JPH0336518Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0336518Y2 JPH0336518Y2 JP1983067969U JP6796983U JPH0336518Y2 JP H0336518 Y2 JPH0336518 Y2 JP H0336518Y2 JP 1983067969 U JP1983067969 U JP 1983067969U JP 6796983 U JP6796983 U JP 6796983U JP H0336518 Y2 JPH0336518 Y2 JP H0336518Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- chamber
- heating chamber
- cooling tube
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 27
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 15
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は同一炉内で加熱・冷却する単室型真空
熱処理炉に関するものである。
熱処理炉に関するものである。
従来、真空焼鈍処理等を行なう単室型真空熱処
理炉として、たとえば、実公昭41−17532号公報
等が実用化されている。
理炉として、たとえば、実公昭41−17532号公報
等が実用化されている。
この熱処理炉は、第１図に示すように、水冷ジ
ヤケツトを備えた炉殻１内に、開閉ダンパー３を
有するインナーチヤンバー２（加熱室）を備える
とともに、このインナーチヤンバー２と炉殻１と
の間にクーリングチユーブ４を備える一方、イン
ナーチヤンバー２内にヒータ５と循環フアン６を
備え、図示しない不活性ガス供給管および真空排
気系を備えた構成からなる。
ヤケツトを備えた炉殻１内に、開閉ダンパー３を
有するインナーチヤンバー２（加熱室）を備える
とともに、このインナーチヤンバー２と炉殻１と
の間にクーリングチユーブ４を備える一方、イン
ナーチヤンバー２内にヒータ５と循環フアン６を
備え、図示しない不活性ガス供給管および真空排
気系を備えた構成からなる。
そして、熱処理時には、図示しない扉から処理
材Ｗをインナーチヤンバー２内に装入したのち、
炉内を所定減圧下に保持しながらヒータ５により
インナーチヤンバー２内の処理材Ｗを加熱し、所
定の加熱が終了すれば、ダンパー３を開くととも
に、クーリングチユーブ４に冷却水を供給して循
環フアン６により炉内雰囲気を循環させながら処
理材Ｗを冷却し、熱処理を行なうものである。ま
た、単室型炉という構造上、扉開放（材料の装
入・抽出）時に炉内に空気が侵入し、空気中の不
純物がクーリングチユーブ４、炉内壁面１ａ等の
炉内部材に付着することになる。
材Ｗをインナーチヤンバー２内に装入したのち、
炉内を所定減圧下に保持しながらヒータ５により
インナーチヤンバー２内の処理材Ｗを加熱し、所
定の加熱が終了すれば、ダンパー３を開くととも
に、クーリングチユーブ４に冷却水を供給して循
環フアン６により炉内雰囲気を循環させながら処
理材Ｗを冷却し、熱処理を行なうものである。ま
た、単室型炉という構造上、扉開放（材料の装
入・抽出）時に炉内に空気が侵入し、空気中の不
純物がクーリングチユーブ４、炉内壁面１ａ等の
炉内部材に付着することになる。
したがつて、前記構成のものにおいては、この
付着した不純物は、冷却初期の高温雰囲気による
クーリングチユーブ４、炉内壁面１ａ等の炉内部
材の昇温により気化し、炉内雰囲気を汚染する。
付着した不純物は、冷却初期の高温雰囲気による
クーリングチユーブ４、炉内壁面１ａ等の炉内部
材の昇温により気化し、炉内雰囲気を汚染する。
そのため、処理材表面が酸化されるという欠点
を有していた。また、炉殻１内にインナーチヤン
バー２を設けるため構造が複雑であるという欠点
を有していた。
を有していた。また、炉殻１内にインナーチヤン
バー２を設けるため構造が複雑であるという欠点
を有していた。
本考案は前記従来の単室型真空熱処理炉の欠点
を除去するためになされたもので、炉殻内面に断
熱材を内張りして加熱室を形成することによりイ
ンナーチヤンバーを廃止して構造を簡素化し、か
つ、炉内昇温時に加熱室内を真空パージすること
により扉開放にともない炉内部材に付着した不純
部を気化させて炉外に排出するようにした単室型
真空熱処理炉を提供することを目的とする。
を除去するためになされたもので、炉殻内面に断
熱材を内張りして加熱室を形成することによりイ
ンナーチヤンバーを廃止して構造を簡素化し、か
つ、炉内昇温時に加熱室内を真空パージすること
により扉開放にともない炉内部材に付着した不純
部を気化させて炉外に排出するようにした単室型
真空熱処理炉を提供することを目的とする。
つぎに、本考案を一実施例である第２図以下に
したがつて説明する。
したがつて説明する。
本考案にかかる熱処理炉は、炉殻１の内面に断
熱材７を内張りして加熱室８を構成し、この加熱
室８内に、クーリングチユーブ４、ヒータ５およ
び循環フアン６を設けるとともに、不活性ガス供
給管９およびメカニカルブースタ１１、ロータリ
ポンプ１２からなる真空排気系１０を設けた構成
からなる。
熱材７を内張りして加熱室８を構成し、この加熱
室８内に、クーリングチユーブ４、ヒータ５およ
び循環フアン６を設けるとともに、不活性ガス供
給管９およびメカニカルブースタ１１、ロータリ
ポンプ１２からなる真空排気系１０を設けた構成
からなる。
そして、処理材Ｗは、第３図に示すヒートサイ
クルの如く、まず、処理材Ｗを加熱室８内に装入
し、加熱室８内を所定減圧にするとともに、ヒー
タ５により加熱室８内を昇温する一方、この昇温
時に、加熱室８内を断続的に真空パージ（約10-2
←→約50Torr）して、処理材Ｗの装入時にクーリ
ングチユーブ４等の炉内部材に付着した不純物を
加熱気化させて、炉外に排出しつつ処理材Ｗを加
熱する。
クルの如く、まず、処理材Ｗを加熱室８内に装入
し、加熱室８内を所定減圧にするとともに、ヒー
タ５により加熱室８内を昇温する一方、この昇温
時に、加熱室８内を断続的に真空パージ（約10-2
←→約50Torr）して、処理材Ｗの装入時にクーリ
ングチユーブ４等の炉内部材に付着した不純物を
加熱気化させて、炉外に排出しつつ処理材Ｗを加
熱する。
そして、加熱室８内が所定温度になれば、加熱
室８内が約650Torrになるように不活性ガスを加
熱室８内に供給し、そのまま一定温度に炉温を保
持する。所定時間が経過すると、ヒータ５を停止
するとともに、クーリングチユーブ４内に冷媒を
供給し、炉内雰囲気を循環フアン６により循環さ
せながら処理材Ｗを冷却し、その後、処理材Ｗを
抽出するのである。
室８内が約650Torrになるように不活性ガスを加
熱室８内に供給し、そのまま一定温度に炉温を保
持する。所定時間が経過すると、ヒータ５を停止
するとともに、クーリングチユーブ４内に冷媒を
供給し、炉内雰囲気を循環フアン６により循環さ
せながら処理材Ｗを冷却し、その後、処理材Ｗを
抽出するのである。
以上の説明で明らかなように、本考案によれ
ば、従来のように、炉内にインナーチヤンバーを
設け、その外部にクーリングチユーブを配置しな
いため、それだけ構造が簡単で、かつ、炉を従来
より小型化することができるとともに、加熱室の
昇温時にクーリングチユーブ等の炉内部材を加熱
して扉開閉時に付着した不純物を気化させて、真
空排気系で炉外に排出させるため、熱処理の冷却
初期に不純ガスの発生がなく、処理材の酸化を防
止することができる。
ば、従来のように、炉内にインナーチヤンバーを
設け、その外部にクーリングチユーブを配置しな
いため、それだけ構造が簡単で、かつ、炉を従来
より小型化することができるとともに、加熱室の
昇温時にクーリングチユーブ等の炉内部材を加熱
して扉開閉時に付着した不純物を気化させて、真
空排気系で炉外に排出させるため、熱処理の冷却
初期に不純ガスの発生がなく、処理材の酸化を防
止することができる。
第１図は従来の単室型真空熱処理炉の断面図、
第２図は本考案にかかる単室型真空熱処理炉の断
面図で、第３図は炉のヒートサイクルである。 １〜炉殻、４〜クーリングチユーブ、５〜ヒー
タ、６〜循環フアン、７〜断熱材、８〜加熱室、
９〜不活性ガス供給管、１０〜真空排気系。
第２図は本考案にかかる単室型真空熱処理炉の断
面図で、第３図は炉のヒートサイクルである。 １〜炉殻、４〜クーリングチユーブ、５〜ヒー
タ、６〜循環フアン、７〜断熱材、８〜加熱室、
９〜不活性ガス供給管、１０〜真空排気系。
Claims (1)
- クーリングチユーブを備えた単室型熱処理炉に
おいて、炉殻に断熱材を内張りして加熱室を形成
し、この加熱室内にクーリングチユーブを配設す
るとともに、加熱室内に、不活性ガス供給管と炉
内昇温時に加熱室内を真空パージする真空排気系
とを接続したことを特徴とする単室型真空熱処理
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6796983U JPS59172756U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 単室型真空熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6796983U JPS59172756U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 単室型真空熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59172756U JPS59172756U (ja) | 1984-11-19 |
| JPH0336518Y2 true JPH0336518Y2 (ja) | 1991-08-02 |
Family
ID=30198155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6796983U Granted JPS59172756U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 単室型真空熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59172756U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4117532Y1 (ja) * | 1964-09-14 | 1966-08-15 |
-
1983
- 1983-05-06 JP JP6796983U patent/JPS59172756U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4117532Y1 (ja) * | 1964-09-14 | 1966-08-15 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59172756U (ja) | 1984-11-19 |
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