。 【解決手段】 互いに異なる駆動源２ａ，３ａによって
互いに平行な平面内において共通の軸周りに回転駆動さ
れる第１、第２のアーム２，３を有し、両アーム２，３
の一方の先端部にそれぞれ一端が回転可能に連結された
１対の従動アーム２ｄ，３ｄの他端部にワーク支持台５
を連結してあり、両アーム３の他方の先端部にそれぞれ
一端が回転可能に連結された１対の従動アーム２ｅ，３
ｅの他端部にワーク支持台６を連結してあり、両ワーク
支持台５，６が、前記軸を基準として互いに同じ側に配
設されるように従動アーム２ｄ，３ｄ，２ｅ，３ｅがそ
れぞれ第１、第２のアーム２，３に連結されてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はワーク搬送ロボッ
トに関し、さらに詳細にいえば、半導体装置製造システ
ムに組み込んで、半導体ウェハーを所望の半導体装置製
造用プロセスチャンバまで搬送し、半導体ウェハーの出
入れを行うのに好適なワーク搬送ロボットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から半導体装置を製造するためのシ
ステムにワーク搬送ロボットを組み込んで半導体ウェハ
ーを所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うようにしたワーク搬
送ロボットが提案されている（特公平７−７３８３３号
公報、特表平７−５０４１２８号公報参照）。

【０００３】特公平７−７３８３３号公報に記載された
ワーク搬送ロボットは、１対の関節リンケージを互いに
１８０°ずれた位置に配置し、それぞれの関節リンケー
ジを動作させるための駆動源を有しているとともに、両
関節リンケージを互いに同じ方向に回転させるための駆
動源を有している。したがって、関節リンケージを互い
に独立させて伸縮させることができ、また両関節リンケ
ージを同方向に回転させることができ、半導体ウェハー
を所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うことができる。

【０００４】特表平７−５０４１２８号公報に記載され
たワーク搬送ロボットは、１対の関節リンケージを互い
に１８０°ずれた位置に配置し、それぞれの関節リンケ
ージを動作させるための駆動源を有しているとともに、
両関節リンケージを互いに同じ方向に回転させるための
駆動源を有している。したがって、関節リンケージを互
いに独立させて伸縮させることができ、また両関節リン
ケージを同方向に回転させることができ、半導体ウェハ
ーを所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記何れのワーク搬送
ロボットにおいても、関節リンケージが互いに１８０°
ずれた位置に配置されているのであるから、何れかの半
導体装置製造用プロセスチャンバに対して半導体ウェハ
ーの入替えを行うに当っては、一方の関節リンケージを
伸縮させることにより半導体ウェハーを取り出した後
に、両関節リンケージを１８０°回転させ、他方の関節
リンケージを伸縮させることにより半導体ウェハーを入
れる一連の処理を行わなければならない。この結果、両
関節リンケージを１８０°回転させる時間が無駄時間に
なってしまい、半導体製造システム全体としての処理速
度を余り高めることができなくなってしまう。

【０００６】ここで、半導体装置製造システムにおいて
は、一般的に４〜５個の半導体装置製造用プロセスチャ
ンバが配設されており、１枚の半導体ウェハーに対して
平均８回程度の出入れが必要であり、１枚の半導体ウェ
ハーの処理時間は１〜３分程度であり、１枚の半導体ウ
ェハーは２〜４個の半導体装置製造用プロセスチャンバ
で処理が行われるのであるから、前記回転時間は全体に
対してかなり大きい無駄時間になってしまう。

【０００７】また、両関節リンケージを１８０°回転さ
せる前後において該当する関節リンケージを伸縮させる
場合に、該当する半導体装置製造用プロセスチャンバを
ワーク搬送ロボット配設空間から隔離するためのアイソ
レーションゲートバルブを開かなければならないので、
全体としてアイソレーションゲートバルブが閉じられて
いない時間が長くなってしまい、ワーク搬送ロボット配
設空間のクリーン度が低下し、所望のクリーン度を達成
することができなくなってしまう可能性がある。このク
リーン度は、半導体装置製造用プロセスチャンバに影響
を及ぼすのであるから、半導体装置の製造に当っては到
底無視することができない。

【０００８】図１７は従来のワーク搬送ロボットによる
半導体ウェハーの出入れ動作手順を概略的に示す図、図
１８はフローチャートである。これらの図、フローチャ
ートから明らかなように、半導体ウェハーＡに対する処
理が終了するまで待ち、次いで、半導体装置製造用プロ
セスチャンバのアイソレーションゲートバルブを開いて
半導体ウェハーＡを取り出し、アイソレーションゲート
バルブを閉じる。そして、両関節リンケージを１８０°
回転させ、半導体装置製造用プロセスチャンバのアイソ
レーションゲートバルブを開いて半導体ウェハーＢを投
入し、ゲートバルブを閉じる。

【０００９】したがって、上述の不都合の発生が理解で
きる。以上には半導体装置製造用システムに適用した場
合について説明したが、これ以外のシステムであって、
ワークの出し入れを行う必要があるシステムに適用した
場合にも同様の不都合が生じる。

【００１０】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、構成を複雑化することなく、ワークを出
入れするに当って関節リンケージを回転させる必要を無
くして全体としての処理所要時間を短縮することがで
き、しかも、半導体装置製造用システムに適用した場合
にはワーク搬送ロボット配設空間におけるクリーン度を
高く維持することができるワーク搬送ロボットを提供す
ることを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１のワーク搬送ロ
ボットは、互いに異なる駆動源によって互いに平行な平
面内において共通の軸周りに回転駆動される第１、第２
のアームを有し、両アームの一方の先端部にそれぞれ一
端が回転可能に連結された１対の従動アームの他端部に
ワーク支持台を連結してあり、両アームの他方の先端部
にそれぞれ一端が回転可能に連結された１対の従動アー
ムの他端部にワーク支持台を連結してあり、両ワーク支
持台が、前記軸を基準として互いに同じ側に配設される
ように従動アームがそれぞれ第１、第２のアームに連結
されてある。

【００１２】請求項２のワーク搬送ロボットは、前記第
１、第２のアームの少なくとも一方として、回転中心を
基準として互いに逆方向に延びるアーム部分を有してい
るとともに、両アーム部分が互いに異なる平面上を回転
するように構成されてあるものを採用している。請求項
３のワーク搬送ロボットは、前記従動アームとしては、
第１、第２のアームの駆動軸と干渉しない平面上を回転
するように両アームと連結されたものを採用している。

【００１３】請求項４のワーク搬送ロボットは、前記軸
を中心としてワーク支持台の所定の回転位置に対応させ
て複数個の半導体装置製造用プロセスチャンバが配設さ
れてあり、一方のワーク支持台を何れかの半導体装置製
造用プロセスチャンバと正対させるに当っては第１、第
２のアームを互いに同じ方向に、かつ互いに等しい角度
だけ回転させ、半導体装置製造用プロセスチャンバに対
する半導体ウェハーの交換を行うに当っては第１、第２
のアームを互いに逆方向に回転させるべく駆動源を制御
する制御手段を有するものである。

【００１４】

【作用】請求項１のワーク搬送ロボットであれば、互い
に異なる駆動源によって互いに平行な平面内において共
通の軸周りに回転駆動される第１、第２のアームを有
し、両アームの一方の先端部にそれぞれ一端が回転可能
に連結された１対の従動アームの他端部にワーク支持台
を連結してあり、両アームの他方の先端部にそれぞれ一
端が回転可能に連結された１対の従動アームの他端部に
ワーク支持台を連結してあり、両ワーク支持台が、前記
軸を基準として互いに同じ側に配設されるように従動ア
ームがそれぞれ第１、第２のアームに連結されてあるの
で、両アームを互いに逆方向に回転させることにより、
一方のワーク支持台を前記軸から離間する方向に移動さ
せると同時に他方のワーク支持台を逆方向に移動させる
ことができる。もちろん、両アームを同じ方向に回転さ
せることにより、ワーク支持台を所望の回転位置まで回
転させることができる。この結果、両アームを１８０°
回転させるような無駄な動作を行わせる必要がなくな
り、ワークの入替えを短時間で達成することができる。

【００１５】請求項２のワーク搬送ロボットであれば、
前記第１、第２のアームの少なくとも一方として、回転
中心を基準として互いに逆方向に延びるアーム部分を有
しているとともに、両アーム部分が互いに異なる平面上
を回転するように構成されてあるものを採用しているの
で、両アームを互いに干渉し合うことなく動作させるこ
とができる。

【００１６】請求項３のワーク搬送ロボットであれば、
前記従動アームとしては、第１、第２のアームの駆動軸
と干渉しない平面上を回転するように両アームと連結さ
れたものを採用しているので、両ワーク支持台を駆動軸
と干渉することなく動作させることができ、アームの動
作範囲に基づいて定まる最大移動範囲内におけるワーク
支持台の移動を達成することができる。

【００１７】請求項４のワーク搬送ロボットであれば、
前記軸を中心としてワーク支持台の所定の回転位置に対
応させて複数個の半導体装置製造用プロセスチャンバが
配設されてあり、一方のワーク支持台を何れかの半導体
装置製造用プロセスチャンバと正対させるに当っては第
１、第２のアームを互いに同じ方向に、かつ互いに等し
い角度だけ回転させ、半導体装置製造用プロセスチャン
バに対する半導体ウェハーの交換を行うに当っては第
１、第２のアームを互いに逆方向に回転させるべく駆動
源を制御する制御手段を有しているので、制御手段によ
って第１のアームと第２のアームとを互いに逆方向に回
転させることにより、一方のワーク支持台を半径方向に
前進させることができるとともに、他方のワーク支持台
を半径方向に交替させることができる。もちろん、制御
手段によって両アームを互いに同じ方向に回転させるこ
とにより、両ワーク支持台を所望の回転位置まで回転さ
せることができる。この結果、両アームを１８０°回転
させるような無駄な動作を行わせる必要がなくなり、ワ
ークの入替えを短時間で達成することができる。また、
半導体装置製造用プロセスチャンバのアイソレーション
ゲートバルブを１回開いた状態において半導体ウェハー
の出入れを達成することができるので、全てのアームを
１８０°回転させる前後においてアイソレーションゲー
トバルブを開閉する場合と比較して、アイソレーション
ゲートバルブが閉じていない時間を短縮することがで
き、半導体装置製造用プロセスチャンバから流出する不
純物パーティクルを少なくし、高いクリーン度を達成す
ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明
の実施の態様を詳細に説明する。図１はこの発明のワー
ク搬送ロボットの要部を概略的に示す斜視図、図２は中
央縦断面図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図、図
４は平面図、図５はワーク搬送ロボットを昇降させる機
構を示す縦断面図である。なお、図４は、両ワーク支持
台が上下に正対する状態を示している。

【００１９】このワーク搬送ロボットは、同心２軸構成
の回転軸ユニット１により第１、第２アーム２，３をそ
れぞれ独立して回転させ得るようにしてある。なお、回
転軸ユニット１と各アームとは直接連結されていてもよ
いが、高いクリーン度が要求される用途に使用される場
合には、例えば、特開平６−２４１２３７号公報に示す
ように、真空容器壁を通して回転軸ユニット１と各アー
ムとを磁気カプラによって連結することが好ましい。

【００２０】そして、回転軸ユニット１の各回転軸１
ａ，１ｂは、アーム回転用モータ２ａ，３ａに設けられ
た減速機２ｂ，３ｂに対してベルト２ｃ，３ｃによって
連結されている。もちろん、アーム回転用モータ２ａ，
３ａは、図示しない制御部によってそれぞれの回転方
向、回転速度などが制御される。前記第１アーム２の一
方の先端部上面に従動アーム２ｄの基部が回転自在に連
結されているとともに、第２アーム３の一方の先端部上
面に従動アーム３ｄの基部が回転自在に連結されてい
る。そして、両従動アーム２ｄ，３ｄの先端部に第１ワ
ーク支持台５が設けられている。ここで、両従動アーム
２ｄ，３ｄは第１ワーク支持台５に対して回転自在に連
結されており、両従動アーム先端は、第１ワーク支持台
５内でギア噛合（図６参照）、またはベルトのたすきが
け（図７参照）などで連結されており、常に第１ワーク
支持台５が回転軸を中心とする半径方向に対して平行な
姿勢を保持できるようになっている。

【００２１】前記第１アーム２の他方の先端部下面に従
動アーム２ｅの基部が回転自在に連結されているととも
に、第２アーム３の他方の先端部下面に従動アーム３ｅ
の基部が回転自在に連結されている。そして、両従動ア
ーム２ｅ，３ｅの先端部に第２ワーク支持台６が設けら
れている。ここで、両従動アーム２ｅ，３ｅは第２ワー
ク支持台６に対して回転自在に連結されており、両従動
アーム先端は、第１ワーク支持台５内でギア噛合、また
はベルトのたすきがけなどで連結されており、常に第１
ワーク支持台５が回転軸を中心とする半径方向に対して
平行な姿勢を保持できるようになっている。

【００２２】なお、第１アーム２は、回転軸１ａに対す
る連結部２０を境界として互いに逆方向に延びるアーム
部分２１，２２を有し、しかも両アーム部分２１，２２
は互いに段違いで、かつ互いに平行に形成されている。
また、第２アーム３は、回転軸１ｂに対する連結部３０
を境界として互いに逆方向に延びるアーム部分３１，３
２を有し、しかも両アーム部分３１，３２は互いに平行
に形成されている（これら両アーム部分３１，３２は互
いに段違いであってもよいが、段違いでなくてもよ
い）。また、アーム部分２１は第２アーム３よりも上方
に位置し、アーム部分２２は第２アーム３よりも下方に
位置している。したがって、両アーム２，３は互いに干
渉し合うことなく十分に大きい角度範囲内において互い
に逆方向に回転可能である。

【００２３】また、何れの従動アームも「く」字状に形
成されているが、直線状であっても何ら不都合はない。
前記回転軸ユニット１、アーム回転用モータ２ａ，３
ａ、減速機２ｂ，３ｂは、ロボット取付架台７に垂下状
態で装着されたケーシング８の内部にガイドレール９に
よって昇降自在に収容されてあり、ケーシング８の所定
位置に設けられた直動用モータ８ａにより自転させられ
るボールネジ８ｂをアーム回転用モータ支持基板８ｃの
所定位置に設けたボールネジナット８ｄと係合させてあ
る。したがって、直動用モータ８ａを動作させることに
より、回転軸ユニット１、アーム回転用モータ２ａ，３
ａ、減速機２ｂ，３ｂを昇降させることができる。もち
ろん、ケーシング８の上面板８ｅと回転軸ユニット１と
は気密的に係合されていることが好ましい。

【００２４】図８は両アーム２，３、従動アーム２ｄ，
３ｄ，２ｅ，３ｅ、両ワーク支持台５，６の関係を概略
的に示す平面図、図９は回転中心軸とワーク支持台の中
心とを結ぶ平面に対する第２アーム３のなす角（時計回
り方向の角度）θの変化に対する両ワーク支持台５，６
の基部と回転中心軸との距離Ｒ（ｍｍ）の変化を示す図
である。なお、図９は、第１、第２アーム２，３の各ア
ーム部分の長さを３１５ｍｍに設定し、各従動アームの
長さを２８５ｍｍに設定した場合に対応している。ま
た、縦軸の単位はｍｍ、横軸の単位は°であり、Ａが第
１ワーク支持台５を、Ｂが第２ワーク支持台６をそれぞ
れ示している。

【００２５】図９から明らかなように、θ＝９０°に設
定した場合に、両ワーク支持台５，６が共に回転中心軸
に接近し、かつ上下に正対することが分かる。前記回転
軸ユニット１、アーム回転用モータ２ａ，３ａ、減速機
２ｂ，３ｂは、ロボット取付架台７に垂下状態で装着さ
れたケーシング８の内部にガイドレール９によって昇降
自在に収容されてあり、ケーシング８の所定位置に設け
られた直動用モータ８ａにより自転させられるボールネ
ジ８ｂをアーム回転用モータ支持基板８ｃの所定位置に
設けたボールネジナット８ｄと係合させてある。したが
って、直動用モータ８ａを動作させることにより、回転
軸ユニット１、アーム回転用モータ２ａ，３ａ、減速機
２ｂ，３ｂを昇降させることができる。もちろん、ケー
シング８の上面板８ｅと回転軸ユニット１とは気密的に
係合されていることが好ましい。

【００２６】図１０は前記の構成のワーク搬送ロボット
を組み込んだ半導体装置製造用システムの構成を概略的
に示す平面図である。このシステムは、内部が真空に保
持された中央チャンバ１１の周囲に４つの半導体装置製
造用プロセスチャンバ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ
を配設してあるとともに、半導体ウェハーを搬入する搬
入部１１ｅ、半導体ウェハーを搬出する搬出部１１ｆを
配設してある。なお、それぞれの半導体装置製造用プロ
セスチャンバ、搬入部、搬出部にはアイソレーションゲ
ートバルブが設けられてある。

【００２７】上記の構成の半導体装置製造用システムの
動作を図１１の動作説明図および図１２のフローチャー
トを参照しながら説明する。ステップＳＰ１，ＳＰ２に
おいて、半導体ウェハーを第２ワーク支持台６上に支持
させた状態で半導体装置製造用プロセスチャンバ１１ｂ
における処理が終了するまで待つ。この状態において
は、第１、第２アーム２，３が、共に回転中心軸とワー
ク支持台の中心とを結ぶ平面に対してほぼ直角になるよ
うに回転され、第１、第２ワーク支持台５，６が共に回
転軸ユニット１にある程度接近しているとともに、両ワ
ーク支持台５，６が上下方向に正対している｛図１１中
（Ａ）参照｝。

【００２８】半導体装置製造用プロセスチャンバ１１ｂ
における処理が終了すれば、ステップＳＰ３においてワ
ーク搬送ロボットを動作させることなく、アイソレーシ
ョンゲートバルブを開く｛図１１中（Ｂ）参照｝。次い
で、ステップＳＰ４において第１、第２アーム２，３
を、共に回転中心軸とワーク支持台の中心とを結ぶ平面
に接近する方向に回転させることにより第１ワーク支持
台５を半導体装置製造用プロセスチャンバ１１ｂ内に侵
入させ、直動用モータ８ａを動作させることにより回転
軸ユニット１と共に両ワーク支持台５，６を上昇させて
処理済の半導体ウェハーをワーク支持台５上に支持させ
る。なお、第１、第２アーム２，３の上記動作により、
第２ワーク支持台６は回転中心軸に接近する方向に移動
される｛図１１中（Ｃ）参照｝。そして、処理済の半導
体ウェハーを第１ワーク支持台５上に支持させた後は、
第１、第２アーム２，３を前記と逆の方向に回転させ第
１ワーク支持台５を後退させるとともに、両ワーク支持
台５，６を上下方向に正対させる｛図１１中（Ｄ）参
照｝。

【００２９】次いで、ステップＳＰ５において第２、第
３アーム３，４をステップＳＰ４の回転方向と逆の回転
方向に回転させることにより第２ワーク支持台６を半導
体装置製造用プロセスチャンバ１１ｂ内に侵入させ、直
動用モータ８ａを動作させることにより回転軸ユニット
１と共に両ワーク支持台５，６を下降させて処理すべき
半導体ウェハーを半導体装置製造用プロセスチャンバ１
１ｂに供給する。なお、第１、第２アーム２，３の上記
動作により、第１ワーク支持台５は回転中心軸に接近す
る方向に移動される｛図１１中（Ｅ）参照｝。そして、
処理済の半導体ウェハーを半導体装置製造用プロセスチ
ャンバ１１ｂに供給した後は、第１、第２アーム２，３
を前記と逆の方向に回転させ第２ワーク支持台６を後退
させるとともに、両ワーク支持台５，６を上下方向に正
対させる｛図１１中（Ｆ）参照｝。

【００３０】そして、ステップＳＰ６においてワーク搬
送ロボットを動作させることなく、アイソレーションゲ
ートバルブを閉じる｛図１１中（Ｇ）参照｝。その後
は、第１、第２アームを互いに同じ方向に同じ角度だけ
回転させることにより両ワーク支持台５，６を他の半導
体装置製造用プロセスチャンバと正対させ、前記と同様
の処理を行って半導体ウェハーの入替えを行うことがで
きる。

【００３１】以上の説明から明らかなように、両ワーク
支持台５，６が回転軸ユニット１に関して互いに同じ側
に位置しているのであるから、半導体装置製造用プロセ
スチャンバに対して半導体ウェハーを入替えるに当っ
て、ワーク支持台を１８０°回転させる動作が不要にな
り、半導体ウェハーを取出した後に直ちに半導体ウェハ
ーを供給することができるので、全体としての処理所要
時間を短縮することができる。また、アイソレーション
ゲートバルブの開閉回数を従来装置の場合と比較して半
減させることができるので、アイソレーションゲートバ
ルブが閉じられていない時間を短縮することができ、こ
の結果、半導体装置製造用プロセスチャンバからアイソ
レーションゲートバルブを通して出てくる不純物パーテ
ィクルを減少させ、高いクリーン度を維持することがで
きる。もちろん、モータにより第１、第２アーム２，３
を駆動するのであるから、構成の複雑化を防止すること
ができる。

【００３２】図１３はこの発明のワーク搬送ロボットの
他の実施態様を示す縦断面図である。この実施態様が前
記実施態様と異なる点は、第１アーム２の両アーム部分
２１，２２を段違い状ではなく、同一平面上において互
いに逆方向に延びるように構成した点、第１アーム２を
第２アーム３よりも上方に配置した点、第２アーム３の
一方の先端部を回転軸と平行に延設して第１アーム２よ
りも上方において従動アーム３ｄを回転自在に連結した
点、第２アーム３の他方の先端部の下面に従動アーム３
ｅを回転自在に連結した点のみである。

【００３３】したがって、この実施態様を採用した場合
には、第１アーム２の構成を簡単化することができるほ
か、両アーム２，３と回転軸ユニット１との連結構成を
も簡単化することができる。そして、前記実施態様と同
様の作用を達成することができる。なお、前記の何れの
実施態様においても、両アーム２，３の長さと従動アー
ム２ｄ，３ｄ，２ｅ，３ｅの長さを前述のように設定す
ると、ワーク支持台５，６の基部と回転中心軸との距離
が負になる領域が発生する。ここで、距離が回転軸ユニ
ット１の半径よりも小さくなる領域（負になる領域をも
含む）は、何れかのワーク支持台が回転軸ユニット１と
衝突してそれ以上は移動することができない領域である
から、例えば、従動アーム２ｄ，３ｄ，２ｅ，３ｅの長
さを長く設定することによりこのような領域の発生を未
然に防止することが好ましい。

【００３４】図１４はこの発明のワーク搬送ロボットの
さらに他の実施態様を示す縦断面図である。この実施態
様が図２の実施態様と異なる点は、第２アーム３の一方
の先端部を回転軸と平行に延設して回転軸ユニット１よ
りも上方（正確には、回転軸ユニット１よりも上方かつ
側方）において従動アーム３ｄを回転自在に連結した
点、第１アーム２の他方の先端部を回転軸と平行に延設
して第２アーム３よりも上方において従動アーム２ｅを
回転自在に連結した点のみである。

【００３５】したがって、この実施態様を採用した場合
には、両ワーク支持台５，６が回転軸ユニット１と全く
衝突し得ない構成になっているので、両アーム２，３の
長さと従動アーム２ｄ，３ｄ，２ｅ，３ｅの長さを任意
に設定することができ、しかも両アーム２，３および従
動アーム２ｄ，３ｄ，２ｅ，３ｅにより定まる全範囲に
おいて両ワーク支持台５，６を移動させることができ
る。

【００３６】図１５はこの発明のワーク搬送ロボットの
さらに他の実施態様を示す縦断面図、図１６は第２アー
ム３の構成を示す平面図である。この実施態様において
は、第２アーム３のアーム部分３１を直接に連結部３０
に連結し、アーム部分３２を連結部３０を中心とする円
弧状部３３を介してアーム部分３１の基部に連結してい
る。そして、第１アーム２は、一方のアーム部分が連結
部３０と円弧状部３３との間隙を通過し得る垂直部を有
し、一方のアーム部分が第２アーム３の下方において、
他方のアーム部分が第２アーム３の上方において回転す
るように構成してある。

【００３７】したがって、両アーム２，３は互いに干渉
し合うことなく十分に大きい角度範囲（１８０°よりも
大きく、かつ３６０°よりも小さい角度範囲であり、よ
り好ましくは、２７０°よりも大きく、かつ３６０°よ
りも小さい角度範囲）内において互いに逆方向に回転可
能である。この結果、図２の実施態様と同様の作用を達
成することができる。

【００３８】以上には、半導体装置製造システムに適用
した場合についてのみ説明したが、１つの処理部に対し
てワークの入替えを行う必要がある装置であれば同様に
この発明のワーク搬送ロボットを適用することができ、
ワーク入替えの所要時間を短縮することができる。

【００３９】

【発明の効果】請求項１の発明は、全てのアームを１８
０°回転させるような無駄な動作を行わせる必要がなく
なり、ワークの入替えを短時間で達成することができる
という特有の効果を奏する。請求項２の発明は、両アー
ムを互いに干渉し合うことなく動作させることができる
ほか、請求項１と同様の効果を奏する。

【００４０】請求項３の発明は、両ワーク支持台を駆動
軸と干渉することなく動作させることができ、アームの
動作範囲に基づいて定まる最大移動範囲内におけるワー
ク支持台の移動を達成することができるほか、請求項１
または請求項２と同様の効果を奏する。請求項４の発明
は、両アームを１８０°回転させるような無駄な動作を
行わせる必要がなくなり、ワークの入替えを短時間で達
成することができ、また、半導体装置製造用プロセスチ
ャンバのアイソレーションゲートバルブを１回開いた状
態において半導体ウェハーの出入れを達成することがで
きるので、全てのアームを１８０°回転させる前後にお
いてアイソレーションゲートバルブを開閉する場合と比
較して、アイソレーションゲートバルブが閉じていない
時間を短縮することができ、半導体装置製造用プロセス
チャンバから流出する不純物パーティクルを少なくし、
高いクリーン度を達成することができるという特有の効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のワーク搬送ロボットの要部を概略的
に示す斜視図である。

【図２】同***縦断面図である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。

【図４】この発明のワーク搬送ロボットの平面図であ
る。

【図５】ワーク搬送ロボットを昇降させる機構を示す縦
断面図である。

【図６】１対の従動アームの連結構成の一例を示す概略
図である。

【図７】１対の従動アームの連結構成の他の例を示す概
略図である。

【図８】両アーム、従動アーム、両ワーク支持台の関係
を概略的に示す平面図である。

【図９】回転中心軸とワーク支持台の中心とを結ぶ平面
に対する第２アームのなす角θの変化に対する両ワーク
支持台の基部と回転中心軸との距離の変化を示す図であ
る。

【図１０】ワーク搬送ロボットを組み込んだ半導体装置
製造用システムの構成を概略的に示す平面図である。

【図１１】ワーク搬送ロボットの動作説明図である。

【図１２】ワーク搬送ロボットの動作を説明するフロー
チャートである。

【図１３】この発明のワーク搬送ロボットの他の実施態
様を示す縦断面図である。

【図１４】この発明のワーク搬送ロボットのさらに他の
実施態様を示す縦断面図である。

【図１５】この発明のワーク搬送ロボットのさらに他の
実施態様を示す縦断面図である。

【図１６】第２アームの構成を示す平面図である。

【図１７】従来のワーク搬送ロボットの動作説明図であ
る。

【図１８】従来のワーク搬送ロボットの動作を説明する
フローチャートである。

【符号の説明】

２ 第１アーム ３ 第２アーム ２ａ，３ａ アーム回転用モータ ２ｄ，３ｄ，３
ｅ，４ｅ 従動アーム ５ 第１ワーク支持台 ６ 第２ワーク支持台 １１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ 半導体装置製造用プ
ロセスチャンバ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに異なる駆動源（２ａ）（３ａ）に
   よって互いに平行な平面内において共通の軸周りに回転
   駆動される第１、第２のアーム（２）（３）を有し、両
   アーム（２）（３）の一方の先端部にそれぞれ一端が回
   転可能に連結された１対の従動アーム（２ｄ）（３ｄ）
   の他端部にワーク支持台（５）を連結してあり、両アー
   ム（３）の他方の先端部にそれぞれ一端が回転可能に連
   結された１対の従動アーム（２ｅ）（３ｅ）の他端部に
   ワーク支持台（６）を連結してあり、両ワーク支持台
   （５）（６）が、前記軸を基準として互いに同じ側に配
   設されるように従動アーム（２ｄ）（３ｄ）（２ｅ）
   （３ｅ）がそれぞれ第１、第２のアーム（２）（３）に
   連結されてあることを特徴とするワーク搬送ロボット。
2. 【請求項２】 前記第１、第２のアーム（２）（３）の
   少なくとも一方は、回転中心を基準として互いに逆方向
   に延びるアーム部分を有しているとともに、両アーム部
   分が互いに異なる平面上を回転するように構成されてあ
   る請求項１に記載のワーク搬送ロボット。
3. 【請求項３】 前記従動アーム（２ｄ）（３ｄ）（２
   ｅ）（３ｅ）は、第１、第２のアーム（２）（３）の駆
   動軸と干渉しない平面上を回転するように両アーム
   （２）（３）と連結されてある請求項１または請求項２
   に記載のワーク搬送ロボット。
4. 【請求項４】 前記軸を中心としてワーク支持台（５）
   （６）の所定の回転位置に対応させて複数個の半導体装
   置製造用プロセスチャンバ（１１ａ）（１１ｂ）（１１
   ｃ）（１１ｄ）が配設されてあり、一方のワーク支持台
   を何れかの半導体装置製造用プロセスチャンバと正対さ
   せるに当っては第１、第２のアーム（２）（３）を互い
   に同じ方向に、かつ互いに等しい角度だけ回転させ、半
   導体装置製造用プロセスチャンバに対する半導体ウェハ
   ーの交換を行うに当っては第１、第２のアーム（２）
   （３）を互いに逆方向に回転させるべく駆動源（２ａ）
   （３ａ）を制御する制御手段を有している請求項１から
   請求項３の何れかに記載のワーク搬送ロボット。