JPH10581A - ワーク搬送ロボット - Google Patents
ワーク搬送ロボットInfo
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- JPH10581A JPH10581A JP14631796A JP14631796A JPH10581A JP H10581 A JPH10581 A JP H10581A JP 14631796 A JP14631796 A JP 14631796A JP 14631796 A JP14631796 A JP 14631796A JP H10581 A JPH10581 A JP H10581A
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- work
- arm
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワーク入替え時にアームの無駄な動作をなく
して所要時間を短縮する。 【解決手段】 互いに異なる駆動源2a,3aによって
互いに平行な平面内において共通の軸周りに回転駆動さ
れる第1、第2のアーム2,3を有し、両アーム2,3
の一方の先端部にそれぞれ一端が回転可能に連結された
1対の従動アーム2d,3dの他端部にワーク支持台5
を連結してあり、両アーム3の他方の先端部にそれぞれ
一端が回転可能に連結された1対の従動アーム2e,3
eの他端部にワーク支持台6を連結してあり、両ワーク
支持台5,6が、前記軸を基準として互いに同じ側に配
設されるように従動アーム2d,3d,2e,3eがそ
れぞれ第1、第2のアーム2,3に連結されてある。
して所要時間を短縮する。 【解決手段】 互いに異なる駆動源2a,3aによって
互いに平行な平面内において共通の軸周りに回転駆動さ
れる第1、第2のアーム2,3を有し、両アーム2,3
の一方の先端部にそれぞれ一端が回転可能に連結された
1対の従動アーム2d,3dの他端部にワーク支持台5
を連結してあり、両アーム3の他方の先端部にそれぞれ
一端が回転可能に連結された1対の従動アーム2e,3
eの他端部にワーク支持台6を連結してあり、両ワーク
支持台5,6が、前記軸を基準として互いに同じ側に配
設されるように従動アーム2d,3d,2e,3eがそ
れぞれ第1、第2のアーム2,3に連結されてある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はワーク搬送ロボッ
トに関し、さらに詳細にいえば、半導体装置製造システ
ムに組み込んで、半導体ウェハーを所望の半導体装置製
造用プロセスチャンバまで搬送し、半導体ウェハーの出
入れを行うのに好適なワーク搬送ロボットに関する。
トに関し、さらに詳細にいえば、半導体装置製造システ
ムに組み込んで、半導体ウェハーを所望の半導体装置製
造用プロセスチャンバまで搬送し、半導体ウェハーの出
入れを行うのに好適なワーク搬送ロボットに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から半導体装置を製造するためのシ
ステムにワーク搬送ロボットを組み込んで半導体ウェハ
ーを所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うようにしたワーク搬
送ロボットが提案されている(特公平7−73833号
公報、特表平7−504128号公報参照)。
ステムにワーク搬送ロボットを組み込んで半導体ウェハ
ーを所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うようにしたワーク搬
送ロボットが提案されている(特公平7−73833号
公報、特表平7−504128号公報参照)。
【0003】特公平7−73833号公報に記載された
ワーク搬送ロボットは、1対の関節リンケージを互いに
180°ずれた位置に配置し、それぞれの関節リンケー
ジを動作させるための駆動源を有しているとともに、両
関節リンケージを互いに同じ方向に回転させるための駆
動源を有している。したがって、関節リンケージを互い
に独立させて伸縮させることができ、また両関節リンケ
ージを同方向に回転させることができ、半導体ウェハー
を所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うことができる。
ワーク搬送ロボットは、1対の関節リンケージを互いに
180°ずれた位置に配置し、それぞれの関節リンケー
ジを動作させるための駆動源を有しているとともに、両
関節リンケージを互いに同じ方向に回転させるための駆
動源を有している。したがって、関節リンケージを互い
に独立させて伸縮させることができ、また両関節リンケ
ージを同方向に回転させることができ、半導体ウェハー
を所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うことができる。
【0004】特表平7−504128号公報に記載され
たワーク搬送ロボットは、1対の関節リンケージを互い
に180°ずれた位置に配置し、それぞれの関節リンケ
ージを動作させるための駆動源を有しているとともに、
両関節リンケージを互いに同じ方向に回転させるための
駆動源を有している。したがって、関節リンケージを互
いに独立させて伸縮させることができ、また両関節リン
ケージを同方向に回転させることができ、半導体ウェハ
ーを所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うことができる。
たワーク搬送ロボットは、1対の関節リンケージを互い
に180°ずれた位置に配置し、それぞれの関節リンケ
ージを動作させるための駆動源を有しているとともに、
両関節リンケージを互いに同じ方向に回転させるための
駆動源を有している。したがって、関節リンケージを互
いに独立させて伸縮させることができ、また両関節リン
ケージを同方向に回転させることができ、半導体ウェハ
ーを所望の半導体装置製造用プロセスチャンバまで搬送
し、半導体ウェハーの出入れを行うことができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記何れのワーク搬送
ロボットにおいても、関節リンケージが互いに180°
ずれた位置に配置されているのであるから、何れかの半
導体装置製造用プロセスチャンバに対して半導体ウェハ
ーの入替えを行うに当っては、一方の関節リンケージを
伸縮させることにより半導体ウェハーを取り出した後
に、両関節リンケージを180°回転させ、他方の関節
リンケージを伸縮させることにより半導体ウェハーを入
れる一連の処理を行わなければならない。この結果、両
関節リンケージを180°回転させる時間が無駄時間に
なってしまい、半導体製造システム全体としての処理速
度を余り高めることができなくなってしまう。
ロボットにおいても、関節リンケージが互いに180°
ずれた位置に配置されているのであるから、何れかの半
導体装置製造用プロセスチャンバに対して半導体ウェハ
ーの入替えを行うに当っては、一方の関節リンケージを
伸縮させることにより半導体ウェハーを取り出した後
に、両関節リンケージを180°回転させ、他方の関節
リンケージを伸縮させることにより半導体ウェハーを入
れる一連の処理を行わなければならない。この結果、両
関節リンケージを180°回転させる時間が無駄時間に
なってしまい、半導体製造システム全体としての処理速
度を余り高めることができなくなってしまう。
【0006】ここで、半導体装置製造システムにおいて
は、一般的に4〜5個の半導体装置製造用プロセスチャ
ンバが配設されており、1枚の半導体ウェハーに対して
平均8回程度の出入れが必要であり、1枚の半導体ウェ
ハーの処理時間は1〜3分程度であり、1枚の半導体ウ
ェハーは2〜4個の半導体装置製造用プロセスチャンバ
で処理が行われるのであるから、前記回転時間は全体に
対してかなり大きい無駄時間になってしまう。
は、一般的に4〜5個の半導体装置製造用プロセスチャ
ンバが配設されており、1枚の半導体ウェハーに対して
平均8回程度の出入れが必要であり、1枚の半導体ウェ
ハーの処理時間は1〜3分程度であり、1枚の半導体ウ
ェハーは2〜4個の半導体装置製造用プロセスチャンバ
で処理が行われるのであるから、前記回転時間は全体に
対してかなり大きい無駄時間になってしまう。
【0007】また、両関節リンケージを180°回転さ
せる前後において該当する関節リンケージを伸縮させる
場合に、該当する半導体装置製造用プロセスチャンバを
ワーク搬送ロボット配設空間から隔離するためのアイソ
レーションゲートバルブを開かなければならないので、
全体としてアイソレーションゲートバルブが閉じられて
いない時間が長くなってしまい、ワーク搬送ロボット配
設空間のクリーン度が低下し、所望のクリーン度を達成
することができなくなってしまう可能性がある。このク
リーン度は、半導体装置製造用プロセスチャンバに影響
を及ぼすのであるから、半導体装置の製造に当っては到
底無視することができない。
せる前後において該当する関節リンケージを伸縮させる
場合に、該当する半導体装置製造用プロセスチャンバを
ワーク搬送ロボット配設空間から隔離するためのアイソ
レーションゲートバルブを開かなければならないので、
全体としてアイソレーションゲートバルブが閉じられて
いない時間が長くなってしまい、ワーク搬送ロボット配
設空間のクリーン度が低下し、所望のクリーン度を達成
することができなくなってしまう可能性がある。このク
リーン度は、半導体装置製造用プロセスチャンバに影響
を及ぼすのであるから、半導体装置の製造に当っては到
底無視することができない。
【0008】図17は従来のワーク搬送ロボットによる
半導体ウェハーの出入れ動作手順を概略的に示す図、図
18はフローチャートである。これらの図、フローチャ
ートから明らかなように、半導体ウェハーAに対する処
理が終了するまで待ち、次いで、半導体装置製造用プロ
セスチャンバのアイソレーションゲートバルブを開いて
半導体ウェハーAを取り出し、アイソレーションゲート
バルブを閉じる。そして、両関節リンケージを180°
回転させ、半導体装置製造用プロセスチャンバのアイソ
レーションゲートバルブを開いて半導体ウェハーBを投
入し、ゲートバルブを閉じる。
半導体ウェハーの出入れ動作手順を概略的に示す図、図
18はフローチャートである。これらの図、フローチャ
ートから明らかなように、半導体ウェハーAに対する処
理が終了するまで待ち、次いで、半導体装置製造用プロ
セスチャンバのアイソレーションゲートバルブを開いて
半導体ウェハーAを取り出し、アイソレーションゲート
バルブを閉じる。そして、両関節リンケージを180°
回転させ、半導体装置製造用プロセスチャンバのアイソ
レーションゲートバルブを開いて半導体ウェハーBを投
入し、ゲートバルブを閉じる。
【0009】したがって、上述の不都合の発生が理解で
きる。以上には半導体装置製造用システムに適用した場
合について説明したが、これ以外のシステムであって、
ワークの出し入れを行う必要があるシステムに適用した
場合にも同様の不都合が生じる。
きる。以上には半導体装置製造用システムに適用した場
合について説明したが、これ以外のシステムであって、
ワークの出し入れを行う必要があるシステムに適用した
場合にも同様の不都合が生じる。
【0010】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、構成を複雑化することなく、ワークを出
入れするに当って関節リンケージを回転させる必要を無
くして全体としての処理所要時間を短縮することがで
き、しかも、半導体装置製造用システムに適用した場合
にはワーク搬送ロボット配設空間におけるクリーン度を
高く維持することができるワーク搬送ロボットを提供す
ることを目的としている。
たものであり、構成を複雑化することなく、ワークを出
入れするに当って関節リンケージを回転させる必要を無
くして全体としての処理所要時間を短縮することがで
き、しかも、半導体装置製造用システムに適用した場合
にはワーク搬送ロボット配設空間におけるクリーン度を
高く維持することができるワーク搬送ロボットを提供す
ることを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1のワーク搬送ロ
ボットは、互いに異なる駆動源によって互いに平行な平
面内において共通の軸周りに回転駆動される第1、第2
のアームを有し、両アームの一方の先端部にそれぞれ一
端が回転可能に連結された1対の従動アームの他端部に
ワーク支持台を連結してあり、両アームの他方の先端部
にそれぞれ一端が回転可能に連結された1対の従動アー
ムの他端部にワーク支持台を連結してあり、両ワーク支
持台が、前記軸を基準として互いに同じ側に配設される
ように従動アームがそれぞれ第1、第2のアームに連結
されてある。
ボットは、互いに異なる駆動源によって互いに平行な平
面内において共通の軸周りに回転駆動される第1、第2
のアームを有し、両アームの一方の先端部にそれぞれ一
端が回転可能に連結された1対の従動アームの他端部に
ワーク支持台を連結してあり、両アームの他方の先端部
にそれぞれ一端が回転可能に連結された1対の従動アー
ムの他端部にワーク支持台を連結してあり、両ワーク支
持台が、前記軸を基準として互いに同じ側に配設される
ように従動アームがそれぞれ第1、第2のアームに連結
されてある。
【0012】請求項2のワーク搬送ロボットは、前記第
1、第2のアームの少なくとも一方として、回転中心を
基準として互いに逆方向に延びるアーム部分を有してい
るとともに、両アーム部分が互いに異なる平面上を回転
するように構成されてあるものを採用している。請求項
3のワーク搬送ロボットは、前記従動アームとしては、
第1、第2のアームの駆動軸と干渉しない平面上を回転
するように両アームと連結されたものを採用している。
1、第2のアームの少なくとも一方として、回転中心を
基準として互いに逆方向に延びるアーム部分を有してい
るとともに、両アーム部分が互いに異なる平面上を回転
するように構成されてあるものを採用している。請求項
3のワーク搬送ロボットは、前記従動アームとしては、
第1、第2のアームの駆動軸と干渉しない平面上を回転
するように両アームと連結されたものを採用している。
【0013】請求項4のワーク搬送ロボットは、前記軸
を中心としてワーク支持台の所定の回転位置に対応させ
て複数個の半導体装置製造用プロセスチャンバが配設さ
れてあり、一方のワーク支持台を何れかの半導体装置製
造用プロセスチャンバと正対させるに当っては第1、第
2のアームを互いに同じ方向に、かつ互いに等しい角度
だけ回転させ、半導体装置製造用プロセスチャンバに対
する半導体ウェハーの交換を行うに当っては第1、第2
のアームを互いに逆方向に回転させるべく駆動源を制御
する制御手段を有するものである。
を中心としてワーク支持台の所定の回転位置に対応させ
て複数個の半導体装置製造用プロセスチャンバが配設さ
れてあり、一方のワーク支持台を何れかの半導体装置製
造用プロセスチャンバと正対させるに当っては第1、第
2のアームを互いに同じ方向に、かつ互いに等しい角度
だけ回転させ、半導体装置製造用プロセスチャンバに対
する半導体ウェハーの交換を行うに当っては第1、第2
のアームを互いに逆方向に回転させるべく駆動源を制御
する制御手段を有するものである。
【0014】
【作用】請求項1のワーク搬送ロボットであれば、互い
に異なる駆動源によって互いに平行な平面内において共
通の軸周りに回転駆動される第1、第2のアームを有
し、両アームの一方の先端部にそれぞれ一端が回転可能
に連結された1対の従動アームの他端部にワーク支持台
を連結してあり、両アームの他方の先端部にそれぞれ一
端が回転可能に連結された1対の従動アームの他端部に
ワーク支持台を連結してあり、両ワーク支持台が、前記
軸を基準として互いに同じ側に配設されるように従動ア
ームがそれぞれ第1、第2のアームに連結されてあるの
で、両アームを互いに逆方向に回転させることにより、
一方のワーク支持台を前記軸から離間する方向に移動さ
せると同時に他方のワーク支持台を逆方向に移動させる
ことができる。もちろん、両アームを同じ方向に回転さ
せることにより、ワーク支持台を所望の回転位置まで回
転させることができる。この結果、両アームを180°
回転させるような無駄な動作を行わせる必要がなくな
り、ワークの入替えを短時間で達成することができる。
に異なる駆動源によって互いに平行な平面内において共
通の軸周りに回転駆動される第1、第2のアームを有
し、両アームの一方の先端部にそれぞれ一端が回転可能
に連結された1対の従動アームの他端部にワーク支持台
を連結してあり、両アームの他方の先端部にそれぞれ一
端が回転可能に連結された1対の従動アームの他端部に
ワーク支持台を連結してあり、両ワーク支持台が、前記
軸を基準として互いに同じ側に配設されるように従動ア
ームがそれぞれ第1、第2のアームに連結されてあるの
で、両アームを互いに逆方向に回転させることにより、
一方のワーク支持台を前記軸から離間する方向に移動さ
せると同時に他方のワーク支持台を逆方向に移動させる
ことができる。もちろん、両アームを同じ方向に回転さ
せることにより、ワーク支持台を所望の回転位置まで回
転させることができる。この結果、両アームを180°
回転させるような無駄な動作を行わせる必要がなくな
り、ワークの入替えを短時間で達成することができる。
【0015】請求項2のワーク搬送ロボットであれば、
前記第1、第2のアームの少なくとも一方として、回転
中心を基準として互いに逆方向に延びるアーム部分を有
しているとともに、両アーム部分が互いに異なる平面上
を回転するように構成されてあるものを採用しているの
で、両アームを互いに干渉し合うことなく動作させるこ
とができる。
前記第1、第2のアームの少なくとも一方として、回転
中心を基準として互いに逆方向に延びるアーム部分を有
しているとともに、両アーム部分が互いに異なる平面上
を回転するように構成されてあるものを採用しているの
で、両アームを互いに干渉し合うことなく動作させるこ
とができる。
【0016】請求項3のワーク搬送ロボットであれば、
前記従動アームとしては、第1、第2のアームの駆動軸
と干渉しない平面上を回転するように両アームと連結さ
れたものを採用しているので、両ワーク支持台を駆動軸
と干渉することなく動作させることができ、アームの動
作範囲に基づいて定まる最大移動範囲内におけるワーク
支持台の移動を達成することができる。
前記従動アームとしては、第1、第2のアームの駆動軸
と干渉しない平面上を回転するように両アームと連結さ
れたものを採用しているので、両ワーク支持台を駆動軸
と干渉することなく動作させることができ、アームの動
作範囲に基づいて定まる最大移動範囲内におけるワーク
支持台の移動を達成することができる。
【0017】請求項4のワーク搬送ロボットであれば、
前記軸を中心としてワーク支持台の所定の回転位置に対
応させて複数個の半導体装置製造用プロセスチャンバが
配設されてあり、一方のワーク支持台を何れかの半導体
装置製造用プロセスチャンバと正対させるに当っては第
1、第2のアームを互いに同じ方向に、かつ互いに等し
い角度だけ回転させ、半導体装置製造用プロセスチャン
バに対する半導体ウェハーの交換を行うに当っては第
1、第2のアームを互いに逆方向に回転させるべく駆動
源を制御する制御手段を有しているので、制御手段によ
って第1のアームと第2のアームとを互いに逆方向に回
転させることにより、一方のワーク支持台を半径方向に
前進させることができるとともに、他方のワーク支持台
を半径方向に交替させることができる。もちろん、制御
手段によって両アームを互いに同じ方向に回転させるこ
とにより、両ワーク支持台を所望の回転位置まで回転さ
せることができる。この結果、両アームを180°回転
させるような無駄な動作を行わせる必要がなくなり、ワ
ークの入替えを短時間で達成することができる。また、
半導体装置製造用プロセスチャンバのアイソレーション
ゲートバルブを1回開いた状態において半導体ウェハー
の出入れを達成することができるので、全てのアームを
180°回転させる前後においてアイソレーションゲー
トバルブを開閉する場合と比較して、アイソレーション
ゲートバルブが閉じていない時間を短縮することがで
き、半導体装置製造用プロセスチャンバから流出する不
純物パーティクルを少なくし、高いクリーン度を達成す
ることができる。
前記軸を中心としてワーク支持台の所定の回転位置に対
応させて複数個の半導体装置製造用プロセスチャンバが
配設されてあり、一方のワーク支持台を何れかの半導体
装置製造用プロセスチャンバと正対させるに当っては第
1、第2のアームを互いに同じ方向に、かつ互いに等し
い角度だけ回転させ、半導体装置製造用プロセスチャン
バに対する半導体ウェハーの交換を行うに当っては第
1、第2のアームを互いに逆方向に回転させるべく駆動
源を制御する制御手段を有しているので、制御手段によ
って第1のアームと第2のアームとを互いに逆方向に回
転させることにより、一方のワーク支持台を半径方向に
前進させることができるとともに、他方のワーク支持台
を半径方向に交替させることができる。もちろん、制御
手段によって両アームを互いに同じ方向に回転させるこ
とにより、両ワーク支持台を所望の回転位置まで回転さ
せることができる。この結果、両アームを180°回転
させるような無駄な動作を行わせる必要がなくなり、ワ
ークの入替えを短時間で達成することができる。また、
半導体装置製造用プロセスチャンバのアイソレーション
ゲートバルブを1回開いた状態において半導体ウェハー
の出入れを達成することができるので、全てのアームを
180°回転させる前後においてアイソレーションゲー
トバルブを開閉する場合と比較して、アイソレーション
ゲートバルブが閉じていない時間を短縮することがで
き、半導体装置製造用プロセスチャンバから流出する不
純物パーティクルを少なくし、高いクリーン度を達成す
ることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明
の実施の態様を詳細に説明する。図1はこの発明のワー
ク搬送ロボットの要部を概略的に示す斜視図、図2は中
央縦断面図、図3は図2のIII−III線断面図、図
4は平面図、図5はワーク搬送ロボットを昇降させる機
構を示す縦断面図である。なお、図4は、両ワーク支持
台が上下に正対する状態を示している。
の実施の態様を詳細に説明する。図1はこの発明のワー
ク搬送ロボットの要部を概略的に示す斜視図、図2は中
央縦断面図、図3は図2のIII−III線断面図、図
4は平面図、図5はワーク搬送ロボットを昇降させる機
構を示す縦断面図である。なお、図4は、両ワーク支持
台が上下に正対する状態を示している。
【0019】このワーク搬送ロボットは、同心2軸構成
の回転軸ユニット1により第1、第2アーム2,3をそ
れぞれ独立して回転させ得るようにしてある。なお、回
転軸ユニット1と各アームとは直接連結されていてもよ
いが、高いクリーン度が要求される用途に使用される場
合には、例えば、特開平6−241237号公報に示す
ように、真空容器壁を通して回転軸ユニット1と各アー
ムとを磁気カプラによって連結することが好ましい。
の回転軸ユニット1により第1、第2アーム2,3をそ
れぞれ独立して回転させ得るようにしてある。なお、回
転軸ユニット1と各アームとは直接連結されていてもよ
いが、高いクリーン度が要求される用途に使用される場
合には、例えば、特開平6−241237号公報に示す
ように、真空容器壁を通して回転軸ユニット1と各アー
ムとを磁気カプラによって連結することが好ましい。
【0020】そして、回転軸ユニット1の各回転軸1
a,1bは、アーム回転用モータ2a,3aに設けられ
た減速機2b,3bに対してベルト2c,3cによって
連結されている。もちろん、アーム回転用モータ2a,
3aは、図示しない制御部によってそれぞれの回転方
向、回転速度などが制御される。前記第1アーム2の一
方の先端部上面に従動アーム2dの基部が回転自在に連
結されているとともに、第2アーム3の一方の先端部上
面に従動アーム3dの基部が回転自在に連結されてい
る。そして、両従動アーム2d,3dの先端部に第1ワ
ーク支持台5が設けられている。ここで、両従動アーム
2d,3dは第1ワーク支持台5に対して回転自在に連
結されており、両従動アーム先端は、第1ワーク支持台
5内でギア噛合(図6参照)、またはベルトのたすきが
け(図7参照)などで連結されており、常に第1ワーク
支持台5が回転軸を中心とする半径方向に対して平行な
姿勢を保持できるようになっている。
a,1bは、アーム回転用モータ2a,3aに設けられ
た減速機2b,3bに対してベルト2c,3cによって
連結されている。もちろん、アーム回転用モータ2a,
3aは、図示しない制御部によってそれぞれの回転方
向、回転速度などが制御される。前記第1アーム2の一
方の先端部上面に従動アーム2dの基部が回転自在に連
結されているとともに、第2アーム3の一方の先端部上
面に従動アーム3dの基部が回転自在に連結されてい
る。そして、両従動アーム2d,3dの先端部に第1ワ
ーク支持台5が設けられている。ここで、両従動アーム
2d,3dは第1ワーク支持台5に対して回転自在に連
結されており、両従動アーム先端は、第1ワーク支持台
5内でギア噛合(図6参照)、またはベルトのたすきが
け(図7参照)などで連結されており、常に第1ワーク
支持台5が回転軸を中心とする半径方向に対して平行な
姿勢を保持できるようになっている。
【0021】前記第1アーム2の他方の先端部下面に従
動アーム2eの基部が回転自在に連結されているととも
に、第2アーム3の他方の先端部下面に従動アーム3e
の基部が回転自在に連結されている。そして、両従動ア
ーム2e,3eの先端部に第2ワーク支持台6が設けら
れている。ここで、両従動アーム2e,3eは第2ワー
ク支持台6に対して回転自在に連結されており、両従動
アーム先端は、第1ワーク支持台5内でギア噛合、また
はベルトのたすきがけなどで連結されており、常に第1
ワーク支持台5が回転軸を中心とする半径方向に対して
平行な姿勢を保持できるようになっている。
動アーム2eの基部が回転自在に連結されているととも
に、第2アーム3の他方の先端部下面に従動アーム3e
の基部が回転自在に連結されている。そして、両従動ア
ーム2e,3eの先端部に第2ワーク支持台6が設けら
れている。ここで、両従動アーム2e,3eは第2ワー
ク支持台6に対して回転自在に連結されており、両従動
アーム先端は、第1ワーク支持台5内でギア噛合、また
はベルトのたすきがけなどで連結されており、常に第1
ワーク支持台5が回転軸を中心とする半径方向に対して
平行な姿勢を保持できるようになっている。
【0022】なお、第1アーム2は、回転軸1aに対す
る連結部20を境界として互いに逆方向に延びるアーム
部分21,22を有し、しかも両アーム部分21,22
は互いに段違いで、かつ互いに平行に形成されている。
また、第2アーム3は、回転軸1bに対する連結部30
を境界として互いに逆方向に延びるアーム部分31,3
2を有し、しかも両アーム部分31,32は互いに平行
に形成されている(これら両アーム部分31,32は互
いに段違いであってもよいが、段違いでなくてもよ
い)。また、アーム部分21は第2アーム3よりも上方
に位置し、アーム部分22は第2アーム3よりも下方に
位置している。したがって、両アーム2,3は互いに干
渉し合うことなく十分に大きい角度範囲内において互い
に逆方向に回転可能である。
る連結部20を境界として互いに逆方向に延びるアーム
部分21,22を有し、しかも両アーム部分21,22
は互いに段違いで、かつ互いに平行に形成されている。
また、第2アーム3は、回転軸1bに対する連結部30
を境界として互いに逆方向に延びるアーム部分31,3
2を有し、しかも両アーム部分31,32は互いに平行
に形成されている(これら両アーム部分31,32は互
いに段違いであってもよいが、段違いでなくてもよ
い)。また、アーム部分21は第2アーム3よりも上方
に位置し、アーム部分22は第2アーム3よりも下方に
位置している。したがって、両アーム2,3は互いに干
渉し合うことなく十分に大きい角度範囲内において互い
に逆方向に回転可能である。
【0023】また、何れの従動アームも「く」字状に形
成されているが、直線状であっても何ら不都合はない。
前記回転軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3
a、減速機2b,3bは、ロボット取付架台7に垂下状
態で装着されたケーシング8の内部にガイドレール9に
よって昇降自在に収容されてあり、ケーシング8の所定
位置に設けられた直動用モータ8aにより自転させられ
るボールネジ8bをアーム回転用モータ支持基板8cの
所定位置に設けたボールネジナット8dと係合させてあ
る。したがって、直動用モータ8aを動作させることに
より、回転軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3
a、減速機2b,3bを昇降させることができる。もち
ろん、ケーシング8の上面板8eと回転軸ユニット1と
は気密的に係合されていることが好ましい。
成されているが、直線状であっても何ら不都合はない。
前記回転軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3
a、減速機2b,3bは、ロボット取付架台7に垂下状
態で装着されたケーシング8の内部にガイドレール9に
よって昇降自在に収容されてあり、ケーシング8の所定
位置に設けられた直動用モータ8aにより自転させられ
るボールネジ8bをアーム回転用モータ支持基板8cの
所定位置に設けたボールネジナット8dと係合させてあ
る。したがって、直動用モータ8aを動作させることに
より、回転軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3
a、減速機2b,3bを昇降させることができる。もち
ろん、ケーシング8の上面板8eと回転軸ユニット1と
は気密的に係合されていることが好ましい。
【0024】図8は両アーム2,3、従動アーム2d,
3d,2e,3e、両ワーク支持台5,6の関係を概略
的に示す平面図、図9は回転中心軸とワーク支持台の中
心とを結ぶ平面に対する第2アーム3のなす角(時計回
り方向の角度)θの変化に対する両ワーク支持台5,6
の基部と回転中心軸との距離R(mm)の変化を示す図
である。なお、図9は、第1、第2アーム2,3の各ア
ーム部分の長さを315mmに設定し、各従動アームの
長さを285mmに設定した場合に対応している。ま
た、縦軸の単位はmm、横軸の単位は°であり、Aが第
1ワーク支持台5を、Bが第2ワーク支持台6をそれぞ
れ示している。
3d,2e,3e、両ワーク支持台5,6の関係を概略
的に示す平面図、図9は回転中心軸とワーク支持台の中
心とを結ぶ平面に対する第2アーム3のなす角(時計回
り方向の角度)θの変化に対する両ワーク支持台5,6
の基部と回転中心軸との距離R(mm)の変化を示す図
である。なお、図9は、第1、第2アーム2,3の各ア
ーム部分の長さを315mmに設定し、各従動アームの
長さを285mmに設定した場合に対応している。ま
た、縦軸の単位はmm、横軸の単位は°であり、Aが第
1ワーク支持台5を、Bが第2ワーク支持台6をそれぞ
れ示している。
【0025】図9から明らかなように、θ=90°に設
定した場合に、両ワーク支持台5,6が共に回転中心軸
に接近し、かつ上下に正対することが分かる。前記回転
軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3a、減速機
2b,3bは、ロボット取付架台7に垂下状態で装着さ
れたケーシング8の内部にガイドレール9によって昇降
自在に収容されてあり、ケーシング8の所定位置に設け
られた直動用モータ8aにより自転させられるボールネ
ジ8bをアーム回転用モータ支持基板8cの所定位置に
設けたボールネジナット8dと係合させてある。したが
って、直動用モータ8aを動作させることにより、回転
軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3a、減速機
2b,3bを昇降させることができる。もちろん、ケー
シング8の上面板8eと回転軸ユニット1とは気密的に
係合されていることが好ましい。
定した場合に、両ワーク支持台5,6が共に回転中心軸
に接近し、かつ上下に正対することが分かる。前記回転
軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3a、減速機
2b,3bは、ロボット取付架台7に垂下状態で装着さ
れたケーシング8の内部にガイドレール9によって昇降
自在に収容されてあり、ケーシング8の所定位置に設け
られた直動用モータ8aにより自転させられるボールネ
ジ8bをアーム回転用モータ支持基板8cの所定位置に
設けたボールネジナット8dと係合させてある。したが
って、直動用モータ8aを動作させることにより、回転
軸ユニット1、アーム回転用モータ2a,3a、減速機
2b,3bを昇降させることができる。もちろん、ケー
シング8の上面板8eと回転軸ユニット1とは気密的に
係合されていることが好ましい。
【0026】図10は前記の構成のワーク搬送ロボット
を組み込んだ半導体装置製造用システムの構成を概略的
に示す平面図である。このシステムは、内部が真空に保
持された中央チャンバ11の周囲に4つの半導体装置製
造用プロセスチャンバ11a,11b,11c,11d
を配設してあるとともに、半導体ウェハーを搬入する搬
入部11e、半導体ウェハーを搬出する搬出部11fを
配設してある。なお、それぞれの半導体装置製造用プロ
セスチャンバ、搬入部、搬出部にはアイソレーションゲ
ートバルブが設けられてある。
を組み込んだ半導体装置製造用システムの構成を概略的
に示す平面図である。このシステムは、内部が真空に保
持された中央チャンバ11の周囲に4つの半導体装置製
造用プロセスチャンバ11a,11b,11c,11d
を配設してあるとともに、半導体ウェハーを搬入する搬
入部11e、半導体ウェハーを搬出する搬出部11fを
配設してある。なお、それぞれの半導体装置製造用プロ
セスチャンバ、搬入部、搬出部にはアイソレーションゲ
ートバルブが設けられてある。
【0027】上記の構成の半導体装置製造用システムの
動作を図11の動作説明図および図12のフローチャー
トを参照しながら説明する。ステップSP1,SP2に
おいて、半導体ウェハーを第2ワーク支持台6上に支持
させた状態で半導体装置製造用プロセスチャンバ11b
における処理が終了するまで待つ。この状態において
は、第1、第2アーム2,3が、共に回転中心軸とワー
ク支持台の中心とを結ぶ平面に対してほぼ直角になるよ
うに回転され、第1、第2ワーク支持台5,6が共に回
転軸ユニット1にある程度接近しているとともに、両ワ
ーク支持台5,6が上下方向に正対している{図11中
(A)参照}。
動作を図11の動作説明図および図12のフローチャー
トを参照しながら説明する。ステップSP1,SP2に
おいて、半導体ウェハーを第2ワーク支持台6上に支持
させた状態で半導体装置製造用プロセスチャンバ11b
における処理が終了するまで待つ。この状態において
は、第1、第2アーム2,3が、共に回転中心軸とワー
ク支持台の中心とを結ぶ平面に対してほぼ直角になるよ
うに回転され、第1、第2ワーク支持台5,6が共に回
転軸ユニット1にある程度接近しているとともに、両ワ
ーク支持台5,6が上下方向に正対している{図11中
(A)参照}。
【0028】半導体装置製造用プロセスチャンバ11b
における処理が終了すれば、ステップSP3においてワ
ーク搬送ロボットを動作させることなく、アイソレーシ
ョンゲートバルブを開く{図11中(B)参照}。次い
で、ステップSP4において第1、第2アーム2,3
を、共に回転中心軸とワーク支持台の中心とを結ぶ平面
に接近する方向に回転させることにより第1ワーク支持
台5を半導体装置製造用プロセスチャンバ11b内に侵
入させ、直動用モータ8aを動作させることにより回転
軸ユニット1と共に両ワーク支持台5,6を上昇させて
処理済の半導体ウェハーをワーク支持台5上に支持させ
る。なお、第1、第2アーム2,3の上記動作により、
第2ワーク支持台6は回転中心軸に接近する方向に移動
される{図11中(C)参照}。そして、処理済の半導
体ウェハーを第1ワーク支持台5上に支持させた後は、
第1、第2アーム2,3を前記と逆の方向に回転させ第
1ワーク支持台5を後退させるとともに、両ワーク支持
台5,6を上下方向に正対させる{図11中(D)参
照}。
における処理が終了すれば、ステップSP3においてワ
ーク搬送ロボットを動作させることなく、アイソレーシ
ョンゲートバルブを開く{図11中(B)参照}。次い
で、ステップSP4において第1、第2アーム2,3
を、共に回転中心軸とワーク支持台の中心とを結ぶ平面
に接近する方向に回転させることにより第1ワーク支持
台5を半導体装置製造用プロセスチャンバ11b内に侵
入させ、直動用モータ8aを動作させることにより回転
軸ユニット1と共に両ワーク支持台5,6を上昇させて
処理済の半導体ウェハーをワーク支持台5上に支持させ
る。なお、第1、第2アーム2,3の上記動作により、
第2ワーク支持台6は回転中心軸に接近する方向に移動
される{図11中(C)参照}。そして、処理済の半導
体ウェハーを第1ワーク支持台5上に支持させた後は、
第1、第2アーム2,3を前記と逆の方向に回転させ第
1ワーク支持台5を後退させるとともに、両ワーク支持
台5,6を上下方向に正対させる{図11中(D)参
照}。
【0029】次いで、ステップSP5において第2、第
3アーム3,4をステップSP4の回転方向と逆の回転
方向に回転させることにより第2ワーク支持台6を半導
体装置製造用プロセスチャンバ11b内に侵入させ、直
動用モータ8aを動作させることにより回転軸ユニット
1と共に両ワーク支持台5,6を下降させて処理すべき
半導体ウェハーを半導体装置製造用プロセスチャンバ1
1bに供給する。なお、第1、第2アーム2,3の上記
動作により、第1ワーク支持台5は回転中心軸に接近す
る方向に移動される{図11中(E)参照}。そして、
処理済の半導体ウェハーを半導体装置製造用プロセスチ
ャンバ11bに供給した後は、第1、第2アーム2,3
を前記と逆の方向に回転させ第2ワーク支持台6を後退
させるとともに、両ワーク支持台5,6を上下方向に正
対させる{図11中(F)参照}。
3アーム3,4をステップSP4の回転方向と逆の回転
方向に回転させることにより第2ワーク支持台6を半導
体装置製造用プロセスチャンバ11b内に侵入させ、直
動用モータ8aを動作させることにより回転軸ユニット
1と共に両ワーク支持台5,6を下降させて処理すべき
半導体ウェハーを半導体装置製造用プロセスチャンバ1
1bに供給する。なお、第1、第2アーム2,3の上記
動作により、第1ワーク支持台5は回転中心軸に接近す
る方向に移動される{図11中(E)参照}。そして、
処理済の半導体ウェハーを半導体装置製造用プロセスチ
ャンバ11bに供給した後は、第1、第2アーム2,3
を前記と逆の方向に回転させ第2ワーク支持台6を後退
させるとともに、両ワーク支持台5,6を上下方向に正
対させる{図11中(F)参照}。
【0030】そして、ステップSP6においてワーク搬
送ロボットを動作させることなく、アイソレーションゲ
ートバルブを閉じる{図11中(G)参照}。その後
は、第1、第2アームを互いに同じ方向に同じ角度だけ
回転させることにより両ワーク支持台5,6を他の半導
体装置製造用プロセスチャンバと正対させ、前記と同様
の処理を行って半導体ウェハーの入替えを行うことがで
きる。
送ロボットを動作させることなく、アイソレーションゲ
ートバルブを閉じる{図11中(G)参照}。その後
は、第1、第2アームを互いに同じ方向に同じ角度だけ
回転させることにより両ワーク支持台5,6を他の半導
体装置製造用プロセスチャンバと正対させ、前記と同様
の処理を行って半導体ウェハーの入替えを行うことがで
きる。
【0031】以上の説明から明らかなように、両ワーク
支持台5,6が回転軸ユニット1に関して互いに同じ側
に位置しているのであるから、半導体装置製造用プロセ
スチャンバに対して半導体ウェハーを入替えるに当っ
て、ワーク支持台を180°回転させる動作が不要にな
り、半導体ウェハーを取出した後に直ちに半導体ウェハ
ーを供給することができるので、全体としての処理所要
時間を短縮することができる。また、アイソレーション
ゲートバルブの開閉回数を従来装置の場合と比較して半
減させることができるので、アイソレーションゲートバ
ルブが閉じられていない時間を短縮することができ、こ
の結果、半導体装置製造用プロセスチャンバからアイソ
レーションゲートバルブを通して出てくる不純物パーテ
ィクルを減少させ、高いクリーン度を維持することがで
きる。もちろん、モータにより第1、第2アーム2,3
を駆動するのであるから、構成の複雑化を防止すること
ができる。
支持台5,6が回転軸ユニット1に関して互いに同じ側
に位置しているのであるから、半導体装置製造用プロセ
スチャンバに対して半導体ウェハーを入替えるに当っ
て、ワーク支持台を180°回転させる動作が不要にな
り、半導体ウェハーを取出した後に直ちに半導体ウェハ
ーを供給することができるので、全体としての処理所要
時間を短縮することができる。また、アイソレーション
ゲートバルブの開閉回数を従来装置の場合と比較して半
減させることができるので、アイソレーションゲートバ
ルブが閉じられていない時間を短縮することができ、こ
の結果、半導体装置製造用プロセスチャンバからアイソ
レーションゲートバルブを通して出てくる不純物パーテ
ィクルを減少させ、高いクリーン度を維持することがで
きる。もちろん、モータにより第1、第2アーム2,3
を駆動するのであるから、構成の複雑化を防止すること
ができる。
【0032】図13はこの発明のワーク搬送ロボットの
他の実施態様を示す縦断面図である。この実施態様が前
記実施態様と異なる点は、第1アーム2の両アーム部分
21,22を段違い状ではなく、同一平面上において互
いに逆方向に延びるように構成した点、第1アーム2を
第2アーム3よりも上方に配置した点、第2アーム3の
一方の先端部を回転軸と平行に延設して第1アーム2よ
りも上方において従動アーム3dを回転自在に連結した
点、第2アーム3の他方の先端部の下面に従動アーム3
eを回転自在に連結した点のみである。
他の実施態様を示す縦断面図である。この実施態様が前
記実施態様と異なる点は、第1アーム2の両アーム部分
21,22を段違い状ではなく、同一平面上において互
いに逆方向に延びるように構成した点、第1アーム2を
第2アーム3よりも上方に配置した点、第2アーム3の
一方の先端部を回転軸と平行に延設して第1アーム2よ
りも上方において従動アーム3dを回転自在に連結した
点、第2アーム3の他方の先端部の下面に従動アーム3
eを回転自在に連結した点のみである。
【0033】したがって、この実施態様を採用した場合
には、第1アーム2の構成を簡単化することができるほ
か、両アーム2,3と回転軸ユニット1との連結構成を
も簡単化することができる。そして、前記実施態様と同
様の作用を達成することができる。なお、前記の何れの
実施態様においても、両アーム2,3の長さと従動アー
ム2d,3d,2e,3eの長さを前述のように設定す
ると、ワーク支持台5,6の基部と回転中心軸との距離
が負になる領域が発生する。ここで、距離が回転軸ユニ
ット1の半径よりも小さくなる領域(負になる領域をも
含む)は、何れかのワーク支持台が回転軸ユニット1と
衝突してそれ以上は移動することができない領域である
から、例えば、従動アーム2d,3d,2e,3eの長
さを長く設定することによりこのような領域の発生を未
然に防止することが好ましい。
には、第1アーム2の構成を簡単化することができるほ
か、両アーム2,3と回転軸ユニット1との連結構成を
も簡単化することができる。そして、前記実施態様と同
様の作用を達成することができる。なお、前記の何れの
実施態様においても、両アーム2,3の長さと従動アー
ム2d,3d,2e,3eの長さを前述のように設定す
ると、ワーク支持台5,6の基部と回転中心軸との距離
が負になる領域が発生する。ここで、距離が回転軸ユニ
ット1の半径よりも小さくなる領域(負になる領域をも
含む)は、何れかのワーク支持台が回転軸ユニット1と
衝突してそれ以上は移動することができない領域である
から、例えば、従動アーム2d,3d,2e,3eの長
さを長く設定することによりこのような領域の発生を未
然に防止することが好ましい。
【0034】図14はこの発明のワーク搬送ロボットの
さらに他の実施態様を示す縦断面図である。この実施態
様が図2の実施態様と異なる点は、第2アーム3の一方
の先端部を回転軸と平行に延設して回転軸ユニット1よ
りも上方(正確には、回転軸ユニット1よりも上方かつ
側方)において従動アーム3dを回転自在に連結した
点、第1アーム2の他方の先端部を回転軸と平行に延設
して第2アーム3よりも上方において従動アーム2eを
回転自在に連結した点のみである。
さらに他の実施態様を示す縦断面図である。この実施態
様が図2の実施態様と異なる点は、第2アーム3の一方
の先端部を回転軸と平行に延設して回転軸ユニット1よ
りも上方(正確には、回転軸ユニット1よりも上方かつ
側方)において従動アーム3dを回転自在に連結した
点、第1アーム2の他方の先端部を回転軸と平行に延設
して第2アーム3よりも上方において従動アーム2eを
回転自在に連結した点のみである。
【0035】したがって、この実施態様を採用した場合
には、両ワーク支持台5,6が回転軸ユニット1と全く
衝突し得ない構成になっているので、両アーム2,3の
長さと従動アーム2d,3d,2e,3eの長さを任意
に設定することができ、しかも両アーム2,3および従
動アーム2d,3d,2e,3eにより定まる全範囲に
おいて両ワーク支持台5,6を移動させることができ
る。
には、両ワーク支持台5,6が回転軸ユニット1と全く
衝突し得ない構成になっているので、両アーム2,3の
長さと従動アーム2d,3d,2e,3eの長さを任意
に設定することができ、しかも両アーム2,3および従
動アーム2d,3d,2e,3eにより定まる全範囲に
おいて両ワーク支持台5,6を移動させることができ
る。
【0036】図15はこの発明のワーク搬送ロボットの
さらに他の実施態様を示す縦断面図、図16は第2アー
ム3の構成を示す平面図である。この実施態様において
は、第2アーム3のアーム部分31を直接に連結部30
に連結し、アーム部分32を連結部30を中心とする円
弧状部33を介してアーム部分31の基部に連結してい
る。そして、第1アーム2は、一方のアーム部分が連結
部30と円弧状部33との間隙を通過し得る垂直部を有
し、一方のアーム部分が第2アーム3の下方において、
他方のアーム部分が第2アーム3の上方において回転す
るように構成してある。
さらに他の実施態様を示す縦断面図、図16は第2アー
ム3の構成を示す平面図である。この実施態様において
は、第2アーム3のアーム部分31を直接に連結部30
に連結し、アーム部分32を連結部30を中心とする円
弧状部33を介してアーム部分31の基部に連結してい
る。そして、第1アーム2は、一方のアーム部分が連結
部30と円弧状部33との間隙を通過し得る垂直部を有
し、一方のアーム部分が第2アーム3の下方において、
他方のアーム部分が第2アーム3の上方において回転す
るように構成してある。
【0037】したがって、両アーム2,3は互いに干渉
し合うことなく十分に大きい角度範囲(180°よりも
大きく、かつ360°よりも小さい角度範囲であり、よ
り好ましくは、270°よりも大きく、かつ360°よ
りも小さい角度範囲)内において互いに逆方向に回転可
能である。この結果、図2の実施態様と同様の作用を達
成することができる。
し合うことなく十分に大きい角度範囲(180°よりも
大きく、かつ360°よりも小さい角度範囲であり、よ
り好ましくは、270°よりも大きく、かつ360°よ
りも小さい角度範囲)内において互いに逆方向に回転可
能である。この結果、図2の実施態様と同様の作用を達
成することができる。
【0038】以上には、半導体装置製造システムに適用
した場合についてのみ説明したが、1つの処理部に対し
てワークの入替えを行う必要がある装置であれば同様に
この発明のワーク搬送ロボットを適用することができ、
ワーク入替えの所要時間を短縮することができる。
した場合についてのみ説明したが、1つの処理部に対し
てワークの入替えを行う必要がある装置であれば同様に
この発明のワーク搬送ロボットを適用することができ、
ワーク入替えの所要時間を短縮することができる。
【0039】
【発明の効果】請求項1の発明は、全てのアームを18
0°回転させるような無駄な動作を行わせる必要がなく
なり、ワークの入替えを短時間で達成することができる
という特有の効果を奏する。請求項2の発明は、両アー
ムを互いに干渉し合うことなく動作させることができる
ほか、請求項1と同様の効果を奏する。
0°回転させるような無駄な動作を行わせる必要がなく
なり、ワークの入替えを短時間で達成することができる
という特有の効果を奏する。請求項2の発明は、両アー
ムを互いに干渉し合うことなく動作させることができる
ほか、請求項1と同様の効果を奏する。
【0040】請求項3の発明は、両ワーク支持台を駆動
軸と干渉することなく動作させることができ、アームの
動作範囲に基づいて定まる最大移動範囲内におけるワー
ク支持台の移動を達成することができるほか、請求項1
または請求項2と同様の効果を奏する。請求項4の発明
は、両アームを180°回転させるような無駄な動作を
行わせる必要がなくなり、ワークの入替えを短時間で達
成することができ、また、半導体装置製造用プロセスチ
ャンバのアイソレーションゲートバルブを1回開いた状
態において半導体ウェハーの出入れを達成することがで
きるので、全てのアームを180°回転させる前後にお
いてアイソレーションゲートバルブを開閉する場合と比
較して、アイソレーションゲートバルブが閉じていない
時間を短縮することができ、半導体装置製造用プロセス
チャンバから流出する不純物パーティクルを少なくし、
高いクリーン度を達成することができるという特有の効
果を奏する。
軸と干渉することなく動作させることができ、アームの
動作範囲に基づいて定まる最大移動範囲内におけるワー
ク支持台の移動を達成することができるほか、請求項1
または請求項2と同様の効果を奏する。請求項4の発明
は、両アームを180°回転させるような無駄な動作を
行わせる必要がなくなり、ワークの入替えを短時間で達
成することができ、また、半導体装置製造用プロセスチ
ャンバのアイソレーションゲートバルブを1回開いた状
態において半導体ウェハーの出入れを達成することがで
きるので、全てのアームを180°回転させる前後にお
いてアイソレーションゲートバルブを開閉する場合と比
較して、アイソレーションゲートバルブが閉じていない
時間を短縮することができ、半導体装置製造用プロセス
チャンバから流出する不純物パーティクルを少なくし、
高いクリーン度を達成することができるという特有の効
果を奏する。
【図1】この発明のワーク搬送ロボットの要部を概略的
に示す斜視図である。
に示す斜視図である。
【図2】同***縦断面図である。
【図3】図2のIII−III線断面図である。
【図4】この発明のワーク搬送ロボットの平面図であ
る。
る。
【図5】ワーク搬送ロボットを昇降させる機構を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図6】1対の従動アームの連結構成の一例を示す概略
図である。
図である。
【図7】1対の従動アームの連結構成の他の例を示す概
略図である。
略図である。
【図8】両アーム、従動アーム、両ワーク支持台の関係
を概略的に示す平面図である。
を概略的に示す平面図である。
【図9】回転中心軸とワーク支持台の中心とを結ぶ平面
に対する第2アームのなす角θの変化に対する両ワーク
支持台の基部と回転中心軸との距離の変化を示す図であ
る。
に対する第2アームのなす角θの変化に対する両ワーク
支持台の基部と回転中心軸との距離の変化を示す図であ
る。
【図10】ワーク搬送ロボットを組み込んだ半導体装置
製造用システムの構成を概略的に示す平面図である。
製造用システムの構成を概略的に示す平面図である。
【図11】ワーク搬送ロボットの動作説明図である。
【図12】ワーク搬送ロボットの動作を説明するフロー
チャートである。
チャートである。
【図13】この発明のワーク搬送ロボットの他の実施態
様を示す縦断面図である。
様を示す縦断面図である。
【図14】この発明のワーク搬送ロボットのさらに他の
実施態様を示す縦断面図である。
実施態様を示す縦断面図である。
【図15】この発明のワーク搬送ロボットのさらに他の
実施態様を示す縦断面図である。
実施態様を示す縦断面図である。
【図16】第2アームの構成を示す平面図である。
【図17】従来のワーク搬送ロボットの動作説明図であ
る。
る。
【図18】従来のワーク搬送ロボットの動作を説明する
フローチャートである。
フローチャートである。
2 第1アーム 3 第2アーム 2a,3a アーム回転用モータ 2d,3d,3
e,4e 従動アーム 5 第1ワーク支持台 6 第2ワーク支持台 11a,11b,11c,11d 半導体装置製造用プ
ロセスチャンバ
e,4e 従動アーム 5 第1ワーク支持台 6 第2ワーク支持台 11a,11b,11c,11d 半導体装置製造用プ
ロセスチャンバ
Claims (4)
- 【請求項1】 互いに異なる駆動源(2a)(3a)に
よって互いに平行な平面内において共通の軸周りに回転
駆動される第1、第2のアーム(2)(3)を有し、両
アーム(2)(3)の一方の先端部にそれぞれ一端が回
転可能に連結された1対の従動アーム(2d)(3d)
の他端部にワーク支持台(5)を連結してあり、両アー
ム(3)の他方の先端部にそれぞれ一端が回転可能に連
結された1対の従動アーム(2e)(3e)の他端部に
ワーク支持台(6)を連結してあり、両ワーク支持台
(5)(6)が、前記軸を基準として互いに同じ側に配
設されるように従動アーム(2d)(3d)(2e)
(3e)がそれぞれ第1、第2のアーム(2)(3)に
連結されてあることを特徴とするワーク搬送ロボット。 - 【請求項2】 前記第1、第2のアーム(2)(3)の
少なくとも一方は、回転中心を基準として互いに逆方向
に延びるアーム部分を有しているとともに、両アーム部
分が互いに異なる平面上を回転するように構成されてあ
る請求項1に記載のワーク搬送ロボット。 - 【請求項3】 前記従動アーム(2d)(3d)(2
e)(3e)は、第1、第2のアーム(2)(3)の駆
動軸と干渉しない平面上を回転するように両アーム
(2)(3)と連結されてある請求項1または請求項2
に記載のワーク搬送ロボット。 - 【請求項4】 前記軸を中心としてワーク支持台(5)
(6)の所定の回転位置に対応させて複数個の半導体装
置製造用プロセスチャンバ(11a)(11b)(11
c)(11d)が配設されてあり、一方のワーク支持台
を何れかの半導体装置製造用プロセスチャンバと正対さ
せるに当っては第1、第2のアーム(2)(3)を互い
に同じ方向に、かつ互いに等しい角度だけ回転させ、半
導体装置製造用プロセスチャンバに対する半導体ウェハ
ーの交換を行うに当っては第1、第2のアーム(2)
(3)を互いに逆方向に回転させるべく駆動源(2a)
(3a)を制御する制御手段を有している請求項1から
請求項3の何れかに記載のワーク搬送ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14631796A JPH10581A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | ワーク搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14631796A JPH10581A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | ワーク搬送ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10581A true JPH10581A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15404944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14631796A Pending JPH10581A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | ワーク搬送ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10581A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6247889B1 (en) | 1998-07-31 | 2001-06-19 | Bks Lab. Ltd. | Multiple-shaft power transmission apparatus and wafer transport arm link |
CN100410029C (zh) * | 2006-08-03 | 2008-08-13 | 天津大学 | 可实现整周回转的四自由度混联抓放式机器人机构 |
CN100410028C (zh) * | 2006-08-03 | 2008-08-13 | 天津大学 | 可实现整周回转的四自由度混联抓放式机器人机构 |
JP2011083878A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
JP2011514652A (ja) * | 2007-07-17 | 2011-05-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
CN107000201A (zh) * | 2014-12-26 | 2017-08-01 | 川崎重工业株式会社 | 双臂机器人 |
-
1996
- 1996-06-07 JP JP14631796A patent/JPH10581A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014123761A (ja) * | 2007-07-17 | 2014-07-03 | Brooks Automation Inc | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
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