JPH0372310A - 結像レンズ系 - Google Patents
結像レンズ系Info
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- JPH0372310A JPH0372310A JP20891889A JP20891889A JPH0372310A JP H0372310 A JPH0372310 A JP H0372310A JP 20891889 A JP20891889 A JP 20891889A JP 20891889 A JP20891889 A JP 20891889A JP H0372310 A JPH0372310 A JP H0372310A
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Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、プリント基板の製造等に用いられる露光装
置の結像レンズ系に関する。
置の結像レンズ系に関する。
(従来の技術とその課題)
近年、プリント基板の製造等に用いられる露光装置とし
て、投影式露光装置が採用されるようになってきた。
て、投影式露光装置が採用されるようになってきた。
従来より、この種のレンズ系においてはテレセントリッ
ク系でない通常のレンズが採用されている。したがって
、プリント基板の設置位置や基板表面の開門により、像
に寸法誤差が生じることがある。また製造組立技術の向
上に伴い配線パターンの@細化が要求されるようになっ
てきており、これに対応すべく露光装置のレンズ系の解
像力を高める必要がある。
ク系でない通常のレンズが採用されている。したがって
、プリント基板の設置位置や基板表面の開門により、像
に寸法誤差が生じることがある。また製造組立技術の向
上に伴い配線パターンの@細化が要求されるようになっ
てきており、これに対応すべく露光装置のレンズ系の解
像力を高める必要がある。
投影式露光装置の代表的なものとしては、半導体ウェハ
上にパターンを転写する露光装置(通称ニスチッパ−)
がある。この種の露光装置は、周知のように、テレセン
トリック系のレンズ系を採用することにより像の寸法精
度を高め、画面サイズに比べ物像間距離を大きくすると
ともに、口径比を大きくして解像力を向上させている。
上にパターンを転写する露光装置(通称ニスチッパ−)
がある。この種の露光装置は、周知のように、テレセン
トリック系のレンズ系を採用することにより像の寸法精
度を高め、画面サイズに比べ物像間距離を大きくすると
ともに、口径比を大きくして解像力を向上させている。
しかしながら、プリント基板の製造等に用いられる露光
装置において要求される画面サイズはステッパーの画面
サイズに比べてかなり大きく、ステッパーのレンズ系を
そのまま適用してプリント基板の製造等に必要な画面サ
イズを満足しようとすると、巨大なレンズが必要となり
、露光装置が大型化するという問題がある。
装置において要求される画面サイズはステッパーの画面
サイズに比べてかなり大きく、ステッパーのレンズ系を
そのまま適用してプリント基板の製造等に必要な画面サ
イズを満足しようとすると、巨大なレンズが必要となり
、露光装置が大型化するという問題がある。
また、画面サイズの観点からみると、プリント基板の製
造丑に用いられる露光装置のレンズ系として、輪郭投影
機のレンズ系を採用することが考えられるが、輪郭投影
機のレンズ系は十分な画面サイズを備えているものの、
口径比が小さく必要な解像力が得られないという問題が
ある。
造丑に用いられる露光装置のレンズ系として、輪郭投影
機のレンズ系を採用することが考えられるが、輪郭投影
機のレンズ系は十分な画面サイズを備えているものの、
口径比が小さく必要な解像力が得られないという問題が
ある。
(発明の目的)
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので
、小さな物像間距離で、しかも口径比が大きく高解像力
を有しかつ大きな画面サイズが得られる結像レンズ系を
提供することを[1的とする。
、小さな物像間距離で、しかも口径比が大きく高解像力
を有しかつ大きな画面サイズが得られる結像レンズ系を
提供することを[1的とする。
(目的を達成するための手段)
この発明にかかる結像レンズ系は、上記11的を達成す
るために、物体側から順次配置された前側レンズ群、絞
りおよび後側レンズ群により構成されている。即ち、前
側レンズ群は物体側に凸面を向けた正のパワーを有する
第1レンズと、前記第1レンズの像側に配置され、物体
側に凸面を向けた正のパワーを有する第2レンズ乏、前
記第2レンズの像側に配置され、凹「口を像側に向けた
負のパワーを有する第3レンズとで構成される一方、後
側レンズ群は前記前側レンズ群の像側に配置され、物体
側に凹面を向けた負のパワーを有する第4レンズと、前
記第4レンズの像側に配置され、f11而を像側に向け
た正のパワーを有する第5レンズと、前記第5レンズの
像側に配置され、凸面を像側に向りた正のパワーを合す
る第6レンズと、前記第6レンズの像側に配置され、凸
面を物体側に向けた正のパワーを有する第7レンズとで
構成されている。また、絞りは前記後側レンズ群の前側
合成焦点位置に配置されている。さらに、前記第3およ
び第4レンズの厚みをそれぞれd5゜d8とし、全系の
レンズ長をTLとし、前記第1および第7レンズのd線
についての屈折率をそれぞれn 、n7とするとき、
結像レンズ系は(d +d8)/TL>0.15
・・・(2)の各条件を満足している。
るために、物体側から順次配置された前側レンズ群、絞
りおよび後側レンズ群により構成されている。即ち、前
側レンズ群は物体側に凸面を向けた正のパワーを有する
第1レンズと、前記第1レンズの像側に配置され、物体
側に凸面を向けた正のパワーを有する第2レンズ乏、前
記第2レンズの像側に配置され、凹「口を像側に向けた
負のパワーを有する第3レンズとで構成される一方、後
側レンズ群は前記前側レンズ群の像側に配置され、物体
側に凹面を向けた負のパワーを有する第4レンズと、前
記第4レンズの像側に配置され、f11而を像側に向け
た正のパワーを有する第5レンズと、前記第5レンズの
像側に配置され、凸面を像側に向りた正のパワーを合す
る第6レンズと、前記第6レンズの像側に配置され、凸
面を物体側に向けた正のパワーを有する第7レンズとで
構成されている。また、絞りは前記後側レンズ群の前側
合成焦点位置に配置されている。さらに、前記第3およ
び第4レンズの厚みをそれぞれd5゜d8とし、全系の
レンズ長をTLとし、前記第1および第7レンズのd線
についての屈折率をそれぞれn 、n7とするとき、
結像レンズ系は(d +d8)/TL>0.15
・・・(2)の各条件を満足している。
(作用)
一般的に、結像レンズ系を構成する凸レンズの屈折率が
低いと平均像面は、レンズ側に湾曲する傾向があり、一
定の物像間距離に対【7て画面サイズを広げるためには
、まず像面の平坦性を改善する必要がある。
低いと平均像面は、レンズ側に湾曲する傾向があり、一
定の物像間距離に対【7て画面サイズを広げるためには
、まず像面の平坦性を改善する必要がある。
像面の平lEl性を改善するためには、凸レンズの屈折
率を高く設定することが望ましい。しかしながら、光学
ガラスは屈折率が高くなるに従い分散値νが小さくなる
傾向を有しているため、高い屈折率のガラスが望ましい
といっても結像レンズ系に使用する場合には色収差を補
正する必要があるので、その選択範囲にはおのずから制
約がある。
率を高く設定することが望ましい。しかしながら、光学
ガラスは屈折率が高くなるに従い分散値νが小さくなる
傾向を有しているため、高い屈折率のガラスが望ましい
といっても結像レンズ系に使用する場合には色収差を補
正する必要があるので、その選択範囲にはおのずから制
約がある。
特に、絞りに対し最も外側にある第1および第7レンズ
(凸レンズ)には、画面周辺部に結像する光束がそのレ
ンズ周辺部を通過するため、像面の平坦性に対する屈折
率の影響が大きい。したがって、少なくとも第1および
第7レンズには、 1.7以上の屈折率を持った光学ガ
ラスを使用する必要があり、上記(1)式を満足するこ
とが要求される。
(凸レンズ)には、画面周辺部に結像する光束がそのレ
ンズ周辺部を通過するため、像面の平坦性に対する屈折
率の影響が大きい。したがって、少なくとも第1および
第7レンズには、 1.7以上の屈折率を持った光学ガ
ラスを使用する必要があり、上記(1)式を満足するこ
とが要求される。
ところで、平均像面が平坦になったとしても、それは子
午的像面(メリジオナル像面)と球欠的像面(サジタル
像面)との平均を意味するものであって、それぞれの像
面が平坦になることを意味するものではない。上記で述
べたように、画像周辺部の結像に寄与する光束は第1お
よび第7レンズ(凸レンズ)の周辺部を通過するため、
画像周辺部の子午的像面(メリジオナル像面)の湾曲が
大きくなりがちである。この状態を補正するため、本発
明では結像レンズ系の中央部にある第3および第4レン
ズ(凹レンズ)のレンズ厚(中心厚)を厚くすることに
よって解決した。すなわち、第3および第4のレンズ厚
が薄いと、像面の各点を形成する光線群の大部分がレン
ズの曲面上で重なる。そのため、第3および第4レンズ
の発散作用を強め、周辺部の子午的像面(メリジオナル
像面)の湾曲を補正しようとすると、画像の周辺部のみ
ならず中間部にも同程度の補正効果が加わってしまう。
午的像面(メリジオナル像面)と球欠的像面(サジタル
像面)との平均を意味するものであって、それぞれの像
面が平坦になることを意味するものではない。上記で述
べたように、画像周辺部の結像に寄与する光束は第1お
よび第7レンズ(凸レンズ)の周辺部を通過するため、
画像周辺部の子午的像面(メリジオナル像面)の湾曲が
大きくなりがちである。この状態を補正するため、本発
明では結像レンズ系の中央部にある第3および第4レン
ズ(凹レンズ)のレンズ厚(中心厚)を厚くすることに
よって解決した。すなわち、第3および第4のレンズ厚
が薄いと、像面の各点を形成する光線群の大部分がレン
ズの曲面上で重なる。そのため、第3および第4レンズ
の発散作用を強め、周辺部の子午的像面(メリジオナル
像面)の湾曲を補正しようとすると、画像の周辺部のみ
ならず中間部にも同程度の補正効果が加わってしまう。
その結果、画像周辺部は最適に補正されても、画像中間
部の補正が過剰となって通常のガウス型のレンズ系のよ
うにコマ収差が増大し、画像のコントラストが低下する
。これに対して、第3および第4レンズの中心厚を大き
く設定すると、画像中間部の結像に寄与する光線群と、
画像周辺部の結像に寄与する光線群が分離される。そし
て、第3レンズの物体側に向けられた面と第4レンズの
像側に向けられた面とによる発・数件用が画像周辺部の
結像に寄与する光線群にのみ強く作用し、結果的に画像
周辺部の子午的像面(メリジオナル像面)が補正されて
子午的像面(メリジオナル像面)が平坦化される。それ
故、レンズ長TLに対し、第3および第4レンズのレン
ズ厚の和を1.5割以上は保つ必要があり、上記(2)
式を満足することが要求される。
部の補正が過剰となって通常のガウス型のレンズ系のよ
うにコマ収差が増大し、画像のコントラストが低下する
。これに対して、第3および第4レンズの中心厚を大き
く設定すると、画像中間部の結像に寄与する光線群と、
画像周辺部の結像に寄与する光線群が分離される。そし
て、第3レンズの物体側に向けられた面と第4レンズの
像側に向けられた面とによる発・数件用が画像周辺部の
結像に寄与する光線群にのみ強く作用し、結果的に画像
周辺部の子午的像面(メリジオナル像面)が補正されて
子午的像面(メリジオナル像面)が平坦化される。それ
故、レンズ長TLに対し、第3および第4レンズのレン
ズ厚の和を1.5割以上は保つ必要があり、上記(2)
式を満足することが要求される。
(実施例)
以下、本発明にかかる結像レンズ系の第1ないし第5実
施例について説明する。第1図、第3図。
施例について説明する。第1図、第3図。
第5図、第7図、第9図はそれぞれ第1ないし第5実施
例の結像レンズ系の構成を示す図である。
例の結像レンズ系の構成を示す図である。
これらの図かられかるように、いずれの結像レンズ系も
前側レンズ群L と、後側レンズ群LRと、後側レンズ
群LRの前側合成焦点位置に一致するように前側レンズ
群LPと後側レンズ群LRの間に配置された絞り(図示
省略)により構成されており、図面上、前側レンズ群り
、の左手側が物体側であり、後側レンズ群LRの右手側
が像側である。
前側レンズ群L と、後側レンズ群LRと、後側レンズ
群LRの前側合成焦点位置に一致するように前側レンズ
群LPと後側レンズ群LRの間に配置された絞り(図示
省略)により構成されており、図面上、前側レンズ群り
、の左手側が物体側であり、後側レンズ群LRの右手側
が像側である。
また、各前側レンズ群り、は物体側に凸面R1゜R3を
向けた正のパワーを有する第1.第2レンズL、L2と
、像゛面側に凹面R6を向けた負のパワーを有する第3
レンズL3とにより構成されており、これらレンズL
−L3は物体側よりある間隔(後で詳説する)をもって
順次配置されている。一方、後側レンズデータは物体側
に凹面R8を向けた負のパワーを有する第4レンズL4
と、像面側に凸面RRを向けた正のパワーを有11’
13 する第5.第6レンズL 、L と、物体側に凸B 面R14を向けた正のパワーを有する第7レンズL7と
により構成されており、これらレンズL4〜L7は物体
側よりある間隔(後で詳説する)をもって順次配置され
ている。
向けた正のパワーを有する第1.第2レンズL、L2と
、像゛面側に凹面R6を向けた負のパワーを有する第3
レンズL3とにより構成されており、これらレンズL
−L3は物体側よりある間隔(後で詳説する)をもって
順次配置されている。一方、後側レンズデータは物体側
に凹面R8を向けた負のパワーを有する第4レンズL4
と、像面側に凸面RRを向けた正のパワーを有11’
13 する第5.第6レンズL 、L と、物体側に凸B 面R14を向けた正のパワーを有する第7レンズL7と
により構成されており、これらレンズL4〜L7は物体
側よりある間隔(後で詳説する)をもって順次配置され
ている。
A、第1実施例
第1表は上記のように構成された結像レンズ系のレンズ
データを示すものである。
データを示すものである。
(以下余白)
第1表
同表においてrI(1m1.2.・・・、6,8.・・
・、15)はレンズの曲率半径を示すものであり、例え
ばrlは第1レンズL の凸面R1の144(率半径で
あり、rl 2は第1レンズL の像面側を向いた面R2の曲率半径
である。d 、d3.d5.d8.d(o。
・、15)はレンズの曲率半径を示すものであり、例え
ばrlは第1レンズL の凸面R1の144(率半径で
あり、rl 2は第1レンズL の像面側を向いた面R2の曲率半径
である。d 、d3.d5.d8.d(o。
d12”14は第1ないし第7レンズL i ”’ L
7の厚みをそれぞれ示し、d 、d4は第1ないし
第3レンズL −L3の隣り合うレンズ間の面間隔を
それぞれ示し、d 、d 、d は第4ないし9
11 13 第7レンズL −L7の隣り合うレンズ間の面間隔を
それぞれ示し、さらにd は第3レンズL3と絞り(後
側レンズ群LRの前側合成焦点位置)との距離、d は
第4レンズL4と絞りとの距離をそれぞれ示している。
7の厚みをそれぞれ示し、d 、d4は第1ないし
第3レンズL −L3の隣り合うレンズ間の面間隔を
それぞれ示し、d 、d 、d は第4ないし9
11 13 第7レンズL −L7の隣り合うレンズ間の面間隔を
それぞれ示し、さらにd は第3レンズL3と絞り(後
側レンズ群LRの前側合成焦点位置)との距離、d は
第4レンズL4と絞りとの距離をそれぞれ示している。
また、01〜n7はd線(587,56nw+)につい
ての第1ないし第7レンズL1〜L7の屈折率をそれぞ
れ示している。さらに、νl〜シフは第1ないし第7レ
ンズL t ””” L 7の分散値をそれぞれ示して
いる。
ての第1ないし第7レンズL1〜L7の屈折率をそれぞ
れ示している。さらに、νl〜シフは第1ないし第7レ
ンズL t ””” L 7の分散値をそれぞれ示して
いる。
(またがって、同表かられかるように、第1.第7レン
ズの屈折率n 、n7は、 ■ n l−1、744> 1 、7 n 7− 1.744 > 1.7 てあり、結像レンズ系が上記(1)式を満足することは
明らかである。
ズの屈折率n 、n7は、 ■ n l−1、744> 1 、7 n 7− 1.744 > 1.7 てあり、結像レンズ系が上記(1)式を満足することは
明らかである。
また、」二記のように構成された結像レンズ系のレンズ
長TLは、 TL″″モ d、−32・8464 であるため、値((d5+d8)/TL)は、(d5+
d8) /TL−0,23> 0.15となり、この
結像レンズ系が上記 (2)式も満足していることは明
らかである。
長TLは、 TL″″モ d、−32・8464 であるため、値((d5+d8)/TL)は、(d5+
d8) /TL−0,23> 0.15となり、この
結像レンズ系が上記 (2)式も満足していることは明
らかである。
上記レンズデータを有する結像レンズ系の焦点距離f、
全画角2θ、物像間距離10D、実効F値F 1倍率M
は O f −34,87372θ−19゜ 10D−100,00、FNo−4 M−0,5 にそれぞれ設定されている。
全画角2θ、物像間距離10D、実効F値F 1倍率M
は O f −34,87372θ−19゜ 10D−100,00、FNo−4 M−0,5 にそれぞれ設定されている。
第2A図、第2B図、第2C図は、上記のように構成さ
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。なお、第2A図において符号
C,d、FはそれぞれC線(658,27nm)、 d
線(5g7.56nm)、 F線(486,13nm)
についての球面収差を示している。また、第2B図にお
いて符号S(実線)はd線についての球欠的像面(サジ
タル像面)の非点収差を示し、符号M(点線)はその子
午的像面(メリジオナル像1fii)の非点収差を示し
ている。
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。なお、第2A図において符号
C,d、FはそれぞれC線(658,27nm)、 d
線(5g7.56nm)、 F線(486,13nm)
についての球面収差を示している。また、第2B図にお
いて符号S(実線)はd線についての球欠的像面(サジ
タル像面)の非点収差を示し、符号M(点線)はその子
午的像面(メリジオナル像1fii)の非点収差を示し
ている。
なお、後で述べる実施例においては上記と同一符号を付
し、その説明を省略する。
し、その説明を省略する。
B、第2実施例
第2表は第2実施例にかかる結像レンズ系のレンズデー
タを示すものである。
タを示すものである。
(以F余自)
第
2
表
同表かられかるように、第1.第7レンズL1゜L の
屈折率n 、n7は、 1 n l−1,744> 1.7 n 7− 1.720 > 1.7 であるので、結像レンズ系が上記(1)式を満足するこ
とは明らかである。
屈折率n 、n7は、 1 n l−1,744> 1.7 n 7− 1.720 > 1.7 であるので、結像レンズ系が上記(1)式を満足するこ
とは明らかである。
また、上記のように構成された結像レンズ系のレンズ長
TLは、 lヰ TL−Σd 、 −21,4327 に1 であるため、値((d5+d8)/TL)は、(d5+
d8) /TL −0,196> 0.15となり、
この結像レンズ系が上記(2)式も満足していることは
明らかである。
TLは、 lヰ TL−Σd 、 −21,4327 に1 であるため、値((d5+d8)/TL)は、(d5+
d8) /TL −0,196> 0.15となり、
この結像レンズ系が上記(2)式も満足していることは
明らかである。
また、上記レンズデータを有する結像レンズ系の黒点距
離f、全画角2θ、物像間距#IOD。
離f、全画角2θ、物像間距#IOD。
実効F lia F 、 倍率M ハO
f −17,04192θ■16″
10 D −100,00、F No−2,8M−0,
2 にそれぞれ設定されている。
2 にそれぞれ設定されている。
第4A図、第4B図、第4C図は、上記のように構成さ
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。
C1第3実施例
第3表は第3実施例にかかる結像レンズ系のレンズデー
タを示すものである。
タを示すものである。
第
表
(以下余白)
同表かられかるように、第1.第7レンズL1゜L の
屈折率rl 、n7は、 1 n 1−1.744 > L−7 n 7−ml、 、 720 > 1−7であるので
、結像レンズ系が上記(1)式を満足することは明らか
である。
屈折率rl 、n7は、 1 n 1−1.744 > L−7 n 7−ml、 、 720 > 1−7であるので
、結像レンズ系が上記(1)式を満足することは明らか
である。
また、上記のように構成された結像レンズ系のレンズ長
TLは、 TL−−Σ d 、 −]、4.2229+”1 であるため、値f (d5+d8)/TLI は、(d
5+d8) /TL −0,194> 0.15とな
り、この結像レンズ系が上記(2)式も満足しているこ
とは明らかである。
TLは、 TL−−Σ d 、 −]、4.2229+”1 であるため、値f (d5+d8)/TLI は、(d
5+d8) /TL −0,194> 0.15とな
り、この結像レンズ系が上記(2)式も満足しているこ
とは明らかである。
また、上記レンズデータを有する結像レンズ系の焦点距
離f、全画角2θ、物像間距MIOD。
離f、全画角2θ、物像間距MIOD。
実効F(aF 、倍率Mは
O
f −11,81502θ−16″
10D−100,00、FNo−2
M−0,1
にそれぞれ設定されている。
第6A図、第6B図、第6C図は、上記のように構成さ
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。
D、第4実施例
第4表は第4実施例にかかる結像レンズ系のレンズデー
タを示すものである。
タを示すものである。
(以下余白)
第
表
同表かられかるように、第1.第7レンズL1゜L の
屈折率n 、n7は、 1 n l−1、744> 1−7 n y−1,744> 1..7 であるので、結像レンズ系が上記(1)式を満足するこ
とは明らかである。
屈折率n 、n7は、 1 n l−1、744> 1−7 n y−1,744> 1..7 であるので、結像レンズ系が上記(1)式を満足するこ
とは明らかである。
また、上記のように構成された結像レンズ系のレンズ長
TLは、 4 TL″″、Xd、″ 31.2960 であるため、値((d +d8)/TLI は、(d
5+d8) /TL −0,248> 0.15となり
、この結像レンズ系が上記(2)式も満足していること
は明らかである。
TLは、 4 TL″″、Xd、″ 31.2960 であるため、値((d +d8)/TLI は、(d
5+d8) /TL −0,248> 0.15となり
、この結像レンズ系が上記(2)式も満足していること
は明らかである。
また、上記レンズデータを有する結像レンズ系の焦点距
離f、全画角2θ、物像間距離NOD。
離f、全画角2θ、物像間距離NOD。
実効FfliF 、倍率Mは
N。
f −34,292820−19″
l0D−100,00,FNo−4
M−0,5
にそれぞれ設定されている。
第8A図、第8B図、第8C図は、上記のように構成さ
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。なお第8A図において符号g
、hはそれぞれg線(435,83nn+)、 h線
(404,86nm)についての球面収差を示している
。
れた結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪曲収差
をそれぞれ示す図である。なお第8A図において符号g
、hはそれぞれg線(435,83nn+)、 h線
(404,86nm)についての球面収差を示している
。
E、第5実施例
第5表は第5実施例にかかる結像レンズ系のレンズデー
タを示すものである。
タを示すものである。
(以下余白)
第
表
同表かられかるように、第1.第7レンズLI。
L の屈折率n 、n7は、
1
n 1−1.74810 > 1.7n r−1,7
4810> 1.7 であるので、結像レンズ系が上記(1)式を満足するこ
とは明らかである。
4810> 1.7 であるので、結像レンズ系が上記(1)式を満足するこ
とは明らかである。
また、上記のように構成された結像レンズ系のレンズ長
TLは、 +4 TL−Σd、 −29,5729 コ1 であるため、値[(d5+d8)/TLI は、(d5
+d8)/TL−0,161> 0.15となり、こ
の結像レンズ系が上記(2)式も満足していることは明
らかである。
TLは、 +4 TL−Σd、 −29,5729 コ1 であるため、値[(d5+d8)/TLI は、(d5
+d8)/TL−0,161> 0.15となり、こ
の結像レンズ系が上記(2)式も満足していることは明
らかである。
また、上記レンズデータを有する結像レンズ系の黒点距
離f、全画角2θ、物像間距離10D。
離f、全画角2θ、物像間距離10D。
実効FliiF 、倍率Mは
O
f −29,305920−20@
10D−LOo、00 、 FNo−4M−0,
5 にそれぞれ設定されている。
5 にそれぞれ設定されている。
第10A図、第10B図、第10C図は、上記のように
構成された結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪
曲収差をそれぞれ示す図である。
構成された結像レンズ系の球面収差、非点収差および歪
曲収差をそれぞれ示す図である。
F、実施例の効果
上記の収差図かられかるように、いずれの実施例も口径
比が大きく(実効F値が小さく)高解像力を有し、しか
も画面サイズ(全画角2θ)が大きい。また、結像レン
ズ系はテレセントリック系であるので、像の寸法誤差を
小さく抑えることができる。さらに、第1ないし第3実
施例では、第2A図、第4A図、第6A図に示すように
、可視光について色収差が良好に補正されている。また
第4および第5実施例では、第8A図、第1OA図に示
すように、g、h線について色収差が良好に補正されて
いる。
比が大きく(実効F値が小さく)高解像力を有し、しか
も画面サイズ(全画角2θ)が大きい。また、結像レン
ズ系はテレセントリック系であるので、像の寸法誤差を
小さく抑えることができる。さらに、第1ないし第3実
施例では、第2A図、第4A図、第6A図に示すように
、可視光について色収差が良好に補正されている。また
第4および第5実施例では、第8A図、第1OA図に示
すように、g、h線について色収差が良好に補正されて
いる。
また、第1表ないし第5表かられかるように、各レンズ
L −L5はそれぞれ所定間隔をもって離隔されてお
り、接合面が存在しない。そのため、結像レンズ系を構
成するにあたって接着剤を使用する必要がなく、接着剤
を使用した場合に生じる問題、例えば接着剤の経年変化
による透過十の低ドが発生ずるおそれがない。
L −L5はそれぞれ所定間隔をもって離隔されてお
り、接合面が存在しない。そのため、結像レンズ系を構
成するにあたって接着剤を使用する必要がなく、接着剤
を使用した場合に生じる問題、例えば接着剤の経年変化
による透過十の低ドが発生ずるおそれがない。
(発明の効果)
以上のように、本発明によれば、小さな物像間1?[[
て、1.かも口径比が大きく高解像力を有し、か−)大
きな画面サイズが得られる結像レンズ系を提供すること
ができる。
て、1.かも口径比が大きく高解像力を有し、か−)大
きな画面サイズが得られる結像レンズ系を提供すること
ができる。
第1図、第3図、第5図、第7図および第9図はそれぞ
れこの発明にかかる結像レンズ系の第1ないし第5実施
例のレンズ構成を示す図、第2A図、第4A図、第6A
図、第8A図および第1 (’)A図はそれぞれ第1な
いし第5実施例の球面収差図、第2B図、第4B図、第
6B図、第8B図および第10B図はそれぞれ第1ない
し第5実施例の非点収差図、第2C図1第4C図、第6
C図。 第8C図および第10C図はそれぞれ第1ないし第5夫
施例の歪曲収差図である。 L ・・・前側レンズ群、 Ll・・・第1レンズ、・
・・第2レンズ、 ・・・第4レンズ、 ・・・第6レンズ、 ・・・後側レンズ群 L3・・・第3レンズ、 L5・・・第5レンズ、 Ll・・・第7レンズ、
れこの発明にかかる結像レンズ系の第1ないし第5実施
例のレンズ構成を示す図、第2A図、第4A図、第6A
図、第8A図および第1 (’)A図はそれぞれ第1な
いし第5実施例の球面収差図、第2B図、第4B図、第
6B図、第8B図および第10B図はそれぞれ第1ない
し第5実施例の非点収差図、第2C図1第4C図、第6
C図。 第8C図および第10C図はそれぞれ第1ないし第5夫
施例の歪曲収差図である。 L ・・・前側レンズ群、 Ll・・・第1レンズ、・
・・第2レンズ、 ・・・第4レンズ、 ・・・第6レンズ、 ・・・後側レンズ群 L3・・・第3レンズ、 L5・・・第5レンズ、 Ll・・・第7レンズ、
Claims (1)
- (1)物体側に凸面を向けた正のパワーを有する第1レ
ンズと、前記第1レンズの像側に配置され、物体側に凸
面を向けた正のパワーを有する第2レンズと、前記第2
レンズの像側に配置され、凹面を像側に向けた負のパワ
ーを有する第3レンズとからなる前側レンズ群と、 前記前側レンズ群の像側に配置され、物体側に凹面を向
けた負のパワーを有する第4レンズと、前記第4レンズ
の像側に配置され、凸面を像側に向けた正のパワーを有
する第5レンズと、前記第5レンズの像側に配置され、
凸面を像側に向けた正のパワーを有する第6レンズと、
前記第6レンズの像側に配置され、凸面を物体側に向け
た正のパワーを有する第7レンズとからなる後側レンズ
群と、 前記後側レンズ群の前側合成焦点位置に一致するように
前記前側レンズ群と前記後側レンズ群の間に配置された
絞りとにより構成され、 前記第3および第4レンズの厚みをそれぞれd_5、d
_8とし、全系のレンズ長をTLとし、前記第1および
第7レンズのd線の屈折率をそれぞれn_1、n_7と
するとき、n_1>1.7} n_7>1.7・・・(1) (d_5+d_8)/TL>0.15・・・(2)の各
条件を満足することを特徴とする結像レンズ系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20891889A JPH0372310A (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 結像レンズ系 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20891889A JPH0372310A (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 結像レンズ系 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0372310A true JPH0372310A (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=16564278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20891889A Pending JPH0372310A (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 結像レンズ系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0372310A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006065141A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Nidec Copal Corp | テレセントリックレンズ |
JP2007192973A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Nikon Corp | テレセントリック対物レンズ |
JP2010139839A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Mejiro Precision:Kk | 投影光学系 |
JP6489515B1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-03-27 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッド | 撮像光学レンズ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5458038A (en) * | 1977-10-17 | 1979-05-10 | Olympus Optical Co Ltd | Objective lens for microscope |
JPS6370818A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Minolta Camera Co Ltd | 拡大接写用レンズ |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP20891889A patent/JPH0372310A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5458038A (en) * | 1977-10-17 | 1979-05-10 | Olympus Optical Co Ltd | Objective lens for microscope |
JPS6370818A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Minolta Camera Co Ltd | 拡大接写用レンズ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006065141A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Nidec Copal Corp | テレセントリックレンズ |
JP4689212B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2011-05-25 | 日本電産コパル株式会社 | テレセントリックレンズ |
JP2007192973A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Nikon Corp | テレセントリック対物レンズ |
JP2010139839A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Mejiro Precision:Kk | 投影光学系 |
JP6489515B1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-03-27 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッド | 撮像光学レンズ |
JP2019159298A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッド | 撮像光学レンズ |
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