JP6511701B2 - 投影光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
但し、その場合には、複数のスペクトル光に対して色消しされた光学系を実現する必要がある。
大面積の露光領域に対応させる場合には、そのスケールに応じて焦点距離が長くなり、焦点距離に比例して軸上色収差の2次スペクトルが大きくなるので、特許文献1、2及び3に記載されたように、屈折タイプでは補正し切れず、一方、色収差の補正が比較的容易だとされた反射屈折タイプでは装置が大型化するので取扱いし難くなるからである。
物体側および像側の両側にほぼテレセントリックな屈折タイプの縮小投影光学系において、
物体側より順に、光軸に沿って、正の屈折力を有する第1レンズ群と、第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、前記第1レンズ群と前記第3レンズ群との間に配置された、系の開口数(NA)を決定する可変開口絞りとで構成され、
前記第2レンズ群は、νd=(nd−1)/(nF−nC)の条件式で、
νd>65を満たす正レンズを少なくとも2枚含み、且つ
νd<50を満たす負レンズを少なくとも2枚含み、
さらに、各レンズ群が
0.05<f1/L<1.3
|f2|/L>0.8
0.03<f3/L<0.8
の条件式を満足することを特徴とする投影光学系;
但し
νd:逆分散率、光学ガラスの分散程度を表現する定数
nF:F線(波長486nm)に対する屈折率
nd:d線(波長587nm)に対する屈折率
nC:C線(波長656nm)に対する屈折率
f1:第1レンズ群の焦点距離
f2:第2レンズ群の焦点距離
f3:第3レンズ群の焦点距離
L :物体から結像までの距離
である。
細かく言えば、
中央の第2レンズ群が、νd=(nd−1)/(nF−nC)の条件式で、
νd>65を満たす正レンズを少なくとも2枚含み、且つ
νd<50を満たす負レンズを少なくとも2枚含むことで、
色収差のうち、軸上色収差を十分に小さく抑えつつ、二次スペクトルを補正できる。
0.05<f1/L<1.3
と設定することで、
テレセントリック性を確保しながら、倍率色収差の劣化を抑えることができる。この下限を下回ると、光線が発散し易くなって、所望の投影倍率で投影したときに、テレセントリック性が確保し難くなる。一方、この上限を上回ると、逆に光線が収束し易くなって、同様に、テレセントリック性が確保し難くなる。
|f2|/L>0.8
と設定することで、
上記したνdの条件式と併用することで、軸上色収差、特に二次スペクトルを効果的に補正できる。
また、球面収差を抑え、ペッツバール和を小さくして像面湾曲を抑えることで、他の収差とのバランスを維持できる。
0.03<f3/L<0.8
と設定することで、
テレセントリック性を確保しながら、倍率色収差の劣化を抑えることができる。この下限を下回ると、光線が収束し易くなって、所望の投影倍率で投影したときに、テレセントリック性が確保し難くなる。一方、この上限を上回ると、逆に光線が発散し易くなって、同様に、テレセントリック性が確保し難くなる。
また、この下限を下回ると、内向きコマ収差が発生し、且つ、ペッツバール和が小さくなりすぎて、像面湾曲の補正が不足する。一方、この上限を上回ると、外向きコマ収差が発生し、且つ、ペッツバール和が大きくなりすぎて、像面湾曲が過剰補正される。
物体側より順に、光軸に沿って、正の屈折力を有する第1レンズ群と、第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、前記第1レンズ群と前記第3レンズ群との間に配置された、系の開口数(NA)を決定する可変開口絞りとで構成され、
前記第2レンズ群は、νd=(nd−1)/(nF−nC)の条件式で、
νd>65を満たす正レンズを少なくとも2枚含み、且つ
νd<50を満たす負レンズを少なくとも2枚含み、
さらに、各レンズ群が
0.05<f1/L<1.3
|f2|/L>0.8
0.03<f3/L<0.8
の条件式を満足することを特徴とする投影光学系;
但し
νd:逆分散率、光学ガラスの分散程度を表現する定数
nF:F線(波長486nm)に対する屈折率
nd:d線(波長587nm)に対する屈折率
nC:C線(波長656nm)に対する屈折率
f1:第1レンズ群の焦点距離
f2:第2レンズ群の焦点距離
f3:第3レンズ群の焦点距離
L :物体から結像までの距離
である。
第2レンズ群は、
nd<1.65を満たす正レンズを少なくとも2枚含み、且つ
nd>1.50を満たす負レンズを少なくとも2枚含む。
このように設定することで、中央の第2レンズ群の球面収差、特に高次球面収差を抑えると共に、ペッツバール和を確実に小さくして像面湾曲を抑えることで、他の諸収差とのバランスを高いレベルで維持できる。
第3レンズ群は、
結像面に最も近いレンズが、結像面側に凹面を持つ負レンズであり、
nd>1.50
νd>40
0.6<ri/ti<5.0
の条件式を満足する;
但し、
ri:像面に向けたレンズ曲面の曲率半径
ti:像面に向けたレンズ曲面から結像面までの距離
である。
このように設定することで、コマ収差の劣化を抑えながら、倍率色収差の劣化を抑えることができる。この下限を下回ると、内向きコマ収差が発生し、且つ、倍率色収差が過剰補正される。一方、この上限を上回ると、外向きコマ収差が発生し、且つ、倍率色収差の補正が不足する。
第3レンズ群は、
νd<60を満たす正レンズを少なくとも1枚含む。
このように設定することで、倍率色収差と軸上の色収差および2次スペクトルの劣化を効果的に抑えることができる。
第1レンズ群は、
νd<60を満たす正レンズを少なくとも1枚含む。
このように設定することで、軸上色収差、特に二次スペクトルを効果的に補正できる。
絞りを第1レンズ群と第2レンズ群との間に配置した。
このように設定することで、オリジナルのコマ収差を抑えて、テレセントリック性を確保できる。
系の構成レンズの総枚数が、10枚以上24枚以下である。
上記総枚数で、広い露光領域において、収差を良好に補正することができるので、コストと収差補正のバランスを取れる。
この実施の形態では、レティクル(物体)と基板(像)の間に、レティクル側から第1レンズ群(G1)、絞り(AS)、第2レンズ群(G2)、第3レンズ群(G3)の順に配置した。構成レンズの総枚数は、16枚である。
第1レンズ群(G1)は、正の屈折力を有し、3枚のレンズL1〜L3で構成されている。レンズL1は像側に凸面を向けた正レンズ、レンズL2は物体側に凸面を向けた正レンズ、レンズL3は物体側に凹面を向けた負レンズで構成されている。
第2レンズ群(G2)は、8枚のレンズL4〜L11で構成されている。レンズL4は像側に凹面を向けた負レンズ、レンズL5は両凸レンズ、レンズL6は物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ、レンズL7は像側に凸面を向けた正レンズ、レンズL8は物体側に凹面を向けた負レンズ、レンズL9は両凸レンズ、レンズL10は両凹レンズ、レンズL11は両凸レンズで構成されている。
第3レンズ群(G3)は、5枚のレンズL12〜L16で構成されている。レンズL12は両凸レンズ、レンズL13は物体側に凸面を向けた正レンズ、レンズL14は物体側に凸面を向けた正レンズ、レンズL15は像側に凹面を向けた負レンズ、レンズL16は像側に凹面を向けた負レンズで構成されている。
この実施の形態では、レティクル(物体)と基板(像)の間に、レティクル側から第1レンズ群(G1)、絞り(AS)、第2レンズ群(G2)、第3レンズ群(G3)の順に配置した。構成レンズの総枚数は、15枚である。
第1レンズ群(G1)は、正の屈折力を有し、3枚のレンズL1〜L3で構成されている。レンズL1は両凸レンズ、レンズL2は両凸レンズ、レンズL3は両凹レンズで構成されている。
第2レンズ群(G2)は、7枚のレンズL4〜L10で構成されている。レンズL4は像側に凸面を向けた正レンズ、レンズL5は両凸レンズ、レンズL6は物体側に凹面を向けた負レンズ、レンズL7は両凹レンズ、レンズL8は両凸レンズ、レンズL9は両凹レンズ、レンズL10は像側に凸面を向けた正レンズで構成されている。
第3レンズ群(G3)は、5枚のレンズL11〜L15で構成されている。レンズL11は両凸レンズ、レンズL12は物体側に凸面を向けた正レンズ、レンズL13は物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ、レンズL14は物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ、レンズL15は像側に凹面を向けた負レンズで構成されている。
投影露光装置は、マスク上のパターンを投影光学系を介してワーク上に投影露光するものであり、この投影光学系に、本発明の投影光学系を使用できる。
レンズ駆動部を介して投影光学系のレンズの位置を調整して投影倍率を適切なものとした上で、マスクを照明して、マスク上のパターンをワーク上に転写することになる。
従って、光源からのエネルギーを効率良く利用でき、光源の小型化が実現できる。
いずれにしても、特許請求されている事項を除いては、従来からあるまたは将来案出される光学系を任意に組み合わせることができる。
表1に、第1の実施の形態に対応した投影光学系の諸元の値を掲げる。
表2に、第1の実施の形態に対応した投影光学系の諸元の値を掲げる。
いずれも3色の色消しがバランスよく為されている。
Claims (9)
- 物体側および像側の両側にほぼテレセントリックな屈折タイプの縮小投影光学系において、
物体側より順に、光軸に沿って、正の屈折力を有する第1レンズ群と、第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、系の開口数(NA)を決定する可変開口絞りとで構成され、前記開口絞りを第1レンズ群と第2レンズ群との間に配置され、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群は、開口絞りよりも像側であって最も大きい空気間隔により区分され、
前記第2レンズ群は、νd=(nd−1)/(nF−nC)の条件式で、
νd>65を満たす正レンズを少なくとも2枚含み、且つ
νd<50を満たす負レンズを少なくとも2枚含み、
さらに、各レンズ群が
0.05<f1/L<1.3
|f2|/L>0.8
0.03<f3/L<0.8
の条件式を満足することを特徴とする投影光学系;
但し
νd:逆分散率、光学ガラスの分散程度を表現する定数
nF:F線(波長486nm)に対する屈折率
nd:d線(波長587nm)に対する屈折率
nC:C線(波長656nm)に対する屈折率
f1:第1レンズ群の焦点距離
f2:第2レンズ群の焦点距離
f3:第3レンズ群の焦点距離
L :物体から結像までの距離。 - 前記第3レンズ群は、5枚のレンズで構成されることを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。
- 第2レンズ群は、
nd<1.65を満たす正レンズを少なくとも2枚含み、且つ
nd>1.50を満たす負レンズを少なくとも2枚含むことを特徴とする請求項1または2に記載の投影光学系。 - 第3レンズ群は、結像面に最も近いレンズが、結像面側に凹面を持つ負レンズであり、
nd>1.50
νd>40
0.6<ri/ti<5.0
の条件式を満足することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の投影光学系;
但し、
ri:像面に向けたレンズ曲面の曲率半径
ti:像面に向けたレンズ曲面から結像面までの距離。 - 第3レンズ群は、νd<60を満たす正レンズを少なくとも1枚含むことを特徴とする請求項4に記載の投影光学系。
- 第1レンズ群は、νd<60を満たす正レンズを少なくとも1枚含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の投影光学系。
- 系の構成レンズの総枚数が、10枚以上24枚以下であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の投影光学系。
- マスク上のパターンを、請求項1から7のいずれかに記載の投影光学系を介してワーク上に投影露光するものであることを特徴とする投影露光装置。
- デバイスの回路パターンを投影光学系を介して基板上へ投影露光するデバイス製造方法において、
前記投影光学系として請求項1から7のいずれかに記載のものを使用することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014009285A JP6511701B2 (ja) | 2014-01-22 | 2014-01-22 | 投影光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法 |
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JP2015138124A JP2015138124A (ja) | 2015-07-30 |
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Family
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Country | Link |
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JP (1) | JP6511701B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112415865B (zh) * | 2020-12-01 | 2023-11-17 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种应用于投影光刻机的单倍率大视场投影曝光物镜 |
CN112526833B (zh) * | 2020-12-17 | 2022-09-27 | 张家港中贺自动化科技有限公司 | 一种用于无掩模光刻的投影成像*** |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01267513A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-25 | Asahi Optical Co Ltd | 結像レンズ |
JP2010091751A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Canon Inc | 投影光学系及び露光装置 |
CN102540419B (zh) * | 2010-12-31 | 2014-01-22 | 上海微电子装备有限公司 | 一种大视场投影光刻物镜 |
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---|---|
JP2015138124A (ja) | 2015-07-30 |
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