JPH036202A - 光重合性組成物 - Google Patents
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
に印刷回路板の製造に適したレジスト材料として好適な
光重合性組成物に関するものである。
て、光重合性組成物よりなるフォトレジストが広く用い
られている。特に光重合性組成物を所定の厚みで透明な
支持フィルム上に積層したドライフィルムレジスト(以
下DFRと称する)は、作業性、信頼性等に優れる特徴
を有している。
感光層および支持フィルムが積層された柔軟な三層積層
体である。感光層には、未露光部がハロゲン系有機溶剤
で除去される溶剤現像型と弱アルカリ水溶液で除去され
るアルカリ現像型が知られている。近年ハロゲン系溶剤
の規制が厳しくなるなどにより、アルカリ現像型DFR
を使用する印刷回路板メーカーが急速に増えつつある。
る。DFRから保護フィルムを除いた後、感光層を印刷
回路板を作製する基板(以下基板と称する)に接するよ
うに熱圧着(以下ラミネートと称する)する。原画を介
して活性光を照射(以下露光と称す)した後、未露光部
分を弱アルカリ水溶液で除去(以下現像と称す)し、レ
ジスト画像を形成する。このように形成されたレジスト
画像を保護マスクとし、公知のエツチング処理またはパ
ターンめっき処理を行った後、レジスト剥離して印刷回
路基板を製造することができる。特にパターンめっきに
よる製造法はおよそ次の通りである。レジスト画像を形
成した基板に硫酸銅めっき液等を用いて電気銅めっきを
行った後、電解半田めっきを行う。レジスト画像を現像
液より強いアルカリ水溶液により剥離し銅面を露出させ
る。
、半田めっきされた部分が配線部となる印刷回路板が作
製される。さらに必要に応じ半田めっき層は適当なエツ
チング液で除去される。
いては、特開昭52−94388号公報、特開昭52−
130701号公報、特開昭53−128688号公報
、特開昭50−147323号公報等に開示されている
。
、配線の線巾も細くなっている。これにともない、高密
度パターン形成に有効と考えられているパターンめっき
法の重要性が増大している。
性として、必要な細線パターンを再現する充分な解像力
を有し、めっき工程でもぐり等の欠陥を生じず、めっき
液を汚染しないことはもちろんであるが、さらにテンテ
ィング性、剥離速度および硬化膜の基板密着性が重要で
ある。テンティング性が充分でないと、位置合わせ用基
準穴(直径4〜10mmの穴が一般的)を覆ったレジス
ト硬化膜が現像工程などで破損し、めっき工程で基準穴
の内壁にメツキが乗り、内径が小さ(なるため、ビンの
挿入が困難となる。剥離速度が遅いと、めっきされた半
田層が、アルカリ剥離液により部分的に溶解したり、銅
面が赤変したりして不良の原因となる。
のレジストパターンが、機械的な衝撃等により基板上か
ら欠落し不良の原因となる。しかし従来の技術では、テ
ンティング性の高いものは、剥離速度および硬化膜の基
板密着性が低下する。
は、現像時に膨潤してシワが生じるなど、充分なテンテ
ィング性を有するものがなかった。
現像型DFRの感光層を形成する光重合性組成物を広範
囲に検討した結果、従来にない新規な組成、つまり特定
の構造の不飽和化合物と光重合開始剤を組み合わせるこ
とにより、めっき工程でもぐり等の欠陥を生じず、めっ
き液の染染も無いと同時に優れたテンティング性、剥離
性および硬化膜の基板密着性を有するパターンめっき用
の優れたアルカリ現像型DFRを得ることを見い出し本
発明に至った。即ち本発明は、 (i)カルボキシル基含有蛍が酸当量で100〜600
重量平均分子量が1万〜50万の線状重合体5〜93重
量%、 (ii)重合性不飽和基を有する化合物93
〜5重量%、及び(iii)光重合開始剤0.01〜3
0重量%を含有して成る光重合性組成物において、該重
合性不飽和基を有する化合物の80重量%以上が、分子
中に重合性不飽和基を1個有する化合物及び重合性不飽
和基を2個有する化合物より成り、重合性不飽和基を1
個有する化合物の不飽和化合物中に占める割合が10〜
50重量%の範囲であり、分子中に重合性不飽和基を2
個有し、かつ分子量が900〜2000の範囲のものが
不飽和化合物中に占める割合が10〜90重量%の範囲
であり、かつ該光重合開始剤の70重量%以上が、少な
くとも1種の2.4.5−トリアリールイミダゾリルニ
量体および少なくとも1種のp−アミノフェニルケトン
より成ることを特徴とする光重合性組成物に関する。
種の方法で製造できるが一般的にはエチレン性二重結合
を有する単量体の混合系を重合することにより製造され
る。使用される単量体としては、例えば、スチレン、O
−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルス
チレン、α−メチルスチレン、p−エチルスチレン、2
,4−ジメチルスチレン、p−n−ブチルスチレン、p
−tert−ブチルスチレン、p−n−へキシルスチレ
ン、p−n−オクチルスチレン、p−メトキシスチレン
、p−フェニルスチレン、3,4−ジクロルスチレン等
のスチレン類、ビニルナフタレン類、エチレンやプロピ
レン、ブチレン、C8〜C1゜及びそれ以上のα−オレ
フィン類、塩化ビニル、臭化ビニル、弗化ビニル等のハ
ロゲン化ビニル類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、
酪酸ビニル等のビニルエステル類、(メタ)アクリル酸
メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル
酸プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)
アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸n−オクチ
ル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸
2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸2−クロルエ
チル、(メタ)アクリル酸フェニル、α−クロルアクリ
ル酸メチル、メタアクリル酸ジメチルアミノエチル等の
α−メチレン脂肪族モノカルボン酸エステル類、アクリ
ロニトリル、メタアクリロニトリル、アクリルアミド等
の(メタ)アクリル酸誘導体、ビニルメチルエーテル、
ビニルエチルエーテル等のビニルエーテル類、ビニルメ
チルケトン、ビニルエチルケトン等のビニルケトン類、
N−ビニルピロール、N−ビニル力ルバゾール、N−ビ
ニルインドール等のN−ビニル化合物等が挙げられる。
メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、
イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル
等が挙げられる。このバインダーポリマー中に含まれる
カルボキシル基の含有量はカルボキシル基当員で、通常
100〜600、好ましくは200〜450の範囲であ
る。ここでカルボキシル基当量とは、カルボキシル基1
当量が含まれるダラム重量を意味する。カルボキシル基
の含有量が多すぎると溶剤への溶解性が低下し、少なす
ぎると現像速度が低下する。重量平均分子量は通常1万
〜50万で、好ましくは2万〜20万の範囲である。分
子量が小さすぎると感光層の流動性が上昇し保存時に膜
厚が不均一になり、一方大きすぎるとラミネート時の基
板への密着性が低下する。
ては、−船釣には各種のアクリレートまたはメタクリレ
ート(以下(メタ)アクリレートと略記する)系モノマ
ーが用いられる。
えば式[I]〜[51で示されるアクリレート化合物が
挙げられるが、相当するメタクリレート化合物も使用可
能である。分子量は200〜1000の範囲が好ましく
、300〜500の範囲がより好ましい。分子量が小さ
すぎると、剥離速度が遅くなる。一方分子量が大きすぎ
ると感光層の光重合性が低下し、感度が下がり、テンテ
ィング性も低下する。
] 分子中に重合性不飽和基を2個有する化合物としては、
例えば各種の多価アルコール成分のジ(メタ)アクリレ
ート化合物が挙げられる。グリコール成分としては脂肪
族や芳香族系グリコール及び単一又は異種のグリコール
成分より成るポリエーテルグリコールが挙げられる。具
体的にはポリエーテルグリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート
、ネオベンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポ
リテトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレートおよび式
[61〜[91で示される化合物が挙げられる。特に分
子量が900〜2000の範囲の化合物の例として式[
101〜【I31で示される化合物が挙げられる。
例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート
、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートや式
[141〜[15]で示される化合物が挙げられる。
アリールイミダゾリルニ量体及びp−アミノフェニルケ
トンについては特公昭48−38403号公報に開示さ
れている。2.4’、 5− トリアリールイミダゾリ
ルニ量体は式[161で表わされる。2個のロフィン (以下余白) 基を結合する共有結合は l・1’−,1・2′1・4
’−,2・2’−,2・4′−又は4・4′−位につい
ているが、1・2′−化合物が好ましい。又、フェニル
基が置換されていてもよく例えば2−(o−クロロフェ
ニル)−4・5−ジフェニルイミダゾリルニ量体、2−
(o −クロロフェニル)−4・5−ビス−(m−メ
)−1−ジフェニル)イミダゾリルニ量体、2− (p
Jトキシフェニル)−4・5−ジフェニルイミダゾリル
ニ量体などがある。p−アミノフェニルケトンとして好
ましいものは例えばp−アミノベンゾフェノン、p−ブ
チルアミノフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノ
ン、p−ジメチルアミノベンゾフェノン、’p−p’−
ビス(エチルアミノ)ベンゾフェノン、p−p’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン〔ミヒラーズケトン
)、p−p′−ビス(ジエチルアミノコベンゾフェノン
、p−p’−ビス〔ジブチルアミノコベンゾフェノンな
どがあげられる。また上記で示された化合物以外に他の
光重合開始剤との併用も可能である。
外線などにより活性化され重合を開始する公知の化合物
である。例えば2−エチルアントラキノン、2−ter
t−ブチルアントラキノン等のキノン類がある。又例え
ばベンゾフェノンなどの芳香族ケトン類がある。又例え
ばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
エチルエーテルなどのベンゾインエーテル類がある。又
例えばチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサント
ン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類と
、ジメチルアミノ安息香酸アルキルエステル化合物等の
三級アミン化合物との組合わせもある。
有する線状重合体の組成物中に占める割合は5〜93重
量%であり、さらに好ましくは30〜70重量%である
。線状重合体が多すぎると光重合による硬化が不充分と
なり、少なすぎると未硬化部のアルカリ水溶液への溶解
性が低下する。いずれの場合も画像形成が困難となる。
る割合は93〜5重量%であり、好ましくは65〜25
重量%である。又該不飽和化合物中で、分子中に重合性
不飽和基を1個および2個有する化合物の占める割合は
80重量%以上で、好ましくは90重量%以上である。
なると、剥離速度が遅くなり、硬化膜の基板への密着性
が低下する。分子中に重合性不飽和基を1個有する化合
物の該不飽和化合物中に占める割合は10〜50重量%
であり、好ましくは20〜40重1%である。少なすぎ
ると剥離速度が遅くなり、多すぎるとテンティング性が
低下する。さらに分子中に重合性不飽和基を2個有する
化合物で、分子量が900〜2000の範囲のものが不
飽和化合物中に占める割合は10〜90重員%であり、
好ましくは20〜80重量%である。
重量%であり1〜10重量%が好ましい。少なすぎると
感度が低いし、多すぎるとテンティング性が低下する。
は、0.05〜0.5重量%が好ましい。少なすぎると
感度が低くなり、多すぎるとテンティング性が低下する
。
光重合性層にラジカル重合禁止剤を含有させることは好
ましいことである。例えば、p−メトキシフェノール、
ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、te
rt−ブチルカテコール、塩化第1銅、2,6−シーt
ert−ブチルp−クレゾール、2,2−メチレンビス
(4−エチル−6−t−ブチルフェノール)、2.2−
メチレンビス(2−メチル−6−t−ブチルフェノール
)等がある。
物質を含有してもよい。例えばツクシン、オーラミン塩
基、カルコキシドグリーンS、パラマジエンタ、クリス
タルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブル−28
、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン、ペイシック
ブルー20、ダイヤモンドグリーン等がある。
より発色する発色系染料を含有してもよい。発色系染料
としてはロイコ染料とロフィンニ量体の組み合わせ、ま
たはロイコ染料とハロゲン化合物の組み合わせが良く知
られている。ロイコ染料としては、例えばトリス(4−
ジメチルアミノフェニル)メタン[ロイコクリスタルバ
イオレット1 トリス(4−ジエチルアミノ−2−メ
チルフェニル)メタン等があげられる。一方ハロゲン化
合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソ
ブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化
ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルス
ルフォン、4臭化炭素、トリス(2,3−ジブロモプロ
ピル)ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化
アミル、ヨウ化イソブチル、1,1.1−トリクロロ−
2,2ビス(p−クロロフェニル)エタン、ヘキサクロ
ロエタン等があげられる。
を含有していてもよい。例えばジエチルフタレートなど
のフタル酸エステル等が例示できる。
ものが望ましい。
レフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム
、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィル
ム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重
合体フィルム、ポリメタクリル酸メチルフィルム、ポリ
メタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフ
ィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアクリロニトリ
ルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフ
ィルム、セルロース誘導体フィルムなどが挙げられる。
能である。
保護層を積層する。この保護層の重要な特性は光重合性
層との密着力について、支持層よりも保護層の方が充分
小さく容易に剥離できることである。例えばポリエチレ
ンフィルム、ポリプロピレンフィルムがある。又、特開
昭59−202457号公報に示された剥離性の優れた
フィルムを用いることもできる。
テレフタレートフィルムにバーコーターを用いて均一に
塗布し、95°Cの乾燥機中で、5分間乾燥した。感光
性層の厚さは50μmであった。該感光性層のポリエチ
レンテレフタレートフィルムを積層していない表面上に
35μmのポリエチレンフィルムを張り合わせて、積層
フィルムを得た。この積層フィルムのポリエチレンフィ
ルムを剥がしながら、感光性層を銅張積層基板にホット
ロールラミネーターにより105℃でラミネートした。
(掬オーク製作所、HMW−201KB)により、80
mJ/crlで露光した。次いでポリエチレンテレフタ
レートフィルムを剥離した後、1%炭酸ナトリウム水溶
液を60秒スプレーし、さらに水を80秒間スプレーし
現像した。その結果、良好な画像を得た。ライン/スペ
ース=l/1の解像度パターンでは、60μmまで解像
されていた。感度は、コダックステップタブレットNo
、 2(21段)を用いて7段まで完全に硬化膜が残っ
ていた。又、同様のパターン形成後、硫酸銅めっき及び
半田めっきを行った結果、もぐり等の欠陥はなく良好な
めっきパターンが形成されることを確認した。テンティ
ング性については、6 mmφのスルーホール径をもつ
基板にラミネートし、80rnJ/cr!で露光した。
膜にシワが発生しない限界の現像回数を判定した結果3
回であり、良好なテンティング性を示した。剥離性につ
いては、上記の条件でラミネート、露光、現像を行った
後、剥離液に浸漬し、硬化膜が完全に剥離される時間を
測定した。その結果45秒であり良好な剥離を示した。
判定した。上記の条件でラミネート、露光、現像を行っ
た後、カッターでごばん目状に、縦と横に各10本づつ
、l mm間隔で切れ目をいれ、その上からセロテープ
を張り付けた後に引き剥がした。基板上に80%以上の
レジスト部分が剥れずに残り、良好な密着を示した。
った。結果を表2に示す。
った。結果を表2に示す。
ーンめっき法によるプリント配線板の製造に用いられた
場合、大きな位置合わせ穴における充分なテンティング
性と、良好な剥離性さらに硬化膜の基板への密着性を示
し、良好な分留りや生産性を達成するのに効果的である
。
グリコールジアクリレ 似下余白) 光重合開始剤 −2 ミヒラーズケトン −3 ベンゾフェノン 染 料 −I −2 0イコクリスタルバイオレツト トリブロモメチルフェニルスルホン l)感光性積層フィルム(感光層の厚み50μm)をス
ルーホール径6 mmφの基板にラミネートし、80m
j/cnrで露光した後、テンティング膜にシワが発生
するまで現像をくり返す。シワが発生しない限界の現像
数(回)で判定し、回数が多い程、テンティング性が良
好と判断する。現像条件は1%NazCO*水溶液(3
0°C)を60秒スプレーした後、80秒間水をスプレ
ーして水洗する工程を1回とする。
板にラミネートし、80mj/ciで露光した後、剥離
液中に浸漬し、硬化膜が基板から剥離されるまでの時間
を測定する。剥離液は、3%Na1l(水溶液50℃を
使用した。
板にラミネートし、80mj/cnrで露光した後、カ
ッターで、ごばん目状に、縦と横に10本づつl ++
+m間隔で切れ目を入れる。セロテープを張った後、引
き剥がし、硬化膜の剥れ状態を観察し、切れ目を入れた
部分の80%以上が残っている場合は良好、80%未満
しか残っていない場合は不良と判断した。
板にラミネートし、コダックステップタブレットNa2
(21段)を通して、80mj/carで露光する。現
像した後に硬化膜が完全に残っている最高段数を判定し
た。現像条件はテンティング性の測定と同じ。
板にラミネートした後、ライン/スペース=1/1の5
本ラインが40.50,60,70゜80μmの線巾で
あるネガマスクを通し、80mj/crlで露光した。
μm)を判定した。
Claims (1)
- (1)(i)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜
600、重量平均分子量が1万〜50万の線状重合体5
〜93重量%、(ii)重合性不飽和基を有する化合物
93〜5重量%、及び(iii)光重合開始剤0.01
〜30重量%を含有して成る光重合性組成物において、
該重合性不飽和基を有する化合物の80重量%以上が、
分子中に重合性不飽和基を1個有する化合物及び重合性
不飽和基を2個有する化合物より成り、重合性不飽和基
を1個有する化合物の不飽和化合物中に占める割合が1
0〜50重量%の範囲であり、分子中に重合性不飽和基
を2個有し、かつ分子量が900〜2000の範囲の化
合物の不飽和化合物中に占める割合が10〜90重量%
の範囲であり、かつ該光重合開始剤の70重量%以上が
、少なくとも1種の2、4、5−トリアリ−ルイミダゾ
リル二量体および少なくともも1種のp−アミノフェニ
ルケトンより成ることを特徴とする光重合性組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1140437A JP2744643B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 光重合性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1140437A JP2744643B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 光重合性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH036202A true JPH036202A (ja) | 1991-01-11 |
JP2744643B2 JP2744643B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=15268631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1140437A Expired - Lifetime JP2744643B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 光重合性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2744643B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0536581A (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光重合性組成物 |
JPH0936545A (ja) * | 1995-07-20 | 1997-02-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | プリント配線板の製造方法 |
EP0919870A1 (en) * | 1997-12-01 | 1999-06-02 | Nichigo-Morton Co Ltd | Photosensitive resin composition and photosensitive element using the resin composition |
US6268112B1 (en) | 1997-12-18 | 2001-07-31 | The Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. | Photosensitive resin composition |
JP2005121790A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5417991A (en) * | 1977-07-11 | 1979-02-09 | Du Pont | Photoopolymerizable composition |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP1140437A patent/JP2744643B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5417991A (en) * | 1977-07-11 | 1979-02-09 | Du Pont | Photoopolymerizable composition |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0536581A (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光重合性組成物 |
JPH0936545A (ja) * | 1995-07-20 | 1997-02-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | プリント配線板の製造方法 |
EP0919870A1 (en) * | 1997-12-01 | 1999-06-02 | Nichigo-Morton Co Ltd | Photosensitive resin composition and photosensitive element using the resin composition |
US6268112B1 (en) | 1997-12-18 | 2001-07-31 | The Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. | Photosensitive resin composition |
JP2005121790A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルム |
US8372577B2 (en) | 2003-10-15 | 2013-02-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Photosensitive resin compositions and photosensitive dry films using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2744643B2 (ja) | 1998-04-28 |
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