JPH0328134A - ガラス製造用バーナ - Google Patents
ガラス製造用バーナInfo
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- JPH0328134A JPH0328134A JP15902189A JP15902189A JPH0328134A JP H0328134 A JPH0328134 A JP H0328134A JP 15902189 A JP15902189 A JP 15902189A JP 15902189 A JP15902189 A JP 15902189A JP H0328134 A JPH0328134 A JP H0328134A
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、高沸点固体のドーパントを含有するガラス
製造を可能とするガラス製造用バーナに関するものであ
る。
製造を可能とするガラス製造用バーナに関するものであ
る。
[従来技術とその課題]
石英系ガラスファイバに各種ドーパントを添加すると、
その屈折率が変化することが知られている。このドーパ
ントとしては、従来からQeOt、B * O s、P
ros等が用いられているが、近年の光ファイバの応用
技術の発展に伴い、ZrCI2*やAf2Cl23等の
高沸点固体のドーパントを添加した石英系ガラスファイ
バの出現が望まれている。
その屈折率が変化することが知られている。このドーパ
ントとしては、従来からQeOt、B * O s、P
ros等が用いられているが、近年の光ファイバの応用
技術の発展に伴い、ZrCI2*やAf2Cl23等の
高沸点固体のドーパントを添加した石英系ガラスファイ
バの出現が望まれている。
このような高沸点固体のドーパントを添加した石英系ガ
ラスファイバの母材製造には、例えばVAD法等を用い
ることができる。VAD法によって高沸点固体のドーパ
ントを添加した光ファイバ母材等のガラス母材を製造す
る際のガラス製造用バーナ(以下、単にバーナと略称す
る。)としては、第3図に示したような構成のものが用
いられている。
ラスファイバの母材製造には、例えばVAD法等を用い
ることができる。VAD法によって高沸点固体のドーパ
ントを添加した光ファイバ母材等のガラス母材を製造す
る際のガラス製造用バーナ(以下、単にバーナと略称す
る。)としては、第3図に示したような構成のものが用
いられている。
第3図に示したバーナは、原料ガス供給管2と水素ガス
供給管3とシールガス供給管4と酸素ガス供給管5とを
集合してなるバーナ本体2lと、このバーナ本体21に
高沸点固体のドーパントをドーパントガスとして供給可
能なように気化させるドーパント気化器6およびドーパ
ント気化器6を、ドーパントガス供給管7によって接続
してなるものである。ドーパントガス気化器6の近傍に
は、その中に収容されたZ rC (!4等の高沸点固
体のドーパントを加熱、昇華させて気体状態とするため
の発熱源としてのトーチ8が設けられている。
供給管3とシールガス供給管4と酸素ガス供給管5とを
集合してなるバーナ本体2lと、このバーナ本体21に
高沸点固体のドーパントをドーパントガスとして供給可
能なように気化させるドーパント気化器6およびドーパ
ント気化器6を、ドーパントガス供給管7によって接続
してなるものである。ドーパントガス気化器6の近傍に
は、その中に収容されたZ rC (!4等の高沸点固
体のドーパントを加熱、昇華させて気体状態とするため
の発熱源としてのトーチ8が設けられている。
第3図に示したような装置を用いてVAD法によって、
高沸点固体のドーパントを添加した石英ガラスファイバ
の母材を製造するには、バーナ本体2lの各ガス供給管
2、3、4、5のそれぞれにSiC(!4等のガラス原
料ガスと酸素ガスと水素ガスおよびAr等のシールガス
とを供給する。これと共に、トーチ8を点火してドーパ
ント気化器6を加熱して高沸点固体のドーパントを気化
させドーパントガスとした後、このドーパントガスをド
ーパントガス供給管7を通して原料ガス供給管2内に供
給し、原料ガスと共にバーナ本体2lの出口部において
噴出させ、酸水素炎中にて燃焼せしめて火炎加水分解反
応等によって発生したガラス微粒子中にドーパントを添
加する。そしてドーパントが添加されたこのガラス微粒
子をバーナ本体21出口部の近傍に設けられた棒状基材
9の端部に付着せしめ、かくして棒状基材9の端部に高
沸点固体のドーパントを含有する多孔質のガラス母材1
0を形成する。
高沸点固体のドーパントを添加した石英ガラスファイバ
の母材を製造するには、バーナ本体2lの各ガス供給管
2、3、4、5のそれぞれにSiC(!4等のガラス原
料ガスと酸素ガスと水素ガスおよびAr等のシールガス
とを供給する。これと共に、トーチ8を点火してドーパ
ント気化器6を加熱して高沸点固体のドーパントを気化
させドーパントガスとした後、このドーパントガスをド
ーパントガス供給管7を通して原料ガス供給管2内に供
給し、原料ガスと共にバーナ本体2lの出口部において
噴出させ、酸水素炎中にて燃焼せしめて火炎加水分解反
応等によって発生したガラス微粒子中にドーパントを添
加する。そしてドーパントが添加されたこのガラス微粒
子をバーナ本体21出口部の近傍に設けられた棒状基材
9の端部に付着せしめ、かくして棒状基材9の端部に高
沸点固体のドーパントを含有する多孔質のガラス母材1
0を形成する。
ところが第3図に示したバーナでは、バーナ本体2lと
ドーパント気化器6との間をドーパントガス供給管7に
よって接続しているので、その設置および調整が繁雑と
なるとともに、ドーパントガスがドーパントガス供給管
7内で固化、析出し、ドーパントガス供給管7を閉塞し
、さらにはバーナ本体2lをも閉塞してしまうという不
都合があった。
ドーパント気化器6との間をドーパントガス供給管7に
よって接続しているので、その設置および調整が繁雑と
なるとともに、ドーパントガスがドーパントガス供給管
7内で固化、析出し、ドーパントガス供給管7を閉塞し
、さらにはバーナ本体2lをも閉塞してしまうという不
都合があった。
このような弊害に対処するために、ドーパントガス供給
管7の外表面に断熱材を貼着したり、電気ヒータ等の加
熱装置を設けてドーパントガスの固化を防止する方法が
提案されているが、いずれも十分な効果が得られていな
い。
管7の外表面に断熱材を貼着したり、電気ヒータ等の加
熱装置を設けてドーパントガスの固化を防止する方法が
提案されているが、いずれも十分な効果が得られていな
い。
またドーパントガスの固化析出によるパーナ本体2lの
閉塞を防止する目的で、第4図に示したようにドーパン
ト気化器6およびドーパントガス供給管7とをバー十本
体2lと別体にて構成し、バーナ本体2lが形成する酸
水素火炎中に直接ドーパントガスを供給するバーナが提
案されている。
閉塞を防止する目的で、第4図に示したようにドーパン
ト気化器6およびドーパントガス供給管7とをバー十本
体2lと別体にて構成し、バーナ本体2lが形成する酸
水素火炎中に直接ドーパントガスを供給するバーナが提
案されている。
ところがこのようなバーナにあっては、バーナ本体2l
の閉塞は防止できるものの、バーナ本体2lとドーパン
ト気化器6およびドーパントガス供給管7とが、完全に
独立して設けられているのでこれらの位置調整が困難と
なるという不都合があった。さらにはドーパントガス供
給管7内で固化したドーパントの微粒子がそのまま火炎
中に混入し、ガラス母材10中に含有されるドーパント
濃度が不均一になるばかりか気泡発生の原因になり、高
品位のガラス母材lOが得られないという不都合があっ
た。
の閉塞は防止できるものの、バーナ本体2lとドーパン
ト気化器6およびドーパントガス供給管7とが、完全に
独立して設けられているのでこれらの位置調整が困難と
なるという不都合があった。さらにはドーパントガス供
給管7内で固化したドーパントの微粒子がそのまま火炎
中に混入し、ガラス母材10中に含有されるドーパント
濃度が不均一になるばかりか気泡発生の原因になり、高
品位のガラス母材lOが得られないという不都合があっ
た。
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので
あって、ドーパントガスが固化するのを防止することに
より、高沸点固体のドーパントを添加した高品位のガラ
ス母材の製造を可能とするようなバーナを提供すること
を目的としている。
あって、ドーパントガスが固化するのを防止することに
より、高沸点固体のドーパントを添加した高品位のガラ
ス母材の製造を可能とするようなバーナを提供すること
を目的としている。
[課題を解決するための手段]
この発明のガラス製造用バーナは、原料ガス供給管と水
素ガス供給管と酸素ガス供給管とシールガス供給管とか
らなるバーナ本体の外周面を包囲させて、高沸点固体の
ドーパントを気化させるドーパント気化器を一体に設け
、このドーパント気化器内にて発生したドーパントガス
を移送するキャリアガスを供給するキャリアガス供給管
と、上記ドーパントガスをキャリアガスと共に上記原料
ガス供給管内へ供給するドーパントガス供給管とをドー
パント気化器に接続すると共に、ドーパント気化器とバ
ーナ本体とを共に加熱炉内に収容してなることを解決手
段とした。
素ガス供給管と酸素ガス供給管とシールガス供給管とか
らなるバーナ本体の外周面を包囲させて、高沸点固体の
ドーパントを気化させるドーパント気化器を一体に設け
、このドーパント気化器内にて発生したドーパントガス
を移送するキャリアガスを供給するキャリアガス供給管
と、上記ドーパントガスをキャリアガスと共に上記原料
ガス供給管内へ供給するドーパントガス供給管とをドー
パント気化器に接続すると共に、ドーパント気化器とバ
ーナ本体とを共に加熱炉内に収容してなることを解決手
段とした。
[作用 ]
高沸点固体のドーパントを気化させるドーパント気化器
をバーナ本体と一体に設けると共に、バーナ本体とドー
パント気化器とを共に加熱炉内に収容し、加熱および保
温を可能にしたので、ドーパントガスが固化して貯出す
ることがなくなる。
をバーナ本体と一体に設けると共に、バーナ本体とドー
パント気化器とを共に加熱炉内に収容し、加熱および保
温を可能にしたので、ドーパントガスが固化して貯出す
ることがなくなる。
また気化したドーパントをキャリアガスによってバーナ
本体内へ移送するので、一定濃度のドーパントを安定し
て酸水素火炎中に供給することができる。
本体内へ移送するので、一定濃度のドーパントを安定し
て酸水素火炎中に供給することができる。
以下、この発明をさらに詳しく説明する。
第l図および第2図はこの発明のバーナの一実施例の構
成を示すものである。第1図および第2図に示したバー
ナが第3図および第4図に示したものと異なるところは
、バーナ本体lの外周面を包囲するようにドーパント気
化器6を一体に設けると共に、このドーパント気化器6
にキャリアガス供給管itとドーパントガス供給管7と
を接続し、バーナ本体lとドーパント気化器6とを共に
加熱炉l2内に収容したところである。
成を示すものである。第1図および第2図に示したバー
ナが第3図および第4図に示したものと異なるところは
、バーナ本体lの外周面を包囲するようにドーパント気
化器6を一体に設けると共に、このドーパント気化器6
にキャリアガス供給管itとドーパントガス供給管7と
を接続し、バーナ本体lとドーパント気化器6とを共に
加熱炉l2内に収容したところである。
このパーナ本体lは、第2図に示したように、例えば石
英ガラス製の径の異なる原料ガス供給管2と水素ガス供
給管3とシールガス供給管4と酸素ガス供給管5の4本
のパイプを同心上に集合せしめて4重管とし、これら各
供給管2、3、4、5によって形成されたガス流路l3
、l4、l5、I6の一端部(人口側)のそれぞれ個々
にガス流入管17、l8、l9、20を接続してなるも
のである。このバーナ本体lはガス流入管l7からガス
流路l3にSiC(!*、SiHC723などのガラス
主原料ガスおよびGeCQh、BBrsなどのドーパン
ト用ガラス原料ガスおよびキャリアガス(酸素ガス)を
、ガス流入管l8からガス流路l4に水素ガスを、ガス
流入管I9からガス流路l5にアルゴンガス等のシール
ガスを、ガス流入管2oからガス流路l6に酸素ガスを
それぞれ供給し、その出口部においてこれらガスを燃焼
させて酸水素火炎を形戊すると共に、この酸水素火炎中
にて上記原料ガスを反応せしめてガラス微粒子を形成ず
るものである。
英ガラス製の径の異なる原料ガス供給管2と水素ガス供
給管3とシールガス供給管4と酸素ガス供給管5の4本
のパイプを同心上に集合せしめて4重管とし、これら各
供給管2、3、4、5によって形成されたガス流路l3
、l4、l5、I6の一端部(人口側)のそれぞれ個々
にガス流入管17、l8、l9、20を接続してなるも
のである。このバーナ本体lはガス流入管l7からガス
流路l3にSiC(!*、SiHC723などのガラス
主原料ガスおよびGeCQh、BBrsなどのドーパン
ト用ガラス原料ガスおよびキャリアガス(酸素ガス)を
、ガス流入管l8からガス流路l4に水素ガスを、ガス
流入管I9からガス流路l5にアルゴンガス等のシール
ガスを、ガス流入管2oからガス流路l6に酸素ガスを
それぞれ供給し、その出口部においてこれらガスを燃焼
させて酸水素火炎を形戊すると共に、この酸水素火炎中
にて上記原料ガスを反応せしめてガラス微粒子を形成ず
るものである。
このバーナ本体lの外周上には、これを包囲するように
、バーナ本体lと同心的にドーパント気化器6が設けら
れている。このドーパント気化器6にはキャリアガス供
給管1lとドーパントガス供給管7とがそれぞれ接続さ
れている。ドーパント気化器6はその内部にてA(Ic
Q3やZrCQh等の高沸点固体のドーパントを気化さ
せるための容器であって、このドーパント気化器6の任
意の位置には気化されたドーパントガスをバーナ本体l
内に移送するためのキャリアガス(酸素ガス等)を供給
するキャリアガス供給管IIか接続されている。
、バーナ本体lと同心的にドーパント気化器6が設けら
れている。このドーパント気化器6にはキャリアガス供
給管1lとドーパントガス供給管7とがそれぞれ接続さ
れている。ドーパント気化器6はその内部にてA(Ic
Q3やZrCQh等の高沸点固体のドーパントを気化さ
せるための容器であって、このドーパント気化器6の任
意の位置には気化されたドーパントガスをバーナ本体l
内に移送するためのキャリアガス(酸素ガス等)を供給
するキャリアガス供給管IIか接続されている。
さらにバーナ本体1の原料ガス供給管2に連続したドー
パントガス供給管7がドーパント気化器6の任意位置に
接続されており、ドーパント気化器6内で気化されたド
ーパントガスをキャリアガスと共に、原料ガス供給管2
内に供給し、バーナ本体lの出口部から原料ガスと共に
噴出できるようになっている。
パントガス供給管7がドーパント気化器6の任意位置に
接続されており、ドーパント気化器6内で気化されたド
ーパントガスをキャリアガスと共に、原料ガス供給管2
内に供給し、バーナ本体lの出口部から原料ガスと共に
噴出できるようになっている。
そしてこのバーナ本体lと、これに一体に設けられたド
ーパント気化器6とは、共に加熱炉l2内に収容され、
高沸点固体のドーパントの気化温度以上に加熱されるよ
うになっている。この加熱炉l2は、たとえば赤外線集
光炉等からなるものであって、ドーパントの気化温度以
上に加熱可能なものであれば特に限定されるものではな
い。
ーパント気化器6とは、共に加熱炉l2内に収容され、
高沸点固体のドーパントの気化温度以上に加熱されるよ
うになっている。この加熱炉l2は、たとえば赤外線集
光炉等からなるものであって、ドーパントの気化温度以
上に加熱可能なものであれば特に限定されるものではな
い。
このような構成のパーナにあっては、ドーパント気化器
6およびドーパントガス供給管7が一体に設けられたバ
ーナ本体lが、加熱炉l2内に収容させており、常にド
ーパントの気化温度以上に保温することができるので、
ドーパント気化46内で発生したドーパントガスを固化
させることなく原料供給管2内に供給することができる
。よって、ドーパントの固化、析出のよるバーナの閉塞
を防止することができ、長時間の連続使用が可能となる
。
6およびドーパントガス供給管7が一体に設けられたバ
ーナ本体lが、加熱炉l2内に収容させており、常にド
ーパントの気化温度以上に保温することができるので、
ドーパント気化46内で発生したドーパントガスを固化
させることなく原料供給管2内に供給することができる
。よって、ドーパントの固化、析出のよるバーナの閉塞
を防止することができ、長時間の連続使用が可能となる
。
またドーパント気化器6内で発生したドーパントガスは
、キャリアガスによって移送されるので、バーナ本体l
内へ一定濃度にて安定供給でき、その結果、気泡等の異
物混入がなく、かつドーパント濃度が一定した高品位の
ガラス母材を得ることができろ。
、キャリアガスによって移送されるので、バーナ本体l
内へ一定濃度にて安定供給でき、その結果、気泡等の異
物混入がなく、かつドーパント濃度が一定した高品位の
ガラス母材を得ることができろ。
なお第1図および第2図に示した例にあっては、パーナ
本体lは同心異径の4本の管からなるものであったが、
この発明のバーナはこの例に限られるものではない。
本体lは同心異径の4本の管からなるものであったが、
この発明のバーナはこの例に限られるものではない。
[実施例]
(実施例)
第■図および第2図に示した構成のバーナを製造した。
このバーナに水素ガスを20Q/分、酸素ガスを30Q
/分、シールガスとしてアルゴンガスを3f2/分、原
料ガスとしてSiC(!4を0.8Q/分で供給した。
/分、シールガスとしてアルゴンガスを3f2/分、原
料ガスとしてSiC(!4を0.8Q/分で供給した。
これと共にドーパント気化器内にZ r C (laを
!00g投入し、キャリアガスとしてArを30−/分
で供給した。この後、加熱炉を280℃に加熱してバー
ナ本体およびドーパント気化器を共に加熱、保温してZ
rCQ4をドーパントとして含有したガラス母材を製造
したところ、バーナの閉塞もなく、8時間にわたり、安
定して高沸点固体のドーパントを添加した高品位のガラ
ス母材を製造することができた。
!00g投入し、キャリアガスとしてArを30−/分
で供給した。この後、加熱炉を280℃に加熱してバー
ナ本体およびドーパント気化器を共に加熱、保温してZ
rCQ4をドーパントとして含有したガラス母材を製造
したところ、バーナの閉塞もなく、8時間にわたり、安
定して高沸点固体のドーパントを添加した高品位のガラ
ス母材を製造することができた。
(比較例I)
第3図に示した構成のバーナを製造した。このバーナに
キャリアガスを供給しない以外は、実施例と全く同様の
条件にて各ガスを供給した。そしてZrCC41 0
0gをドーパント気化器内に入れると共に、ドーパント
気化器を加熱するトーチ内に水素ガスを5ff/分、酸
素ガスを2.5Q/分で供給して、これらを燃焼させて
ドーパントガスを発生さu1このドーパントガスを原料
ガス供給管内に供給してガラス母材を製造した。このと
きバーナ本体およびドーパント供給管を電気ヒータによ
って280℃保温するようにしたが、ガラス母材製造開
始10分後にドーパントガス供給管の内壁面にZrCQ
hが析出し、20分後にはドーパントガス供給管が閉塞
しガラス母材の製造が不可能となった。
キャリアガスを供給しない以外は、実施例と全く同様の
条件にて各ガスを供給した。そしてZrCC41 0
0gをドーパント気化器内に入れると共に、ドーパント
気化器を加熱するトーチ内に水素ガスを5ff/分、酸
素ガスを2.5Q/分で供給して、これらを燃焼させて
ドーパントガスを発生さu1このドーパントガスを原料
ガス供給管内に供給してガラス母材を製造した。このと
きバーナ本体およびドーパント供給管を電気ヒータによ
って280℃保温するようにしたが、ガラス母材製造開
始10分後にドーパントガス供給管の内壁面にZrCQ
hが析出し、20分後にはドーパントガス供給管が閉塞
しガラス母材の製造が不可能となった。
(比較例2)
第4図に示した構成のバーナを製造した。このバーナに
比較例lと全く同様の条件にて各ガスを供給すると共に
、100gのZrCLを比較例1と全く同t1に加熱し
てドーパントガスを発生させた。
比較例lと全く同様の条件にて各ガスを供給すると共に
、100gのZrCLを比較例1と全く同t1に加熱し
てドーパントガスを発生させた。
このドーパントガスを原料ガス供給管内に供給して、ガ
ラス母材を製造したところ、製造開始直後から、火炎の
炎色によって火炎中にZrCi2aの粉末が混入してい
ることが、判明した。
ラス母材を製造したところ、製造開始直後から、火炎の
炎色によって火炎中にZrCi2aの粉末が混入してい
ることが、判明した。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明のバーナは、原料ガス供
給管と水素ガス供給管と酸素ガス供給管とンールガス供
給管とからなるバーナ本体の外周面を包囲させて、高沸
点固体のドーパントを気化させるドーパント気化器を一
体に設け、このドーパント気化器内にて発生したドーパ
ントガスを移送するキャリアガスを供給するキャリアガ
ス供給管と、上記ドーパントガスをキャリアガスと共に
上記原料ガス供給管内へ供給するドーパントガス供給管
とをドーパント気化器に接続すると共に、ドーパント気
化器とバーナ本体とを共に加熱炉内に収容してなるもの
であるので、バーナ本体とド−ハント気化器とを、共に
ドーパントの気化温度以上に保温することができるので
、ドーパントガスの固化を防止することができる。よっ
てパーナの閉塞を防止することかでき、高沸点固体のド
ーパントを添加したガラス母材を製造する際にも、長時
間の連続使用に耐えうるバーナとすることができる。
給管と水素ガス供給管と酸素ガス供給管とンールガス供
給管とからなるバーナ本体の外周面を包囲させて、高沸
点固体のドーパントを気化させるドーパント気化器を一
体に設け、このドーパント気化器内にて発生したドーパ
ントガスを移送するキャリアガスを供給するキャリアガ
ス供給管と、上記ドーパントガスをキャリアガスと共に
上記原料ガス供給管内へ供給するドーパントガス供給管
とをドーパント気化器に接続すると共に、ドーパント気
化器とバーナ本体とを共に加熱炉内に収容してなるもの
であるので、バーナ本体とド−ハント気化器とを、共に
ドーパントの気化温度以上に保温することができるので
、ドーパントガスの固化を防止することができる。よっ
てパーナの閉塞を防止することかでき、高沸点固体のド
ーパントを添加したガラス母材を製造する際にも、長時
間の連続使用に耐えうるバーナとすることができる。
またこの発明のバーナにあっては、ドーパント気化器内
で発生したドーパントガスをキャリアガスによってバー
ナ本体!内に移送するので、一定濃度のドーパントガス
を安定して供給できるようになり、気泡等の異物混入や
濃度の不均一等がない高品位のガラス母材を製造できる
。
で発生したドーパントガスをキャリアガスによってバー
ナ本体!内に移送するので、一定濃度のドーパントガス
を安定して供給できるようになり、気泡等の異物混入や
濃度の不均一等がない高品位のガラス母材を製造できる
。
第1図はこの発明のバーナの一例を示した概略斜視図、
第2図は第1図のバーナの眼略横断面図、第3図および
第4図はいずれも従来のバーナを示した概略斜視図であ
る。 l・・・バーナ本体、 2・・・原料ガス供給管、3・
・・シールガス供給管、 4・・・酸素ガス供給管、5
・・・水素ガス供給管、 6・・・ドーパント気化器、
7・・・ドーパントガス供給管、 11・・・キャリアガス供給管、 l2・・・加熱炉
。
第2図は第1図のバーナの眼略横断面図、第3図および
第4図はいずれも従来のバーナを示した概略斜視図であ
る。 l・・・バーナ本体、 2・・・原料ガス供給管、3・
・・シールガス供給管、 4・・・酸素ガス供給管、5
・・・水素ガス供給管、 6・・・ドーパント気化器、
7・・・ドーパントガス供給管、 11・・・キャリアガス供給管、 l2・・・加熱炉
。
Claims (1)
- 原料ガス供給管と水素ガス供給管と酸素ガス供給管とシ
ールガス供給管とからなるバーナ本体の外周面を包囲さ
せて、高沸点固体のドーパントを気化させるドーパント
気化器を一体に設け、このドーパント気化器内にて発生
したドーパントガスを移送するキャリアガスを供給する
キャリアガス供給管と、上記ドーパントガスをキャリア
ガスと共に上記原料ガス供給管内へ供給するドーパント
ガス供給管とをドーパント気化器に接続すると共に、ド
ーパント気化器とバーナ本体とを共に加熱炉内に収容し
てなることを特徴とするガラス製造用バーナ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15902189A JPH0328134A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | ガラス製造用バーナ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15902189A JPH0328134A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | ガラス製造用バーナ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0328134A true JPH0328134A (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=15684524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15902189A Pending JPH0328134A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | ガラス製造用バーナ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0328134A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63134531A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成装置 |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP15902189A patent/JPH0328134A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63134531A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成装置 |
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