JPH0352312A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- JPH0352312A JPH0352312A JP18822789A JP18822789A JPH0352312A JP H0352312 A JPH0352312 A JP H0352312A JP 18822789 A JP18822789 A JP 18822789A JP 18822789 A JP18822789 A JP 18822789A JP H0352312 A JPH0352312 A JP H0352312A
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- electrode
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は、容量内蔵型の圧電共振子に関し、特に容量を
形威するための電極構造が改良されたものに関する. 〔従来の技術〕 第2図に回路図で示す負荷容量内蔵型発振子としては、
圧電共振子に容量電極を組合わせた構造のものが従来よ
り用いられている。
形威するための電極構造が改良されたものに関する. 〔従来の技術〕 第2図に回路図で示す負荷容量内蔵型発振子としては、
圧電共振子に容量電極を組合わせた構造のものが従来よ
り用いられている。
負荷容量内蔵型発振子の従来の構造の一例を第3図(a
)及び(b)に示す。圧電基板lの上面laに第1の共
振電極2が、下面1bに第2の共振電極3が形成されて
いる。第1,第2の共振電極2,3は圧電基板lを介し
て表裏対向するように形成されている。
)及び(b)に示す。圧電基板lの上面laに第1の共
振電極2が、下面1bに第2の共振電極3が形成されて
いる。第1,第2の共振電極2,3は圧電基板lを介し
て表裏対向するように形成されている。
共振電極2.3は、それぞれ、入出力端子電極4a.4
bに導電パターンにより電気的に接続されている.ここ
では、端子電極4a,4bにある拡がりを持たせ、これ
と対向する容量電極5a,5bが、それぞれ、圧電基板
1の上面1a及び下面tbに形威されている.容量電極
5a,5bは導電パターンを介して圧電基板1の側面に
形威された接続電極6に電気的に接続されている。従っ
て、端子電極4a,4bを入出力端とし、接続電極6を
アース端として用いることにより、第2図の負荷容量内
蔵型発振子として使用し得る.また、第4図の圧電共振
子7では、表裏対向するように共振電極が形威された圧
電共振ユニノト8の上面及び下面に誘電体セラミソクス
よりなる保護基板9a,9bが貼付けられている。そし
て、圧電共振ユニットを横戒する第1,第2の共振電極
が、外部電極10a,10bに接続されている。
bに導電パターンにより電気的に接続されている.ここ
では、端子電極4a,4bにある拡がりを持たせ、これ
と対向する容量電極5a,5bが、それぞれ、圧電基板
1の上面1a及び下面tbに形威されている.容量電極
5a,5bは導電パターンを介して圧電基板1の側面に
形威された接続電極6に電気的に接続されている。従っ
て、端子電極4a,4bを入出力端とし、接続電極6を
アース端として用いることにより、第2図の負荷容量内
蔵型発振子として使用し得る.また、第4図の圧電共振
子7では、表裏対向するように共振電極が形威された圧
電共振ユニノト8の上面及び下面に誘電体セラミソクス
よりなる保護基板9a,9bが貼付けられている。そし
て、圧電共振ユニットを横戒する第1,第2の共振電極
が、外部電極10a,10bに接続されている。
外部電極10a,10bと所定距離を隔てて、容量電極
11が圧電共振子7の周囲を覆うように形威されている
.ここでは、人出力端子電極となる外部電極10a,1
0bと、容量電極11との間で、それぞれ容量が取出さ
れるように構威されている。
11が圧電共振子7の周囲を覆うように形威されている
.ここでは、人出力端子電極となる外部電極10a,1
0bと、容量電極11との間で、それぞれ容量が取出さ
れるように構威されている。
〔発明が解決しようとする技術的課題〕第3図に示した
圧電共振子では、圧電基Fi1の主面上に容量形戒のた
めの容量電極5a,5bを設ける必要があるため、基板
が比較的大きなものとならざるを得なかった。
圧電共振子では、圧電基Fi1の主面上に容量形戒のた
めの容量電極5a,5bを設ける必要があるため、基板
が比較的大きなものとならざるを得なかった。
また、圧電基板1を介して表裏対向する一対の電極間で
容量を取出すものであるため、電荷の充放電に伴って対
向t極間に厚み振動等の圧電振動が励起され、共振特性
が劣化するという問題もあった.もっとも、容量を取出
す部分において圧電基板1の分極を除去すれば共振特性
を良好にし得るが、その場合には分極処理等の工程が複
雑となり、歩留が悪く、量産性が低下する。
容量を取出すものであるため、電荷の充放電に伴って対
向t極間に厚み振動等の圧電振動が励起され、共振特性
が劣化するという問題もあった.もっとも、容量を取出
す部分において圧電基板1の分極を除去すれば共振特性
を良好にし得るが、その場合には分極処理等の工程が複
雑となり、歩留が悪く、量産性が低下する。
他方、第4図の従来例では、誘電体セラミックスよりな
る保護基板9a,9bを圧電基板8に貼付けているため
、圧電基板8と保護基板9a,9bの容量温度特性を合
わせることが難しく、周波数安定性に問題があった。の
みならず、保護基板9a,9bの貼付け等の煩雑な製造
工程を要していた. 本発明の目的は、共振特性の劣化が生し難く、かつ温度
変化に対する特性の安定性にも優れた小型の容量内蔵型
圧電共振子を提供することにある。
る保護基板9a,9bを圧電基板8に貼付けているため
、圧電基板8と保護基板9a,9bの容量温度特性を合
わせることが難しく、周波数安定性に問題があった。の
みならず、保護基板9a,9bの貼付け等の煩雑な製造
工程を要していた. 本発明の目的は、共振特性の劣化が生し難く、かつ温度
変化に対する特性の安定性にも優れた小型の容量内蔵型
圧電共振子を提供することにある。
本発明では、第1.第2の共振電極により共振部が構威
されており、第1,第2の共振電極と第1,第2の容量
電極との間で容量が取出されるように横威されている。
されており、第1,第2の共振電極と第1,第2の容量
電極との間で容量が取出されるように横威されている。
そして、相互に電気的に接続された第1,第2の容量電
極が圧電基板を介して表裏対向するように配置されてい
るので、該容量電極が形成されている圧電基板部分は共
振しない.また、共振部からの振動の漏れも、容量電極
が表裏対向するように配置された圧電基板部分において
効果的にダンピングされる.のみならず、圧電基板の両
主面に形威された第1,第2の容量電極は接続電極によ
り電気的に接続されているため、該容量電極は共振部分
を電磁シールドする機能をも果たす。
極が圧電基板を介して表裏対向するように配置されてい
るので、該容量電極が形成されている圧電基板部分は共
振しない.また、共振部からの振動の漏れも、容量電極
が表裏対向するように配置された圧電基板部分において
効果的にダンピングされる.のみならず、圧電基板の両
主面に形威された第1,第2の容量電極は接続電極によ
り電気的に接続されているため、該容量電極は共振部分
を電磁シールドする機能をも果たす。
第1図は、本発明の一実施例の圧電共振子の平面図であ
る.圧電基板21は、適宜の圧電材料よりなり、厚み方
向に一様に分極処理されている。
る.圧電基板21は、適宜の圧電材料よりなり、厚み方
向に一様に分極処理されている。
圧電基板21の上面の略中央部に第1の共振電極22a
が形威されている.第5図(a)及び(b)から明らか
なように、圧電基板2lの下面には、第2の共振電極2
2bが形威されている。第2の共振電極22bは、第1
の共振電極22aと同一の形状とされている。
が形威されている.第5図(a)及び(b)から明らか
なように、圧電基板2lの下面には、第2の共振電極2
2bが形威されている。第2の共振電極22bは、第1
の共振電極22aと同一の形状とされている。
第1の共振電極22aは、導電パターン23aを介して
、圧電基板2lの端縁に沿うように形威された入力側端
子電極24aに電気的に接続されている. 同様に、圧電基板2lの下面側においても、第2の共1
lii電極22bが導電パターン23bを介して出力側
端子電極24b(第5図(a)参照)に電気的に接続さ
れている. なお、第5図(a)に示すように、入力側端子電極24
aは圧電基板21の側面を経由して下面にも至るように
形威されている。出力側端子電極24bについても同様
に構威されており、圧t基板21の上面に至るように形
成されている。
、圧電基板2lの端縁に沿うように形威された入力側端
子電極24aに電気的に接続されている. 同様に、圧電基板2lの下面側においても、第2の共1
lii電極22bが導電パターン23bを介して出力側
端子電極24b(第5図(a)参照)に電気的に接続さ
れている. なお、第5図(a)に示すように、入力側端子電極24
aは圧電基板21の側面を経由して下面にも至るように
形威されている。出力側端子電極24bについても同様
に構威されており、圧t基板21の上面に至るように形
成されている。
上述した第1,第2の共振電極22a,22bにより、
本実施例では共振部が構成されている。
本実施例では共振部が構成されている。
次に、容量部の構成を説明する。
圧電基板2lの上面において、第1の共振電極22aと
所定距離を隔てて一対の第1の容量電極25.26が形
成されている。すなわち、共振電極22aと容量電極2
5.26との間でそれぞれ容量が取出されるように構威
されている。
所定距離を隔てて一対の第1の容量電極25.26が形
成されている。すなわち、共振電極22aと容量電極2
5.26との間でそれぞれ容量が取出されるように構威
されている。
同様に、圧電基板2lの下面側にも、第2の共振電極2
2bと所定距離を隔てて一対の第2の容量電極27.2
8が形成されている(第5図(b)参照)。この第2の
容量電極27.28の平面形状は、特に図示はしないが
、第1の容!電極25.26と同一形状とされており、
かつ圧電基板2lを介して第1の容!i電極25.26
と表裏対向する位置に形威されている。従って、圧電基
板21の下面側においても、第2の共振電極22bと第
2の容量電極27.28との間で、それぞれ、容量が取
出されるように構威されている.第1の容量電極25及
び26は、それぞれ、接続導電部29a,29bにより
、下面側の第2の容量電極27.28と電気的に接続さ
れている.すなわち、上面側の第1の容!11t極25
,26と下面側の第2の容量電極27.28とを電気的
に接続するように、圧電基Fi21の側面を経由する接
続導電部29a,29bが形威されている。
2bと所定距離を隔てて一対の第2の容量電極27.2
8が形成されている(第5図(b)参照)。この第2の
容量電極27.28の平面形状は、特に図示はしないが
、第1の容!電極25.26と同一形状とされており、
かつ圧電基板2lを介して第1の容!i電極25.26
と表裏対向する位置に形威されている。従って、圧電基
板21の下面側においても、第2の共振電極22bと第
2の容量電極27.28との間で、それぞれ、容量が取
出されるように構威されている.第1の容量電極25及
び26は、それぞれ、接続導電部29a,29bにより
、下面側の第2の容量電極27.28と電気的に接続さ
れている.すなわち、上面側の第1の容!11t極25
,26と下面側の第2の容量電極27.28とを電気的
に接続するように、圧電基Fi21の側面を経由する接
続導電部29a,29bが形威されている。
従って、本実施例の圧電共振子では、接続導電部29a
,29b間を電気的に接続すれば、容量電極がすべて同
電位に接続されることになる。そして、この容量電極部
分をアース端とし、人力側端子電極24aを入力端とし
、出力側端子電極24bを出力端とすることにより、第
2図の回路に相当の負荷容量内蔵型圧電発振子を実現す
ることができる. 本実施例の圧電共振子では、第1の容量電極25.26
と第2の容量電極2L,28とが圧電基板21を介して
表裏対向されているが、第1,第2の容量電極が同電位
に接続されているため、第1,第2の容量電極25〜2
8が表裏対向されている圧!基板部分は共振しない. のみならず、共振部からの振動の漏れも、該振動によっ
て生じる電荷が対向している容tt極間で短絡されるた
め、効果的にダンピングされる。
,29b間を電気的に接続すれば、容量電極がすべて同
電位に接続されることになる。そして、この容量電極部
分をアース端とし、人力側端子電極24aを入力端とし
、出力側端子電極24bを出力端とすることにより、第
2図の回路に相当の負荷容量内蔵型圧電発振子を実現す
ることができる. 本実施例の圧電共振子では、第1の容量電極25.26
と第2の容量電極2L,28とが圧電基板21を介して
表裏対向されているが、第1,第2の容量電極が同電位
に接続されているため、第1,第2の容量電極25〜2
8が表裏対向されている圧!基板部分は共振しない. のみならず、共振部からの振動の漏れも、該振動によっ
て生じる電荷が対向している容tt極間で短絡されるた
め、効果的にダンピングされる。
さらに、入力側端子電極24aと出力側端子電極24b
との間において、圧電基板21の両主面に股がるように
第1.第2の容量電極25〜28が形或されているので
、入出力端子電極間の電磁シールドも、該容量電極25
〜28により果たされる。
との間において、圧電基板21の両主面に股がるように
第1.第2の容量電極25〜28が形或されているので
、入出力端子電極間の電磁シールドも、該容量電極25
〜28により果たされる。
なお、接続導電部29a,29bの形或は、圧電共振子
をチップ部品として構戒する場合には、外部電極形戒の
際に行えば、外部電極と同時に形威し得る. また、入出力側端子電極24a,24bの圧電基板21
の両主面に形威される部分並びに第1第2の容量電極2
5〜2日については、マザーの圧!基板の状態で、第1
,第2の共振電極22a.22bと同時に形或すること
ができる.よって、本実施例の圧電共振素子は、量産性
においても優れていることがわかる. なお、上記実施例では、第1.第2の共振電極22a,
22bの両側に、それぞれ、第1の容量電極25.26
及び第2の容量電極27.28を形威していたが、一方
側にのみ第1の容量電極及び第2の容量!極を構威して
もよい.すなわち、第1の容量電極25及び第2の容量
電極27のみを形威してもよく、あるいは第1の容N電
極26及び第2の容量電極28のみを形威した構造であ
ってもよい. 上記圧電共振素子をチップ状部品とする場合には、第6
図に示すように、圧電基Fi21の上面及び下面に絶縁
性材料よりなる保護基板30a,30bを、共振部分の
振動を妨げない閉空間を形成した状態で貼付けて、外部
電極31a,3lb,31cを形戒すればよい.なお、
保!!基板30a,30bは容量を形或するために用い
るものではないため、容量に着目して誘電体セラ旦冫ク
スを選択する必要がない。従って、本実施例の圧電共振
子では、容量を取出す部分の容Wk温度特性が共振部分
の容量温度特性と合致しないという問題は生じない. 第1,第2の容 極の 状の 第1図実施例では、第1,第2の容量電pi25〜28
として、圧電基板21の長手方向に延びる矩形形状のも
のを示した。しかしながら、本発明における第1,第2
の容量電極の平面形状は、共振電極及び入出力端子電極
で形威されている領域を除いた残余の領域において適宜
の形状に構威し得るものである. 例えば、第7図に示すように、共振電極22aの両側に
おいて、共振電極22aの外周縁に相似する曲縁部32
a,33aを有する第1の容量電極32.33を形成し
てもよい.この場合、第2の容量電極は、第1の容!電
極32.33と同一形状とされており、圧1t基板21
を介して第1の容量1t極32,33と表裏対向するよ
うに形戒されている. また、第8図の圧電共振子では、共振電極22aと入力
側端子電極24aとを結ぶ導電パターン23aが圧電基
板2lの中央から一方端縁2lb側に寄せられて形威さ
れている.そして、第1の容量電極34の曲縁部34a
が、導電パターン23aが寄せられた分だけ第7図の曲
縁部32aよりも長くされている.また、第1の容量電
極及び第2の容量電極(図示せず)を電気的に接続する
接続導電部35は圧電基板21の一方端縁の全長に至る
ように形威されて、シールド効果が高めらでいる. 第9図の例では、圧電基板21の上面に形威された共振
電極22a、導電パターン23a及び入出力側端子電極
24a,24b以外の領域のほとんどを覆うように第1
の容量電極36が形威されている。従って、第1の容量
電極36と裏面側の第2の容量電極とにより共振部分が
より効果的に電磁シールドされる。また、曲縁部36a
の長さも、第7図及び第8図の例に比べて長くされてい
るので、共振電極22aとの対向部分を広くされている
ので、容量部で取出される容量の値も太きくされている
。
をチップ部品として構戒する場合には、外部電極形戒の
際に行えば、外部電極と同時に形威し得る. また、入出力側端子電極24a,24bの圧電基板21
の両主面に形威される部分並びに第1第2の容量電極2
5〜2日については、マザーの圧!基板の状態で、第1
,第2の共振電極22a.22bと同時に形或すること
ができる.よって、本実施例の圧電共振素子は、量産性
においても優れていることがわかる. なお、上記実施例では、第1.第2の共振電極22a,
22bの両側に、それぞれ、第1の容量電極25.26
及び第2の容量電極27.28を形威していたが、一方
側にのみ第1の容量電極及び第2の容量!極を構威して
もよい.すなわち、第1の容量電極25及び第2の容量
電極27のみを形威してもよく、あるいは第1の容N電
極26及び第2の容量電極28のみを形威した構造であ
ってもよい. 上記圧電共振素子をチップ状部品とする場合には、第6
図に示すように、圧電基Fi21の上面及び下面に絶縁
性材料よりなる保護基板30a,30bを、共振部分の
振動を妨げない閉空間を形成した状態で貼付けて、外部
電極31a,3lb,31cを形戒すればよい.なお、
保!!基板30a,30bは容量を形或するために用い
るものではないため、容量に着目して誘電体セラ旦冫ク
スを選択する必要がない。従って、本実施例の圧電共振
子では、容量を取出す部分の容Wk温度特性が共振部分
の容量温度特性と合致しないという問題は生じない. 第1,第2の容 極の 状の 第1図実施例では、第1,第2の容量電pi25〜28
として、圧電基板21の長手方向に延びる矩形形状のも
のを示した。しかしながら、本発明における第1,第2
の容量電極の平面形状は、共振電極及び入出力端子電極
で形威されている領域を除いた残余の領域において適宜
の形状に構威し得るものである. 例えば、第7図に示すように、共振電極22aの両側に
おいて、共振電極22aの外周縁に相似する曲縁部32
a,33aを有する第1の容量電極32.33を形成し
てもよい.この場合、第2の容量電極は、第1の容!電
極32.33と同一形状とされており、圧1t基板21
を介して第1の容量1t極32,33と表裏対向するよ
うに形戒されている. また、第8図の圧電共振子では、共振電極22aと入力
側端子電極24aとを結ぶ導電パターン23aが圧電基
板2lの中央から一方端縁2lb側に寄せられて形威さ
れている.そして、第1の容量電極34の曲縁部34a
が、導電パターン23aが寄せられた分だけ第7図の曲
縁部32aよりも長くされている.また、第1の容量電
極及び第2の容量電極(図示せず)を電気的に接続する
接続導電部35は圧電基板21の一方端縁の全長に至る
ように形威されて、シールド効果が高めらでいる. 第9図の例では、圧電基板21の上面に形威された共振
電極22a、導電パターン23a及び入出力側端子電極
24a,24b以外の領域のほとんどを覆うように第1
の容量電極36が形威されている。従って、第1の容量
電極36と裏面側の第2の容量電極とにより共振部分が
より効果的に電磁シールドされる。また、曲縁部36a
の長さも、第7図及び第8図の例に比べて長くされてい
るので、共振電極22aとの対向部分を広くされている
ので、容量部で取出される容量の値も太きくされている
。
さらに、第10図に示すように、両端に複数本の電極指
37a,38aを有する、両端かくし歯電極状の容IJ
電極37.38を共振電極22aの両側に配置してもよ
い。ここでは、複数本の電極指37a,38aと、入出
力側端子電極24a.24bから圧電基板21の内方に
突出された複数本の電極指39a,39aとが互いに間
挿し合うように配置されている. 〔発明の効果〕 以上のように、本発明によれば、圧電基板上において共
振部を構戒する第1,第2の共振電極と所定距離を隔て
て第1,第2の容量電極が対向配置されており、第1,
第2の容量電極が圧電基板を介して表裏対向されており
かつ相互に電気的に接続されているので、圧電基板上の
共振電極及び入出力端子電極等が形威されている領域の
残りの領域を効率良く利用して容量部を構戒することが
できる.従って、容量内蔵型圧電共振子の小型化を図る
ことができる。
37a,38aを有する、両端かくし歯電極状の容IJ
電極37.38を共振電極22aの両側に配置してもよ
い。ここでは、複数本の電極指37a,38aと、入出
力側端子電極24a.24bから圧電基板21の内方に
突出された複数本の電極指39a,39aとが互いに間
挿し合うように配置されている. 〔発明の効果〕 以上のように、本発明によれば、圧電基板上において共
振部を構戒する第1,第2の共振電極と所定距離を隔て
て第1,第2の容量電極が対向配置されており、第1,
第2の容量電極が圧電基板を介して表裏対向されており
かつ相互に電気的に接続されているので、圧電基板上の
共振電極及び入出力端子電極等が形威されている領域の
残りの領域を効率良く利用して容量部を構戒することが
できる.従って、容量内蔵型圧電共振子の小型化を図る
ことができる。
また、第1,第2の容量電極が電気的に接続されている
ため、容量電極が対向配置されている圧電基板部分は共
振せず、また共振部からの振動の漏れも効果的にダンピ
ングされる。のみならず、第1.第2の容it電極によ
り、共振部分の電磁シールドも図ることが可能とされて
いる。
ため、容量電極が対向配置されている圧電基板部分は共
振せず、また共振部からの振動の漏れも効果的にダンピ
ングされる。のみならず、第1.第2の容it電極によ
り、共振部分の電磁シールドも図ることが可能とされて
いる。
さらに、圧電基板を利用して容量を取出すものであり、
第4図従来例のように容量を取出すために圧電基板とは
異質の誘電体基板を積層する必要がない.よって、周波
数安定性も高められる.
第4図従来例のように容量を取出すために圧電基板とは
異質の誘電体基板を積層する必要がない.よって、周波
数安定性も高められる.
第1図は本発明の一実施例の圧電共振子の平面図、第2
図は容量内蔵型圧電共振子の回路図、第3図(a)及び
(b)は従来の容量内蔵型圧電共振子の斜視図及び底面
図、第4図は従来の容量内蔵型圧電共振子の他の例を説
明するための外観斜視図、第5図(a)及び(b)は第
1図のA−A線及びB−B線に沿う各断面図、第6図は
第1図、実施例により構威したチップ型圧電共振子の外
観斜視図、第7図〜第1O図は、それぞれ、本発明の圧
電共振子の変形例を示し、特に、容量電極及び端子電極
等の平面形状が変形された例を示す各平面図である。 図において、21は圧電基板、22a.22bは第1.
第2の共振電極、25.26は第1の容量電極、27.
28は第2の容量電極、29a.29bは接続導電部を
示す。 嬉 】 図 第2図 第3図 第4 図 第5図 (Q)
図は容量内蔵型圧電共振子の回路図、第3図(a)及び
(b)は従来の容量内蔵型圧電共振子の斜視図及び底面
図、第4図は従来の容量内蔵型圧電共振子の他の例を説
明するための外観斜視図、第5図(a)及び(b)は第
1図のA−A線及びB−B線に沿う各断面図、第6図は
第1図、実施例により構威したチップ型圧電共振子の外
観斜視図、第7図〜第1O図は、それぞれ、本発明の圧
電共振子の変形例を示し、特に、容量電極及び端子電極
等の平面形状が変形された例を示す各平面図である。 図において、21は圧電基板、22a.22bは第1.
第2の共振電極、25.26は第1の容量電極、27.
28は第2の容量電極、29a.29bは接続導電部を
示す。 嬉 】 図 第2図 第3図 第4 図 第5図 (Q)
Claims (1)
- 圧電基板と、該圧電基板の両主面に圧電基板を介して
表裏対向するように形成された第1,第2の共振電極と
、前記圧電基板の主面上において第1,第2の共振電極
と所定距離を隔てて対向配置された第1,第2の容量電
極とを備え、前記第1,第2の容量電極は、圧電基板を
介して表裏対向するように配置されており、前記第1,
第2の容量電極を電気的に接続する接続導電部をさらに
備える圧電共振子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18822789A JPH0352312A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18822789A JPH0352312A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0352312A true JPH0352312A (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=16220006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18822789A Pending JPH0352312A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0352312A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006080341A1 (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Kyocera Corporation | 圧電発振素子及びそれを用いた圧電発振部品 |
JPWO2006118192A1 (ja) * | 2005-04-27 | 2008-12-18 | 京セラ株式会社 | 圧電部品及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP18822789A patent/JPH0352312A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006080341A1 (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Kyocera Corporation | 圧電発振素子及びそれを用いた圧電発振部品 |
JPWO2006080341A1 (ja) * | 2005-01-28 | 2008-08-07 | 京セラ株式会社 | 圧電発振素子及びそれを用いた圧電発振部品 |
KR100881912B1 (ko) * | 2005-01-28 | 2009-02-04 | 쿄세라 코포레이션 | 압전 발진 소자 및 그것을 이용한 압전 발진 부품 |
US7626317B2 (en) | 2005-01-28 | 2009-12-01 | Kyocera Corporation | Piezoelectric oscillation element and piezoelectric oscillation component using the same |
JP4802184B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2011-10-26 | 京セラ株式会社 | 圧電発振素子及びそれを用いた圧電発振部品 |
JPWO2006118192A1 (ja) * | 2005-04-27 | 2008-12-18 | 京セラ株式会社 | 圧電部品及びその製造方法 |
JP4751385B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2011-08-17 | 京セラ株式会社 | 圧電部品及びその製造方法 |
US8138659B2 (en) | 2005-04-27 | 2012-03-20 | Kyocera Corporation | Piezoelectric component and method for manufacturing same |
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