JPH0355841U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0355841U JPH0355841U JP1989117086U JP11708689U JPH0355841U JP H0355841 U JPH0355841 U JP H0355841U JP 1989117086 U JP1989117086 U JP 1989117086U JP 11708689 U JP11708689 U JP 11708689U JP H0355841 U JPH0355841 U JP H0355841U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- rotation
- laser beams
- combining
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係わるレーザアニール装置の
一実施例を示す構成図、第２図は1/2波長板と偏
光ビーム・スプリツタとを組み合わせた場合の偏
光による光の分離を示す図、第３図は1/2波長フ
レネルロムを示す図である。 １１，１２……レーザ光源、１３……試料（ア
ニーリング対象金属）、１４……光学系、１５，
１６……1/2波長フレネルロム、１７……出力測
定器、１８……偏光ビームスプリツタ。
一実施例を示す構成図、第２図は1/2波長板と偏
光ビーム・スプリツタとを組み合わせた場合の偏
光による光の分離を示す図、第３図は1/2波長フ
レネルロムを示す図である。 １１，１２……レーザ光源、１３……試料（ア
ニーリング対象金属）、１４……光学系、１５，
１６……1/2波長フレネルロム、１７……出力測
定器、１８……偏光ビームスプリツタ。
Claims (1)
- ２台のレーザ光源と、この各レーザ光源から発
振されたレーザビームを合成してアニーリング対
象金属に同時に集光させることにより、前記金属
に熱的変化を与える光学系とを備え、この光学系
は２本のレーザビームの光軸にそれぞれ挿入され
て光軸廻りの回転機構を有する1/2波長フレネル
ロムと、このフレネルロムの回転をレーザ出力に
応じて制御するコントローラと、前記２本のレー
ザビームを合成させる偏光ビーム・スプリツタと
を具備することを特徴とするレーザアニール装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989117086U JP2500196Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | レ―ザアニ―ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989117086U JP2500196Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | レ―ザアニ―ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355841U true JPH0355841U (ja) | 1991-05-29 |
| JP2500196Y2 JP2500196Y2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=31665325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989117086U Expired - Lifetime JP2500196Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | レ―ザアニ―ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2500196Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001145723A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Samii Kk | スロットマシン |
| JP4581021B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2010-11-17 | 株式会社ソフイア | 遊技機 |
| JP2010284671A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ加工装置 |
| WO2016203998A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 株式会社アマダミヤチ | レーザユニット及びレーザ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01246827A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Tokyo Electron Ltd | ビームアニール装置 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP1989117086U patent/JP2500196Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01246827A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Tokyo Electron Ltd | ビームアニール装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001145723A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Samii Kk | スロットマシン |
| JP2010284671A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ加工装置 |
| JP4581021B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2010-11-17 | 株式会社ソフイア | 遊技機 |
| WO2016203998A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 株式会社アマダミヤチ | レーザユニット及びレーザ装置 |
| JPWO2016203998A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2017-06-29 | 株式会社アマダミヤチ | レーザユニット及びレーザ装置 |
| US10170892B2 (en) | 2015-06-19 | 2019-01-01 | Amada Miyachi Co., Ltd. | Laser unit and laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2500196Y2 (ja) | 1996-06-05 |
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